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Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Abscheiden einer organischen Schicht, insbesondere einer Polymerschicht auf einem Substrat mit einem Injektor zum Einbringen kleiner organischer Partikel in einen Trägergasstrom, mit einem Verdampfer, in dem die Partikel verdampft werden, und mit einer Depositionseinrichtung zum Abscheiden des mit Hilfe des Trägergasstroms in die Depositionseinrichtung transportierten Dampfs als organische Schicht, insbesondere Polymerschicht auf einem Substrat. Die Erfindung betrifft darüber hinaus eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Aerosols mit einem Injektor zum Einbringen kleiner Materiepartikel in einen Trägergasstrom. Die Erfindung betrifft insbesondere eine Vorrichtung bzw. ein Verfahren zum Abscheiden organischer Filme mittels OVPD. Bei den Schichten handelt es sich um OLEDs, um TFTs bzw. Solarzellen.
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Die
DE 10 2008 026 974 A1 beschreibt eine Vorrichtung zum Abscheiden von polymeren Para-Xylylenen auf einem Substrat. Die Vorrichtung besitzt eine Verdampfereinheit, mit der ein erster, insbesondere fester Ausgangsstoff in Form eines Polymers, beispielsweise eines Dimers in einem Trägergasstrom verdampft wird. Das in dem beheizten Verdampfer verdampfte Dimer wird einer dem Verdampfer nachgeordneten beheizbaren Zerlegungskammer zugeleitet. In dieser Pyrolysekammer wird das Dimer in ein Monomer zerlegt. Das Monomer wird von dem Trägergas in eine der Zerlegungskammer in Stromrichtung nachgeordnete Depositionskammer gebracht, in der es durch ein Gaseinlassorgan in eine Prozesskammer einströmt. In der Prozesskammer liegt auf einem Suszeptor ein Substrat, welches gekühlt wird, so dass sich das gasförmige Monomer dort zu einem Polymer abscheiden kann.
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Die
EP 1 095 169 B1 beschreibt einen Bürstendosierer zum Erzeugen eines Aerosols. Der Bürstendosierer besitzt eine Bevorratungskammer, in welcher sich ein zu pulverisierender Festkörper befindet. Dieser Festkörper kann auch aus gepresstem Pulver bestehen. Mittels eines Stempels wird der Festkörper gegen die sich drehenden Borsten eines Bürstenrades gedrückt. Die Borsten lösen von der Stirnseite des Festkörpers Materiepartikel und fördern diese in einen Gasstrom.
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Die Erfindung betrifft darüber hinaus eine Vorrichtung zum Abscheiden einer Polymerschicht auf einem Substrat mit einem Aerosolerzeuger.
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Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine gattungsgemäße Beschichtungsvorrichtung mit einem Aerosolerzeuger sowie einen gattungsgemäßen Aerosolerzeuger funktionstechnisch zu verbessern.
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Gelöst wird die Aufgabe durch die in den Ansprüchen angegebene Erfindung.
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Zunächst und im wesentlichen ist ein mit dem Injektor leitungsverbundener Verdünner vorgesehen, welchem der die Materialpartikel transportierende Gasstrom zugeleitet wird und in welchem aus dem Gasstrom kontinuierlich eine Teilmenge der Materiepartikel abgezweigt wird. Bei dem Verdünner handelt es sich um einen Stromteiler zum Abzweigen eines Teilstroms der Materiepartikel aus dem Trägergasstrom. Mit einem Aerosolerzeuger, wie ihn die
EP 1 095 169 B1 beschreibt, muss eine Mindestmenge von Pulver in den Trägergasstrom gebracht werden, damit sich ein ausreichend homogener Materiezufluss zu einer Depositionseinrichtung einstellt. Mit dem erfindungsgemäßen Verdünner wird aus diesem, eine hohe Massenflussrate aufweisenden Zustrom ein Teilstrom abgezweigt. Der Zustrom in den Verdünner besitzt eine hohe Aerosolkonzentration. Innerhalb des Verdünners wird aus dem Strom kontinuierlich ein Teilstrom der Materiepartikel abgezweigt, so dass der Ausgangsstrom eine geringere Aerosolkonzentration besitzt. Bei den Materiepartikeln handelt es sich bevorzugt um ein Pulver. Während der Gasstrom durch den Verdünner gleich bleibt, wird der Partikelstrom vermindert. Eine Teilmenge der Materiepartikel verbleibt im Verdünner. Mit dem erfindungsgemäßen Stromteiler ist somit eine Verminderung der Pulverkonzentration in einem Trägergasstrom möglich. In einer Weiterbildung ist ein mit dem Stromteiler leitungsverbundener Verdampfer vorgesehen. In diesem Verdampfer werden die mit dem Trägergas zum Verdampfer transportierten Materiepartikel verdampft. Handelt es sich bei den Materiepartikeln um ein Dimer, beispielsweise ein Para-Xylylene-Dimer, so kann die Temperatur innerhalb des Verdampfers auch so eingestellt werden, dass das Dimer im Verdampfer in ein Monomer zerlegt wird. Dieses Monomer kann dann insbesondere über geheizte Zuleitungen einem Gaseinlassorgan einer Depositionseinrichtung zugeleitet werden. Es strömt dort mittels eines Gaseinlassorganes, welches die Form eines Duschkopfs aufweist, in eine Prozesskammer. Die Decke der Prozesskammer wird von dem besagten Duschkopf ausgebildet. Durch die siebartig angeordneten Öffnungen des Gaseinlassorganes strömt das Trägergas mit dem gasförmigen Monomer in die Prozesskammer. Der Boden der Prozesskammer wird von einem gekühlten Suszeptor ausgebildet, auf dem ein Substrat oder mehrere Substrate aufliegen. Auf der Substratoberfläche wird ein Polymer abgeschieden. Der Abscheidungsprozess kann im Niedrigdruckbereich erfolgen. Der Verdünner besitzt eine durchmessergroße Austrittsöffnung, die einer Zuleitung zugeordnet ist. Durch diese Austrittsöffnung tritt ein großflächiger Gasstrom in ein Gehäuse des Verdünners ein. Die Austrittsöffnung kann eine kreisförmige Querschnittsfläche aufweisen. Der Austrittsöffnung liegt eine Eintrittsöffnung in Stromrichtung gegenüber. Die Eintrittsöffnung besitzt bevorzugt ebenfalls einen kreisförmigen Querschnitt. Die Eintrittsöffnung liegt dem Zentrum der Austrittsöffnung gegenüber. Die Fläche der Eintrittsöffnung ist um mindestens einen Faktor 10 kleiner als die Fläche der Austrittsöffnung. Hinter der Eintrittsöffnung befindet sich eine Prallplatte zum Abbremsen der Materiepartikel, die an der Eintrittsöffnung vorbei transportiert werden. Die Eintrittsöffnung wird bevorzugt von der kleinen Stirnfläche einer kegelstumpfförmigen Eintrittsdüse ausgebildet. Die kegelförmige Eintrittsdüse weist mit ihrer Spitze auf die Austrittsöffnung der Zuleitung. Die Eintrittsdüse ist von der Prallplatte beabstandet. Es besteht eine koaxiale Anordnung von Austrittsöffnung und Eintrittsdüse. Unterhalb der Eintrittsdüse und der Prallplatte befindet sich ein Sammelbehälter. Darin sammeln sich die Materiepartikel, die an der Eintrittsdüse vorbeitransportiert werden und an der Prallplatte gestoppt werden. Der Sammelbehälter kann vom Gehäuse abgenommen werden, damit die sich dort angesammelten Materiepartikel wiederverwertet werden können. Nur ein geringer Anteil des aus der Austrittsöffnung heraustretenden Gasstroms strömt direkt in die scharfkantig begrenzte Eintrittsöffnung der Eintrittsdüse. Der größte Anteil des Trägergasstromes mit dem darin enthaltenen Aerosol strömt an der Eintrittsdüse vorbei und gegen die Prallplatte. Dabei weitet sich der Gasstrom auf und verlangsamt sich. Da die Materiepartikel eine größere Dichte haben als das Trägergas im Trägergasstrom, können sich die Materiepartikel im unmittelbar unterhalb des Düsenkörpers bzw. der Prallplatte angeordneten Sammelbehälter absetzen. Der Durchmesser der Eintrittsöffnung kann etwa 1 mm betragen. Der Durchmesser der Austrittsöffnung kann mehrere mm betragen. Der Druck innerhalb des Gehäuses des Stromteilers ist bevorzugt kleiner als 10 millibar.
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Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachfolgend anhand beigefügter Zeichnungen im Zusammenhang mit einer Vorrichtung zum Abscheiden von Parylene beschrieben. Es zeigen:
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1 eine schematische Darstellung der Gesamtvorrichtung;
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2 die Injektoreinheit mit einem als Stromteiler ausgebildeten Verdünner;
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3 die Verdampfungseinheit mit einer Mischeinrichtung und einem Ventil;
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4 in perspektivischer Darstellung die Mischeinrichtung und
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5 die Funktionsweise der Mischeinrichtung.
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Die Beschichtungseinrichtung für Para-Xylylene besteht aus einem Aerosolerzeuger 1 und einer diesem nachgeordneten Verdampfungseinheit 6, 7, einem dieser Verdampfungseinheit nachgeordneten Fünf/Zwei-Wegeventil 8 und einer Depositionseinrichtung mit einer Prozesskammer 9 und einem Gaseinlassorgan 10, einem Suszeptor 11, auf dem ein Substrat 12 auflegbar ist, um es zu beschichten.
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Ein Trägergas 13 wird in einem Massenflussregler 3 massenflussgeregelt und in einen Injektor 2 transportiert. In einem Vorratsbehälter 4 des Injektors 2 befindet sich ein Festkörper, der im Injektor 2 in Pulverform in den Gasstrom injiziert wird. Dieses, in einem Inertgas, beispielsweise Wasserstoff oder Stickstoff injizierte Festkörperaerosol wird einem Stromteiler 5 zugeleitet, in welchem ein großer Anteil des injizierten Pulvers wieder abgeschieden wird. Das aus dem Gasstrom abgezweigte Pulver sammelt sich in einem Sammelbehälter 14. In dem Stromteiler 5 wird aus dem Eingangs-Aerosolstrom eine Teilmenge des Aerosols abgezweigt, so dass sich ein Ausgangsgasstrom ausbildet, der eine verminderte Partikeldichte aufweist.
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Der Gasstrom als solcher ändert sich nicht. Es ändert sich lediglich die Massenflussrate der Materiepartikel. Dieser Gasstrom wird vom Stromteiler 5 in einen Verdampfer 6 geleitet. Es handelt sich hierum einen Röhrenverdampfer. Die geheizte Röhre besitzt etwa eine Länge von 100 cm. Die Röhre ist auf eine Temperatur geheizt, die nicht nur die Festkörperpartikel verdampfen lässt, sondern die auch eine Teilzerlegung des verdampften Festkörpers bewirkt. Das derart verdampfte und gegebenenfalls auch zerlegte Festkörperaerosol wird dann in einen Mischer 7 geleitet.
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Bei dem Mischer 7 handelt es sich um einen lateralen Mischer, in dem der Gasstrom in einzelne Strömungswege aufgefächert wird, die eine unterschiedliche Länge besitzen. Demzufolge haben verschiedene, im wesentlichen gleichzeitig in den Mischer eingetretene Volumenelemente des Gasstroms eine unterschiedliche Verweilzeit innerhalb des Mischers. Im Mischer bildet sich bevorzugt eine laminare Strömung mit verschieden langen Strömungswegen aus. Dadurch findet eine Homogenisierung des Gasstroms statt. Die gleichzeitig in den Mischer eintretenden Volumenelemente bewegen sich auf unterschiedlichen Bahnen durch das Mischergehäuse und erreichen den Austrittskanal 31 des Mischers zu unterschiedlichen Zeiten.
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Der aus dem Mischer 7 heraustretende Gasstrom tritt in eine Ventilanordnung 8 ein. In die Ventilanordnung 8 strömt ein erster Gasstrom 27 als „Run-Gasstrom” hinein. Dieser Gasstrom kann bereits ein, anderes verdampftes Polymer oder einen anderen verdampften Ausgangsstoff transportieren. Der Gasstrom 27 tritt als Gasstrom 27 aus der Ventilanordnung 8 wieder heraus. In die Ventilanordnung 8 tritt ein zweiter Gasstrom 15, ein „Vent-Gasstrom” hinein, der ebenfalls durch das Ventil 8 hindurchtritt und durch eine Leitung 15 wieder austritt. Nur die Leitung 27' ist mit einer Depositionseinrichtung verbunden. Der vom Mischer 7 kommende Gasstrom kann durch Umschalten der Ventilanordnung 8 wahlweise dem „Run-Gasstrom” 27 oder dem „Vent-Gasstrom” 15 zugemischt werden.
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Die Depositionseinrichtung besitzt ein Gehäuse, ein in dem Gehäuse angeordnetes Gaseinlassorgan
10 und einen Suszeptor
11, der unterhalb des Gaseinlassorganes
10 angeordnet ist, und der in der Lage ist, ein oder mehrere zu beschichtende Substrate
12 zu tragen. Hinsichtlich der Ausgestaltung der Depositionseinrichtung wird auf den Offenbarungsgehalt der
DE 10 2008 026 974 A1 verwiesen. Das Gaseinlassorgan
10 kann großflächig angeordnete Gaseinlassöffnungen aufweisen und so in der Form eines Duschkopfs ausgebildet sein. Der Suszeptor
11 kann eine zu der Gaseintrittsöffnung weisende Auflagefläche aufweisen, auf die ein Substrat aufgelegt werden kann. Die Auflagefläche kann von einem Kühlblock ausgebildet werden, der beispielsweise mit Kühlwasser gekühlt ist.
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Die
2 zeigt schematisch den Injektor
2, der als Bürstendosierer ausgeführt ist, wie er grundsätzlich von der
EP 1 095 169 B1 beschrieben wird. Unterhalb einer rotierenden Bürste
24 in Form eines Bürstenrades befindet sich ein Vorratsbehälter
4 in Form eines Rohres, in dem sich ein Festkörper
25 befindet. Bei dem Festkörper
25 kann es sich um ein gepresstes Pulver handeln. Es kann sich aber auch um ein loses Pulver handeln. Der Festkörper
25 wird mittels eines Stempels
26 gegen einen Umfangsbereich des Bürstenrades
24 gepresst. Die Borsten des Bürstenrades
24 tragen von der Stirnfläche des Festkörpers
25 Materiepartikel in Form eines Pulvers ab. Diese Pulver wird durch die Drehung des Bürstenrades
24 in den Trägergasstrom
13 transportiert, der auf der gegenüberliegenden Seite bezogen auf den Festkörper 25 am Bürstenrad
24 vorbeiströmt.
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Das so erzeugte Festkörperaerosol tritt durch die Zuleitung 17 in den Verdünner 5 ein. Der Verdünner ist in der Lage, von dem in den Verdünner 5 einströmenden Aerosolstrom kontinuierlich eine Teilmenge abzuzweigen. Er wirkt somit bezogen auf das in den Trägergasstrom injizierte Pulver als Stromteiler. Der Stromteiler 5 besitzt ein Gehäuse 23, welches gasdicht ist. Das Gehäuse 23 besitzt an seiner Unterseite einen abnehmbaren Sammelbehälter 14. in das Gehäuse 23 ragt die Zuleitung 17, die unter Ausbildung einer Austrittsöffnung 16 endet. Die Zuleitung 17 durchragt dabei eine Öffnung einer Flanschplatte, die die Öffnung eines Gehäusearmes verschließt. Quer zu diesem, sich in Horizontalrichtung erstreckenden Gehäusearm erstreckt sich ein vertikaler Gehäusearm.
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In Stromrichtung hinter der Austrittsöffnung 16 befindet sich eine Düse 20, die mit einer Ableitung 19 verbunden ist. Zuleitung 17 und Ableitung 19 werden von Rohren ausgebildet, die miteinander fluchten. Die Ableitung 90 durchragt ebenfalls eine Verschlusskappe, die eine Öffnung eines Gehäusearms verschließt. Dieser, sich in Horizontalrichtung erstreckende Gehäusearm fluchtet mit den der Zuleitung 17 zugeordneten Gehäusearmen. Die Eintrittsdüse 10 liegt etwa in der Mitte des vertikalen Gehäusearms.
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Die Düse 20 wird von einem kegelförmigen Düsenkörper ausgebildet, dessen Spitze eine Eintrittsöffnung 18 von etwa einem Millimeter Durchmesser ausbildet. Der Rand der Eintrittsöffnung 18 ist scharfkantig. Die Öffnungsfläche der Eintrittsöffnung 18 ist mindestens um einen Faktor zehn kleiner als die Öffnungsfläche der Austrittsöffnung 16.
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Die Düse 20 befindet sich etwa mittig oberhalb des Sammelbehälters 14. Oberhalb des Randes des Sammelbehälters 14 befindet sich eine im wesentlichen kreisscheibenförmige Prallplatte 21, durch deren Zentrum die Ableitung 19 verläuft. Die Prallplatte ist somit in Stromrichtung gegenüber der Eintrittsöffnung 18 rückversetzt. Der Düsenkörper der Düse 20 ist auf das Ende des die Ableitung 19 ausbildenden Rohres aufgesteckt, welches im wesentlichen denselben Durchmesser aufweist, wie das die Austrittsöffnung 16 ausbildende, die Zuleitung 17 bildende Rohr. Der Düsenkörper 20 kann mittels einer Madenschraube auf der Rohraußenwand befestigt sein. Die Spitze des Düsenkörpers ist auf das Zentrum der Eintrittsöffnung 16 gerichtet.
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Die Funktionsweise des Stromteilers 5 ist die folgende:
Das vom Injektor 2 erzeugte Aerosol wird mit Hilfe des Trägergases 13 durch die Zuleitung 17 in das Gehäuse 23 des Verdünners gefördert. Es tritt aus der Austrittsöffnung 16 der Zuleitung 17 aus und weitet sich innerhalb des Gehäuses auf. Das Aerosol wird gegen die Eintrittsöffnung 18 gefördert. Nur eine geringe Anzahl der aus der Austrittsöffnung 16 heraustretenden Materiepartikel treten direkt in die Eintrittsöffnung 18 hinein. Der überwiegende Teil der Materiepartikel strömt um die Düse 20 herum und gegen die Prallplatte 21. Der Gasstrom wird dabei aufgeweitet und verlangsamt sich. Da innerhalb des Gehäuses 23 ein Totaldruck von weniger als zehn Millibar herrscht, können sich die an der Düse 20 vorbei transportierten Materiepartikel zu einem großen Teil im Sammelbehälter 14 absetzen. Ein Restanteil der nicht abgesetzten Materiepartikel strömt zusammen mit dem Trägergasstrom durch die Eintrittsöffnung 18 in die Ableitung 19.
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Mit dem Stromteiler 5 lässt sich somit die Aerosol-Konzentration in einem Trägergas reduzieren, ohne dass sich der Massenfluss des Trägergases ändert, da der Stromteiler 5 in der bevorzugten Ausgestaltung vom gesamten Trägergas durchströmt wird.
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Die 3 zeigt den rohrförmigen Verdampfer 6, der dem Stromsteiler 5 in Stromrichtung nachgeordnet ist. Der Mantel des rohrförmigen Verdampfers wird mit einer Heizeinrichtung aufgeheizt. Das in den Verdampfer 6 einströmende Aerosol wird dadurch verdampft. Die Temperatur des Verdampfers 6 wird bevorzugt so gewählt, dass nach dem Verdampfen des Aerosols auch eine Zerlegung des Aerosols stattfindet.
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Der dem Verdampfer 6 in Stromrichtung nachgeordnete Mischer 7 besitzt eine Zylindersymmetrie (vgl. 4), wobei die Zuleitung 30 und die Ableitung 31 in der Zylinderachse 36 liegt (siehe auch 5). Der zylinderförmige Körper besitzt zwei parallel zueinander angeordnete zylinderförmige Scheiben, die jeweils im Zentrum eine Öffnung besitzen. Eine Öffnung bildet die Zuleitung 30 und die Öffnung der anderen Platte die Ableitung 31. Der zylinderförmige Hohlraum des Mischers 7 wird von einer gekrümmten Umfangswand begrenzt. Innerhalb des zylinderförmigen Gehäuses 35 befindet sich eine im Zentrum vor der Mündung des Eintrittskanals 30 angeordnete Umlenkplatte 28. Der durch den Eintrittskanal 30 in Radialrichtung bezogen auf die Achse 36 eintretende Gasstrom wird an der Umlenkplatte 28 in Radialrichtung abgeleitet. Dabei bildet sich eine im wesentlichen laminare Strömung aus. Es bildet sich eine kurze Stromlinie 34 aus, die die geringste radiale Entfernung zur Achse 36 besitzt. Es bilden sich eine Vielzahl weitere, entfernter von der innersten Stromlinie 34 verlaufende Stromlinien 33 aus, die eine größere Länge besitzen als die innerste Stromlinie 34. Eine äußerste Stromlinie 32 besitzt die größte Länge. Die entlang der Stromlinien 32 bis 34 strömenden Gasvolumina, die im wesentlichen gleichzeitig aus dem Eintrittskanal 30 in das Gehäuse 35 des Mischers 7 einströmen, haben dadurch unterschiedliche Verweilzeiten innerhalb des Gehäuses 35, so dass eine Durchmischung und damit eine Homogenisierung des aus dem Austrittskanal 31 ausströmenden Gases stattgefunden hat. Dies hat zur Folge, dass gleichzeitig eintretende Volumenelemente zu unterschiedlichen Zeiten den Mischer 7 durch die Ableitung 31 verlassen.
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Dieser Mischer 7 ist deshalb von Vorteil, weil zufolge Fertigungstoleranzen oder dergleichen am Bürstenrad 24 zeitlich variierende Partikelkonzentrationen in den Gasstrom 13 injiziert werden. Diese zeitliche Inhomogenität wird im Mischer 7 ausgeglichen.
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Das Gehäuse des Mischers 7 kann aus Edelstahl bestehen. Die Umlenkplatte 28 kann mit Tragstangen 29 an der dem Eintrittskanal 30 gegenüberliegenden Gehäusewandung befestigt sein. Es ist auch möglich, die zum Eintrittskanal 30 weisende Seite der Umlenkplatte 28 bzw. die zum Austrittskanal 31 weisende Seite der Umlenkplatte 28 strömungsgünstig zu modellieren, insbesondere um die Ausbildung von Wirbeln zu vermeiden. Es ist aber auch andererseits vorgesehen, innerhalb des Gehäuses 35 die Umlenkplatte 28 oder weitere Umlenkplatten so anzuordnen, dass bewusst Wirbel entstehen, da derartige Wirbel eine Speicherfunktion entfalten und somit zur Homogenisierung beitragen.
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In dem Mischer wird der durch den Eintrittskanal 30 einströmende Gasstrom somit in Strömungswege aufgefächert, entlang derer die Gasmoleküle in unterschiedlicher Verweilzeit durch die Mischkammer des Mischers 7 treten.
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Alle offenbarten Merkmale sind (für sich) erfindungswesentlich. In die Offenbarung der Anmeldung wird hiermit auch der Offenbarungsinhalt der zugehörigen/beigefügten Prioritätsunterlagen (Abschrift der Voranmeldung) vollinhaltlich mit einbezogen, auch zu dem Zweck, Merkmale dieser Unterlagen in Ansprüche vorliegender Anmeldung mit aufzunehmen. Die Unteransprüche charakterisieren in ihrer fakultativ nebengeordneten Fassung eigenständige erfinderische Weiterbildung des Standes der Technik, insbesondere um auf Basis dieser Ansprüche Teilanmeldungen vorzunehmen.
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Bezugszeichenliste
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- 1
- Aerosolerzeuger
- 2
- Injektor
- 3
- Massenflussregler
- 4
- Vorratsbehälter
- 5
- Stromteiler
- 6
- Verdampfer
- 7
- Mischer
- 8
- Ventilanordnung
- 9
- Depositionseinrichtung
- 10
- Gaseinlassorgan
- 11
- Suszeptor
- 12
- Substrat
- 13
- Trägergas
- 14
- Sammelbehälter
- 15
- Vent-Leitung
- 15
- Leitung
- 16
- Austrittsöffnung
- 17
- Zuleitung
- 18
- Eintrittsöffnung
- 19
- Ableitung
- 20
- Düse
- 21
- Prallplatte
- 22
- Flanschverbindung
- 23
- Gehäuse
- 24
- Bürstenrad
- 25
- Festkörper
- 26
- Stempel
- 27
- Run-Leitung
- 27'
- Leitung
- 28
- Umlenkplatte
- 29
- Tragstange
- 30
- Eintrittskanal
- 31
- Austrittskanal
- 32
- Stromlinie
- 33
- Stromlinie
- 34
- Stromlinie
- 35
- Gehäuse
- 36
- Achse
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
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Zitierte Patentliteratur
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- DE 102008026974 A1 [0002, 0019]
- EP 1095169 B1 [0003, 0007, 0020]
