DE102009013849A1 - Vorrichtung und Verfahren zur elektromechanischen Positionierung - Google Patents

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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012130555A1 (de) 2011-03-30 2012-10-04 Smaract Gmbh Verfahren zur ansteuerung einer mehraktor-antriebsvorrichtung
DE102012004294A1 (de) 2012-03-02 2013-09-05 SmarAct Holding GmbH Verfahren zur Ansteuerung eines Mehraktorantriebs
DE102012004401A1 (de) 2012-03-02 2013-09-05 SmarAct Holding GmbH Verfahren zur Ansteuerung eines Mehraktorantriebs
DE102012221892A1 (de) 2012-11-29 2014-06-05 Picofine GmbH Antriebsvorrichtung und -verfahren zur linearen oder rotatorischen Positionierung
EP2916450A1 (de) 2014-03-03 2015-09-09 Picofine GmbH Antriebsvorrichtung und Verfahren für die Erzeugung einer geführten, linearen oder rotatorischen Bewegung
DE102014221001A1 (de) 2014-10-16 2016-04-21 Picofine GmbH Antriebsvorrichtung und -verfahren zur linearen und/oder rotatorischen Positionierung
US9722512B2 (en) 2011-03-14 2017-08-01 SmarAct Holding GmbH Method for controlling an inertial drive
DE102017127745A1 (de) 2017-11-23 2019-05-23 Picofine GmbH Vorgespannter Trägheitsantrieb und entsprechendes Verfahren
DE102021103462A1 (de) 2021-02-15 2022-08-18 SmarAct Holding GmbH Vorrichtung und Verfahren zur linearen oder rotatorischen Positionierung

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104953889B (zh) * 2014-03-28 2017-07-28 中国科学技术大学 一种利用相向摩擦力压制成的叠堆压电马达
CN104836475B (zh) * 2015-05-06 2017-07-28 中国科学院合肥物质科学研究院 相向摩擦力三折叠压电马达及控制法与扫描探针显微镜
CN105092896B (zh) * 2015-08-03 2018-06-29 中国科学院合肥物质科学研究院 单扫描管驱动的多维压电马达及可搜索扫描探针显微镜
WO2018134637A1 (en) 2017-01-18 2018-07-26 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Stick-slip piezoelectric motor
US10876833B2 (en) * 2018-03-26 2020-12-29 International Business Machines Corporation Apparatus and method for measuring micrometer scale features of electronic component over millimeter scale distances to nanometer scale precision
JP6695543B1 (ja) * 2019-04-25 2020-05-20 株式会社島津製作所 走査型プローブ顕微鏡

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4874979A (en) 1988-10-03 1989-10-17 Burleigh Instruments, Inc. Electromechanical translation apparatus
WO1994006160A1 (en) 1992-09-07 1994-03-17 Stephan Kleindiek Electromechanical positioning device
DE4440758A1 (de) 1994-11-15 1996-05-23 Klocke Volker Elektromechanische Positioniereinheit

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4329163A1 (de) * 1993-08-30 1995-03-02 Stm Medtech Starnberg Piezoelektrische Antriebseinheit
CA2170729A1 (en) 1993-08-30 1995-03-09 Andreas Grundl Endoscope with a movable frontal end area
JP3193562B2 (ja) * 1994-03-18 2001-07-30 オリンパス光学工業株式会社 圧電アクチュエータ
JP2766899B2 (ja) * 1994-08-24 1998-06-18 株式会社大塚製薬工場 噴霧式滅菌装置及び滅菌方法
JPH09247968A (ja) 1996-03-06 1997-09-19 Minolta Co Ltd 電気機械変換素子を使用した駆動装置
US6836056B2 (en) * 2000-02-04 2004-12-28 Viking Technologies, L.C. Linear motor having piezo actuators
JP2002233171A (ja) * 2001-02-05 2002-08-16 Minolta Co Ltd 駆動装置
JP2004108979A (ja) * 2002-09-19 2004-04-08 Jeol Ltd 走査電子顕微鏡を用いた検査方法および装置
FR2845440B1 (fr) * 2002-10-03 2006-03-31 Sagem Dispositif de commande de valves
CN100413202C (zh) * 2004-11-16 2008-08-20 清华大学 一种利用压电效应箝位的超磁致伸缩直线驱动器
EP1826551A4 (en) 2004-11-27 2010-04-14 Japan Adv Inst Science & Tech POSITIONING MECHANISM AND THIS USING MICROSCOPE
CN100547899C (zh) 2006-12-15 2009-10-07 中国科学技术大学 双压电体线性纳米定位压电驱动器、其控制方法及控制器
JP5391527B2 (ja) * 2007-04-12 2014-01-15 コニカミノルタ株式会社 駆動装置
CN102376696B (zh) 2010-08-10 2013-10-16 中国科学技术大学 嵌套双压电管推动的三摩擦力压电步进器与步进扫描器

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4874979A (en) 1988-10-03 1989-10-17 Burleigh Instruments, Inc. Electromechanical translation apparatus
WO1994006160A1 (en) 1992-09-07 1994-03-17 Stephan Kleindiek Electromechanical positioning device
DE4440758A1 (de) 1994-11-15 1996-05-23 Klocke Volker Elektromechanische Positioniereinheit

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9722512B2 (en) 2011-03-14 2017-08-01 SmarAct Holding GmbH Method for controlling an inertial drive
WO2012130555A1 (de) 2011-03-30 2012-10-04 Smaract Gmbh Verfahren zur ansteuerung einer mehraktor-antriebsvorrichtung
DE102012101688A1 (de) 2011-03-30 2012-10-25 Smaract Gmbh Verfahren zur Ansteuerung einer Mehraktor-Antriebsvorrichtung
US9692323B2 (en) 2011-03-30 2017-06-27 SmarAct Holding GmbH Method for actuating a multi-actuator drive device
DE102012004294A1 (de) 2012-03-02 2013-09-05 SmarAct Holding GmbH Verfahren zur Ansteuerung eines Mehraktorantriebs
DE102012004401A1 (de) 2012-03-02 2013-09-05 SmarAct Holding GmbH Verfahren zur Ansteuerung eines Mehraktorantriebs
WO2013128030A2 (de) 2012-03-02 2013-09-06 SmarAct Holding GmbH Verfahren zur ansteuerung eines mehraktorantriebs
DE102012221892B4 (de) * 2012-11-29 2016-05-19 Picofine GmbH Antriebsvorrichtung und -verfahren zur linearen oder rotatorischen Positionierung
DE102012221892A1 (de) 2012-11-29 2014-06-05 Picofine GmbH Antriebsvorrichtung und -verfahren zur linearen oder rotatorischen Positionierung
EP2916450A1 (de) 2014-03-03 2015-09-09 Picofine GmbH Antriebsvorrichtung und Verfahren für die Erzeugung einer geführten, linearen oder rotatorischen Bewegung
DE102014221001A1 (de) 2014-10-16 2016-04-21 Picofine GmbH Antriebsvorrichtung und -verfahren zur linearen und/oder rotatorischen Positionierung
DE102017127745A1 (de) 2017-11-23 2019-05-23 Picofine GmbH Vorgespannter Trägheitsantrieb und entsprechendes Verfahren
EP3490134A1 (de) 2017-11-23 2019-05-29 Picofine GmbH Vorgespannter trägheitsantrieb und entsprechendes verfahren
DE102017127745B4 (de) * 2017-11-23 2020-10-15 Picofine GmbH Vorgespannter Trägheitsantrieb
EP3490134B1 (de) * 2017-11-23 2021-07-07 Picofine GmbH Vorgespannter trägheitsantrieb und entsprechendes verfahren
DE102021103462A1 (de) 2021-02-15 2022-08-18 SmarAct Holding GmbH Vorrichtung und Verfahren zur linearen oder rotatorischen Positionierung
EP4047807A2 (de) 2021-02-15 2022-08-24 SmarAct Holding GmbH Vorrichtung und verfahren zur linearen oder rotatorischen positionierung

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