DE102015104376A1 - Clean gas cabin - Google Patents

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Gerhard Spreitzer
Martin Koepke
Thomas Bultmann
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M Braun Inertgas Systeme GmbH
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M Braun Inertgas Systeme GmbH
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Abstract

Die Erfindung betrifft Reingaskabine mit einem gegenüber der Umgebung abgedichteten, von Seitenwänden umgebenen Innenraum. Dabei ist es vorgesehen, dass zumindest ein Teil der Seitenwände der Reingaskabine aus einer oder mehreren Strukturkernplatten, insbesondere einer oder mehreren Wabenkernplatten mit jeweils zwei Deckplatten und einem dazwischen angeordneten Strukturkern, insbesondere Wabenkern, gebildet sind und dass entlang einer Ecke der Reingaskabine die eine Deckplatte gebogen und die andere Deckplatte und der Strukturkern aufgetrennt sind.
Der Aufbau der Reingaskabine mit Strukturkernplatten führt zu einer deutlichen Gewichtsreduzierung der Reingaskabine.
The invention relates to a clean gas cabin with a sealed environment, surrounded by side walls interior. It is envisaged that at least a part of the side walls of the clean carcass from one or more structural core plates, in particular one or more honeycomb core plates are each formed with two cover plates and a structural core disposed therebetween, in particular honeycomb core and that bent along a corner of the clean cabin the one cover plate and the other cover plate and the structural core are separated.
The construction of the clean cabin with structural core plates leads to a significant reduction in the weight of the clean cabin.

Figure DE102015104376A1_0001
Figure DE102015104376A1_0001

Description

Die Erfindung betrifft eine Reingaskabine mit einem gegenüber der Umgebung abgedichteten, von Seitenwänden umgebenen Innenraum.The invention relates to a clean gas cabin with a sealed from the environment, surrounded by side walls interior.

Zahlreiche Fertigungsprozesse und Arbeitsschritte sowohl in der Produktion wie auch in der Forschung und Entwicklung können nicht unter üblichen Umgebungsbedingungen durchgeführt werden, sondern benötigen eine gesonderte Atmosphäre. Solche Fertigungsprozesse können Beschichtungsvorgänge, beispielsweise in der Halbleiterfertigung, Verkapselungsschritte bei der LCD- oder OLED-Herstellung oder Herstellprozesse hochreiner Grundstoffe, beispielsweise in der Medizin- und Pharmatechnik und bei Schweißanwendungen, insbesondere Titanschweißungen sein. Die Prozesse können beispielsweise Reinraumbedingungen, eine niedrige Feuchtigkeit, eine Inertgas-Atmosphäre oder eine Kombination verschiedener solcher und weiterer Bedingungen erfordern.Numerous manufacturing processes and work steps in production as well as in research and development can not be carried out under normal environmental conditions, but require a separate atmosphere. Such manufacturing processes can be coating processes, for example in semiconductor production, encapsulation steps in LCD or OLED production or production processes of highly pure base materials, for example in medical and pharmaceutical technology and in welding applications, in particular titanium welds. For example, the processes may require clean room conditions, low humidity, an inert gas atmosphere, or a combination of various such and other conditions.

Es ist bekannt, solche Fertigungsprozesse oder Arbeitsschritte in einem geschlossenen Raum durchzuführen, in dem die Atmosphäre entsprechend der erforderlichen Bedingungen eingestellt werden kann. Der geschlossene Raum verfügt über Schleusen, über die benötigte Materialien in den geschlossenen Raum eingeführt und die Produkte entnommen werden können.It is known to carry out such manufacturing processes or operations in a closed room in which the atmosphere can be adjusted according to the required conditions. The closed room has locks, through which the required materials can be introduced into the enclosed space and the products can be removed.

Ein solcher Raum ist beispielsweise bei sogenannten Gloveboxen gebildet, wie sie in der Literatur hinreichend beschrieben sind (vgl. „Reinraumtechnik”, 3. aktualisierte u. erw. Aufl., Springer, S. 202–207 ). Solche Gloveboxen sind vorwiegende aus Edelstahl hergestellt. Sie bieten die Möglichkeit, über Handschuhdurchführungen die gewünschten Arbeitsschritte innerhalb der Glovebox durchzuführen. Zur Einstellung der erforderlichen Atmosphäre sind entsprechende Gaszuführungen oder Zirkulationsleitungen, mit denen der Glovebox Gas entnommen, durch zumindest eine Gasaufbereitungseinheit geleitet und anschließend wieder der Glovebox zugeführt wird, vorgesehen. Auf Grund ihres Aufbaus können solche Gloveboxen, insbesondere bei großen Fertigungsaggregaten, nur schwer in Fertigungsstraßen integriert werden, da die zu umschließenden Anlagen nur über die vorgesehenen Schleusen in die Glovebox eingebracht werden können.Such a space is formed, for example, in so-called glove boxes, as they are adequately described in the literature (cf. "Cleanroom technology", 3rd updated u. ext. Ed., Springer, pp. 202-207 ). Such gloveboxes are mainly made of stainless steel. They offer the possibility to carry out the desired working steps within the glovebox via glove feedthroughs. To set the required atmosphere corresponding gas supply lines or circulation lines, with which the glove box taken gas, passed through at least one gas treatment unit and then fed back to the glovebox provided. Due to their construction, such gloveboxes, especially for large production units, are difficult to integrate into production lines, since the systems to be enclosed can only be introduced into the glovebox via the intended locks.

Bekannt sind daher Inertgas-Gehäuse in einem Haubendesign. Die Hauben bilden mit einer Grundplatte einen umschlossenen Raum, in dem die erforderliche Atmosphäre eingestellt werden kann. Die vormontierte Haube wird von oben auf die Grundplatte gestellt und abgedichtet. Erforderliche Durchführungen, Schleusen, vorgeschaltete Kammern und sonstige benötigte Aggregate und Baugruppen sind vorzugsweise bereits an der Haube montiert und getestet. Das Inertgas-Gehäuse kann daher schnell an einem vorgesehenen Arbeits- bzw. Produktionsplatz aufgestellt werden. Der Ansatz des Haubendesigns bietet die Möglichkeit, beliebige Anlagen oder Anlagenteile in einem abgeschlossenen Raum, dessen Atmosphäre entsprechend der Erfordernisse eingestellt werden kann, zu betreiben. Dazu wird die Größe der Haube an die jeweilige Anlage angepasst. Die zum Bau der Inertgas-Gehäuse verwendeten Materialien sind so ausgelegt, dass sie die Atmosphäre in ihrem Inneren, beispielsweise durch Verunreinigungen oder Ausgasungen, nicht verändern. Weiterhin ist die Einhausung derart gestaltet, dass kein Gasaustausch zwischen dem Innenraum des Inertgas-Gehäuses und der Umgebung stattfindet. Bekannt sind Inertgas-Gehäuse aus Edelstahl oder aus Aluminium. Nachteilig bei solchen Inertgas-Gehäusen ist ihr hohes Gewicht, welches sich aus der beschriebenen Bauform und den verwendeten Materialien ergibt. Das hohe Gewicht erschwert zum einen, die Haube von oben über die jeweilige Anlage zu stülpen, da entsprechend belastbare Hebevorrichtungen vorhanden sein müssen. Weiterhin erhöhen die Inertgas-Gehäuse zusätzlich zu der umschlossenen Anlage die Bodenbelastung. Dies macht bei nicht ausreichender Bodenbelastbarkeit des Gebäudes, in dem die Reingaskabine aufgestellt werden soll, umfangreiche und kostenintensive Umbaumaßnahmen zur Erhöhung der Statik des Bodens erforderlich.Therefore, inert gas housings in a hood design are known. The hoods form with a base plate an enclosed space in which the required atmosphere can be adjusted. The pre-assembled hood is placed on top of the base plate and sealed. Required bushings, locks, upstream chambers and other required units and assemblies are preferably already mounted and tested on the hood. The inert gas housing can therefore be quickly placed at a designated work or production place. The approach of the hood design offers the possibility to operate any plant or plant parts in a closed room, whose atmosphere can be adjusted according to the requirements. For this purpose, the size of the hood is adapted to the respective system. The materials used to construct the inert gas housings are designed so as not to alter the atmosphere inside them, for example due to contamination or outgassing. Furthermore, the enclosure is designed such that no gas exchange between the interior of the inert gas housing and the environment takes place. Inert gas housing made of stainless steel or aluminum are known. A disadvantage of such inert gas housings is their high weight, which results from the described design and the materials used. The high weight on the one hand makes it difficult to put the hood over the respective system from above, because correspondingly load-bearing lifting devices must be present. In addition, the inert gas casings increase the soil load in addition to the enclosed plant. This makes extensive and costly conversion measures to increase the static of the soil required for insufficient floor load capacity of the building in which the clean gas cabin is to be set up.

Es ist daher Aufgabe der Erfindung, eine Reingaskabine zur Aufnahme von Anlagen oder Anlagenteilen zu schaffen, deren Innenraum gegenüber der Umgebung abgedichtet ist, deren Atmosphäre entsprechend der Anforderungen für den Betrieb der Anlage oder der Anlagenteile einstellbar ist und die ein niedriges Eigengewicht aufweist.It is therefore an object of the invention to provide a clean cab for receiving plants or equipment parts whose interior is sealed from the environment, the atmosphere is adjustable according to the requirements for the operation of the system or system parts and has a low weight.

Die Aufgabe der Erfindung wird dadurch gelöst, dass zumindest ein Teil der Seitenwände der Reingaskabine aus einer oder mehreren Strukturkernplatten, insbesondere einer oder mehreren Wabenkernplatten, mit jeweils zwei Deckplatten und einem dazwischen angeordneten Strukturkern, insbesondere Wabenkern, gebildet sind Unter Strukturkernplatten sollen im Rahmen der Erfindung insbesondere solche plattenförmigen Bauteile verstanden werden, die sandwichartig aufgebaut sind und zwei oder mehrere Deckplatten aufweisen zwischen denen ein Strukturkern angeordnet ist. Der Strukturkern kann dabei eine beliebige, insbesondere Leichtbaustruktur sein.The object of the invention is achieved in that at least part of the side walls of the clean cask are formed from one or more structural core plates, in particular one or more honeycomb core plates, each with two cover plates and a structural core arranged therebetween, in particular honeycomb core In particular, such plate-shaped components are understood to be sandwiched and have two or more cover plates between which a structural core is arranged. The structural core can be any, in particular lightweight, structure.

Diese kann beispielsweise von einem Wabenkern, einem wellen- oder mäanderförmigen Material, einem Schaumwerkstoff oder dergleichen gebildet sein.This may for example be formed by a honeycomb core, a wave or meandering material, a foam material or the like.

Eine Reingaskabine gemäß der vorliegenden Erfindung ist ein Gehäuse, in dem eine erforderliche Atmosphäre eingestellt werden kann. Dazu ist das Gehäuse gasdicht gegenüber seiner Umgebung aufgebaut. Innerhalb des Gehäuses können Fertigungsprozesse und Arbeitsschritte durchgeführt werden, welche eine gesonderte Atmosphäre voraussetzen. Dazu sind entsprechende Fertigungsaggregate, wie beispielsweise ein Roboter, oder Laboraufbauten innerhalb der Reingaskabine angeordnet. Die Anforderungen an die Atmosphäre können deren Sauberkeit, deren Feuchtegehalt oder deren Zusammensetzung betreffen. So können beispielsweise bestimmte Prozesse nur unter einer Inertgas-Atmosphäre durchgeführt werden. Weitere Parameter, wie beispielsweise die Temperatur oder Boxdruck können ebenfalls einstellbar sein. Der Reingaskabine sind daher entsprechende Gasaufbereitungseinheiten zugeordnet. Bei der Reingaskabine kann es sich somit um ein Kabine mit einer polygonalen Grundfläche und einem gegenüber der Umgebung abgedichteten, von Seitenwänden umgebenen Innenraum handeln, mit zumindest einer Zirkulationsleitung, über die der Reingaskabine Gas entnommen, durch zumindest eine Gasaufbereitungseinheit geleitet und anschließend wieder der Reingaskabine zugeführt wird. Eine Box kann auch mit einem Laminarflowsystem ausgestattet sein Seitenwände aus Strukturkernplatten weisen im Vergleich zu massiv ausgeführten Seitenwänden mit vergleichbarer mechanischer Belastbarkeit ein deutlich geringeres Gewicht auf. Durch den Aufbau der Strukturkernplatten mit zwei beabstandet angeordneten Deckplatten, die über den Strukturkern miteinander verbunden sind, ergibt sich eine sehr hohe Belastbarkeit der Seitenwände. Strukturkernplatten weisen eine hohe Biegesteifigkeit auf, so dass sich die daraus gebildeten Seitenwände bei Belastung nicht oder nur wenig elastisch verbiegen. Sie sind auf Grund der beidseitig angeordneten Deckplatten entsprechend der Permeationseigenschaften der verwendeten Deckplatten in Richtung ihrer Flächennormalen gasdicht. Insbesondere Aluminium-Wabenkernplatten, bei denen die Deckplatten und der Strukturkern aus Aluminium gebildet sind, eignen sich für die Herstellung gasdichter Seitenwände der Reingaskabine. Der Strukturkern verhindert, dass Gas innerhalb der Strukturkernplatte quer zu deren Flächennormalen strömt. Damit ist sichergestellt, dass kein Gas, beispielsweise über die Kanten oder über in die Deckplatten versetzt eingebrachte Durchbrüche, in die Reingaskabine gelangt oder aus der Reingaskabine strömen kann. A clean cab according to the present invention is a housing in which a required atmosphere can be adjusted. For this purpose, the housing is constructed gas-tight against its environment. Within the housing manufacturing processes and operations can be performed, which require a separate atmosphere. For this purpose, corresponding production units, such as a robot, or laboratory structures are arranged within the clean cabin. The requirements of the atmosphere may concern their cleanliness, their moisture content or their composition. For example, certain processes can only be carried out under an inert gas atmosphere. Other parameters such as temperature or box pressure may also be adjustable. The clean cab are therefore assigned to corresponding gas treatment units. The clean gas cabin can thus be a cabin with a polygonal base area and an environment sealed by the surrounding walls, with at least one circulation line, taken from the clean gas cylinder, passed through at least one gas treatment unit and then fed back to the clean cabin becomes. A box can also be equipped with a laminar flow system. Sidewalls made of structural core panels have a significantly lower weight compared to solid sidewalls with comparable mechanical load capacity. Due to the structure of the structural core plates with two spaced cover plates, which are interconnected via the structural core, results in a very high load capacity of the side walls. Structural core plates have a high flexural rigidity, so that the side walls formed therefrom do not bend under load or bend only slightly elastically. They are due to the cover plates arranged on both sides according to the permeation properties of the cover plates used in the direction of their surface normal gas-tight. In particular, aluminum honeycomb core plates, in which the cover plates and the structural core are formed of aluminum, are suitable for the production of gas-tight side walls of the clean cabin. The structural core prevents gas within the structural core plate from flowing across its surface normal. This ensures that no gas, for example via the edges or via openings introduced offset into the cover plates, enters the clean gas cabin or can flow out of the clean gas cabin.

Strukturkernplatten können als Ganzes auf Grund ihres Aufbaus nicht ohne weiteres gebogen werden, da hierbei die äußere Deckplatte gedehnt und die innere Deckplatte gestaucht werden müsste, was zu entsprechenden Verwerfungen führt.Structural core plates as a whole can not be easily bent due to their structure, since in this case the outer cover plate would have to be stretched and the inner cover plate would have to be compressed, which leads to corresponding distortions.

Gemäß einer Ausgestaltungsvariante der Erfindung kann es daher vorgesehen sein, dass entlang einer Ecke der Reingaskabine die eine Deckplatte gebogen und die andere Deckplatte und der Strukturkern aufgetrennt sind oder dass eine der Deckplatten in Richtung auf die andere Deckplatte in den Strukturkern eingeformt ist und dass die Strukturkernplatte im Einformbereich abgebogen ist.According to one embodiment variant of the invention, it can therefore be provided that one cover plate is bent along one corner of the clean cistern and the other cover plate and the structural core are separated or that one of the cover plates is molded in the direction of the other cover plate in the structural core and that the structural core plate bent in Einformbereich.

Dadurch, dass entlang einer Ecke der Reingaskabine die eine Deckplatte gebogen und die andere Deckplatte und der Strukturkern aufgetrennt sind, lassen sich mit Strukturkernplatten dennoch Ecken ausbilden. Vorzugsweise wird die Deckplatte, die später auf der Seite des Außenwinkels der Ecke liegt, zusammen mit dem Strukturkern bis zur gegenüberliegenden Deckplatte aufgetrennt. Anschließend wird die innere Deckplatte entlang des Spaltes in der äußeren Deckplatte und des Strukturkerns auf den gewünschten Winkel der Ecke der Reingaskabine gebogen. Dabei weitet sich der Spalt auf.Due to the fact that one cover plate is bent along one corner of the clean cabin and the other cover plate and the structural core are separated, it is still possible to form corners with structural core plates. Preferably, the cover plate, which later lies on the side of the outer angle of the corner, is separated together with the structural core to the opposite cover plate. Subsequently, the inner cover plate is bent along the gap in the outer cover plate and the structural core to the desired angle of the corner of the clean cabin. This widens the gap.

Alternativ kann es vorgesehen sein, dass die Deckplatte, die später am Innenwinkel der Ecke liegt, und der darunter liegende Strukturkern entlang der späteren Ecke bis hin zur gegenüberliegenden Deckplatte aufgetrennt werden. Der Spalt ist dabei so auszubilden, dass er sich, ausgehend von der nicht durchtrennten Deckplatte hin zur durchtrennten Deckplatte keilförmig aufweitet. Der erforderliche Öffnungswinkel des Spalts ist dabei durch den Winkel der auszubildenden Ecke vorgegeben. Anschließend wird die nicht durchtrennte Deckplatte entlang des Spalts derart gebogen, dass sie einen Außenwinkel ausbildet. Dabei wird der Spalt wieder zusammengedrückt.Alternatively, it may be provided that the cover plate, which is later located at the inner angle of the corner, and the underlying structural core are separated along the later corner to the opposite cover plate. The gap is to be formed so that it widening in a wedge shape, starting from the non-severed cover plate to the severed cover plate. The required opening angle of the gap is predetermined by the angle of the corner to be formed. Subsequently, the non-severed cover plate is bent along the gap such that it forms an outer angle. The gap is compressed again.

Vorteilhaft ist, dass durch die jeweils vorliegende, nicht durchtrennte Deckplatte die Strukturkernplatte auch im Bereich der ausgebildeten Ecke gasdicht ist. Der Strukturkern verhindert dabei, dass sich Gas, ausgehend von dem Spalt, innerhalb der Strukturkernplatte ausbreitet.It is advantageous that the structural core plate is also gas-tight in the region of the formed corner by the respective present, not severed cover plate. The structural core prevents gas, starting from the gap, from spreading within the structural core plate.

Wenn vorgesehen ist. dass eine der Deckplatten in Richtung auf die andere Deckplatte in den Strukturkern eingeformt ist und dass die Strukturkernplatte im Einformbereich abgebogen ist, dann kann auf besonders einfache Weise eine gasdichte Eckgestaltung vorgenommen werden.If provided. that one of the cover plates is formed in the direction of the other cover plate in the structural core and that the structural core plate is bent in the Einformbereich, then can be made in a particularly simple manner, a gas-tight Eckgestaltung.

Gemäß einer bevorzugten Erfindungsausgestaltung kann es vorgesehen sein, dass der entlang einer Ecke der Reingaskabine gebildete Spalt in der aufgetrennten Deckplatte und in dem Strukturkern von einer Eckenabdeckung überdeckt ist und/oder dass die Eckenabdeckung mit zwei im Winkel zueinander angeordneten Schenkeln jeweils auf einer Seite des Spalts mit der Strukturkernplatte dicht verbunden, insbesondere dicht verklebt ist. Die Eckenabdeckung erhöht die Stabilität der Seitenwand im Bereich der Ecke. Sie legt den Winkel der Ecke fest und verhindert, dass dieser Winkel bei Belastung der Seitenwand, zum Beispiel durch Aufbiegen der nicht getrennten Deckplatte, verändert wird. Weiterhin bewirkt sie eine zusätzliche Abdichtung der Seitenwand entlang der Ecke.According to a preferred embodiment of the invention, it may be provided that the gap formed along a corner of the clean cabin is covered by a corner cover in the split cover plate and in the structural core and / or that the corner cover is provided with two angularly disposed legs on each side of the gap is tightly connected to the structural core plate, in particular is glued tight. The Corner cover increases the stability of the side wall in the area of the corner. It fixes the angle of the corner and prevents this angle from being altered when the side wall is loaded, for example by bending the non-separated cover plate. Furthermore, it causes an additional sealing of the side wall along the corner.

Ein Schutz der Kanten der Seitenwände vor einer mechanischen Beschädigung kann dadurch erreicht werden, dass an Kanten der Strukturkernplatten am oberen und am unteren Ende der Seitenwände Profilschienen aufgesetzt, insbesondere aufgesteckt und mit den Strukturkernplatten dicht verbunden, insbesondere dicht verklebt sind. Die Profilschienen ermöglichen einen dichten Anschluss der Seitenwände am Boden und an dem Deckel der Reingaskabine.A protection of the edges of the side walls against mechanical damage can be achieved that mounted on edges of the structural core plates at the top and bottom of the side walls rails, in particular plugged and tightly connected to the structural core plates, in particular sealed. The profile rails allow a tight connection of the side walls at the bottom and on the lid of the clean cabin.

Um weitere Bauteile einfach und sicher an den Strukturkernplatten befestigen zu können kann es vorgesehen sein, dass in der Strukturkernplatte zumindest eine Schraubenaufnahme angeordnet ist und dass die Schraubenaufnahme durch eine der zwei Deckplatten und zumindest einen Teil des zwischen den Deckplatten angeordneten Strukturkerns der Strukturkernplatte geführt ist und/oder dass die Schraubenaufnahme durch beide Deckplatten und den Strukturkern geführt und bei eingeführtem Befestigungselement zumindest einseitig abgedichtet ist. Ist von der Schraubenaufnahme nur eine der beiden Deckplatten durchbrochen, ist die Strukturkernplatte im Bereich der Schraubenaufnahme weiterhin gasdicht. Ist es, beispielsweise bei einer erhöhten mechanischen Belastung der Schraubverbindung, erforderlich, dass beide Deckplatten durch die Schraubenaufnahme durchbrochen werden, so kann über die Abdichtung verhindert werden, dass durch die Schraubenaufnahme Gas von außen in die Reingaskabine oder aus der Reingaskabine an die Umgebung gelangt.In order to secure other components easily and securely to the structural core plates, it can be provided that at least one screw receptacle is arranged in the structural core plate and that the screw receptacle is guided through one of the two cover plates and at least part of the structural core of the structural core plate arranged between the cover plates, and / or that the screw receptacle is guided through both cover plates and the structural core and is sealed at least on one side when the fastener is inserted. If only one of the two cover plates is broken from the screw receptacle, the structural core plate in the area of the screw receptacle is still gas-tight. Is it, for example, in an increased mechanical load on the screw, required that both cover plates are broken by the screw, it can be prevented via the seal that passes through the screw receiving gas from the outside into the clean cabin or from the clean cabin to the environment.

Eine gasdichte Verbindung zweier benachbarter Strukturkernplatten kann dadurch erreicht werden, dass zwei aneinandergrenzende Strukturkernplatten durch zumindest eine Verbindungsschiene verbunden sind, dass die Verbindungsschiene einen Anlegeabschnitt aufweist und dass der Anlegeabschnitt mit jeweils einer Deckplatte der angrenzenden Strukturkernplatten dicht verbunden, insbesondere dicht verklebt ist. Der Anlegeabschnitt der Verbindungsschiene bildet somit eine gasdicht ausgeführte Brücke zwischen den beiden aneinandergrenzenden Strukturkernplatten. Vorteilhaft erfolgt die Verbindung der Strukturkernplatten in einem geraden Bereich der Seitenwand der Reingaskabine. Eine solche Verbindung ist einfacher abzudichten als eine Verbindung in einer Ecke der Reingaskabine. Alternativ oder zusätzlich zu der Klebung können Dichtelemente zwischen der jeweiligen Strukturkernplatte und dem anliegenden Anlegeabschnitt der Verbindungsschiene vorgesehen sein.A gas-tight connection of two adjacent structural core plates can be achieved by connecting two adjoining structural core plates by at least one connecting rail, in that the connecting rail has an application section and in that the application section is tightly connected, in particular tightly bonded, to a respective cover plate of the adjacent structural core plates. The application section of the connecting rail thus forms a gas-tight bridge between the two adjoining structural core plates. Advantageously, the connection of the structural core plates takes place in a straight region of the side wall of the clean gas cabin. Such a connection is easier to seal than a connection in a corner of the clean cabin. Alternatively or in addition to the bonding, sealing elements may be provided between the respective structural core plate and the adjacent contact section of the connecting rail.

Der konstruktive Aufbau lässt sich dadurch noch vereinfachen, dass die Verbindungsschiene ein Strangpressprofil mit einem Hohlprofil und dem daran angeformten Anlegeabschnitt ist und dass die aneinandergrenzenden Strukturkernplatten beidseitig entlang des Hohlprofils angeordnet und durch dieses beabstandet sind. Durch das Hohlprofil wird eine hohe Steifigkeit und Stabilität der Verbindungsschiene erreicht. Dadurch erfolgt eine zusätzliche Versteifung der mit der Verbindungsschiene verbundenen Seitenwände. Das Hohlprofil bewirkt weiterhin eine exakte Positionierung der daran angelegten Strukturkernplatten. Die Verbindungsschiene kann einfach und kostengünstig in einem Strangpressprozess hergestellt werden. Um einen leichten Aufbau der Reingaskabine zu erreichen, ist die Verbindungsschiene vorzugsweise aus Aluminium gefertigt.The structural design can be simplified by the fact that the connecting rail is an extruded profile with a hollow profile and the Anlegeabschnitt formed thereon and that the adjacent structural core plates are arranged on both sides along the hollow profile and spaced therefrom. Due to the hollow profile high rigidity and stability of the connecting rail is achieved. This results in an additional stiffening of the side walls connected to the connecting rail. The hollow profile further causes an exact positioning of the structural core plates applied thereto. The connecting rail can be easily and inexpensively manufactured in an extrusion process. In order to achieve a lightweight construction of the clean cabin, the connecting rail is preferably made of aluminum.

Die Montage der Reingaskabine kann dadurch vereinfacht werden, dass zumindest eine der aneinandergrenzenden Strukturkernplatten mit ihrer Kante in einen Bereich zwischen dem Anlegeabschnitt und einer gegenüberliegend zu dem Anlegeabschnitt an das Hohlprofil angeformten Gegenschiene eingeschoben und gehalten ist. Die Gegenschiene und der gegenüberliegende Anlegeabschnitt bilden zusammen mit dem Hohlprofil eine U-förmige Aufnahme aus, in die eine Strukturkernplatte mit ihrer Kante eingeschoben und gehalten werden kann. Die Gegenschiene bewirkt somit eine zusätzliche Abdichtung sowie eine erhöhte Stabilität im Übergangsbereich von der Strukturkernplatte zu der Verbindungsschiene.The assembly of the clean cabin can be simplified by at least one of the adjacent structural core plates is inserted and held with its edge in a region between the Anlegeabschnitt and a counter to the Anlegeabschnitt to the hollow profile molded counter rail. The counter rail and the opposing abutment portion form together with the hollow profile of a U-shaped receptacle into which a structural core plate can be inserted and held with its edge. The counter rail thus causes an additional seal and increased stability in the transition region from the structural core plate to the connecting rail.

Um den Innenraum der Reingaskabine auch nach unten hin abzudichten kann es vorgesehen sein, dass die Seitenwände mittelbar oder unmittelbar mit einem Boden der Reingaskabine verbunden sind und dass der Boden aus einer oder mehreren als Strukturkernplatten, insbesondere als Wabenkernplatten, ausgeführten Bodenplatten gebildet ist. Die Seitenwände sind dabei gasdicht mit dem Boden verbunden. Durch den Aufbau des Bodens mit Strukturkernplatten wird eine im Vergleich zu einem massiven Bodenaufbau deutliche Reduzierung des Gewichts der Reingaskabine erreicht.In order to seal the interior of the clean cab also downwards, it may be provided that the side walls are directly or indirectly connected to a bottom of the clean cab and that the bottom of one or more as a structural core plates, in particular honeycomb core, running bottom plates is formed. The side walls are gas-tight connected to the ground. By constructing the floor with structural core slabs, a significant reduction in the weight of the clean cabin is achieved compared to a massive floor structure.

Eine einfach zu montierende und dichte Verbindung der Seitenwände mit dem Boden der Reingaskabine kann dadurch erreicht werden, dass die Seitenwände mit ihren aufgesetzten, insbesondere aufgesteckten Profilschienen auf dem Boden aufgestellt und durch Halteklammern an dem Boden festgelegt sind und dass zwischen den Profilschienen und dem Boden Dichtelemente vorgesehen sind und/oder dass die Profilschienen mit dem Boden verklebt sind.An easy-to-install and tight connection of the side walls with the bottom of the clean cabin can be achieved that the side walls are placed with their attached, in particular plugged rails on the floor and fixed by retaining clips on the ground and that between the rails and the bottom sealing elements are provided and / or that the rails are glued to the ground.

Eine trittfeste und dennoch gasdichte Verbindung zwischen benachbarten Bodenplatten kann dadurch erreicht werden, dass an aneinanderstoßender Kanten benachbarter Bodenplatten ineinandergreifende Bodenschienen angeformt oder angeklebt sind und dass die Bodenschienen dicht miteinander verbunden sind. A firm, yet gas-tight connection between adjacent floor panels can be achieved by molding or gluing mating floor rails to abutting edges of adjacent floor panels and by sealing the floor rails together.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Erfindungsgestaltung kann es vorgesehen sein, dass die Reingaskabine nach oben durch einen aus zumindest einer Deckelplatte gebildeten Deckel abgeschlossen ist und dass die Deckelplatte aus einer Strukturkernplatte, insbesondere Wabenkernplatten, gebildet ist. Auch hier bietet die Strukturkernplatte die bereits beschriebenen Vorteile eines geringen Gewichts, einer hohen mechanischen Belastbarkeit bei geringer Durchbiegung sowie der Dichtheit gegenüber Gasen.According to a further preferred embodiment of the invention it can be provided that the clean cab is closed at the top by a cover formed from at least one cover plate and that the cover plate is formed from a structural core plate, in particular honeycomb core plates. Here, too, the structural core plate offers the already described advantages of low weight, high mechanical strength with low deflection and gas tightness.

Eine einfach zu montierende und dichte Verbindung der Seitenwände mit dem Deckel der Reingaskabine kann dadurch erreicht werden, dass die Seitenwände mit ihren aufgesetzten, insbesondere aufgesteckten Profilschienen mittelbar oder unmittelbar mit der zumindest einen Deckelplatte verbunden sind und/oder dass zwischen den Profilschienen und der Deckelplatte Dichtelemente vorgesehen sind und/oder dass die Profilschienen mit der Deckelplatte verklebt sind.An easy-to-install and tight connection of the side walls with the lid of the clean cabin can be achieved that the side walls are connected with their attached, in particular plugged rails directly or indirectly with the at least one cover plate and / or that between the rails and the cover plate sealing elements are provided and / or that the rails are glued to the cover plate.

Die Erfindung wird im Folgenden anhand eines in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert. Es zeigen:The invention will be explained in more detail below with reference to an embodiment shown in the drawings. Show it:

1 in perspektivischer Außenansicht eine Reingaskabine, 1 in perspective external view a clean cabin,

2 die in 1 gezeigte Reingaskabine in einer perspektivischen Innenansicht, 2 in the 1 shown clean cab in a perspective interior view,

3 die in den 1 und 2 gezeigte Reingaskabine in einer Explosionsdarstellung, 3 in the 1 and 2 shown clean cab in an exploded view,

4 eine Ecke der Reingaskabine in einer Schnittdarstellung von oben, 4 a corner of the clean cab in a sectional view from above,

5 einen in 3 gezeigten Ausschnitt mit einer Ecke der Reingaskabine in einer perspektivischen Außenansicht, 5 one in 3 shown detail with a corner of the clean cabin in a perspective exterior view,

6 einen in 3 gezeigten Ausschnitt mit einer Ecke der Reingaskabine in einer perspektivischen Innenansicht, 6 one in 3 shown detail with a corner of the clean cab in a perspective interior view,

7 einen in 3 gezeigten Ausschnitt mit einer Ecke der Reingaskabine in einer perspektivischen Außenansicht und in einer Explosionsdarstellung, 7 one in 3 shown section with a corner of the clean cabin in an external perspective view and in an exploded view,

8 einen in 3 gezeigten Ausschnitt mit einer Ecke der Reingaskabine in einer perspektivischen Außenansicht im Bereich zweier Verbindungsschienen, 8th one in 3 shown section with a corner of the clean cabin in an external perspective view in the region of two connecting rails,

9 zwei endseitig aneinanderstoßende Seitenwände mit einer in 8 gezeigten Verbindungsschiene in einer Schnittdarstellung, 9 two end-to-end side walls with an in 8th shown connecting rail in a sectional view,

10 einen in 3 gezeigten Ausschnitt mit einer vertikal angeordneten Verbindungsschiene in einer Außenansicht, 10 one in 3 shown section with a vertically arranged connecting rail in an external view,

11 einen in 3 gezeigten Ausschnitt mit einer vertikal angeordneten Verbindungsschiene und einem oberen Abschluss einer ersten vertikalen Seitenwand in einer Außenansicht, 11 one in 3 shown section with a vertically arranged connecting rail and an upper end of a first vertical side wall in an external view,

12 einen in 3 gezeigten Ausschnitt mit einer vertikal angeordneten Verbindungsschiene und einem unteren Abschluss einer ersten vertikalen Seitenwand in einer Außenansicht, 12 one in 3 shown section with a vertically arranged connecting rail and a lower end of a first vertical side wall in an exterior view,

13 einen in 3 gezeigten Ausschnitt mit einer vertikal angeordneten Verbindungsschiene und einem unteren Abschluss einer fünften und einer sechsten Seitenwand in einer Innenansicht, 13 one in 3 shown section with a vertically arranged connecting rail and a lower end of a fifth and a sixth side wall in an interior view,

14 einen in 3 gezeigten Ausschnitt im Bereich zweier aneinandergrenzender Bodenplatten in einer Explosionsdarstellung, 14 one in 3 shown section in the area of two adjacent floor panels in an exploded view,

15 einen Träger der Reingaskabine in einer perspektivischen Darstellung, 15 a carrier of the clean cab in a perspective view,

16 den in 15 gezeigten Träger in einer Schnittdarstellung mit Blick in Richtung der Längserstreckung des Trägers, 16 the in 15 shown carrier in a sectional view looking in the direction of the longitudinal extent of the carrier,

17 einen in 3 gezeigten Ausschnitt im Bereich eines Deckels der Reingaskabine und 17 one in 3 shown detail in the area of a lid of the clean gas cabin and

18 einen in 3 gezeigten Ausschnitt im Bereich einer Befestigung einer Tragekonstruktion der Reingaskabine. 18 one in 3 shown section in the field of attachment of a support structure of the clean cab.

1 zeigt in einer perspektivischen Außenansicht eine Reingaskabine 10. Für eine leichtere Übertragbarkeit der folgenden Ausführungen sind eine Vorderseite 10.1 und eine Rückseite 10.2 der Reingaskabine 10 frei festgelegt. 1 shows in a perspective exterior view of a clean cabin 10 , For easier transferability of the following designs are a front 10.1 and a back 10.2 the clean cabin 10 freely set.

Die Reingaskabine 10 weist einen polygonalen Grundriss auf. Im gezeigten Ausführungsbeispiel ist der Grundriss sechseckig. Auf einem entsprechend sechseckigen Boden 20 sind Seitenwände 30 aufgestellt. Die Seitenwände 30 orientieren sich dabei an Positionierelementen 21, die außen an dem Boden 20 angebracht sind. In der gewählten Ansicht von der Vorderseite 10.1 sind links eine erste vertikale Seitenwand 30.1 und übereinander angeordnet eine erste, eine zweite und eine dritte horizontale Seitenwand 30.8, 30.9, 30.10 vorgesehen. Weitere vertikale Seitenwände 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7 sind in 3 gezeigt. Die erste vertikale Seitenwand 30.1 umfasst eine erste Ecke 11.1 der Reingaskabine 10. Die drei horizontalen Seitenwände 30.8, 30.9, 30.10 umspannen eine zweite und eine dritte Ecke 11.2, 11.3. In dem mittleren Bereich der zweiten horizontalen Seitenwand 30.9 ist ein Ausschnitt 31 vorgesehen, in den eine Zwischentür 35 eingesetzt ist.The clean cab 10 has a polygonal floor plan. In the embodiment shown, the floor plan is hexagonal. On a hexagonal floor 20 are sidewalls 30 established. The side walls 30 are based on positioning elements 21 outside on the ground 20 are attached. In the selected view from the front 10.1 are on the left a first vertical side wall 30.1 and disposed one above the other, a first, a second and a third horizontal side wall 30.8 . 30.9 . 30.10 intended. More vertical side walls 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 are in 3 shown. The first vertical sidewall 30.1 includes a first corner 11.1 the clean cabin 10 , The three horizontal side walls 30.8 . 30.9 . 30.10 span a second and a third corner 11.2 . 11.3 , In the middle area of the second horizontal side wall 30.9 is a section 31 provided in the an intermediate door 35 is used.

An den Übergängen zwischen den Seitenwänden 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 sind Verbindungsschienen 60 vorgesehen, welche mittels Verbindungsklammern 61 mit den Seitenwänden 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 verbunden sind.At the transitions between the side walls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 are connecting rails 60 provided, which by means of connecting brackets 61 with the side walls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 are connected.

Oben ist die Reingaskabine 10 mit einem Deckel 40 abgeschlossen. Der Deckel 40 weist ebenfalls eine sechseckige Grundstruktur auf. Die Fläche des Deckels 40 ist aus vier Deckelplatten 43 gebildet. Die Deckelplatten 43 sind mit Befestigungselementen 44 und Rand-Befestigungselementen 45 gehalten. Umlaufend zu den Deckelplatten 43 ist eine Umrandung 42 vorgesehen, an der ein Geländer 41 befestigt ist.Above is the clean cab 10 with a lid 40 completed. The lid 40 also has a hexagonal basic structure. The area of the lid 40 is made of four cover plates 43 educated. The cover plates 43 are with fasteners 44 and edge fasteners 45 held. Circumferential to the cover plates 43 is a border 42 provided at the a railing 41 is attached.

Seitlich an der Reingaskabine 10 sind zwei Zirkulationsleitungen 50.1, 50.2 in Form von rechteckigen Kanälen befestigt. Die Zirkulationsleitungen 50.1, 50.2 sind über Zuführungen 51.1, 51.2 und Entnahmestellen 52.1, 52.2, wie sie in den 1, 2 und 3 dargestellt sind, mit dem Innenraum der Reingaskabine 10 verbunden. Dazu sind entsprechende Durchbrüche in der ersten und der dritten horizontalen Seitentwand 30.8, 30.10 sowie in der in 3 gezeigten zweiten vertikalen Seitenwand 30.2 vorgesehen.Laterally at the clean cabin 10 are two circulation pipes 50.1 . 50.2 attached in the form of rectangular channels. The circulation pipes 50.1 . 50.2 are about feeders 51.1 . 51.2 and withdrawal points 52.1 . 52.2 as they are in the 1 . 2 and 3 are shown, with the interior of the clean cab 10 connected. These are corresponding openings in the first and the third horizontal side wall 30.8 . 30.10 as well as in the 3 shown second vertical side wall 30.2 intended.

Die Reingaskabine 10 stellt ein gegenüber seiner Umgebung abgedichtetes Gehäuse dar. Innerhalb der Reingaskabine 10 können Fertigungsanlagen oder Laboraufbauten usw. angeordnet werden. Weiterhin kann in der Reingaskabine 10 eine vorgegebene Atmosphäre eingestellt werden. Dazu kann ein bestimmtes Gas oder ein Gasgemisch mit einer vorgegebenen Zusammensetzung in dem Innenraum der Reingaskabine 10 vorliegen. Bei dem Gas oder Gasgemisch kann es sich um ein Inertgas handeln. Weiterhin kann die Feuchte des Gases oder des Gasgemischs eingestellt werden. Als zusätzliche Anforderung kann eine erforderliche Reinraumklasse für die Reingaskabine 10 vorgegeben sein. Die Anforderungen können sowohl einzeln wie in Kombination gelten. Zusätzliche können weitere Atmosphärenparameter, beispielsweise die Temperatur und Druck eingestellt werden. Als Reingas entsprechend der vorliegenden Erfindung ist eine Atmosphäre, welche den geforderten Anforderungen entspricht, zu verstehen.The clean cab 10 represents a sealed housing to its environment. Inside the clean cabin 10 For example, production equipment or laboratory equipment, etc. can be arranged. Furthermore, in the clean cabin 10 set a predetermined atmosphere. For this purpose, a specific gas or a gas mixture having a predetermined composition in the interior of the clean gas cabin 10 available. The gas or gas mixture may be an inert gas. Furthermore, the humidity of the gas or the gas mixture can be adjusted. As an additional requirement, a required clean room class for the clean cabin 10 be predetermined. The requirements can apply both individually and in combination. In addition, other atmospheric parameters, such as temperature and pressure, can be adjusted. As pure gas according to the present invention, an atmosphere which meets the required requirements, to understand.

Je nach erforderlicher Atmosphäre ist die Reingaskabine 10 mit entsprechenden Aggregaten zur Bereitstellung bzw. Erzeugung dieser Atmosphäre ausgerüstet. In der vorliegenden Ausführung weist die Reingaskabine 10 die beiden Zirkulationsleitungen 50.1, 50.2 auf. Über diese wird an den Entnahmestellen 52.1, 52.2 Gas aus Reingaskabine 10 entnommen und über die Zuführungen 51.1, 51.2 wieder der Reingaskabine 10 zugeführt. Dabei wird das Gas einer in 2 gezeigten Gasaufbereitungseinheit 55 zugeführt. Die Gasaufbereitungseinheit 55 steht in Verbindung mit dem Innenraum der Reingaskabine 10. Das in der Gasaufbereitungseinheit 55 aufbereitete Gas wird nach Durchströmen der Gasaufbereitungseinheit 55 über die Entnahmestellen 52.1, 52.2, den Zirkulationsleitungen 50.1, 50.2 und den Zuführungen 51.1, 51.2 dem Innenraum der Reingaskabine 10 zugeführt. Die Gasaufbereitung umfasst die Einstellung der für den Innenraum der Reingaskabine 10 erforderten Atmosphäre.Depending on the required atmosphere is the clean cab 10 equipped with appropriate units for providing or generating this atmosphere. In the present embodiment, the clean cabin indicates 10 the two circulation pipes 50.1 . 50.2 on. About these will be at the sampling points 52.1 . 52.2 Gas from clean gas cabin 10 taken and over the feeders 51.1 . 51.2 again the clean cabin 10 fed. The gas becomes an in 2 shown gas processing unit 55 fed. The gas conditioning unit 55 is in connection with the interior of the clean cabin 10 , That in the gas processing unit 55 processed gas becomes after flowing through the gas treatment unit 55 via the sampling points 52.1 . 52.2 , the circulation pipes 50.1 . 50.2 and the feeders 51.1 . 51.2 the interior of the clean cabin 10 fed. The gas treatment includes the setting for the interior of the clean gas cabin 10 required atmosphere.

Die Reingaskabine 10 ermöglicht so die Durchführung von Fertigungsprozessen oder Arbeitsschritten, die eine spezielle Atmosphäre erfordern. Solche Fertigungsschritte können Beschichtungsprozesse, Verkapselungsprozesse oder die Verarbeitung oder Herstellung hochreiner Substanzen, beispielsweise im pharmazeutischen Bereich, sein. Die Zuführung benötigter Materialien und Substanzen erfolgt über vorgesehene Schleusen, im vorliegenden Ausführungsbeispiel zum Beispiel über die Zwischentür 35. Dabei kann die Zwischentür 35 eine Verbindung zu einer der Reingaskabine 10 angeschlossenen/verbundenen Kammer darstellen.The clean cab 10 thus enables the execution of manufacturing processes or operations that require a special atmosphere. Such manufacturing steps can be coating processes, encapsulation processes or the processing or production of highly pure substances, for example in the pharmaceutical sector. The supply of required materials and substances via provided locks, for example, via the intermediate door in the present embodiment 35 , In this case, the intermediate door 35 a connection to one of the clean cabins 10 connected / connected chamber.

Erfindungsgemäß sind die Seitenwände 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 aus Strukturkernplatten 12 gebildet, wie sie näher zu 4 beschrieben sind. Dabei können die Seitenwände 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 als Wabenkernplatten oder als Aluminium-Wabenkernplatten ausgeführt sein. Strukturkernplatten weisen einen mehrschichtigen Aufbau auf. Wie in 4 gezeigt, sind zumindest zwei beabstandete Deckplatten 12.1, 12.2 flächig mit einem Strukturkern 12.3 verbunden. Die Deckplatten 12.1, 12.2 und der Strukturkern 12.3 sind in der vorliegenden Ausführungsvariante aus Aluminium gefertigt. Der Strukturkern 12.3 ist als Wabenkern ausgeführt. Auf diese Weise werden Platten mit einer hohen Biegesteifigkeit und gleichzeitig einem geringen Gewicht erzeugt. Die Reingaskabine 10 weist somit ein deutlich geringeres Gewicht als eine mit massiven Aluminium- oder Edelstahlwänden hergestellte Reingaskabine 10 auf. Dadurch wird die Bodenbelastung, die sich aus dem Gewicht der umbauten Anlagenteile und der Reingaskabine 10 ergibt, deutlich reduziert. Die Reingaskabine 10 kann somit auch in Gebäuden mit geringer Bodenbelastbarkeit eingesetzt werden. Weiterhin erleichtert ein geringeres Gewicht die Aufstellung der Reingaskabine 10 an ihrem Einsatzort, da hierzu keine Hebevorrichtungen oder Hebevorrichtungen mit einer geringen Belastbarkeit benötigt werden.According to the invention, the side walls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 made of structural core plates 12 formed as they get closer 4 are described. The side walls can 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 be executed as honeycomb core plates or as aluminum honeycomb core plates. Structural core plates have a multilayer structure. As in 4 shown are at least two spaced cover plates 12.1 . 12.2 flat with a structural core 12.3 connected. The cover plates 12.1 . 12.2 and the structural core 12.3 are made in the present embodiment of aluminum. The structural core 12.3 is designed as a honeycomb core. In this way plates are produced with a high bending stiffness and at the same time a low weight. The clean cab 10 Thus, it has a significantly lower weight than a clean cabin made with solid aluminum or stainless steel walls 10 on. This will reduce the floor load resulting from the weight of the remodeled equipment parts and the clean cab 10 results, clearly reduced. The clean cab 10 can thus also be used in buildings with low floor load capacity. Furthermore, a lighter weight facilitates the installation of the clean cabin 10 at their place of use, as this no lifting or lifting devices are required with a low load capacity.

Um das Gewicht der Reingaskabine 10 weiter zu reduzieren sind auch die Deckelplatten 43 aus Strukturkernplatten 12, im vorliegenden Ausführungsbeispiel aus Aluminium-Wabenkernplatten, gebildet.To the weight of the clean cabin 10 to further reduce are also the cover plates 43 made of structural core plates 12 , formed in the present embodiment of aluminum honeycomb core plates.

2 zeigt die in 1 gezeigte Reingaskabine 10 in einer perspektivischen Innenansicht. Dabei erfolgt der Einblick in die Reingaskabine 10 von deren Rückseite 10.2 aus. 2 shows the in 1 shown clean cabin 10 in a perspective interior view. Here, the insight into the clean cabin takes place 10 from the back 10.2 out.

Auf dem Boden 20 der Reingaskabine 10 ist entlang der Seitenwände 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 ein Gas-Zuführungskanal 53 angebracht. Der Gas-Zuführungskanal 53 ist mit dem Boden 20 und den Seitenwänden 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 verbunden. Die erste Zuführung 52.1 und die in 3 gezeigte zweite Zuführung 52.2 der Zirkulationsleitungen 50.1, 50.2 führen in den Gas-Zuführungskanal 53. Dieser ist über gelochte Abdeckgitter 54, die seitlich und oben auf dem Gas-Zuführungskanal 53 angeordnet sind, mit dem Innenraum der Reingaskabine 10 verbunden.On the ground 20 the clean cabin 10 is along the sidewalls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 a gas supply channel 53 appropriate. The gas supply channel 53 is with the ground 20 and the side walls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 connected. The first feeder 52.1 and the in 3 shown second feeder 52.2 the circulation pipes 50.1 . 50.2 lead into the gas supply channel 53 , This is over perforated grille 54 located on the side and top of the gas supply duct 53 are arranged, with the interior of the clean cabin 10 connected.

Zwischen den gezeigten horizontalen Seitenwänden 30.8, 30.9, 30.10 sind Verbindungsschienen 60 angeordnet, welche zum Innenraum der Reingaskabine 10 hin jeweils ein angeformtes Hohlprofil 60.2 aufweisen. Die Seitenwände 30.8, 30.9, 30.10 liegen an den Hohlprofilen 60.2 an. Der Aufbau der Verbindungsschienen 60 des gezeigten Ausführungsbeispiels ist vergrößert und im Schnitt in 9 gezeigt.Between the horizontal side walls shown 30.8 . 30.9 . 30.10 are connecting rails 60 arranged, which to the interior of the clean cabin 10 in each case an integrally formed hollow profile 60.2 exhibit. The side walls 30.8 . 30.9 . 30.10 lie on the hollow profiles 60.2 at. The structure of the connecting rails 60 the embodiment shown is enlarged and in section in 9 shown.

Ein oberer Bereich des Innenraums der Reingaskabine 10 ist durch eine Tragekonstruktion 70 abgegrenzt. An der Tragekonstruktion 70 ist nach unten eine Decke 13 befestigt, die zumindest teilweise als Lochdecke ausgeführt ist. Auf der Tragekonstruktion 70 sind Filter (und evtl. Temperierungseinrichtungen in Form von Wasserluft-Wärmetauscher) 56 der Gasaufbereitungseinheit 55 gelagert. Oberhalb der Filter (Wärmetauscher) ist eine Unterkonstruktion 46 angeordnet, auf welcher der Deckel 40 der Reingaskabine 10 gelagert ist. Die Tragekonstruktion 70 und die Unterkonstruktion 46 sind mit Trägern 80 aufgebaut, die an den Seitenwänden 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 festgelegt sind.An upper area of the interior of the clean cabin 10 is through a support structure 70 demarcated. On the support structure 70 is down a blanket 13 attached, which is at least partially designed as a perforated ceiling. On the support structure 70 are filters (and possibly temperature control devices in the form of water-air heat exchangers) 56 the gas processing unit 55 stored. Above the filter (heat exchanger) is a substructure 46 arranged on which the lid 40 the clean cabin 10 is stored. The support structure 70 and the substructure 46 are with straps 80 built on the side walls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 are fixed.

Die Fertigungsanlagen oder Laboraufbauten usw. können auf dem Boden 20 der Reingaskabine 10 aufgestellt werden. Bei der Fertigungsanlage oder dem Laboraufbau kann es sich beispielsweise um einen Roboter handeln, der einen oder mehrere Arbeitsschritte in der eingestellten Atmosphäre der Reingaskabine 10 durchführt.The manufacturing equipment or laboratory equipment etc. can be on the ground 20 the clean cabin 10 be set up. For example, the manufacturing plant or the laboratory structure may be a robot that performs one or more work steps in the set atmosphere of the clean gas cabin 10 performs.

Das Gas wird über die Entnahmestellen 52.1, 52.2 dem Innenraum der Reingaskabine 10 entnommen und über die Zuführungen 51.1, 51.2 dem Innenraum wieder zugeführt. Dazu wird das Gas durch die Filter 56 in den Zwischenraum zwischen der Decke 13 und dem Deckel 40 gesogen und dann den Zirkulationsleitungen 50.1, 50.2 zugeführt. Die Decke 13 ist unterhalb der Filter 56 gelocht ausgeführt. Alternativ kann die Decke 13 unterhalb der Filter 56 auch ausgespart sein. Der Innenraum der Reingaskabine 10 wird somit von oben nach unten von dem Gas durchströmt. Dazu sind in den Zirkulationsleitungen 50.1, 50.2 nicht dargestellt entsprechende Ventilatoren vorgesehen.The gas is delivered via the sampling points 52.1 . 52.2 the interior of the clean cabin 10 taken and over the feeders 51.1 . 51.2 fed back to the interior. This is done by the gas through the filters 56 in the space between the ceiling 13 and the lid 40 sucked and then the circulation pipes 50.1 . 50.2 fed. The ceiling 13 is below the filters 56 perforated executed. Alternatively, the ceiling 13 below the filters 56 also be omitted. The interior of the clean gas cabin 10 is thus flowed through from top to bottom of the gas. These are in the circulation pipes 50.1 . 50.2 not shown corresponding fans provided.

3 zeigt die in den 1 und 2 gezeigte Reingaskabine 10 in einer Explosionsdarstellung. 3 shows the in the 1 and 2 shown clean cabin 10 in an exploded view.

Eine vierte Ecke 11.4 der Reingaskabine 10 ist innerhalb der siebten vertikalen Seitenwand 30.7 angeordnet. Eine fünfte Ecke 11.5 verläuft innerhalb der fünften vertikalen Seitenwand 30.5, während eine sechste Ecke 11.6 entlang der dritten vertikalen Seitenwand 30.3 verläuft. Die Stoßkanten zwischen den Seitenwänden 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 verlaufen nicht entlang der Ecken 11.1, 11.2, 11.3, 11.4, 11.5, 11.6 der Reingaskabine 10. Sie sind entlang geradlinig verlaufender Abschnitte der Außenwand der Reingaskabine 10 angeordnet. Dadurch können die Übergänge zwischen den Seitenwänden 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 gut abgedichtet werden.A fourth corner 11.4 the clean cabin 10 is inside the seventh vertical sidewall 30.7 arranged. A fifth corner 11.5 runs inside the fifth vertical sidewall 30.5 while a sixth corner 11.6 along the third vertical sidewall 30.3 runs. The abutting edges between the side walls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 do not run along the corners 11.1 . 11.2 . 11.3 . 11.4 . 11.5 . 11.6 the clean cabin 10 , They are along rectilinear sections of the outer wall of the clean cab 10 arranged. This allows the transitions between the sidewalls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 be sealed well.

An den Seitenwänden 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 sind Befestigungsschienen 71 zur Befestigung der Tragekonstruktion 70 angebracht.On the side walls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 are fastening rails 71 for fixing the support structure 70 appropriate.

Der Boden 20 ist aus aneinandergrenzenden Bodenplatten 22.1, 22.2, 22.3 gebildet. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel sind drei Bodenplatten 22.1, 22.2, 22.3 vorgesehen. Um das Gewicht der Reingaskabine 10 zu reduzieren, sind die Bodenplatten 22.1, 22.2, 22.3 aus Strukturkernplatten 12, im vorliegenden Ausführungsbeispiel aus Aluminium-Wabenkernplatten, gebildet.The floor 20 is made of adjoining floor slabs 22.1 . 22.2 . 22.3 educated. In the present embodiment, three floor panels 22.1 . 22.2 . 22.3 intended. To the weight of the clean cabin 10 to reduce, are the bottom plates 22.1 . 22.2 . 22.3 made of structural core plates 12 , formed in the present embodiment of aluminum honeycomb core plates.

Die Ausschnitte V, VI, VII, VIII, X, XI, XII, XIII, XIV, XVII, XVIII sind in den 5, 6, 7, 8, 10, 11, 12, 13, 14, 17 und 18 vergrößert dargestellt.The sections V, VI, VII, VIII, X, XI, XII, XIII, XIV, XVII, XVIII are in the 5 . 6 . 7 . 8th . 10 . 11 . 12 . 13 . 14 . 17 and 18 shown enlarged.

Zur Herstellung werden die verschiedenen Bauteile der Reingaskabine 10 vorgefertigt. Dabei werden die Bodenplatten 22.1, 22.2, 22.3, die Seitenwände 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 und die Deckelplatten 43 aus Strukturkernplatten 12 zugeschnitten. Benötigte Ausnehmungen, wie der Ausschnitt 31 für die Zwischentür 35 und die Entnahmestellen 52.1, 52.2 und Zuführungen 51.1, 51.2 der Zirkulationsleitungen 50.1, 50.2, werden in die Seitenwände 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 eingebracht. Die in den Eckbereichen angeordneten Seitenwände 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 werden entlang der späteren Ecken 11.1, 11.2, 11.3, 11.4, 11.5, 11.6 der Reingaskabine 10 gebogen, wie dies zu 4 näher erläutert ist. Die Träger 80 werden zugeschnitten und zur Tragekonstruktion 70 und zur Unterkonstruktion 46 zusammengebaut. Die Deckelplatten 43 werden mit der Unterkonstruktion 46 mittels der Befestigungselemente 44 verbunden.For the production, the various components of the clean cabin 10 prefabricated. there become the floor plates 22.1 . 22.2 . 22.3 , the side walls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 and the cover plates 43 made of structural core plates 12 tailored. Required recesses, such as the neckline 31 for the intermediate door 35 and the withdrawal points 52.1 . 52.2 and feeders 51.1 . 51.2 the circulation pipes 50.1 . 50.2 , be in the side walls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 brought in. The side walls arranged in the corners 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 be along the later corners 11.1 . 11.2 . 11.3 . 11.4 . 11.5 . 11.6 the clean cabin 10 bent, like this too 4 is explained in more detail. The carriers 80 are tailored and to the support structure 70 and to the substructure 46 assembled. The cover plates 43 be with the substructure 46 by means of the fastening elements 44 connected.

Zur Montage der Reingaskabine 10 werden die Bodenplatten 22.1, 22.2, 22.3 zu dem Boden 22 verbunden und die Positionierelemente 21 angebracht. Die Fertigungsanlage oder der Laboraufbau wird auf dem Boden 22 positioniert. Anschließend werden die Seitenwände 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 aufgestellt und mittels der Verbindungsschienen 60 untereinander sowie mit den Bodenplatten 22.1, 22.2, 22.3 gasdicht verbunden. Dabei liegen die Seitenwände 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 einseitig an den Positionierelementen 21 an. Die Befestigungsschienen 71 werden an den Seitenwänden 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 befestigt und die Tragekonstruktion 70 eingelegt. Die Aggregate der Gasaufbereitungseinheit 55 werden installiert. Anschließend wird der Deckel 40 aufgesetzt und gasdicht mit den Seitenwänden 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 verbunden. Zugänge, wie die Zwischentür 35, werden montiert. Abschließend werden weitere Baugruppen, wie die Zirkulationsleitungen 50.1, 50.2, der Gaszuführungskanal 53, die Umrandung 42 und das Geländer 41, angebracht. Das Vorgehen bietet den Vorteil, dass keine vorgefertigte Haube als Ganzes transportiert werden muss, sondern die einzelnen Bauteile vor Ort verbaut werden. Hebeeinrichtungen sind daher nicht erforderlich und der Transport der Bauteile zu dem Aufstellungsort ist einfach und daher kostengünstig.For mounting the clean cabin 10 become the floor plates 22.1 . 22.2 . 22.3 to the ground 22 connected and the positioning elements 21 appropriate. The manufacturing plant or laboratory setup will be on the ground 22 positioned. Subsequently, the side walls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 placed and by means of the connecting rails 60 with each other and with the floor panels 22.1 . 22.2 . 22.3 connected gas-tight. Here are the side walls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 one-sided on the positioning elements 21 at. The mounting rails 71 be on the side walls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 attached and the support structure 70 inserted. The aggregates of the gas treatment unit 55 are being installed. Subsequently, the lid 40 fitted and gas-tight with the side walls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 connected. Entrances, like the intermediate door 35 , are mounted. Finally, other assemblies, such as the circulation pipes 50.1 . 50.2 , the gas supply channel 53 , the outline 42 and the railing 41 , appropriate. The procedure offers the advantage that no prefabricated hood must be transported as a whole, but the individual components are installed on site. Hoists are therefore not required and the transport of the components to the site is easy and therefore inexpensive.

In einem alternativen Vorgehen wird zunächst die Haube der Reingaskabine 10, bestehend aus den Seitenwände 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10, der Tragekonstruktion 70 und der Unterkonstruktion 46 mit dem Deckel 40, vormontiert. Abhängig von der jeweiligen Situation können weitere Bauteile und Baugruppen an der Haube vormontiert werden.In an alternative procedure, first the hood of the clean cab 10 consisting of the side walls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 , the carrying structure 70 and the substructure 46 with the lid 40 , pre-assembled. Depending on the situation, further components and assemblies can be pre-assembled on the hood.

Zur Installation der Reingaskabine 10 wird der Boden 20 aufgebaut, die Positionierelemente 21 daran angebracht und die Fertigungsanlage oder der Laboraufbau darauf aufgestellt. Anschließend wird die vormontierte Haube von oben auf den Boden 20 aufgestellt. Vorteilhaft hierbei ist, dass die Haube in ihrer Funktion und Dichtheit bereits vorher geprüft werden kann. Weiterhin kann der Aufbau vor Ort schnell und damit beispielsweise ohne lange Unterbrechungen einer laufenden Fertigung durchgeführt werden.To install the clean cabin 10 becomes the ground 20 constructed, the positioning elements 21 attached to it and set up the manufacturing plant or laboratory setup on it. Subsequently, the preassembled hood from above on the ground 20 established. The advantage here is that the hood can be tested in advance in their function and tightness. Furthermore, the structure can be done quickly on site and thus, for example, without long interruptions of an ongoing production.

4 zeigt eine Ecke 11 der Reingaskabine 10 in einer Schnittdarstellung von oben. Die Ecke 11 steht dabei stellvertretend für die bereits eingeführten Ecken 11.1, 11.2, 11.3, 11.4, 11.5, 11.6. Eine Strukturkernplatte 12 ist aus zwei beabstandet gegenüberstehenden Deckplatten 12.1, 12.2 und einem Strukturkern 12.3 gebildet. Der Strukturkern 12.3 verbindet die beiden Deckplatten 12.1, 12.2. Die Strukturkernplatte 12 bildet die Ecke 11 aus. Dazu sind die äußere zweite Deckplatte 12.2 und der Strukturkern 12.3 erfindungsgemäß entlang der Ecke 11 aufgetrennt. Die innere erste Deckplatte 12.1 ist entlang der Kante 11 gebogen. Dabei ist die innere erste Deckplatte 12.1 entlang der Kante 11 derart gebogen, dass sie auf ihrer dem Strukturkern 12.3 abgewandten Seite einen Innenwinkel ausbildet. Durch die Biegung der Strukturkernplatte 12 bildet sich entlang der Trennlinie der ersten Deckplatte 12.1 und des Strukturkerns 12.3 ein geöffneter Spalt 32 aus. Dieser ist durch eine Eckenabdeckung 33 abgedeckt. Die Eckenabdeckung 33 ist durch zwei im Winkel zueinander stehende Schenkel 33.1, 33.2 gebildet. Dabei entspricht der Winkel dem erforderlichen Winkel der Kante 11 der Reingaskabine 10. Die Schenkel 33.1, 33.2 sind jeweils auf einer Seite des Spalts 32 mit der äußeren zweiten Deckplatte 12.1 der Strukturkernplatte 12 verbunden, insbesondere verklebt. 4 shows a corner 11 the clean cabin 10 in a sectional view from above. The corner 11 stands for the already introduced corners 11.1 . 11.2 . 11.3 . 11.4 . 11.5 . 11.6 , A structural core plate 12 is made up of two spaced-apart cover plates 12.1 . 12.2 and a structural core 12.3 educated. The structural core 12.3 connects the two cover plates 12.1 . 12.2 , The structural core plate 12 forms the corner 11 out. These are the outer second cover plate 12.2 and the structural core 12.3 according to the invention along the corner 11 separated. The inner first cover plate 12.1 is along the edge 11 bent. Here is the inner first cover plate 12.1 along the edge 11 bent so that they are on their structural core 12.3 turned away side forms an interior angle. Due to the bending of the structural core plate 12 forms along the dividing line of the first cover plate 12.1 and the structural core 12.3 an open gap 32 out. This is through a corner cover 33 covered. The corner cover 33 is by two legs at an angle to each other 33.1 . 33.2 educated. The angle corresponds to the required angle of the edge 11 the clean cabin 10 , The thigh 33.1 . 33.2 are each on one side of the gap 32 with the outer second cover plate 12.1 the structural core plate 12 connected, in particular glued.

Die Strukturkernpatten 12 weist durch ihren Aufbau eine hohe Stabilität und Biegesteifigkeit bei gleichzeitig geringem Eigengewicht auf. Daher kann eine Reingaskabine 10 mit einem gegenüber herkömmlichen Wandmaterialien, wie massivem Aluminium oder Edelstahl, sehr geringen Gewicht aufgebaut werden. Durch die beiden Deckplatten 12.1, 12.2 sind Strukturkernplatten gasdicht. Auch zwischen den Deckplatten 12.1, 12.2 kann Gas nicht innerhalb des Strukturkerns 12.3 quer zur Flächennormalen der Strukturkernplatte 11 strömen, da die Strukturkernelemente in diese Richtung untereinander und zu den Deckplatten 12.1, 12.2 dicht verbunden sind. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel sind Strukturkernplatten 12 mit einem Wabenkern als Strukturkern 12.3 vorgesehen. Wabenkerne führen zu einer hohen Biegesteifigkeit der Strukturkernplatten 12, während sie quer zur Flächennormalen der Strukturkernplatten 12 gasdicht ausgeführt werden können.The structural core plates 12 has a high stability and bending stiffness with its low weight due to its structure. Therefore, a clean cabin 10 be built with a compared to conventional wall materials, such as solid aluminum or stainless steel, very low weight. Through the two cover plates 12.1 . 12.2 are structural core plates gas-tight. Also between the cover plates 12.1 . 12.2 can not gas inside the structural core 12.3 transverse to the surface normal of the structural core plate 11 flow, since the structural core elements in this direction with each other and to the cover plates 12.1 . 12.2 are tightly connected. In the present embodiment are structural core plates 12 with a honeycomb core as structural core 12.3 intended. Honeycomb cores lead to a high bending stiffness of the structural core plates 12 while transversely to the surface normal of the structural core plates 12 can be performed gas-tight.

Da zur Ausbildung der Kante 11 nur die äußere zweite Deckplatte 12.2 und der Strukturkern 12.3 aufgetrennt wurden und die innere erste Deckplatte 12.1 erfindungsgemäß nicht aufgetrennt, sondern lediglich gebogen wurde, bleibt die Strukturkernplatte 12 im Bereich der Kante 11 gasdicht. Dies ist eine Grundvoraussetzung für den Einsatz als Seitenwand 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 einer Reingaskabine 10. Da die Strukturkernplatte 12 quer zur Flächennormalen gasdicht ist, kann über den Spalt 32 kein Gas eingebracht und quer zur Strukturkernplatte 12 zu einem möglichen, von der Ecke 11 beabstandeten Durchbruch der inneren ersten Deckplatte 12.1 und damit in das Innere der Reingaskabine 10 gelangen. As for the formation of the edge 11 only the outer second cover plate 12.2 and the structural core 12.3 were separated and the inner first cover plate 12.1 not according to the invention separated, but only bent, remains the structural core plate 12 in the area of the edge 11 gas-tight. This is a prerequisite for use as a side wall 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 a clean cabin 10 , As the structural core plate 12 is gas-tight across the surface normal, can across the gap 32 no gas introduced and across the structural core plate 12 to a possible, from the corner 11 spaced breakthrough of the inner first cover plate 12.1 and thus into the interior of the clean cabin 10 reach.

Durch die Eckenabdeckung 33 wird der Winkel der Kante 11 vorgegeben und stabilisiert. Zusätzlich dichtet die Eckenabdeckung 33 den Bereich des Spalts 32 ab. Sie verhindert weiterhin, dass die innere erste Deckplatte 12.1 versehentlich von außen durch den Spalt 32 beschädigt wird. Vorzugsweise ist die Eckenabdeckung 33 eine entlang ihrer Längserstreckung gebogene Schiene, insbesondere aus Aluminium.Through the corner cover 33 becomes the angle of the edge 11 given and stabilized. In addition, the corner cover seals 33 the area of the gap 32 from. It further prevents the inner first cover plate 12.1 accidentally from the outside through the gap 32 is damaged. Preferably, the corner cover 33 a rail bent along its longitudinal extension, in particular of aluminum.

Im vorliegenden Ausführungsbeispiel ist die Strukturelementplatte 12 als Aluminium-Wabenkernplatte ausgeführt. Dabei sind die Deckplatten 12.1, 12.2 und der Strukturkern 12.3 aus Aluminium gefertigt. Der Strukturkern 12.3 weist eine Wabenstruktur auf. Damit werden dichte, mechanisch sehr stabile Seitenwände 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 erhalten. Aluminium verhält sich vorteilhaft gegenüber den meisten innerhalb der Reingaskabine 10 erforderlichen Atmosphären inert.In the present embodiment, the structural element plate 12 designed as aluminum honeycomb core plate. Here are the cover plates 12.1 . 12.2 and the structural core 12.3 made of aluminum. The structural core 12.3 has a honeycomb structure. This results in dense, mechanically very stable side walls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 receive. Aluminum behaves favorably over most of the clean cabin 10 required atmospheres inert.

5 zeigt einen in 3 gezeigten Ausschnitt V mit einer zweiten Ecke 11.2 der Reingaskabine 10 in einer perspektivischen Außenansicht. Entlang der zweiten Ecke 11.2 ist die Eckenabdeckung auf die äußere zweite Deckplatte 12.2 der Strukturkernplatte 12 aufgeklebt. Auf die obere Kante der ersten horizontalen Seitenwand 30.8 sind zwei Profilschienen 62 aufgesteckt. Dabei ist die erste horizontale Seitenwand 30.8 in Aufnahmebereiche 62.2 der benachbarten Profilschienen 62 eingeführt. Auf den den Öffnungen der Aufnahmebereiche 62.2 gegenüberliegenden Seiten der Profilschienen 62 sind beidseitige zwei Auflagestreifen 62.1 einstückig an die Aufnahmebereiche 62.2 angeformt. Im Bereich der zweiten Kante 11.2 stoßen die auf Gehrung geschnittene Profilschienen 62 aufeinander. 5 shows an in 3 shown section V with a second corner 11.2 the clean cabin 10 in a perspective exterior view. Along the second corner 11.2 is the corner cover on the outer second cover plate 12.2 the structural core plate 12 glued. On the upper edge of the first horizontal side wall 30.8 are two profiled rails 62 attached. Here is the first horizontal side wall 30.8 in reception areas 62.2 the adjacent profile rails 62 introduced. On the openings of the receiving areas 62.2 opposite sides of the rails 62 are two-sided two support strips 62.1 in one piece to the receiving areas 62.2 formed. In the area of the second edge 11.2 the profiled rails come off 62 each other.

Die Profilschienen 62 decken die offenen Kanten der als Strukturkernplatte 12 ausgeführten Seitenwände 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 nach oben ab. Bei montierter Reingaskabine 10 bilden die Auflagestreifen 62.1 Kontaktflächen zu dem aufliegenden Deckel 40. Dabei können die Kontaktflächen dicht, beispielsweise durch Kleben oder durch Klemmen, mit dem Deckel 40 verbunden werden. Zur Abdichtung können Dichtungen entlang der Kontaktflächen angeordnet sein. Vorzugsweise sind auch die Kontaktbereiche zwischen den Profilschienen 62 und den Seitenwänden 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 abgedichtet. Dazu können Dichtelemente innerhalb der Aufnahmebereiche 62.2 vorgesehen sein oder die Seitenwände 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 sind im Bereich der Aufnahmebereiche 62.2 mit der Profilschiene 62 verklebt.The profile rails 62 cover the open edges of the as structural core plate 12 executed side walls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 upwards. With mounted clean cabin 10 form the support strips 62.1 Contact surfaces to the overlying lid 40 , The contact surfaces can be tight, for example by gluing or by clamping, with the lid 40 get connected. For sealing seals can be arranged along the contact surfaces. Preferably, the contact areas between the rails 62 and the side walls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 sealed. These can be sealing elements within the receiving areas 62.2 be provided or the side walls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 are in the range of shooting areas 62.2 with the profile rail 62 bonded.

6 zeigt einen in 3 gezeigten Ausschnitt VI mit einer fünften Ecke 11.5 der Reingaskabine 10 in einer perspektivischen Innenansicht. Der Ausschnitt VI entspricht damit der Darstellung aus 5, jedoch mit einem Blick auf den Innenwinkel einer Ecke 11.1, 11.2, 11.3, 11.4, 11.5, 11.6 im Bereich des oberen Abschlusses einer Seitenwand 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10. 6 shows an in 3 shown section VI with a fifth corner 11.5 the clean cabin 10 in a perspective interior view. The section VI thus corresponds to the representation 5 but with a view of the interior angle of a corner 11.1 . 11.2 . 11.3 . 11.4 . 11.5 . 11.6 in the area of the upper end of a side wall 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 ,

Die fünfte vertikale Seitenwand 30.5 ist als Strukturkernplatte 12 ausgeführt. Die innere erste Deckplatte 12.1 der Strukturkernplatte 12 ist entlang der fünften Ecke 11.5 gebogen, so dass sich ein Innenwinkel ausbildet. Da die innere erste Deckplatte 12.1 im Bereich der fünften Ecke 11.5 nicht durchbrochen ist, bleibt der Bereich der fünften Ecke 11.5 gasdicht.The fifth vertical sidewall 30.5 is as a structural core plate 12 executed. The inner first cover plate 12.1 the structural core plate 12 is along the fifth corner 11.5 bent, so that forms an interior angle. Because the inner first cover plate 12.1 in the area of the fifth corner 11.5 is not broken, the area of the fifth corner remains 11.5 gas-tight.

7 zeigt einen in 3 gezeigten Ausschnitt VII mit einer zweiten Ecke 11.2 der Reingaskabine 10 in einer perspektivischen Außenansicht und in einer Explosionsdarstellung. 7 shows an in 3 shown section VII with a second corner 11.2 the clean cabin 10 in an external perspective view and in an exploded view.

Die Profilschienen 62 sind entsprechend des Winkels der zweiten Ecke 11.2 auf Gehrung geschnitten. Sie weisen die nach unten geöffneten Aufnahmebereiche 62.2 auf, mit denen sie auf obere Kante der im gezeigten Ausschnitt VII horizontalen ersten Seitenwand 30.8 aufgesteckt werden.The profile rails 62 are according to the angle of the second corner 11.2 Mitred cut. They indicate the receiving areas opened downwards 62.2 on, with which they on the upper edge of the horizontal section shown in the first section VII 30.8 be plugged.

Die Kantenabdeckung 33 ist als Aluminiumprofil auf die Höhe des abzudeckenden Eckbereichs zugeschnitten. Entlang der zweiten Ecke 11.2 ist der durch das Trennen der äußeren zweiten Deckplatte 12.2 und des Strukturkerns 12.3 nach dem Biegen der achten Seitenwand 30.8 gebildete Spalt 32 freigelegt.The edge cover 33 is cut as an aluminum profile to the height of the corner area to be covered. Along the second corner 11.2 is the by separating the outer second cover plate 12.2 and the structural core 12.3 after bending the eighth side wall 30.8 formed gap 32 exposed.

Zwischen den übereinander angeordneten ersten und zweiten horizontalen Seitenwände 30.8, 30.9 sind Verbindungsschienen 60 vorgesehen. Diese sind mittels der Verbindungsklammern 61 und geeigneten Befestigungselementen, insbesondere Schrauben, an der ersten und zweiten horizontalen Seitenwand 30.8, 30.9 montiert.Between the stacked first and second horizontal side walls 30.8 . 30.9 are connecting rails 60 intended. These are by means of the connection clips 61 and suitable fasteners, in particular screws, on the first and second horizontal sidewalls 30.8 . 30.9 assembled.

8 zeigt einen in 3 gezeigten Ausschnitt VIII mit einer zweiten Ecke 11.2 der Reingaskabine 10 in einer perspektivischen Außenansicht im Bereich zweier Verbindungsschienen 60. 8th shows an in 3 shown section VIII with a second corner 11.2 the clean cabin 10 in a perspective external view in the region of two connecting rails 60 ,

Die Verbindungsschienen 60 sind zwischen der ersten und der zweiten horizontalen Seitenwand 30.8, 30.9 angeordnet. Dabei liegen die Verbindungsschienen 60 mit Anlegeabschnitten 60.1 großflächig an der ersten und der zweiten horizontalen Seitenwand 30.8, 30.9 an. Die Verbindungsschienen 60 sind mittels der Verbindungsklammern 61 an der ersten und der zweiten horizontalen Seitenwand 30.8, 30.9 befestigt. Die Verbindungsklammern 61 weisen Bohrungen 61.1 auf. Durch die Bohrungen 61.1 können Befestigungselemente, insbesondere Schrauben, geführt werden, mit welchen die Verbindungsklammern 61 an den Seitenwänden 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10, im dargestellten Ausschnitt VIII an der ersten und der zweiten horizontalen Seitenwand 30.8, 30.9, befestigt werden können.The connecting rails 60 are between the first and the second horizontal sidewall 30.8 . 30.9 arranged. Here are the connecting rails 60 with landing sections 60.1 large area on the first and the second horizontal side wall 30.8 . 30.9 at. The connecting rails 60 are by means of the connection clamps 61 on the first and the second horizontal side wall 30.8 . 30.9 attached. The connection brackets 61 have holes 61.1 on. Through the holes 61.1 can fastening elements, in particular screws, are guided, with which the connecting brackets 61 on the side walls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 , in the illustrated section VIII on the first and the second horizontal side wall 30.8 . 30.9 , can be attached.

Der Bereich zwischen den Anlegeabschnitten 60.1 und den Seitenwänden 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 ist vorzugsweise abgedichtet. Dazu können Dichtelemente zwischen den Anlegeabschnitten 60.1 und den Seitenwänden 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 vorgesehen sein oder die Anlegeabschnitte 60.1 können mit den Seitenwänden 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 verklebt sein. Die Verbindungsschienen 60 ermöglichen somit eine gasdichte Verbindung zwischen benachbarten Seitenwänden 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10.The area between the feed sections 60.1 and the side walls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 is preferably sealed. These sealing elements between the Anlegeabschnitten 60.1 and the side walls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 be provided or the Anlegeabschnitte 60.1 can with the sidewalls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 be glued. The connecting rails 60 thus allow a gas-tight connection between adjacent side walls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 ,

An der zweiten Kante 11.2 sind die Verbindungsschienen 60 auf Gehrung geschnitten.At the second edge 11.2 are the connecting rails 60 Mitred cut.

9 zeigt zwei endseitig aneinanderstoßende Seitenwände 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 mit einer in 8 gezeigten Verbindungsschiene 60 in einer Schnittdarstellung. Dargestellt ist ein Stoßbereich zwischen der ersten und der zweiten horizontalen Seitenwand 30.8, 30.9. 9 shows two end-to-end side walls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 with an in 8th shown connecting rail 60 in a sectional view. Shown is an impact area between the first and the second horizontal side wall 30.8 . 30.9 ,

Die Verbindungsschiene 60 ist aus einem Hohlprofil 60.2 und dem daran einstückig angeformten Anlegeabschnitt 60.1 gebildet. Gegenüberliegend zu dem Anlegeabschnitt 60.1 ist auf Seiten der zweiten horizontalen Seitenwand 30.9 eine Gegenschiene 60.3 an das Hohlprofil 60.2 angeformt. Die Gegenschiene 60.3 ist entsprechend der Dicke der zweiten horizontalen Seitenwand 30.9 von dem Anlegeabschnitt 60.1 beabstandet. Zwischen dem Anlegeabschnitt 60.1, der Gegenschiende 60.3 und dem Hohlprofil 60.2 bildet sich somit ein U-förmig umfasster Bereich aus, in den die zweite horizontale Seitenwand 30.9 eingesteckt ist. Endseitig liegen die erste und die zweite horizontale Seitenwand 30.8, 30.9 an dem Hohlprofils 60.2 an. Das Hohlprofil 60.2 gibt somit den Abstand zwischen der ersten und der zweiten horizontalen Seitenwand 30.8, 30.9 vor. Die Verbindungsschiene 60 liegt mit ihrem Anlegeabschnitt 60.1 von außen an der ersten und der zweiten horizontalen Seitenwand 30.8, 30.9 an. Die Verbindungsklammer 61 überspannt den Anlegeabschnitt 60.1 quer zu seiner Längserstreckung. Seitlich des Anlegeabschnitts 60.1 sind die Bohrungen 61.1 in die Verbindungsklammer 61 eingebracht. Fluchtend zu den Bohrungen 61.1 sind Schraubenaufnahmen 34 in der ersten und der zweiten horizontalen Seitenwand 30.8, 30.9 eingebracht. Die Verbindungsklammer 61 wird durch nicht dargestellte Schrauben, welche durch die Bohrungen 61.1 der Verbindungsklammer 61 in die Schraubenaufnahmen 34 geführt sind, mit der ersten und der zweiten horizontalen Seitenwand 30.8, 30.9 verbunden. Damit wird die Verbindungsschiene 60 gehalten. Gleichzeitig verhindert die Verbindungsklammer 61, dass sich die erste und die zweite horizontalen Seitenwand 30.8, 30.9 voneinander entfernen. Vorteilhaft ist der Bereich zwischen der Verbindungsschiene 60 und der ersten und der zweiten horizontalen Seitenwand 30.8, 30.9 abgedichtet, beispielsweise durch Dichtelemente oder durch Kleben. Denkbar ist es, dass die Seitenwand 30.9 abgedichtet in die U-förmige Aufnahme eingeklebt ist. Weiterhin ist es denkbar und vorteilhaft, wenn die zweite Seitenwand 30.8 kann unter Zwischenlage einer in Profillängsrichtung verlaufenden Dichtung an dem Anlegeabschnitt 60.1 abgestützt sein. Dabei empfiehlt es sich die Dichtung an dem dem Hohlprofil 60.2 abgewandten Kantenbereich des Anlegeabschnittes 60.1 anzuordnen. Sie kann dann wenn sie komprimiert wird seitlich über den Anlegeabschnitt ausweichen. Der überstehende Bereich kann dann ebenfalls zu Dichtzwecken herangezogen werden, Beispielsweise kann dadurch ein Dichtabschluss zu einem rechtwinklig oder winklig an die Verbindungsschiene anschließendes Bauteil hergestellt werden.The connecting rail 60 is from a hollow profile 60.2 and the integrally formed thereon Anlegeeabschnitt 60.1 educated. Opposite to the landing section 60.1 is on the side of the second horizontal sidewall 30.9 a counter rail 60.3 to the hollow profile 60.2 formed. The counter rail 60.3 is according to the thickness of the second horizontal side wall 30.9 from the feed section 60.1 spaced. Between the feed section 60.1 , the opposite 60.3 and the hollow profile 60.2 Thus, a U-shaped area is formed, in which the second horizontal side wall 30.9 is plugged in. At the end are the first and the second horizontal side wall 30.8 . 30.9 on the hollow profile 60.2 at. The hollow profile 60.2 thus gives the distance between the first and the second horizontal side wall 30.8 . 30.9 in front. The connecting rail 60 lies with her landing section 60.1 from the outside at the first and the second horizontal side wall 30.8 . 30.9 at. The connection bracket 61 spans the landing section 60.1 transverse to its longitudinal extent. Side of the docking section 60.1 are the holes 61.1 in the connection bracket 61 brought in. Escaping to the holes 61.1 are screw receptacles 34 in the first and the second horizontal side wall 30.8 . 30.9 brought in. The connection bracket 61 is by screws, not shown, which through the holes 61.1 the connection bracket 61 in the screw receptacles 34 are guided, with the first and the second horizontal side wall 30.8 . 30.9 connected. This will be the connecting rail 60 held. At the same time prevents the connection bracket 61 in that the first and the second horizontal sidewall 30.8 . 30.9 remove each other. The area between the connecting rail is advantageous 60 and the first and second horizontal sidewalls 30.8 . 30.9 sealed, for example by sealing elements or by gluing. It is conceivable that the side wall 30.9 sealed glued into the U-shaped receptacle. Furthermore, it is conceivable and advantageous if the second side wall 30.8 can with the interposition of a running in the profile longitudinal direction seal at the Anlegeabschnitt 60.1 be supported. It is recommended that the seal on the hollow profile 60.2 facing away edge region of the Anlegeabschnittes 60.1 to arrange. It can then move laterally over the landing section when compressed. The projecting area can then likewise be used for sealing purposes. For example, this can be used to produce a sealing end to a component that adjoins the connecting rail at a right angle or at an angle.

Die Schraubenaufnahmen 34 durchstoßen die erste und die zweite horizontalen Seitenwand 30.8, 30.9 vollständig. Um hier einen Gaseintritt in die Reingaskabine 10 zu vermeiden sind Dichtelemente vorgesehen, welche die Schraubenaufnahmen 34, nachdem die Schrauben montiert sind, abdichten. In einer alternativen Ausführungsform können die Schraubenaufnahmen 34 nur bis zur inneren ersten Deckplatte 12.1 der Strukturkernplatte 12 geführt sein. Die innere erste Deckplatte 12.1 bleibt dadurch geschlossen, so dass kein Gas durch die Schraubenaufnahmen 34 eindringen oder die Reingaskabine 10 verlassen kann. Der Strukturkern 12.3 verhindert, dass sich Gas, ausgehend von den Schraubenaufnahmen 34, quer zu der ersten oder der zweiten horizontalen Seitenwand 30.8, 30.9 ausbreitet.The screw receptacles 34 pierce the first and second horizontal sidewalls 30.8 . 30.9 Completely. To here a gas entry into the clean cabin 10 To avoid sealing elements are provided which the screw receptacles 34 seal after the screws are mounted. In an alternative embodiment, the screw receptacles 34 only up to the inner first cover plate 12.1 the structural core plate 12 be guided. The inner first cover plate 12.1 This keeps it closed, so that no gas through the screw receptacles 34 penetrate or the clean cab 10 can leave. The structural core 12.3 prevents gas from starting from the screw receptacles 34 across the first or second horizontal sidewall 30.8 . 30.9 spreads.

Die Gegenschiene 63.3 vereinfacht die Montage der Reingaskabine 10. Durch die Gegenschiende 63.3 kann die Verbindungsschiene 60 zunächst auf eine der zu verbindenden Seitenwände 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 aufgesteckt werden. Damit ist die Verbindungsschiene 60 gehalten. Anschließend kann die daran anstoßende Seitenwand 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 mit der Verbindungsschiene 60 verbunden werden. The counter rail 63.3 simplifies the installation of the clean cabin 10 , By the opposite 63.3 can the connecting rail 60 first on one of the side walls to be connected 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 be plugged. This is the connecting rail 60 held. Then the adjoining side wall 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 with the connecting rail 60 get connected.

10 zeigt einen in 3 gezeigten Ausschnitt X mit einer vertikal angeordneten Verbindungsschiene 60 in einer Außenansicht. 10 shows an in 3 shown section X with a vertically arranged connecting rail 60 in an exterior view.

Die vertikal angeordnete Verbindungsschiene 60 verbindet die dargestellte erste vertikale Seitenwand 30.1 mit den in 3 gezeigten drei horizontalen Seitenwänden 30.8, 30.9, 30.10. Durch die Verbindungsschiene 60 können somit sowohl horizontal wie vertikal angeordnete Seitenwände 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 gasdicht miteinander verbunden werden.The vertically arranged connecting rail 60 connects the illustrated first vertical side wall 30.1 with the in 3 shown three horizontal side walls 30.8 . 30.9 . 30.10 , Through the connecting rail 60 Thus, both horizontally and vertically arranged side walls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 be connected together gas-tight.

11 zeigt einen in 3 gezeigten Ausschnitt XI mit einer vertikal angeordneten Verbindungsschiene 60 und einem oberen Abschluss einer ersten vertikalen Seitenwand 30.1 in einer Außenansicht. 11 shows an in 3 shown section XI with a vertically arranged connecting rail 60 and an upper end of a first vertical side wall 30.1 in an exterior view.

Die erste vertikale Seitenwand 30.1 ist zum Deckel 40 der Reingaskabine 10 hin von der aufgesteckten Profilschiene 62 abgedeckt. Ein Führungselement 63 ist mit einem Stutzen 63.2 in das offene Ende des Hohlprofils 60.2 der Verbindungsschiene 60 eingesteckt. An den Stutzen 63.2 ist ein Fuß 63.1 angeformt. Der Fuß 63.1 weist ein gleiches Profil wie der Auflagestreifen 62.1 der benachbarten Profilschiene 62 auf. Der Fuß 63.1 und der Auflagestreifen 62.1 bilden somit eine durchgängige Fläche aus. Diese ist zum Deckel 40 hin ausgerichtet. Das Führungselement 63 und die Profilschiene 62 ermöglichen somit eine dichte Verbindung der Seitenwände 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 mit dem Deckel 40 entlang ihrer oberen Kanten und im Bereich aneinandergrenzender Seitenwände 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10.The first vertical sidewall 30.1 is to the lid 40 the clean cabin 10 from the attached rail 62 covered. A guide element 63 is with a neck 63.2 in the open end of the hollow profile 60.2 the connecting rail 60 plugged in. At the neck 63.2 is a foot 63.1 formed. The foot 63.1 has the same profile as the support strip 62.1 the adjacent rail 62 on. The foot 63.1 and the pad strip 62.1 thus form a continuous surface. This is to the lid 40 aligned. The guide element 63 and the profile rail 62 thus allow a tight connection of the side walls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 with the lid 40 along their upper edges and in the area of adjoining sidewalls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 ,

12 zeigt einen in 3 gezeigten Ausschnitt XII mit einer vertikal angeordneten Verbindungsschiene 60 und einem unteren Abschluss einer ersten vertikalen Seitenwand 30.1 in einer Außenansicht. 12 shows an in 3 shown section XII with a vertically arranged connecting rail 60 and a lower end of a first vertical sidewall 30.1 in an exterior view.

Wie in 11 für den oberen Abschluss der ersten vertikalen Seitenwand 30.1 gezeigt, ist auch an deren unterem Abschluss eine Profilschiene 62 und in deren Verlängerung ein Führungselement 63, welches mit seinem Stutzen 63.2 in das Hohlkammerprofil 60.2 der Verbindungsschiene 60 eingesteckt ist, angeordnet. Auch hier bilden der Fuß 63.1 des Führungselements 63 und der Auflagestreifen 62.1 der benachbarten Profilschiene 62 eine durchgängige Fläche aus. Diese ist zum Boden 20 der Reingaskabine hin ausgerichtet. Das Führungselement 63 und die Profilschienen ermöglichen somit eine dichte Verbindung der Seitenwände 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 mit dem Boden 20 entlang ihrer unteren Kanten und im Bereich aneinandergrenzender Seitenwände 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10.As in 11 for the upper termination of the first vertical sidewall 30.1 shown is also at the lower end of a rail 62 and in its extension a guide element 63 which with his neck 63.2 in the hollow chamber profile 60.2 the connecting rail 60 is plugged in, arranged. Again, form the foot 63.1 of the guide element 63 and the pad strip 62.1 the adjacent rail 62 a continuous area. This is to the ground 20 the clean cab aligned. The guide element 63 and the rails thus allow a tight connection of the side walls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 with the ground 20 along their lower edges and in the area of adjoining sidewalls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 ,

13 zeigt einen in 3 gezeigten Ausschnitt XIII mit einer vertikal angeordneten Verbindungsschiene 60 und einem unteren Abschluss der fünften und der sechsten vertikalen Seitenwand 30.5, 30.6 in einer Innenansicht. 13 shows an in 3 shown section XIII with a vertically arranged connecting rail 60 and a lower termination of the fifth and sixth vertical sidewalls 30.5 . 30.6 in an interior view.

Die fünfte und die sechste vertikale Seitenwand 30.5, 30.6 sind mit ihren unteren Kanten in die Aufnahmebereiche 62.2 der zugeordneten Profilschienen 62 eingesteckt. Zwischen der fünften und der sechsten vertikalen Seitenwand 30.5, 30.6 ist die Verbindungsschiene 60 angeordnet. Die fünfte vertikale Seitenwand 30.5 ist in den durch die Gegenschiene 60.3, den zu dieser gegenüber angeordneten, in 12 gezeigten Anlegeabschnitt 60.1 und das Hohlprofil 60.2 gebildeten U-förmigen Bereich eingeschoben. Gegenüberliegend zu der Gegenschiene 60.3 ist ein Montagewinkel 64 an dem Hohlprofil 60.2 angelegt. Vorzugsweise ist der Montagewinkel 64 mit dem Hohlprofil 60.2 verbunden. Der Montagewinkel 64 ist mit der sechsten vertikalen Seitenwand 30.6 verbunden. Durch die Verbindungsschiene 60 sind die fünfte und die sechste vertikale Seitenwand 30.5, 30.6 gasdicht miteinander verbunden.The fifth and the sixth vertical sidewall 30.5 . 30.6 are with their lower edges in the receiving areas 62.2 the associated profile rails 62 plugged in. Between the fifth and the sixth vertical sidewall 30.5 . 30.6 is the connecting rail 60 arranged. The fifth vertical sidewall 30.5 is in through the counter rail 60.3 , which is arranged opposite to this, in 12 shown Anlegeabschnitt 60.1 and the hollow profile 60.2 inserted formed U-shaped area. Opposite to the counter rail 60.3 is a mounting bracket 64 on the hollow profile 60.2 created. Preferably, the mounting bracket 64 with the hollow profile 60.2 connected. The mounting bracket 64 is with the sixth vertical sidewall 30.6 connected. Through the connecting rail 60 are the fifth and the sixth vertical sidewall 30.5 . 30.6 connected in a gastight manner.

Das Führungselement 63 ist mit seinem Stutzen 63.2 in das Hohlprofil 60.2 der Verbindungsschiene 60 zumindest teilweise eingeschoben. Dazu ist der Stutzen 63.2 in seiner Außenkontur an die Kontur des Hohlraums des Hohlprofils 60.2, in den der Stutzen 63.2 eingeschoben ist, angepasst. An dem Stutzen 63.2 ist ein Anschlag vorgesehen, der begrenzt, wie weit der Stutzen 63.2 in das Hohlprofil 60.2 eingeschoben werden kann.The guide element 63 is with his neck 63.2 in the hollow profile 60.2 the connecting rail 60 at least partially inserted. This is the nozzle 63.2 in its outer contour to the contour of the cavity of the hollow profile 60.2 into the neck 63.2 inserted, adjusted. At the neck 63.2 a stop is provided which limits how far the nozzle is 63.2 in the hollow profile 60.2 can be inserted.

Die Auflagestreifen 62.1 der Profilschiene 62 und der Fuß 63.1 des Führungselements 63 bilden eine durchgängige, dem Boden 20 der Reingaskabine 10 zugewandte Fläche aus, mit der sie an dem Boden 20 anliegen. Die Profilschiene 62 und damit die fünfte und die sechste vertikale Seitenwand 30.5, 30.6 sind mit Halteklammern 65, welche an dem Boden 20 befestigt sind und den Auflagestreifen 62.1 der Profilschiene 62 an einem Abschnitt einklemmen, mit dem Boden verbunden.The support strips 62.1 the profile rail 62 and the foot 63.1 of the guide element 63 form a continuous, the ground 20 the clean cabin 10 facing surface, with which they are at the bottom 20 issue. The profile rail 62 and thus the fifth and the sixth vertical sidewall 30.5 . 30.6 are with retaining clips 65 which are on the ground 20 are attached and the support strip 62.1 the profile rail 62 clamp on a section connected to the ground.

14 zeigt einen in 3 gezeigten Ausschnitt XIV im Bereich zweier aneinandergrenzender Bodenplatten 22.1, 22.2 in einer Explosionsdarstellung. An den anstoßenden Kanten der beiden Bodenplatten 22.1, 22.2 sind ineinandergreifende Bodenschienen 23.1, 23.2 angebracht. Die Bodenschienen 23.1, 23.2 weisen Aufnahmen für Verbindungselemente auf, mit welchen die Bodenschienen 23.1, 23.2 verbunden werden können. 14 shows an in 3 Section XIV shown in the area of two adjacent floor panels 22.1 . 22.2 in an exploded view. At the abutting edges of the two floor panels 22.1 . 22.2 are interlocking floor rails 23.1 . 23.2 appropriate. The floor rails 23.1 . 23.2 have recordings for fasteners with which the floor rails 23.1 . 23.2 can be connected.

Im vorliegenden Ausführungsbeispiel sind die Bodenschienen 23.1, 23.2 als separate Bauteile ausgeführt, welche stirnseitig an die Bodenplatten 22.1, 22.2 angebracht, insbesondere angeklebt, sind. Entsprechend einer alternativen Ausführungsform können die Bodenschienen 23.1, 23.2 auch einstückig an die Bodenplatten 22.1, 22.2 angeformt sein.In the present embodiment, the bottom rails 23.1 . 23.2 designed as separate components, which frontally to the bottom plates 22.1 . 22.2 attached, in particular glued, are. According to an alternative embodiment, the bottom rails 23.1 . 23.2 also in one piece to the floor panels 22.1 . 22.2 be formed.

Am Rand der Bodenplatten 23.1, 23.2 ist Positionierelement 21 vorgesehen. Dem Positionierelement 21 gegenüberliegend ist eine Halteklammer 65 angeordnet. Zusammengebaut werden mit den Positionierelementen 21 und Halteklammern 65 die Seitenwände 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 mit ihren Profilschienen 62 auf dem Boden 20 positioniert und festgelegt.At the edge of the floor plates 23.1 . 23.2 is positioning element 21 intended. The positioning element 21 opposite is a retaining clip 65 arranged. To be assembled with the positioning elements 21 and retaining clips 65 the side walls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 with their rails 62 on the ground 20 positioned and fixed.

15 zeigt einen Träger 80 der Reingaskabine 10 in einer perspektivischen Darstellung. Der Träger 80 ist als Doppel-T-Träger mit einem ersten Gurt 81, einem Steg 82 und einem zweiten Gurt 83 ausgebildet. Entlang des Stegs 82 weist der Träger 80 Montagebohrungen 84 auf. Endseitig ist eine Fase 81.1 an dem ersten Gurt 81 angebracht. 15 shows a carrier 80 the clean cabin 10 in a perspective view. The carrier 80 is as a double-T-straps with a first strap 81 a jetty 82 and a second belt 83 educated. Along the jetty 82 instructs the wearer 80 mounting holes 84 on. End is a chamfer 81.1 on the first belt 81 appropriate.

Erfindungsgemäß ist der Träger 80 aus Strukturkernplatten 12 aufgebaut. Dazu sind der erste und der zweite Gurt 81, 83 sowie der Steg 82 aus entsprechend zugeschnittenen Strukturkernplatten 12 hergestellt. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel sind sowohl die Gurte 81, 83 wie auch der Steg aus Aluminium-Wabenkernplatten aufgebaut.According to the invention, the carrier 80 made of structural core plates 12 built up. These are the first and the second belt 81 . 83 as well as the jetty 82 from appropriately cut structural core plates 12 produced. In the present embodiment, both the straps 81 . 83 as well as the bridge constructed of aluminum honeycomb core plates.

Durch die Herstellung des Trägers 80 aus Strukturkernplatten 12 kann im Vergleich zu eine herkömmlichen Träger 80 in massiver Bauweise deutlich an Gewicht eingespart werden. Durch die hohe Biegesteifigkeit der verwendeten Strukturkernplatten 12 und den Aufbau in Form eines Doppel-T-Trägers wird ein hoch belastbarer Träger 80 erhalten, der sich auch unter Belastung nur wenig durchbiegt.By making the carrier 80 made of structural core plates 12 can be compared to a conventional carrier 80 in massive construction significantly reduced in weight. Due to the high bending stiffness of the structural core plates used 12 and the construction in the form of a double-T-beam is a high-load carrier 80 obtained, which bends little under load.

In einer nicht gezeigten alternativen Ausführungsform kann der aus Strukturkernplatten 12 hergestellte Träger 80 auch als einfacher T-Träger oder als Träger 80 mit einem U-Profil oder einem L-Profil oder einem sonstigen für Träger 80 bekannten Profil ausgeführt sein.In an alternative embodiment, not shown, of the structural core plates 12 produced carriers 80 as a simple T-beam or as a carrier 80 with a U-profile or an L-profile or other for carriers 80 be executed known profile.

16 zeigt den in 15 gezeigten Träger 80 in einer Schnittdarstellung mit Blick in Richtung der Längserstreckung des Trägers 80. 16 shows the in 15 shown carrier 80 in a sectional view looking in the direction of the longitudinal extent of the carrier 80 ,

Der erste Gurt 81 und der zweite Gurt 83 sind mittels Verbindungswinkel 85 mit dem Steg 82 verbunden. Die Verbindungswinkel 85 erstrecken sich über die Länge des Trägers 80. Sie liegen mit einer Auflagefläche an dem Steg 82 und mit einer zweiten Auflagefläche an dem jeweiligen Gurt 81, 83 an. Dabei sind jedem Gurt 81, 83 zwei gegenüberliegend an dem Steg 82 angeordnete Verbindungswinkel 85 zugeordnet. Die Verbindungswinkel 85 sind fest mit dem Steg 82 und dem jeweiligen Gurt 81, 83 verbunden. Insbesondere sind die Verbindungswinkel 85 mit dem Steg 82 und/oder mit dem Gurt 81, 83 verklebt.The first belt 81 and the second strap 83 are by means of connection angle 85 with the jetty 82 connected. The connection angle 85 extend over the length of the carrier 80 , They lie with a support surface on the bridge 82 and with a second bearing surface on the respective belt 81 . 83 at. There are every strap 81 . 83 two opposite each other at the footbridge 82 arranged connection angle 85 assigned. The connection angle 85 are stuck with the jetty 82 and the respective belt 81 . 83 connected. In particular, the connection angles 85 with the jetty 82 and / or with the belt 81 . 83 bonded.

Sind Träger 80 mit von der Doppel-T-Form abweichenden Trägerformen vorgesehen, so sind die Verbindungswinkel 85, wie für den Doppel-T-Träger gezeigt, entlang der Stoßbereiche zwischen den zusammengefügten Strukturkernplatten 12 anzuordnen. Dabei können die Verbindungswinkel 85 sowohl als Innenwinkel als auch als Außenwinkel vorgesehen sein.Are carriers 80 provided with deviating from the double-T-shape carrier shapes, so are the connection angle 85 as shown for the double T-beam, along the butt joints between the assembled structural core plates 12 to arrange. The connection angle can be 85 be provided both as an internal angle and as an outer angle.

Die Montagebohrungen 84 sind in dem gezeigten Ausführungsbeispiel entlang des Stegs 82 in den ersten Gurt 81 eingebracht.The mounting holes 84 are in the embodiment shown along the ridge 82 in the first strap 81 brought in.

Durch die Verbindungswinkel 85 können die Gurte 81, 83 einfach und schnell mit dem Steg 82 verbunden werden. Dabei führt die großflächige Verklebung der Verbindungswinkel 85 mit den Gurten 81, 83 und dem Steg 82 zu einer festen, belastbaren Verbindung. Durch die beidseitig des Stegs 82 angebrachten Verbindungswinkel 85 kann ein Kippen der Gurte 81, 83 gegenüber dem Steg 82 bei einseitiger Belastung des Trägers 80 sicher vermieden werden.Through the connection angle 85 can the straps 81 . 83 easy and fast with the jetty 82 get connected. The large-area bonding leads to the connection angle 85 with the straps 81 . 83 and the jetty 82 to a solid, resilient connection. Through the two sides of the bridge 82 attached connection angle 85 may be a tilting of the straps 81 . 83 opposite the jetty 82 with one-sided load of the carrier 80 safely avoided.

In den Montagebohrungen 84 können Befestigungselemente, insbesondere Schrauben, festgelegt werden. Damit können weitere Bauteile der Reingaskabine 10, im vorliegenden Ausführungsbeispiel die Deckelplatten 43, mit dem Träger 80 verbunden werden. Die Montagebohrungen 84 sind, ausgehend von der ersten Deckplatte 12.1 der als erstem Gurt 81 verwendeten Strukturkernplatte 12, nur durch den Strukturkern 12.3 bis zur zweiten Deckplatte 12.2 geführt. Die zweite Deckplatte 12.2 ist nicht durchbrochen. Dadurch kann bei einem Träger 80, an dessen erstem Gurt 81 von außerhalb der Reingaskabine 10 eingeführte Befestigungselemente in die Montagebohrungen 84 eingebracht sind, kein Gas durch die Montagebohrungen 84 in das Innere der Reingaskabine 10 oder aus der Reingaskabine 10 nach außen gelangen.In the mounting holes 84 Fixing elements, in particular screws, can be specified. This allows more components of the clean cabin 10 , In the present embodiment, the cover plates 43 , with the carrier 80 get connected. The mounting holes 84 are, starting from the first cover plate 12.1 the first strap 81 used structural core plate 12 , only through the structural core 12.3 to the second cover plate 12.2 guided. The second cover plate 12.2 is not broken. This allows for a carrier 80 , on the first strap 81 from outside the clean cabin 10 inserted fasteners in the mounting holes 84 are introduced, no gas through the mounting holes 84 into the interior of the clean cabin 10 or from the clean cabin 10 get outside.

Sind entsprechend einer nicht dargestellten Ausführungsform die Montagebohrungen 84 auf Grund einer einfacheren Herstellung durch beide Deckplatten 12.1, 12.2 geführt, verhindert ihre Anordnung entlang des Stegs 82 einen Gasaustausch zwischen dem Innen- und dem Außenraum der Reingaskabine 10. Durch die auf Seiten des ersten Gurtes 81 beidseitig des Stegs 82 über die Längserstreckung des Trägers 80 aufgeklebten Verbindungswinkel 85 sind die Übergänge von dem Steg 82 zu dem ersten Gurt 81 abgedichtet. Damit kann kein Gas von den Montagebohrungen 84 entlang der Kontaktfläche zwischen dem ersten Gurt 81 und dem Steg 82 in oder aus dem Innenraum der Reingaskabine 10 gelangen.Are according to an embodiment, not shown, the mounting holes 84 on Reason for easier production through both cover plates 12.1 . 12.2 guided, prevents their arrangement along the bridge 82 a gas exchange between the interior and the exterior of the clean gas cabin 10 , By on the side of the first belt 81 on both sides of the bridge 82 over the longitudinal extent of the carrier 80 glued connection angle 85 are the transitions from the jetty 82 to the first belt 81 sealed. So no gas from the mounting holes 84 along the contact surface between the first strap 81 and the jetty 82 in or out of the interior of the clean cabin 10 reach.

17 zeigt einen in 3 gezeigten Ausschnitt XVII im Bereich des Deckels 40 der Reingaskabine 10. 17 shows an in 3 shown section XVII in the area of the lid 40 the clean cabin 10 ,

Die aus Strukturkernplatten 12 gebildeten Deckelplatten 43 sind jeweils von einem Rahmen 43.1 eingerahmt. Der Rahmen 43.1 weist ein U-Profil auf und ist auf die Kanten der Deckelplatten 43 aufgesteckt, insbesondere aufgeklebt. Dadurch wird eine dichte Verbindung zwischen dem Rahmen 43.1 und der jeweiligen Deckelplatte 43 erhalten. Die Deckelplatten 43 sind aus Strukturkernplatten 12, insbesondere aus Aluminium-Wabenkernplatten, gefertigt.The from structural core plates 12 formed cover plates 43 are each of a frame 43.1 framed. The frame 43.1 has a U-profile and is on the edges of the cover plates 43 attached, in particular glued. This creates a tight connection between the frame 43.1 and the respective cover plate 43 receive. The cover plates 43 are made of structural core plates 12 , in particular made of aluminum honeycomb core plates.

Die Deckelplatten 43 liegen mit ihren Rahmen 43.1 auf dem ersten Gurt 81 eines in den 15 und 16 gezeigten Trägers 80 auf. Dabei ist die an dem ersten Gurt 81 angebrachte Fase 81 zum äußeren Rand des Deckels 40 hin ausgerichtet.The cover plates 43 lie with their frames 43.1 on the first belt 81 one in the 15 and 16 shown carrier 80 on. It is the on the first belt 81 attached bevel 81 to the outer edge of the lid 40 aligned.

Der Träger 80 ist Teil der in 2 gezeigten Unterkonstruktion 46 des Deckels 40. Die Deckelplatten 43 sind mittels der Befestigungselemente 44 an dem Träger 80 festgelegt. Das Befestigungselemente 44 weist zwei seitlich beabstandet angeordnete Klemmabschnitte 44.1 auf. Zwischen den Klemmabschnitten 44.1 ist ein U-förmig gebogener Befestigungsabschnitt 44.2 angeformt, in den entsprechend der in den ersten Steg 81 des Trägers 80 eingebrachten Montagebohrungen 84 nicht dargestellte Bohrungen eingebracht sind. Das Befestigungselement 44 ist darüber mit entsprechenden Schrauben an den Träger 80 angeschraubt. Dabei umgreifen die Klemmabschnitte 44.1 die Rahmen 43.1 der benachbarten Deckelplatten 43 und klemmen diese an dem Träger 80 fest. Die benachbarten Deckelpatten 43 sind durch den Befestigungsabschnitt 44.2 beabstandet und damit in ihrer Position festgelegt.The carrier 80 is part of in 2 shown substructure 46 of the lid 40 , The cover plates 43 are by means of fasteners 44 on the carrier 80 established. The fasteners 44 has two laterally spaced clamping sections 44.1 on. Between the clamping sections 44.1 is a U-shaped bent attachment section 44.2 molded, in accordance with the in the first bridge 81 of the carrier 80 introduced mounting holes 84 not shown bores are introduced. The fastener 44 is about it with appropriate screws to the carrier 80 screwed. The clamping sections surround this 44.1 The frames 43.1 the adjacent cover plates 43 and clamp them to the carrier 80 firmly. The adjacent cover plates 43 are through the attachment section 44.2 spaced and thus fixed in position.

Am äußeren Rand des Deckels 40 sind, wie zu 1 gezeigt, Rand-Befestigungselemente 45 angeordnet. Ein Rand-Befestigungselement 45 ist S-förmig gebogen und weist einen Klemmschenkel 45.1 und einen Befestigungsschenkel 45.2 auf. In dem Befestigungsschenkel 45.2 sind Bohrungen eingebracht. Der Klemmschenkel 45.1 umgreift den äußeren Rahmen 43.1 der Deckelplatte 43. Der Befestigungsschenkel 45.2 wird an den in der vorliegenden Darstellung nicht gezeigten oberen Profilschienen 62 der Seitenwände 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 befestigt. Der Rahmen 43.1 der Deckelplatte 43 ist so zwischen dem Klemmschenkel 45.1 und dem Auflagestreifen 62.1 der jeweiligen Profilschiene 62 eingeklemmt. Damit ist der Deckel sicher auf den Seitenwänden 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 gehalten. Vorzugsweise ist der Auflagebereich des Rahmens 43.1 auf dem Träger 80 und der Profilschiene 62 abgedichtet.At the outer edge of the lid 40 are how to 1 shown, edge fasteners 45 arranged. An edge fastener 45 is bent in an S-shape and has a clamping leg 45.1 and a mounting leg 45.2 on. In the attachment leg 45.2 holes are introduced. The clamping leg 45.1 surrounds the outer frame 43.1 the cover plate 43 , The attachment leg 45.2 is at the upper rails, not shown in the present presentation 62 the side walls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 attached. The frame 43.1 the cover plate 43 is so between the clamping leg 45.1 and the support strip 62.1 the respective rail 62 trapped. Thus, the lid is safe on the side walls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 held. Preferably, the support area of the frame 43.1 on the carrier 80 and the profile rail 62 sealed.

18 zeigt einen in 3 gezeigten Ausschnitt XVIII im Bereich einer Befestigung der Tragekonstruktion 70 der Reingaskabine 10. Die Tragekonstruktion 70 dient der Auflage der in 2 gezeigten Gasaufbereitungseinheit 55 und der darin vorgesehenen Filter 56. 18 shows an in 3 Section XVIII shown in the region of an attachment of the support structure 70 the clean cabin 10 , The support structure 70 serves the edition of in 2 shown gas processing unit 55 and the filter provided therein 56 ,

Gezeigt ist die Befestigung der Tragekonstruktion 70 im Bereich der fünften Ecke 11.5 der Reingaskabine 10. An der fünften vertikalen Seitenwand 30.5 ist die bereits in 3 gezeigte, U-förmige Befestigungsschiene 71 angebracht. An der Befestigungsschiene 71 ist eine Trägerauflage 72 befestigt. Die Trägerauflage 72 bildet eine Halbschale, in die ein Träger 80 der Tragekonstruktion 70 eingelegt ist. Im Bereich der Trägerauflage 72 ist ein oberer Schenkel der Befestigungsschiene 71 ausgespart, so dass der Träger 80 in die Trägerauflage 72 eingelegt werden kann. Die Aussparung ist mit einer Abdeckung 73 abgedeckt. Der Träger 80 ist somit sicher an der fünften vertikalen Seitenwand 30.5 festgelegt.Shown is the attachment of the support structure 70 in the area of the fifth corner 11.5 the clean cabin 10 , At the fifth vertical side wall 30.5 is already in 3 shown, U-shaped mounting rail 71 appropriate. At the mounting rail 71 is a carrier pad 72 attached. The carrier pad 72 forms a half-shell into which a carrier 80 the support structure 70 is inserted. In the area of the carrier pad 72 is an upper leg of the mounting rail 71 left out, leaving the carrier 80 in the carrier pad 72 can be inserted. The recess is with a cover 73 covered. The carrier 80 is thus safe on the fifth vertical side wall 30.5 established.

An den Positionen der der äußeren Enden der Träger 80 der in 3 gezeigten Tragekonstruktion 70 sind an den Seitenwänden 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 Trägerauflagen 72 angebracht. Bei der Montage der Reingaskabine 10 kann so die vormontierte Tragekonstruktion 70 von oben in den Innenraum der Reingaskabine eingeführt und auf den Trägerauflagen 72 abgelegt werden. Vorzugsweise sind die Träger 80 der Tragekonstruktion 70 mit den Trägerauflagen 72 verbunden, insbesondere verschraubt.At the positions of the outer ends of the carrier 80 the in 3 shown carrying structure 70 are on the sidewalls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 carrier supports 72 appropriate. When installing the clean cabin 10 so can the pre-assembled support structure 70 introduced from above into the interior of the clean cabin and on the carrier pads 72 be filed. Preferably, the carriers 80 the support structure 70 with the carrier pads 72 connected, in particular screwed.

Im Gegensatz zu der in den 15 und 16 gezeigten Ausführungsform des Trägers 80 sind die Montagebohrungen 84 der Träger 80 der Tragekonstruktion 70 seitlich des Stegs 82 des Trägers 80 als Durchgangsbohrung angebracht. Befestigungsschrauben der Filter 56 können so durch die Montagebohrungen 84 geführt und von unten mit einer Mutter verschraubt werden. Da die Tragekonstruktion 70 im Innenraum der Reingaskabine 10 angeordnet ist sind hierbei keine zusätzlichen Abdichtmaßnahmen erforderlich.Unlike in the 15 and 16 shown embodiment of the carrier 80 are the mounting holes 84 the carrier 80 the support structure 70 side of the bridge 82 of the carrier 80 attached as a through hole. Fixing screws of the filters 56 so can through the mounting holes 84 guided and bolted from below with a nut. Because the support structure 70 in the interior of the clean cabin 10 is arranged here no additional sealing measures are required.

Die in den 1 bis 18 gezeigte, überwiegend aus Strukturkernplatten 12 gefertigte Reingaskabine 10 weist im Vergleich zu bekannten Reingaskabinen ein sehr geringes Gewicht auf. Damit kann die Reingaskabine 10 einfacher transportiert und aufgestellt werden. Die Anforderungen an die Bodenbelastung an ihrem Aufstellungsort können reduziert werden. Durch den gezeigten Aufbau ist der Innenraum der Reingaskabine 10 gegenüber der Umgebung abgedichtet. Damit kann die geforderte Atmosphäre im Innenraum der Reingaskabine 10 eingestellt und eingehalten werden. Kritische Prozesse und Arbeitsschritte können so in einer geeigneten Atmosphäre ausgeführt werden. Eine nach dem gezeigten Konzept aufgebaute Reingaskabine 10 kann in ihrer Größe einfach an die jeweiligen Erfordernisse angepasst werden. Dazu können die Größe und die Anzahl der vorgesehenen Bodenplatten 22.1, 22.2, 22.3, Seitenwände 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 und Deckelplatten 43 sowie der benötigten Tragekonstruktionen 70 entsprechend ausgelegt werden. Der Grundriss der Reingaskabine 10 kann von der gezeigten sechseckigen Form zu beliebigen anderen polygonalen Formen angepasst werden. The in the 1 to 18 shown, mainly from structural core plates 12 manufactured clean cabin 10 has a very low weight compared to known clean cabins. This can the clean cab 10 easier to transport and set up. The demands on the floor load at their place of installation can be reduced. Due to the structure shown is the interior of the clean cab 10 sealed against the environment. Thus, the required atmosphere in the interior of the clean cabin 10 be set and respected. Critical processes and work steps can thus be carried out in a suitable atmosphere. A built according to the concept shown clean cabin 10 can be easily adapted in size to the respective requirements. This can be the size and number of provided floor panels 22.1 . 22.2 . 22.3 , Side walls 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 and cover plates 43 as well as the required carrying structures 70 be designed accordingly. The floor plan of the clean cabin 10 can be adapted from the hexagonal shape shown to any other polygonal shapes.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte Nicht-PatentliteraturCited non-patent literature

  • „Reinraumtechnik”, 3. aktualisierte u. erw. Aufl., Springer, S. 202–207 [0004] "Cleanroom technology", 3rd updated u. ext. Ed., Springer, pp. 202-207 [0004]

Claims (16)

Reingaskabine (10) mit einem gegenüber der Umgebung abgedichteten, von Seitenwänden (30, 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10) umgebenen Innenraum, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Teil der Seitenwände (30, 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10) der Reingaskabine (10) aus einer oder mehreren Strukturkernplatten (12), insbesondere einer oder mehreren Wabenkernplatten mit jeweils zwei Deckplatten (12.1, 12.2) und einem dazwischen angeordneten Strukturkern (12.3), insbesondere Wabenkern, gebildet sind.Clean cabin ( 10 ) with a sealed to the environment, of side walls ( 30 . 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 ) surrounded interior, characterized in that at least a part of the side walls ( 30 . 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 ) of the clean cabin ( 10 ) from one or more structural core plates ( 12 ), in particular one or more honeycomb core plates, each with two cover plates ( 12.1 . 12.2 ) and a structural core ( 12.3 ), in particular honeycomb core, are formed. Reingaskabine (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass entlang einer Ecke (11, 11.1, 11.2, 11.3, 11.4, 11.5, 11.6) der Reingaskabine (10) die eine Deckplatte (12.1, 12.2) gebogen und die andere Deckplatte (12.2) und der Strukturkern (12.3) aufgetrennt sind oder dass eine der Deckplatten (12.1, 12.2) in Richtung auf die andere Deckplatte (12.1, 12.2) in den Strukturkern (12.3) eingeformt ist und dass die Strukturkernplatte (12.3) im Einformbereich abgebogen ist.Clean cabin ( 10 ) according to claim 1, characterized in that along a corner ( 11 . 11.1 . 11.2 . 11.3 . 11.4 . 11.5 . 11.6 ) of the clean cabin ( 10 ) the one cover plate ( 12.1 . 12.2 ) and the other cover plate ( 12.2 ) and the structural core ( 12.3 ) are separated or that one of the cover plates ( 12.1 . 12.2 ) towards the other cover plate ( 12.1 . 12.2 ) in the structural core ( 12.3 ) and that the structural core plate ( 12.3 ) is bent in Einformbereich. Reingaskabine (10) nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der entlang einer Ecke (11, 11.1, 11.2, 11.3, 11.4, 11.5, 11.6) der Reingaskabine (10) gebildete Spalt (32) in der aufgetrennten Deckplatte (12.1, 12.2) und in dem Strukturkern (12.3) von einer Eckenabdeckung (33) überdeckt ist und/oder dass die Eckenabdeckung (33) mit zwei im Winkel zueinander angeordneten Schenkeln (33.1, 33.2) jeweils auf einer Seite des Spalts (32) mit der Strukturkernplatte (12) dicht verbunden, insbesondere dicht verklebt ist.Clean cabin ( 10 ) according to claim 2, characterized in that along a corner ( 11 . 11.1 . 11.2 . 11.3 . 11.4 . 11.5 . 11.6 ) of the clean cabin ( 10 ) formed gap ( 32 ) in the split cover plate ( 12.1 . 12.2 ) and in the structural core ( 12.3 ) from a corner cover ( 33 ) is covered and / or that the corner cover ( 33 ) with two legs arranged at an angle ( 33.1 . 33.2 ) each on one side of the gap ( 32 ) with the structural core plate ( 12 ) is tightly connected, in particular tightly glued. Reingaskabine (10) nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass an Kanten der Strukturkernplatten am oberen und am unteren Ende der Seitenwände (30, 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10) Profilschienen (62) aufgesetzt, insbesondere aufgesteckt und mit den Strukturkernplatten (12) dicht verbunden, insbesondere dicht verklebt sind.Clean cabin ( 10 ) according to claim 1 to 3, characterized in that at edges of the structural core plates at the upper and at the lower end of the side walls ( 30 . 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 ) Profile rails ( 62 ), in particular pinned and with the structural core plates ( 12 ) are tightly connected, in particular tightly glued. Reingaskabine (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass in der Strukturkernplatte (12) zumindest eine Schraubenaufnahme (34) angeordnet ist und dass die Schraubenaufnahme (34) durch eine der zwei Deckplatten (12.1, 12.2) und zumindest einen Teil des zwischen den Deckplatten (12.1, 12.2) angeordneten Strukturkerns (12.3) der Strukturkernplatten (12) geführt ist und/oder dass die Schraubenaufnahme (34) durch beide Deckplatten (12.1, 12.2) und den Strukturkern (12.3) geführt und bei eingeführtem Befestigungselement zumindest einseitig abgedichtet ist.Clean cabin ( 10 ) according to one of claims 1 to 4, characterized in that in the structural core plate ( 12 ) at least one screw receptacle ( 34 ) and that the screw receptacle ( 34 ) through one of the two cover plates ( 12.1 . 12.2 ) and at least part of the between the cover plates ( 12.1 . 12.2 ) arranged structural core ( 12.3 ) of the structural core plates ( 12 ) is guided and / or that the screw receptacle ( 34 ) through both cover plates ( 12.1 . 12.2 ) and the structural core ( 12.3 ) is guided and at least one side sealed when introduced fastener. Reingaskabine (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass zwei aneinandergrenzende Strukturkernplatten (12) durch zumindest eine Verbindungsschiene (60) verbunden sind, dass die Verbindungsschiene (60) einen Anlegeabschnitt (60.1) aufweist und dass der Anlegeabschnitt (60) mit jeweils einer Deckplatte (12.1, 12.2) der angrenzenden Strukturkernplatten (12) dicht verbunden, insbesondere dicht verklebt ist.Clean cabin ( 10 ) according to one of claims 1 to 5, characterized in that two adjoining structural core plates ( 12 ) by at least one connecting rail ( 60 ), that the connecting rail ( 60 ) an application section ( 60.1 ) and that the application section ( 60 ) each with a cover plate ( 12.1 . 12.2 ) of the adjacent structural core plates ( 12 ) is tightly connected, in particular tightly glued. Reingaskabine (10) nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Verbindungsschiene (60) ein Strangpressprofil mit einem Hohlprofil (60.2) und dem daran angeformten Anlegeabschnitt (60.1) ist und dass die aneinandergrenzenden Strukturkernplatten (12) beidseitig entlang des Hohlprofils (60.2) angeordnet und durch dieses beabstandet sind.Clean cabin ( 10 ) according to claim 6, characterized in that the connecting rail ( 60 ) an extruded profile with a hollow profile ( 60.2 ) and the fitting section formed thereon ( 60.1 ) and that the adjacent structural core plates ( 12 ) on both sides along the hollow profile ( 60.2 ) are arranged and spaced by this. Reingaskabine (10) nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest eine der aneinandergrenzenden Strukturkernplatten (12) mit ihrer Kante in einen Bereich zwischen dem Anlegeabschnitt (60.1) und einer gegenüberliegend zu dem Anlegeabschnitt (60.1) an das Hohlprofil (60.2) angeformten Gegenschiene (60.3) eingeschoben und gehalten ist.Clean cabin ( 10 ) according to claim 7, characterized in that at least one of the adjacent structural core plates ( 12 ) with its edge in a region between the application section ( 60.1 ) and one opposite to the application section ( 60.1 ) to the hollow profile ( 60.2 ) molded counter rail ( 60.3 ) is inserted and held. Reingaskabine (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Seitenwände (30, 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10) mittelbar oder unmittelbar mit einem Boden (20) der Reingaskabine (10) verbunden sind und dass der Boden (20) aus einer oder mehreren als Strukturkernplatten (12), insbesondere als Wabenkernplatten, ausgeführten Bodenplatten (22, 22.1, 22.2, 22.3) gebildet ist.Clean cabin ( 10 ) according to one of claims 1 to 8, characterized in that the side walls ( 30 . 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 ) directly or indirectly with a floor ( 20 ) of the clean cabin ( 10 ) and that the ground ( 20 ) of one or more structural core plates ( 12 ), in particular as honeycomb core panels, executed floor panels ( 22 . 22.1 . 22.2 . 22.3 ) is formed. Reingaskabine (10) nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Seitenwände (30, 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10) mit ihren aufgesetzten, insbesondere aufgesteckten Profilschienen (62) auf dem Boden (20) aufgestellt und durch Halteklammern (65) an dem Boden (20) festgelegt sind und dass zwischen den Profilschienen (62) und dem Boden (20) Dichtelemente vorgesehen sind und/oder dass die Profilschienen (62) mit dem Boden (20) verklebt sind.Clean cabin ( 10 ) according to claim 9, characterized in that the side walls ( 30 . 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 ) with their attached, in particular plugged rails ( 62 ) on the ground ( 20 ) and by retaining clips ( 65 ) on the ground ( 20 ) and that between the rails ( 62 ) and the ground ( 20 ) Sealing elements are provided and / or that the profile rails ( 62 ) with the ground ( 20 ) are glued. Reingaskabine (10) nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass an aneinanderstoßender Kanten benachbarter Bodenplatten (22, 22.1, 22.2, 22.3) ineinandergreifende Bodenschienen (23.1, 23.2) angeformt oder angeklebt sind und dass die Bodenschienen (23.1, 23.2) dicht miteinander verbunden sind.Clean cabin ( 10 ) according to claim 9 or 10, characterized in that abutting edges of adjacent floor slabs ( 22 . 22.1 . 22.2 . 22.3 ) intermeshing floor rails ( 23.1 . 23.2 ) are molded or glued and that the bottom rails ( 23.1 . 23.2 ) are tightly interconnected. Reingaskabine (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Reingaskabine (10) nach oben durch einen aus zumindest einer Deckelplatte (43) gebildeten Deckel (40) abgeschlossen ist und dass die Deckelplatte (43) aus einer Strukturkernplatte (12), insbesondere Wabenkernplatten, gebildet ist.Clean cabin ( 10 ) according to one of claims 1 to 11, characterized in that the clean cabin ( 10 ) upwards through one of at least one cover plate ( 43 ) formed lid ( 40 ) is completed and that the cover plate ( 43 ) from a structural core plate ( 12 ), in particular honeycomb core plates, is formed. Reingaskabine (10) nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Seitenwände (30, 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10) mit ihren aufgesetzten, insbesondere aufgesteckten Profilschienen (62) mittelbar oder unmittelbar mit der zumindest einen Deckelplatte (43) verbunden sind und/oder dass zwischen den Profilschienen (62) und der Deckelplatte (43) Dichtelemente vorgesehen und/oder dass die Profilschienen (62) mit der Deckelplatte (43) verklebt sind.Clean cabin ( 10 ) according to claim 12, characterized in that the side walls ( 30 . 30.1 . 30.2 . 30.3 . 30.4 . 30.5 . 30.6 . 30.7 . 30.8 . 30.9 . 30.10 ) with their attached, in particular plugged rails ( 62 ) indirectly or directly with the at least one cover plate ( 43 ) and / or that between the profile rails ( 62 ) and the cover plate ( 43 ) Sealing elements provided and / or that the profile rails ( 62 ) with the cover plate ( 43 ) are glued. Reingaskabine (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Strukturkernplatte (12) in einem Eckbereich der Reingaskabine (10) radienförmig abgebogen ist.Clean cabin ( 10 ) according to one of claims 1 to 13, characterized in that the structural core plate ( 12 ) in a corner area of the clean cabin ( 10 ) is bent radii. Reingaskabine (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Strukturkernplatte (12) an ihrem Außenumfang zumindest bereichsweise von einem oder mehreren Profilabschnitten eingefasst ist.Clean cabin ( 10 ) according to one of claims 1 to 14, characterized in that the structural core plate ( 12 ) is bordered on its outer circumference at least partially by one or more profile sections. Reingaskabine (10) nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Strukturkernplatte (12) mit ihrer dem Innenraum der Reingaskabine (10) zugewandten Deckplatte (12.1, 12.2) gegenüber dem oder den Profilabschnitten abgedichtet ist, und/oder dass der Randbereich der Strukturkernplatte (12) an zumindest einem Teil ihres Außenumfanges abgedeckt ist.Clean cabin ( 10 ) according to claim 15, characterized in that the structural core plate ( 12 ) with her the interior of the clean cabin ( 10 ) facing cover plate ( 12.1 . 12.2 ) is sealed relative to the one or more profile sections, and / or that the edge region of the structural core plate ( 12 ) is covered on at least part of its outer periphery.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110523446A (en) * 2019-09-06 2019-12-03 深圳市科晶智达科技有限公司 Dried and clean room and dried and clean system
DE202021100593U1 (en) 2021-02-05 2022-05-06 Andreas Plur clean room

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110441008A (en) * 2018-05-04 2019-11-12 布劳恩惰性气体系统有限公司 Leak test equipment, computer program product and leak test component
EP3997279B1 (en) * 2019-08-15 2023-03-08 G-CON Manufacturing, Inc. Removable panel roof for modular, self-contained, mobile clean room
US11492795B2 (en) 2020-08-31 2022-11-08 G-Con Manufacturing, Inc. Ballroom-style cleanroom assembled from modular buildings

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH592269A5 (en) * 1975-11-10 1977-10-14 Luwa Ag
EP0124807B1 (en) * 1983-05-05 1986-07-30 Dornier Gmbh Cabin
US5381845A (en) * 1993-05-27 1995-01-17 Masonite Corporation Partition wall panel system
DE102009029102A1 (en) * 2009-09-02 2011-03-03 Trepte Gmbh Metall- Und Fahrzeugbau Lightweight room module for use as e.g. emergency accommodation or rescue box in crisis area, has base, wall and roof elements formed from metal-honeycomb core-composite plates and connected to each other in self-supporting manner
DE102008063482B4 (en) * 2008-12-17 2011-06-22 robatherm GmbH + Co. KG, 89331 Housing for ventilation and air conditioning units
JP2012139931A (en) * 2010-12-29 2012-07-26 J-Bus Co Ltd Honeycomb panel by combinational honeycomb piece structure

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3946528A (en) * 1973-10-05 1976-03-30 B. & J. Jacobs Co., Inc. Insulated building panels and structure constructed therewith
JPS5728970Y2 (en) * 1977-08-31 1982-06-24
US4667579A (en) * 1985-10-03 1987-05-26 Daw, Incorporated Cleanroom structure
JPS63148715U (en) * 1987-03-18 1988-09-30
JPH07252910A (en) * 1994-03-15 1995-10-03 Nakayama Kogyo Kk Corner member
JP3036576B2 (en) * 1994-12-27 2000-04-24 日本軽金属株式会社 Frame structure of clean room
JP3298776B2 (en) * 1995-11-29 2002-07-08 昭和飛行機工業株式会社 Panel shelter
DE19639808C1 (en) * 1996-09-27 1997-12-04 Thomas Waescher Removal of gases, e.g. sulphur di:oxide from crude gas
KR200172619Y1 (en) * 1999-10-07 2000-03-15 동양판넬공업주식회사 Panel post
JP2007002507A (en) * 2005-06-23 2007-01-11 Sekisui Jushi Co Ltd Corner guard
DE202006003776U1 (en) * 2006-03-08 2006-05-24 Nagaraj, N.C. Parthasarathy Pressure chamber has wall surfaces has panel elements which in cross section are at least partially in meander-form, or may be in corrugated, crenellated, or trapezoidal form
US9048344B2 (en) * 2008-06-13 2015-06-02 Kateeva, Inc. Gas enclosure assembly and system
US20110179722A1 (en) * 2010-01-25 2011-07-28 Schulz Richard A Panelized lightweight control enclosure
WO2013013846A1 (en) * 2011-07-27 2013-01-31 Dürr Systems GmbH Painting facility and method for operation a painting facility
JP2013075451A (en) * 2011-09-30 2013-04-25 Nippon Steel & Sumikin Metal Products Co Ltd Hollow panel
CN202762287U (en) * 2012-09-26 2013-03-06 武汉钢铁(集团)公司 Inert gas purifier

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH592269A5 (en) * 1975-11-10 1977-10-14 Luwa Ag
EP0124807B1 (en) * 1983-05-05 1986-07-30 Dornier Gmbh Cabin
US5381845A (en) * 1993-05-27 1995-01-17 Masonite Corporation Partition wall panel system
DE102008063482B4 (en) * 2008-12-17 2011-06-22 robatherm GmbH + Co. KG, 89331 Housing for ventilation and air conditioning units
DE102009029102A1 (en) * 2009-09-02 2011-03-03 Trepte Gmbh Metall- Und Fahrzeugbau Lightweight room module for use as e.g. emergency accommodation or rescue box in crisis area, has base, wall and roof elements formed from metal-honeycomb core-composite plates and connected to each other in self-supporting manner
JP2012139931A (en) * 2010-12-29 2012-07-26 J-Bus Co Ltd Honeycomb panel by combinational honeycomb piece structure

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
„Reinraumtechnik", 3. aktualisierte u. erw. Aufl., Springer, S. 202–207

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110523446A (en) * 2019-09-06 2019-12-03 深圳市科晶智达科技有限公司 Dried and clean room and dried and clean system
DE202021100593U1 (en) 2021-02-05 2022-05-06 Andreas Plur clean room
EP4039904A1 (en) 2021-02-05 2022-08-10 Andreas Plur Clean room

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