DE102010000479A1 - Vorrichtung zur Homogenisierung eines verdampften Aerosols sowie Vorrichtung zum Abscheiden einer organischen Schicht auf einem Substrat mit einer derartigen Homogenisierungseinrichtung - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Homogenisierung eines verdampften Aerosols mit einem Injektor (2) zum Einbringen von kleinen Materiepartikeln in ein Trägergas (13), mit einem mit dem Injektor (2) leitungsverbundenen Verdampfer (6), in dem die vom Trägergas (13) in den Verdampfer (6) transportierten Materiepartikel verdampfen, und mit einer mit dem Verdampfer (6) leitungsverbundenen Mischeinrichtung (7), in welcher der die verdampften Materiepartikel transportierende Trägergasstrom in Teilströme aufgefächert wird, die die Mischeinrichtung in unterschiedlichen Verweilzeiten durchströmen.
Description
- Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Homogenisierung eines verdampften Aerosols sowie eine Vorrichtung zum Abscheiden einer Polymerschicht auf einem Substrat mit einem Injektor zum Einbringen kleiner Polymerpartikel in einen Trägergasstrom, mit einem Verdampfer, in dem die Polymerpartikel verdampft werden, und mit einer Depositionseinrichtung zum Abscheiden des mit Hilfe des Trägergasstroms in die Depositionseinrichtung transportierten Polymerdampfs als Polymerschicht auf einem Substrat.
- Die
DE 10 2008 026 974 A1 beschreibt eine Vorrichtung zum Abscheiden von polymeren Para-Xylylenen auf einem Substrat. Die Vorrichtung besitzt eine Verdampfereinheit, mit der ein erster, insbesondere fester Ausgangsstoff in Form eines Polymers, beispielsweise eines Dimers in einem Trägergasstrom verdampft wird. Das in dem beheizten Verdampfer verdampfte Dimer wird einer dem Verdampfer nachgeordneten beheizbaren Zerlegungskammer zugeleitet. In dieser Pyrolysekammer wird das Dimer in ein Monomer zerlegt. Das Monomer wird von dem Trägergas in eine der Zerlegungskammer in Stromrichtung nachgeordnete Depositionskammer gebracht, in der es durch ein Gaseinlassorgan in eine Prozesskammer einströmt. In der Prozesskammer liegt auf einem Suszeptor ein Substrat, welches gekühlt wird, so dass sich das gasförmige Monomer dort zu einem Polymer abscheiden kann. - Die
EP 1 095 169 B1 beschreibt einen Bürstendosierer zum Erzeugen eines Aerosols. Der Bürstendosierer besitzt eine Bevorratungskammer, in welcher sich ein zu pulverisierender Festkörper befindet. Dieser Festkörper kann auch aus gepresstem Pulver bestehen. Mittels eines Stempels wird der Festkörper gegen die sich drehenden Borsten eines Bürstenrades gedrückt. Die Borsten lösen von der Stirnseite des Festkörpers Materiepartikel und fördern diese in einen Gasstrom. - Da die Borsten in Umfangsrichtung des Borstenrades nicht homogen angeordnet sind, beispielsweise eine unterschiedliche Länge sowie einzelne Borsten auch unterschiedliche Steifigkeiten aufweisen, ist ihre Abtragswirkung ungleichmäßig. Dies hat zur Folge, dass zeitlich hintereinander unterschiedliche Partikelkonzentrationen in der Trägergasstrom gebracht werden. Diese Partikel werden in einem nachfolgenden Verdampfer zerlegt bzw. in die Gasphase verdampft. Der dann rein gasförmige Materialstrom hat dann zeitlich verschiedene Konzentrationen, ist also zeitlich inhomogen.
- Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einer gattungsgemäßen Vorrichtung einen Gasstrom mit verbesserter zeitlicher Homogenität bereitzustellen.
- Gelöst wird die Aufgabe durch die in den Ansprüchen angegebene Erfindung.
- Zunächst und im wesentlichen sieht die Erfindung einen mit dem Verdampfer leitungsverbundenen Mischer vor. Die Mischeinrichtung ist in Stromrichtung dem Verdampfer nachgeordnet. In der Mischeinrichtung wird der durch einen Eintrittskanal in die Mischeinrichtung eintretende Gasstrom in verschiedene Teilströme aufgeteilt. Der so aufgefächerte Trägergasstrom bildet eine Vielzahl von Teilströmen aus, die innerhalb der Mischeinrichtung voneinander verschiedene Verweilzeiten aufweisen. Die gleichzeitig in die Mischeinrichtung eintretenden Volumenelemente, die sich auf verschiedene Teilströme aufteilen, erreichen den Austrittskanal des Mischers somit zu verschiedenen Zeiten, so dass eine zeitliche Durchmischung des Gasstroms erfolgt. Bevorzugt werden die Teilströme von Schichten einer laminaren Strömung ausgebildet, die unterschiedliche Strömungslängen besitzen. Die Mischeinrichtung wird vorzugsweise von einem Hohlkörper ausgebildet. Das Gehäuse des Hohlkörpers ist vorzugsweise zylinderförmig. Die beiden Stirnflächen des Hohlzylinders haben bevorzugt einen kreisförmigen Grundriss. Der Eintrittskanal bzw. der Austrittskanal liegt jeweils im Zentrum der Deckplatten. Das Gehäuse ist bevorzugt rotationssymmetrisch. Es kann somit auch die Form eines Ellipsoids, einer Kugel oder eines Kegels aufweisen. Innerhalb des Hohlkörpers befindet sich eine Umlenkeinrichtung für den in den Hohlkörper einströmenden Gasstrom. Im einfachsten Fall handelt es sich dabei um eine Umlenkplatte, die unmittelbar vor der Mündung des Eintrittskanales innerhalb des Gehäuses vorgesehen ist. Es kann sich dabei um eine kreisscheibenförmige Platte handeln, gegen deren Zentrum der Gasstrom tritt. Der Gasstrom wird etwa rechtwinklig abgeleitet und dabei aufgeweitet, verlangsamtund bildet innerhalb des Mischergehäuses eine laminare Strömung aus. Es bildet sich eine erste Stromlinie aus, die dem Zentrum des Gehäuses am nächsten liegt. Die entlang dieser Stromlinie transportierten Volumenelemente haben die kürzeste Verweilzeit innerhalb des Mischers. Es bildet sich ferner eine zweite, entlang der Gehäusewandung verlaufende Stromlinie aus, die die längste Stromlinie ist. Die entlang dieser Stromlinie durch den Mischer transportierten Volumenelemente haben die größte Verweilzeit innerhalb des Mischergehäuses. Darüber hinaus bilden sich eine Vielzahl von zwischen diesen beiden Stromlinien liegenden Stromlinien aus, entlang der Volumenelemente des Gases mit verschiedenen Strömungsgeschwindigkeiten strömen. Gleichzeitig in den Mischer eintretende Volumenelemente erreichen somit zu verschiedenen Zeiten den Austrittskanal aus dem Mischergehäuse. Mit dem erfindungsgemäßen Mischer ist somit eine Homogenisierung eines Gasstroms verwirklicht. Mit einem Bürsteninjektor wird ein Pulver in einen Trägergasstrom gebracht. Dieses kann in einem mit dem Injektor nachgeordneten Verdünner verdünnt werden. Dem Verdünner ist ein Verdampfer bspw. in Form eines beheizten Rohres nachgeordnet, in dem das Pulver, bei dem es um ein Polymer handelt, verdampft wird. Handelt es sich bei den Materiepartikeln um ein Dimer, beispielsweise ein Para-Xylylen-Dimer, so kann die Temperatur innerhalb des Verdampfers auch so eingestellt werden, dass das Dimer im Verdampfer zu einem Monomer zerlegt wird. Dieses Monomer kann dann insbesondere über geheizte Zuleitungen einem Gaseinlassorgan einer Depositionseinrichtung zugeleitet werden. Es strömt dort durch das Gaseinlassorgan, welches die Form eines Duschkopfs aufweist, in eine Prozesskammer. Die Decke der Prozesskammer wird von dem besagten Duschkopf ausgebildet. Durch die siebartig angeordneten Öffnungen des Gaseinlassorganes strömt das Trägergas mit dem gasförmigen Monomer in die Prozesskammer. Der Boden der Prozesskammer wird von einem, insbesondere wassergekühlten Suszeptor ausgebildet. Auf dem Suszeptor liegt mindestens ein Substrat auf. Auf der Substratoberfläche wird ein Polymer abgeschieden. Der Abscheidungsprozess kann im Nie-drigdruckbereich erfolgen.
- Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachfolgend anhand beigefügter Zeichnungen im Zusammenhang mit einer Vorrichtung zum Abscheiden von Parylene beschrieben. Es zeigen:
-
1 eine schematische Darstellung der Gesamtvorrichtung; -
2 die Injektoreinheit mit einem als Stromteiler ausgebildeten Verdünner; -
3 die Verdampfungseinheit mit einer Mischeinrichtung und einem Ventil; -
4 in perspektivischer Darstellung die Mischeinrichtung und -
5 die Funktionsweise der Mischeinrichtung. - Die Beschichtungseinrichtung für eine aus einem organischen Material bestehende Schicht, insbesondere für Para-Xylylene besteht aus einem Aerosolerzeuger
1 und einer diesem nachgeordneten Verdampfungseinheit6 ,7 , einem dieser Verdampfungseinheit nachgeordneten Fünf/Zwei-Wegeventil8 und einer Depositionseinrichtung mit einer Prozesskammer9 und einem Gaseinlassorgan10 , einem Suszeptor11 , auf dem ein Substrat12 auflegbar ist, um es zu beschichten. - Ein Trägergas
13 wird in einem Massenflussregler3 massenflussgeregelt und in einen Injektor2 transportiert. In einem Vorratsbehälter4 des Injektors2 befindet sich ein Festkörper, der im Injektor2 in Pulverform in den Gasstrom injiziert wird. Dieses, in einem Inertgas, beispielsweise Wasserstoff oder Stickstoff injizierte Festkörperaerosol wird einem Stromteiler5 zugeleitet, in welchem ein großer Anteil des injizierten Pulvers wieder abgeschieden wird. Das aus dem Gasstrom abgezweigte Pulver sammelt sich in einem Sammelbehälter14 . In dem Stromteiler5 wird aus dem Eingangs-Aerosolstrom eine Teilmenge des Aerosols abgezweigt, so dass sich ein Ausgangsgasstrom ausbildet, der eine verminderte Partikeldichte aufweist. - Der Gasstrom als solcher ändert sich nicht. Es ändert sich lediglich die Massenflussrate der Materiepartikel. Dieser Gasstrom wird vom Stromteiler
5 in einen Verdampfer6 geleitet. Es handelt sich hierum einen Röhrenverdampfer. Die geheizte Röhre besitzt etwa eine Länge von 100 cm. Die Röhre ist auf eine Temperatur geheizt, die nicht nur die Festkörperpartikel verdampfen lässt, sondern die auch eine Teilzerlegung des verdampften Festkörpers bewirkt. Das derart verdampfte und gegebenenfalls auch zerlegte Festkörperaerosol wird dann in einen Mischer7 geleitet. - Bei dem Mischer
7 handelt es sich um einen lateralen Mischer, in dem der Gasstrom in einzelne Strömungswege aufgefächert wird, die eine unterschiedliche Länge besitzen. Demzufolge haben verschiedene, im wesentlichen gleichzeitig in den Mischer eingetretene Volumenelemente des Gasstroms eine unterschiedliche Verweilzeit innerhalb des Mischers. Im Mischer bildet sich bevorzugt eine laminare Strömung mit verschieden langen Strömungswegen aus. Dadurch findet eine Homogenisierung des Gasstroms statt. Die gleichzeitig in den Mischer eintretenden Volumenelemente bewegen sich auf unterschiedlichen Bahnen durch das Mischergehäuse und erreichen den Austrittskanal31 des Mischers zu unterschiedlichen Zeiten. - Der aus dem Mischer
7 heraustretende Gasstrom tritt in eine Ventilanordnung8 ein. In die Ventilanordnung8 strömt ein erster Gasstrom27 als ”Run-Gasstrom” hinein. Dieser Gasstrom kann bereits ein anderes verdampftes Polymer oder einen anderen verdampften Ausgangsstoff transportieren Der Gasstrom27 tritt als Gasstrom27' aus der Ventilanordnung8 wieder heraus. In die Ventilanordnung8 tritt ein zweiter Gasstrom15 , ein ”Vent-Gasstrom” hinein, der ebenfalls durch das Ventil8 hindurchtritt und durch eine Leitung15' wieder austritt. Nur die Leitung27' ist mit einer Depositionseinrichtung verbunden. Der vom Mischer7 kommende Gasstrom kann durch Umschalten der Ventilanordnung8 wahlweise dem ”Run-Gasstrom”27 oder dem ”Vent-Gasstrom”15 zugemischt werden. - Die Depositionseinrichtung besitzt ein Gehäuse, ein in dem Gehäuse angeordnetes Gaseinlassorgan
10 und einen Suszeptor11 , der unterhalb des Gaseinlassorganes10 angeordnet ist, und der in der Lage ist, ein oder mehrere zu beschichtende Substrate12 zu tragen. Hinsichtlich der Ausgestaltung der Depositionseinrichtung wird auf den Offenbarungsgehalt derDE 10 2008 026 974 A1 verwiesen. Das Gaseinlassorgan10 kann großflächig angeordnete Gaseinlassöffnungen aufweisen und so in der Form eines Duschkopfs ausgebildet sein. Der Suszeptor11 kann eine zu der Gaseintrittsöffnung weisende Auflagefläche aufweisen, auf die ein Substrat aufgelegt werden kann. Die Auflagefläche kann von einem Kühlblock ausgebildet werden, der beispielsweise mit Kühlwasser gekühlt ist. - Die
2 zeigt schematisch den Injektor2 , der als Bürstendosierer ausgeführt ist, wie er grundsätzlich von derEP 1 095 169 B1 beschrieben wird. Unterhalb einer rotierenden Bürste24 in Form eines Bürstenrades befindet sich ein Vorratsbehälter4 in Form eines Rohres, in dem sich ein Festkörper25 befindet. Bei dem Festkörper25 kann es sich um ein gepresstes Pulver handeln. Es kann sich aber auch um ein loses Pulver handeln. Der Festkörper25 wird mittels eines Stempels26 gegen einen Umfangsbereich des Bürstenrades24 gepresst. Die Borsten des Bürstenrades24 tragen von der Stirnfläche des Festkörpers25 Materiepartikel in Form eines Pulvers ab. Diese Pulver wird durch die Drehung des Bürstenrades24 in den Trägergasstrom13 transportiert, der auf der gegenüberliegenden Seite bezogen auf den Festkörper25 am Bürstenrad24 vorbeiströmt. - Das so erzeugte Festkörperaerosol tritt durch die Zuleitung
17 in den Verdünner5 ein. Der Verdünner ist in der Lage, von dem in den Verdünner5 einströmenden Aerosolstrom kontinuierlich eine Teilmenge abzuzweigen. Er wirkt somit bezogen auf das in den Trägergasstrom injizierte Pulver als Stromteiler. Der Stromteiler5 besitzt ein Gehäuse23 , welches gasdicht ist. Das Gehäuse23 besitzt an seiner Unterseite einen abnehmbaren Sammelbehälter14 . in das Gehäuse23 ragt die Zuleitung17 , die unter Ausbildung einer Austrittsöffnung16 endet. Die Zuleitung17 durchragt dabei eine Öffnung einer Flanschplatte, die die Öffnung eines Gehäusearmes verschließt. Quer zu diesem, sich in Horizontalrichtung erstreckenden Gehäusearm erstreckt sich ein vertikaler Gehäusearm. - In Stromrichtung hinter der Austrittsöffnung
16 befindet sich eine Düse20 , die mit einer Ableitung19 verbunden ist. Zuleitung17 und Ableitung19 werden von Rohren ausgebildet, die miteinander fluchten. Die Ableitung90 durchragt ebenfalls eine Verschlusskappe, die eine Öffnung eines Gehäusearms verschließt. Dieser, sich in Horizontalrichtung erstreckende Gehäusearm fluchtet mit den der Zuleitung17 zugeordneten Gehäusearmen. Die Eintrittsdüse10 liegt etwa in der Mitte des vertikalen Gehäusearms. - Die Düse
20 wird von einem kegelförmigen Düsenkörper ausgebildet, dessen Spitze eine Eintrittsöffnung18 von etwa einem Millimeter Durchmesser ausbildet. Der Rand der Eintrittsöffnung18 ist scharfkantig. Die Öffnungsfläche der Eintrittsöffnung18 ist mindestens um einen Faktor zehn kleiner als die Öffnungsfläche der Austrittsöffnung16 . - Die Düse
20 befindet sich etwa mittig oberhalb des Sammelbehälters14 . Oberhalb des Randes des Sammelbehälters14 befindet sich eine im wesentlichen kreisscheibenförmige Prallplatte21 , durch deren Zentrum die Ableitung19 verläuft. Die Prallplatte ist somit in Stromrichtung gegenüber der Eintrittsöffnung18 rückversetzt. Der Düsenkörper der Düse20 ist auf das Ende des die Ableitung19 ausbildenden Rohres aufgesteckt, welches im wesentlichen denselben Durchmesser aufweist, wie das die Austrittsöffnung16 ausbildende, die Zuleitung17 bildende Rohr. Der Düsenkörper20 kann mittels einer Madenschraube auf der Rohraußenwand befestigt sein. Die Spitze des Düsenkörpers ist auf das Zentrum der Eintrittsöffnung16 gerichtet. - Die Funktionsweise des Stromteilers
5 ist die folgende:
Das vom Injektor2 erzeugte Aerosol wird mit Hilfe des Trägergases13 durch die Zuleitung17 in das Gehäuse23 des Verdünners gefördert. Es tritt aus der Austrittsöffnung16 der Zuleitung17 aus und weitet sich innerhalb des Gehäuses auf. Das Aerosol wird gegen die Eintrittsöffnung18 gefördert. Nur eine geringe Anzahl der aus der Austrittsöffnung16 heraustretenden Materiepartikel treten direkt in die Eintrittsöffnung18 hinein. Der überwiegende Teil der Materiepartikel strömt um die Düse20 herum und gegen die Prallplatte21 . Der Gasstrom wird dabei aufgeweitet und verlangsamt sich. Da innerhalb des Gehäuses23 ein Totaldruck von weniger als zehn Millibar herrscht, können sich die an der Düse20 vorbei transportierten Materiepartikel zu einem großen Teil im Sammelbehälter14 absetzen. Ein Restanteil der nicht abgesetzten Materiepartikel strömt zusammen mit dem Trägergasstrom durch die Eintrittsöffnung18 in die Ableitung19 . - Mit dem Stromteiler
5 lässt sich somit die Aerosol-Konzentration in einem Trägergas reduzieren, ohne dass sich der Massenfluss des Trägergases ändert, da der Stromteiler5 in der bevorzugten Ausgestaltung vom gesamten Trägergas durchströmt wird. - Die
3 zeigt den rohrförmigen Verdampfer6 , der dem Stromsteiler5 in Stromrichtung nachgeordnet ist. Der Mantel des rohrförmigen Verdampfers wird mit einer Heizeinrichtung aufgeheizt. Das in den Verdampfer6 einströmende Aerosol wird dadurch verdampft. Die Temperatur des Verdampfers6 wird bevorzugt so gewählt, dass nach dem Verdampfen des Aerosols auch eine Zerlegung des Aerosols stattfindet. - Der dem Verdampfer
6 in Stromrichtung nachgeordnete Mischer7 besitzt eine Zylindersymmetrie (vgl.4 ), wobei die Zuleitung30 und die Ableitung31 in der Zylinderachse36 liegt (siehe auch5 ). Der zylinderförmige Körper besitzt zwei parallel zueinander angeordnete zylinderförmige Scheiben, die jeweils im Zentrum eine Öffnung besitzen. Eine Öffnung bildet die Zuleitung30 und die Öffnung der anderen Platte die Ableitung31 . Der zylinderförmige Hohlraum des Mischers7 wird von einer gekrümmten Umfangswand begrenzt. Innerhalb des zylinderförmigen Gehäuses35 befindet sich eine im Zentrum vor der Mündung des Eintrittskanals30 angeordnete Umlenkplatte28 . Der durch den Eintrittskanal30 in Radialrichtung bezogen auf die Achse36 eintretende Gasstrom wird an der Umlenkplatte28 in Radialrichtung abgeleitet. Dabei bildet sich eine im wesentlichen laminare Strömung aus. Es bildet sich eine kurze Stromlinie34 aus, die die geringste radiale Entfernung zur Achse36 besitzt. Es bilden sich eine Vielzahl weitere, entfernter von der innersten Stromlinie34 verlaufende Stromlinien33 aus, die eine größere Länge besitzen als die innerste Stromlinie34 . Eine äußerste Stromlinie32 besitzt die größte Länge. Die entlang der Stromlinien32 bis34 strömenden Gasvolumina, die im wesentlichen gleichzeitig aus dem Eintrittskanal30 in das Gehäuse35 des Mischers7 einströmen, haben dadurch unterschiedliche Verweilzeiten innerhalb des Gehäuses35 , so dass eine Durchmischung und damit eine Homogenisierung des aus dem Austrittskanal31 ausströmenden Gases stattgefunden hat. Dies hat zur Folge, dass gleichzeitig eintretende Volumenelemente zu unterschiedlichen Zeiten den Mischer7 durch die Ableitung31 verlassen. - Dieser Mischer
7 ist deshalb von Vorteil, weil zufolge Fertigungstoleranzen oder dergleichen am Bürstenrad24 zeitlich variierende Partikelkonzentrationen in den Gasstrom13 injiziert werden. Diese zeitliche Inhomogenität wird im Mischer7 ausgeglichen. - Das Gehäuse des Mischers
7 kann aus Edelstahl bestehen. Die Umlenkplatte28 kann mit Tragstangen29 an der dem Eintrittskanal30 gegenüberliegenden Gehäusewandung befestigt sein. Es ist auch möglich, die zum Eintrittskanal30 weisende Seite der Umlenkplatte28 bzw. die zum Austrittskanal31 weisende Seite der Umlenkplatte28 strömungsgünstig zu modellieren, insbesondere um die Ausbildung von Wirbeln zu vermeiden. Es ist aber auch andererseits vorgesehen, innerhalb des Gehäuses35 die Umlenkplatte28 oder weitere Umlenkplatten so anzuordnen, dass bewusst Wirbel entstehen, da derartige Wirbel eine Speicherfunktion entfalten und somit zur Homogenisierung beitragen. - In dem Mischer wird der durch den Eintrittskanal
30 einströmende Gasstrom somit in Strömungswege aufgefächert, entlang derer die Gasmoleküle in unterschiedlicher Verweilzeit durch die Mischkammer des Mischers7 treten. - Alle offenbarten Merkmale sind (für sich) erfindungswesentlich. In die Offenbarung der Anmeldung wird hiermit auch der Offenbarungsinhalt der zugehörigen/beigefügten Prioritätsunterlagen (Abschrift der Voranmeldung) vollinhaltlich mit einbezogen, auch zu dem Zweck, Merkmale dieser Unterlagen in Ansprüche vorliegender Anmeldung mit aufzunehmen. Die Unteransprüche charakterisieren in ihrer fakultativ nebengeordneten Fassung eigenständige erfinderische Weiterbildung des Standes der Technik, insbesondere um auf Basis dieser Ansprüche Teilanmeldungen vorzunehmen.
- Bezugszeichenliste
-
- 1
- Aerosolerzeuger
- 2
- Injektor
- 3
- Massenflussregler
- 4
- Vorratsbehälter
- 5
- Stromteiler
- 6
- Verdampfer
- 7
- Mischer
- 8
- Ventilanordnung
- 9
- Depositionseinrichtung
- 10
- Gaseinlassorgan
- 11
- Suszeptor
- 12
- Substrat
- 13
- Trägergas
- 14
- Sammelbehälter
- 15
- Vent-Leitung
- 15'
- Leitung
- 16
- Austrittsöffnung
- 17
- Zuleitung
- 18
- Eintrittsöffnung
- 19
- Ableitung
- 20
- Düse
- 21
- Prallplatte
- 22
- Flanschverbindung
- 23
- Gehäuse
- 24
- Bürstenrad
- 25
- Festkörper
- 26
- Stempel
- 27
- Run-Leitung
- 27'
- Leitung
- 28
- Umlenkplatte
- 29
- Tragstange
- 30
- Eintrittskanal
- 31
- Austrittskanal
- 32
- Stromlinie
- 33
- Stromlinie
- 34
- Stromlinie
- 35
- Gehäuse
- 36
- Achse
- ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
- Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
- Zitierte Patentliteratur
-
- DE 102008026974 A1 [0002, 0019]
- EP 1095169 B1 [0003, 0020]
Claims (10)
- Vorrichtung zur Homogenisierung eines verdampften Aerosols mit einem Injektor (
2 ) zum Einbringen von kleinen Materiepartikeln in ein Trägergas (13 ), mit einem mit dem Injektor (2 ) leitungsverbundenen Verdampfer (6 ), in dem die vom Trägergas (13 ) in den Verdampfer (6 ) transportierten Materiepartikel verdampfen, und mit einer mit dem Verdampfer (6 ) leitungsverbundenen Mischeinrichtung (7 ), in welcher der die verdampften Materiepartikel transportierende Trägergasstrom in Teilströme aufgefächert wird, die die Mischeinrichtung in unterschiedlichen Verweilzeiten durchströmen. - Vorrichtung nach Anspruch 1 oder insbesondere danach, dadurch gekennzeichnet, dass die Mischeinrichtung (
7 ) einen Eintrittskanal (30 ) zum Eintritt des Gases und einen Austrittskanal (31 ) zum Austritt des Gases aufweist sowie eine dem Eintrittskanal (30 ) benachbarte Stromumlenkeinrichtung (28 ) zum Auffächern des durch den Eintrittskanal (30 ) in die Mischeinrichtung (7 ) eintretenden Gases, insbesondere in ein laminares Strömungsprofil. - Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche oder insbesondere danach, dadurch gekennzeichnet, dass die Mischeinrichtung (
7 ) ein im wesentlichen zylinderförmiges Gehäuse aufweist mit zwei parallel zueinander verlaufenden Platten, die jeweils in ihren Zentren den Eintrittskanal (30 ) bzw. den Austrittskanal (31 ) ausbilden. - Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche oder insbesondere danach, dadurch gekennzeichnet, dass die Umlenkeinrichtung eine vor der Mündung des Eintrittskanals (
30 ) innerhalb des zylinderförmigen Hohlraums des Gehäuses (35 ) angeordnete Umlenkplatte (28 ) ist. - Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche oder insbesondere danach, dadurch gekennzeichnet, dass die Mischeinrichtung (
7 ) von einem rotationssymmetrischen Hohlkörper (35 ) ausgebildet ist, wobei der Eintrittskanal (30 ) und der Austrittskanal (31 ) in der Symmetrieachse liegen. - Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche oder insbesondere danach, dadurch gekennzeichnet, dass die Teilströme von einer laminaren Strömung innerhalb des Gehäuses (
35 ) ausgebildet werden und voneinander verschiedene Längen aufweisen. - Vorrichtung zum Abscheiden einer organischen Schicht, insbesondere einer Polymerschicht auf einem Substrat mit einem Injektor (
2 ) zum Einbringen kleiner Polymerpartikel in einen Trägergasstrom (13 ), mit einem Verdampfer (6 ), in dem die Polymerpartikel verdampft werden, und mit einer Depositionseinrichtung (9 ) zum Abscheiden des mit Hilfe des Trägergasstroms in die Depositionseinrichtung (9 ) transportierten Polymerdampfs als Polymerschicht auf einem Substrat, gekennzeichnet durch eine mit dem Verdampfer (6 ) leitungsverbundene Mischeinrichtung (7 ), in welcher der die verdampften Materiepartikel transportierende Trägergasstrom in Teilströme unterschiedlicher Verweilzeit im Mischer aufgeteilt wird. - Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche oder insbesondere danach, dadurch gekennzeichnet, dass der Injektor (
2 ) ein Bürstendosierer ist. - Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche oder insbesondere danach, gekennzeichnet durch einen mit dem Injektor (
2 ) leitungsverbundenen Verdünner (5 ), welchem der die Materiepartikel transportierende Gasstrom zugeleitet wird und in welchem aus dem Gasstrom kontinuierlich eine Teilmenge der Materiepartikel abgezweigt wird. - Verfahren zur Homogenisierung insbesondere eines verdampften Aerosols, dadurch gekennzeichnet, dass ein die verdampften Materiepartikel transportierender Trägergasstrom durch einen Eintrittskanal (
30 ) in eine Mischeinrichtung (7 ) eintreten, in der der Trägergasstrom in Teilströme aufgefächert wird, die eine unterschiedlich lange Verweilzeit innerhalb der Mischeinrichtung (7 ) besitzen und der derart gemischte Trägergasstrom durch einen Austrittskanal (31 ) aus dem Mischer (7 ) heraustritt.
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