DE102013006633A1 - Funkenverdampfen von metallischen, intermetallischen und keramischen Targetmaterialien um Al-Cr-N Beschichtungen herzustellen - Google Patents

Funkenverdampfen von metallischen, intermetallischen und keramischen Targetmaterialien um Al-Cr-N Beschichtungen herzustellen Download PDF

Info

Publication number
DE102013006633A1
DE102013006633A1 DE102013006633.6A DE102013006633A DE102013006633A1 DE 102013006633 A1 DE102013006633 A1 DE 102013006633A1 DE 102013006633 A DE102013006633 A DE 102013006633A DE 102013006633 A1 DE102013006633 A1 DE 102013006633A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
intermetallic
intermetallic compound
metallic
target
coatings
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE102013006633.6A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Mirjam Arndt
Richard Rachbauer
Corinna Sabitzer
Joerg Paulitsch
Peter Polcik
Paul Heinz Mayrhofer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Oerlikon Surface Solutions AG Pfaeffikon
Original Assignee
Oerlikon Trading AG Truebbach
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Oerlikon Trading AG Truebbach filed Critical Oerlikon Trading AG Truebbach
Priority to DE102013006633.6A priority Critical patent/DE102013006633A1/de
Priority to US14/785,357 priority patent/US20160053364A1/en
Priority to PCT/EP2014/000989 priority patent/WO2014170003A1/de
Priority to JP2016508033A priority patent/JP2016519218A/ja
Priority to CN201480021672.9A priority patent/CN105164306A/zh
Priority to KR1020157032710A priority patent/KR20150143783A/ko
Priority to EP14718326.3A priority patent/EP2986753B8/de
Priority to ARP140101617A priority patent/AR095879A1/es
Publication of DE102013006633A1 publication Critical patent/DE102013006633A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/32—Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
    • C23C14/325—Electric arc evaporation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641—Nitrides
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32431—Constructional details of the reactor
    • H01J37/32532—Electrodes
    • H01J37/32614—Consumable cathodes for arc discharge
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)
DE102013006633.6A 2013-04-18 2013-04-18 Funkenverdampfen von metallischen, intermetallischen und keramischen Targetmaterialien um Al-Cr-N Beschichtungen herzustellen Withdrawn DE102013006633A1 (de)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102013006633.6A DE102013006633A1 (de) 2013-04-18 2013-04-18 Funkenverdampfen von metallischen, intermetallischen und keramischen Targetmaterialien um Al-Cr-N Beschichtungen herzustellen
US14/785,357 US20160053364A1 (en) 2013-04-18 2014-04-14 ARC VAPORIZATION OF METALLIC, INTERMETALLIC, AND CERAMIC TARGET MATERIALS IN ORDER TO PRODUCE Al-Cr-N COATINGS
PCT/EP2014/000989 WO2014170003A1 (de) 2013-04-18 2014-04-14 Funkenverdampfen von metallischen, intermetallischen und keramischen targetmaterialien um al-cr-n beschichtungen herzustellen
JP2016508033A JP2016519218A (ja) 2013-04-18 2014-04-14 Ａｌ−Ｃｒ−Ｎコーティングを生成するための金属、金属間化合物及びセラミックターゲット材料のアーク蒸着
CN201480021672.9A CN105164306A (zh) 2013-04-18 2014-04-14 电弧蒸发金属靶材、金属间化合物靶材和陶瓷靶材以制造Al-Cr-N涂层
KR1020157032710A KR20150143783A (ko) 2013-04-18 2014-04-14 Al­Cr­N 코팅을 제조하기 위한 금속, 금속간 및 세라믹 표적 재료들의 아크 증착
EP14718326.3A EP2986753B8 (de) 2013-04-18 2014-04-14 Funkenverdampfen von metallischen, intermetallischen und keramischen targetmaterialien um al-cr-n beschichtungen herzustellen
ARP140101617A AR095879A1 (es) 2013-04-18 2014-04-16 Procedimiento para recubrir un sustrato mediante vaporización catódica de chispas

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102013006633.6A DE102013006633A1 (de) 2013-04-18 2013-04-18 Funkenverdampfen von metallischen, intermetallischen und keramischen Targetmaterialien um Al-Cr-N Beschichtungen herzustellen

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102013006633A1 true DE102013006633A1 (de) 2014-10-23

Family

ID=50513881

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102013006633.6A Withdrawn DE102013006633A1 (de) 2013-04-18 2013-04-18 Funkenverdampfen von metallischen, intermetallischen und keramischen Targetmaterialien um Al-Cr-N Beschichtungen herzustellen

Country Status (8)

Country Link
US (1) US20160053364A1 (https=)
EP (1) EP2986753B8 (https=)
JP (1) JP2016519218A (https=)
KR (1) KR20150143783A (https=)
CN (1) CN105164306A (https=)
AR (1) AR095879A1 (https=)
DE (1) DE102013006633A1 (https=)
WO (1) WO2014170003A1 (https=)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102877458B1 (ko) * 2023-03-09 2025-10-29 주식회사 이엠엘 다중 타겟을 이용한 코팅 방법 및 그에 따른 코팅재

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH693035A5 (de) * 1994-06-24 2003-01-31 Unaxis Balzers Ag Verfahren zur Herstellung eines Targets, nach dem Verfahren hergestelltes Target und Verwendung desselben.
WO2004059030A2 (de) * 2003-04-28 2004-07-15 Unaxis Balzers Ag Werkstück mit alcr-haltiger hartstoffschicht und verfahren zur herstellung
WO2010020362A1 (de) * 2008-08-17 2010-02-25 Oerlikon Trading Ag, Trübbach Verwendung eines targets für das funkenverdampfen und verfahren zum herstellen eines für diese verwendung geeigneten targets
EP2166128A1 (de) * 2008-09-19 2010-03-24 Oerlikon Trading AG, Trübbach Verfahren zum Herstellen von Metalloxidschichten durch Funkenverdampfung

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2275585A (en) * 1937-10-08 1942-03-10 Clad Metals Ind Inc Method of making composite metal
US3625848A (en) * 1968-12-26 1971-12-07 Alvin A Snaper Arc deposition process and apparatus
US3836451A (en) * 1968-12-26 1974-09-17 A Snaper Arc deposition apparatus
LU78204A1 (de) * 1977-09-29 1979-05-25 Bleichert Foerderanlagen Gmbh Einschienenfoerderanlage
US5342571A (en) * 1992-02-19 1994-08-30 Tosoh Smd, Inc. Method for producing sputtering target for deposition of titanium, aluminum and nitrogen coatings, sputtering target made thereby, and method of sputtering with said targets
JPH09249966A (ja) * 1996-03-13 1997-09-22 Mitsubishi Materials Corp 金属間化合物分散型焼結Ａｌ合金製スパッタリングターゲット
JP2001226764A (ja) * 2000-02-10 2001-08-21 Shin Etsu Chem Co Ltd スパッタリングのターゲット材用焼結体、その製造方法、及びスパッタリング用ターゲット
US6759005B2 (en) * 2002-07-23 2004-07-06 Heraeus, Inc. Fabrication of B/C/N/O/Si doped sputtering targets
US20070189916A1 (en) * 2002-07-23 2007-08-16 Heraeus Incorporated Sputtering targets and methods for fabricating sputtering targets having multiple materials
US7575039B2 (en) * 2003-10-15 2009-08-18 United Technologies Corporation Refractory metal core coatings
JP5192642B2 (ja) * 2005-11-11 2013-05-08 三菱重工業株式会社 表面被覆部材及びその製造方法ならびに工具及び工作装置
JP2008179853A (ja) * 2007-01-24 2008-08-07 Hitachi Tool Engineering Ltd ホウ化物含有ターゲット材
SE531749C2 (sv) * 2007-09-17 2009-07-28 Seco Tools Ab Metod att utfälla slitstarka skikt på hårdmetall med bågförångning och katod med Ti3SiC2 som huvudbeståndsdel
JP5051168B2 (ja) * 2009-03-31 2012-10-17 日立ツール株式会社 窒化物分散Ｔｉ−Ａｌ系ターゲット及びその製造方法
EP2363509A1 (en) * 2010-02-28 2011-09-07 Oerlikon Trading AG, Trübbach Synthesis of metal oxides by reactive cathodic arc evaporation
DE102010042828A1 (de) * 2010-10-22 2012-04-26 Walter Ag Target für Lichtbogenverfahren

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH693035A5 (de) * 1994-06-24 2003-01-31 Unaxis Balzers Ag Verfahren zur Herstellung eines Targets, nach dem Verfahren hergestelltes Target und Verwendung desselben.
WO2004059030A2 (de) * 2003-04-28 2004-07-15 Unaxis Balzers Ag Werkstück mit alcr-haltiger hartstoffschicht und verfahren zur herstellung
WO2010020362A1 (de) * 2008-08-17 2010-02-25 Oerlikon Trading Ag, Trübbach Verwendung eines targets für das funkenverdampfen und verfahren zum herstellen eines für diese verwendung geeigneten targets
EP2166128A1 (de) * 2008-09-19 2010-03-24 Oerlikon Trading AG, Trübbach Verfahren zum Herstellen von Metalloxidschichten durch Funkenverdampfung

Also Published As

Publication number Publication date
EP2986753A1 (de) 2016-02-24
US20160053364A1 (en) 2016-02-25
JP2016519218A (ja) 2016-06-30
EP2986753B8 (de) 2019-06-19
EP2986753B1 (de) 2019-03-20
AR095879A1 (es) 2015-11-18
KR20150143783A (ko) 2015-12-23
WO2014170003A1 (de) 2014-10-23
CN105164306A (zh) 2015-12-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102005004402B4 (de) Hartstoff-Schichtsystem und Verfahren zu dessen Bildung
DE69216218T2 (de) Erosionsbeständiges und abrasionsbeständiges Mehrschichtenmaterial
EP1161572B1 (de) Schneideinsatz zum zerspanen von metallischen werkstoffen mit einer molybdänsulfid enthaltenden beschichtung und verfahren zu dessen herstellung
CH710306A2 (de) Verfahren für die Herstellung einer Beschichtung.
DE102012017731A1 (de) Ti-Al-Ta-basierte Beschichtung mit einer verbesserten Temperaturbeständigkeit
DE19957671A1 (de) Werkzeug mit einer Molybdänsulfid enthaltenden Beschichtung und Verfahren zu dessen Herstellung
DE102012020757A1 (de) Bauteil mit einer Beschichtung und Verfahren zu seiner Herstellung
EP3333281B1 (de) Hochtemperaturschutzschicht für titanaluminid - legierungen
WO2020064041A1 (de) Verfahren zur herstellung einer mehrlagigen erosions - und korrosionsschutzschicht und bauteil mit einer entsprechenden schutzschicht
WO2013086552A1 (de) Kohlenstoffbasierende beschichtung
DE102016206094A1 (de) Kolbenring für Verbrennungsmotoren
DE102012211746B4 (de) Friktionsarme beschichtungsschicht für ein fahrzeugteil und verfahren zum erzeugen derselben
DE102013006633A1 (de) Funkenverdampfen von metallischen, intermetallischen und keramischen Targetmaterialien um Al-Cr-N Beschichtungen herzustellen
EP2630270B1 (de) Target für lichtbogenverfahren
WO2019122229A1 (de) Korrosions- und erosionsbeständige beschichtung für turbinenschaufeln von gasturbinen
EP2607515B1 (de) Diffusionsbeschichtungsverfahren und damit hergestellte Chromschicht
DE112018004793B4 (de) Target zur physikalischen gasphasenabscheidung, nanokomposit- beschichtungsfilm unter verwendung desselben, und herstellungsverfahren dafür
EP2999807A1 (de) Barriereschicht für turbolader
WO2005012590A2 (de) Ventilsitzringe aus co oder co/mo-basislegierungen und deren herstellung
DE102005062225B3 (de) Legierungsprodukt vom MCrAIX-Typ und Verfahren zur Herstellung einer Schicht aus diesem Legierungsprodukt
DE202020105009U1 (de) Al-reiche AlCrN-basierte Beschichtung
WO2013107712A1 (de) Verfahren zur herstellung einer keramischen schicht auf einer aus einer ni-basislegierung gebildeten oberfläche
EP1367144A1 (de) Verfahren zur Entfernung von zumindest einem Teilbereich eines Bauteils aus Metall oder einer Metallverbindung
WO2007054256A1 (de) Beschichteter sanitärgegenstand
DE3902418C2 (https=)

Legal Events

Date Code Title Description
R163 Identified publications notified
R005 Application deemed withdrawn due to failure to request examination