DE102009013849A1 - Vorrichtung und Verfahren zur elektromechanischen Positionierung - Google Patents
Vorrichtung und Verfahren zur elektromechanischen Positionierung Download PDFInfo
- Publication number
- DE102009013849A1 DE102009013849A1 DE102009013849A DE102009013849A DE102009013849A1 DE 102009013849 A1 DE102009013849 A1 DE 102009013849A1 DE 102009013849 A DE102009013849 A DE 102009013849A DE 102009013849 A DE102009013849 A DE 102009013849A DE 102009013849 A1 DE102009013849 A1 DE 102009013849A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- runner
- friction
- piezoelectric element
- group
- rotor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q10/00—Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
- G01Q10/04—Fine scanning or positioning
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y35/00—Methods or apparatus for measurement or analysis of nanostructures
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/021—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
- H02N2/025—Inertial sliding motors
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102009013849A DE102009013849A1 (de) | 2009-03-18 | 2009-03-18 | Vorrichtung und Verfahren zur elektromechanischen Positionierung |
| US13/138,379 US9018823B2 (en) | 2009-03-18 | 2010-03-06 | Apparatus and method for electromechanical positioning |
| EP10716743.9A EP2409164B1 (de) | 2009-03-18 | 2010-03-06 | Vorrichtung und verfahren zur elektromechanischen positionierung |
| CN201080012310.5A CN102356325B (zh) | 2009-03-18 | 2010-03-06 | 用于电-机械定位的装置和方法 |
| JP2012500064A JP2012520989A (ja) | 2009-03-18 | 2010-03-06 | 電気機械式位置決め装置と方法 |
| PCT/DE2010/000246 WO2010105592A1 (de) | 2009-03-18 | 2010-03-06 | Vorrichtung und verfahren zur elektromechanischen positionierung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102009013849A DE102009013849A1 (de) | 2009-03-18 | 2009-03-18 | Vorrichtung und Verfahren zur elektromechanischen Positionierung |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE102009013849A1 true DE102009013849A1 (de) | 2010-09-30 |
Family
ID=42271849
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE102009013849A Withdrawn DE102009013849A1 (de) | 2009-03-18 | 2009-03-18 | Vorrichtung und Verfahren zur elektromechanischen Positionierung |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9018823B2 (https=) |
| EP (1) | EP2409164B1 (https=) |
| JP (1) | JP2012520989A (https=) |
| CN (1) | CN102356325B (https=) |
| DE (1) | DE102009013849A1 (https=) |
| WO (1) | WO2010105592A1 (https=) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012130555A1 (de) | 2011-03-30 | 2012-10-04 | Smaract Gmbh | Verfahren zur ansteuerung einer mehraktor-antriebsvorrichtung |
| DE102012004294A1 (de) | 2012-03-02 | 2013-09-05 | SmarAct Holding GmbH | Verfahren zur Ansteuerung eines Mehraktorantriebs |
| DE102012004401A1 (de) | 2012-03-02 | 2013-09-05 | SmarAct Holding GmbH | Verfahren zur Ansteuerung eines Mehraktorantriebs |
| DE102012221892A1 (de) | 2012-11-29 | 2014-06-05 | Picofine GmbH | Antriebsvorrichtung und -verfahren zur linearen oder rotatorischen Positionierung |
| EP2916450A1 (de) | 2014-03-03 | 2015-09-09 | Picofine GmbH | Antriebsvorrichtung und Verfahren für die Erzeugung einer geführten, linearen oder rotatorischen Bewegung |
| DE102014221001A1 (de) | 2014-10-16 | 2016-04-21 | Picofine GmbH | Antriebsvorrichtung und -verfahren zur linearen und/oder rotatorischen Positionierung |
| US9722512B2 (en) | 2011-03-14 | 2017-08-01 | SmarAct Holding GmbH | Method for controlling an inertial drive |
| DE102017127745A1 (de) | 2017-11-23 | 2019-05-23 | Picofine GmbH | Vorgespannter Trägheitsantrieb und entsprechendes Verfahren |
| DE102021103462A1 (de) | 2021-02-15 | 2022-08-18 | SmarAct Holding GmbH | Vorrichtung und Verfahren zur linearen oder rotatorischen Positionierung |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104953889B (zh) * | 2014-03-28 | 2017-07-28 | 中国科学技术大学 | 一种利用相向摩擦力压制成的叠堆压电马达 |
| CN104836475B (zh) * | 2015-05-06 | 2017-07-28 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 相向摩擦力三折叠压电马达及控制法与扫描探针显微镜 |
| CN105092896B (zh) * | 2015-08-03 | 2018-06-29 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 单扫描管驱动的多维压电马达及可搜索扫描探针显微镜 |
| WO2018134637A1 (en) | 2017-01-18 | 2018-07-26 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Stick-slip piezoelectric motor |
| US10876833B2 (en) * | 2018-03-26 | 2020-12-29 | International Business Machines Corporation | Apparatus and method for measuring micrometer scale features of electronic component over millimeter scale distances to nanometer scale precision |
| JP6695543B1 (ja) * | 2019-04-25 | 2020-05-20 | 株式会社島津製作所 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4874979A (en) | 1988-10-03 | 1989-10-17 | Burleigh Instruments, Inc. | Electromechanical translation apparatus |
| WO1994006160A1 (en) | 1992-09-07 | 1994-03-17 | Stephan Kleindiek | Electromechanical positioning device |
| DE4440758A1 (de) | 1994-11-15 | 1996-05-23 | Klocke Volker | Elektromechanische Positioniereinheit |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4329163A1 (de) * | 1993-08-30 | 1995-03-02 | Stm Medtech Starnberg | Piezoelektrische Antriebseinheit |
| CA2170729A1 (en) | 1993-08-30 | 1995-03-09 | Andreas Grundl | Endoscope with a movable frontal end area |
| JP3193562B2 (ja) * | 1994-03-18 | 2001-07-30 | オリンパス光学工業株式会社 | 圧電アクチュエータ |
| JP2766899B2 (ja) * | 1994-08-24 | 1998-06-18 | 株式会社大塚製薬工場 | 噴霧式滅菌装置及び滅菌方法 |
| JPH09247968A (ja) | 1996-03-06 | 1997-09-19 | Minolta Co Ltd | 電気機械変換素子を使用した駆動装置 |
| US6836056B2 (en) * | 2000-02-04 | 2004-12-28 | Viking Technologies, L.C. | Linear motor having piezo actuators |
| JP2002233171A (ja) * | 2001-02-05 | 2002-08-16 | Minolta Co Ltd | 駆動装置 |
| JP2004108979A (ja) * | 2002-09-19 | 2004-04-08 | Jeol Ltd | 走査電子顕微鏡を用いた検査方法および装置 |
| FR2845440B1 (fr) * | 2002-10-03 | 2006-03-31 | Sagem | Dispositif de commande de valves |
| CN100413202C (zh) * | 2004-11-16 | 2008-08-20 | 清华大学 | 一种利用压电效应箝位的超磁致伸缩直线驱动器 |
| EP1826551A4 (en) | 2004-11-27 | 2010-04-14 | Japan Adv Inst Science & Tech | POSITIONING MECHANISM AND THIS USING MICROSCOPE |
| CN100547899C (zh) | 2006-12-15 | 2009-10-07 | 中国科学技术大学 | 双压电体线性纳米定位压电驱动器、其控制方法及控制器 |
| JP5391527B2 (ja) * | 2007-04-12 | 2014-01-15 | コニカミノルタ株式会社 | 駆動装置 |
| CN102376696B (zh) | 2010-08-10 | 2013-10-16 | 中国科学技术大学 | 嵌套双压电管推动的三摩擦力压电步进器与步进扫描器 |
-
2009
- 2009-03-18 DE DE102009013849A patent/DE102009013849A1/de not_active Withdrawn
-
2010
- 2010-03-06 EP EP10716743.9A patent/EP2409164B1/de active Active
- 2010-03-06 JP JP2012500064A patent/JP2012520989A/ja active Pending
- 2010-03-06 US US13/138,379 patent/US9018823B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2010-03-06 WO PCT/DE2010/000246 patent/WO2010105592A1/de not_active Ceased
- 2010-03-06 CN CN201080012310.5A patent/CN102356325B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4874979A (en) | 1988-10-03 | 1989-10-17 | Burleigh Instruments, Inc. | Electromechanical translation apparatus |
| WO1994006160A1 (en) | 1992-09-07 | 1994-03-17 | Stephan Kleindiek | Electromechanical positioning device |
| DE4440758A1 (de) | 1994-11-15 | 1996-05-23 | Klocke Volker | Elektromechanische Positioniereinheit |
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9722512B2 (en) | 2011-03-14 | 2017-08-01 | SmarAct Holding GmbH | Method for controlling an inertial drive |
| WO2012130555A1 (de) | 2011-03-30 | 2012-10-04 | Smaract Gmbh | Verfahren zur ansteuerung einer mehraktor-antriebsvorrichtung |
| DE102012101688A1 (de) | 2011-03-30 | 2012-10-25 | Smaract Gmbh | Verfahren zur Ansteuerung einer Mehraktor-Antriebsvorrichtung |
| US9692323B2 (en) | 2011-03-30 | 2017-06-27 | SmarAct Holding GmbH | Method for actuating a multi-actuator drive device |
| DE102012004294A1 (de) | 2012-03-02 | 2013-09-05 | SmarAct Holding GmbH | Verfahren zur Ansteuerung eines Mehraktorantriebs |
| DE102012004401A1 (de) | 2012-03-02 | 2013-09-05 | SmarAct Holding GmbH | Verfahren zur Ansteuerung eines Mehraktorantriebs |
| WO2013128030A2 (de) | 2012-03-02 | 2013-09-06 | SmarAct Holding GmbH | Verfahren zur ansteuerung eines mehraktorantriebs |
| DE102012221892B4 (de) * | 2012-11-29 | 2016-05-19 | Picofine GmbH | Antriebsvorrichtung und -verfahren zur linearen oder rotatorischen Positionierung |
| DE102012221892A1 (de) | 2012-11-29 | 2014-06-05 | Picofine GmbH | Antriebsvorrichtung und -verfahren zur linearen oder rotatorischen Positionierung |
| EP2916450A1 (de) | 2014-03-03 | 2015-09-09 | Picofine GmbH | Antriebsvorrichtung und Verfahren für die Erzeugung einer geführten, linearen oder rotatorischen Bewegung |
| DE102014221001A1 (de) | 2014-10-16 | 2016-04-21 | Picofine GmbH | Antriebsvorrichtung und -verfahren zur linearen und/oder rotatorischen Positionierung |
| DE102017127745A1 (de) | 2017-11-23 | 2019-05-23 | Picofine GmbH | Vorgespannter Trägheitsantrieb und entsprechendes Verfahren |
| EP3490134A1 (de) | 2017-11-23 | 2019-05-29 | Picofine GmbH | Vorgespannter trägheitsantrieb und entsprechendes verfahren |
| DE102017127745B4 (de) * | 2017-11-23 | 2020-10-15 | Picofine GmbH | Vorgespannter Trägheitsantrieb |
| EP3490134B1 (de) * | 2017-11-23 | 2021-07-07 | Picofine GmbH | Vorgespannter trägheitsantrieb und entsprechendes verfahren |
| DE102021103462A1 (de) | 2021-02-15 | 2022-08-18 | SmarAct Holding GmbH | Vorrichtung und Verfahren zur linearen oder rotatorischen Positionierung |
| EP4047807A2 (de) | 2021-02-15 | 2022-08-24 | SmarAct Holding GmbH | Vorrichtung und verfahren zur linearen oder rotatorischen positionierung |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP2409164B1 (de) | 2017-10-18 |
| US20110304241A1 (en) | 2011-12-15 |
| US9018823B2 (en) | 2015-04-28 |
| CN102356325B (zh) | 2014-02-19 |
| EP2409164A1 (de) | 2012-01-25 |
| JP2012520989A (ja) | 2012-09-10 |
| WO2010105592A1 (de) | 2010-09-23 |
| CN102356325A (zh) | 2012-02-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP2409164B1 (de) | Vorrichtung und verfahren zur elektromechanischen positionierung | |
| EP0349911B1 (de) | Mikromanipulator | |
| DE69302084T2 (de) | Elektromechanische positionierungsvorrichtung. | |
| DE4023311C2 (https=) | ||
| DE4440758A1 (de) | Elektromechanische Positioniereinheit | |
| DE102013204131B3 (de) | NMR-Probenkopf mit einem mittels eines piezoelektrischen Aktors diskret verstellbaren variablen Kondensator im HF-Schwingkreis | |
| DE19644550C1 (de) | Piezoelektrischer oder elektrostriktiver Trägheitsantrieb zum Verschieben oder Positionieren von insbesondere schweren Objekten | |
| DE102011006581A1 (de) | Zustandsüberwachung einer Pipettenspitze mit von innen angekoppelten piezoelektrischen Elementen | |
| DE102014221001A1 (de) | Antriebsvorrichtung und -verfahren zur linearen und/oder rotatorischen Positionierung | |
| DE10012751B4 (de) | Verstellvorrichtung zum Verschieben einzelner Elemente von optischen Systemen oder von Meßsystemen | |
| DE102006052175B4 (de) | Trägheitsantriebsvorrichtung | |
| WO2020152237A1 (de) | Aktor mit rückstellfedern | |
| DE3820085C1 (en) | Microtome, especially ultramicrotome | |
| DE112012004757T5 (de) | Piezoelektrische Verstellvorrichtung | |
| DE102007058341A1 (de) | Objektivwechselsystem für eine optische Messeinrichtung und Verfahren zum Betreiben eines Objektivwechselsystems | |
| DE102007060796A1 (de) | Halterung für eine Mikropipette | |
| DE112017006853T5 (de) | Piezoelektrischer Motor mit Haft-Gleit-Prinzip | |
| DE102012221892B4 (de) | Antriebsvorrichtung und -verfahren zur linearen oder rotatorischen Positionierung | |
| DE19981030B4 (de) | Vorschubeinheit zum Bewegen von Bauteilen | |
| DE60132713T2 (de) | Mikropositionierungseinrichtung | |
| DE4405501C1 (de) | Piezoelektrische Verstellvorrichtung | |
| DE102015119816B4 (de) | Piezo-Aktuator mit mehreren Piezoelementen | |
| DE19524907A1 (de) | Rastersondenmikroskop | |
| EP1929267B1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Positionieren eines verlagerbaren Bauteils in einem Untersuchungssystem | |
| DE102009057746A1 (de) | Nanopositionierer |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
| R120 | Application withdrawn or ip right abandoned |