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GEBIET DER ERFINDUNG
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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Übertragungsvorrichtung für ein dünnes und
sprödes
Substrat und insbesondere eine Übertragungsvorrichtung,
die mit bedeutend verbessertem Puffervermögen gegen Deformationen ausgeführt ist
und die in der Lage ist, ein dünnes
Substrat zu führen,
um es sanft zu bewegen, ohne dass irgendeine Beschädigung am
Substrat während
der Übertragung
bewirkt wird, während
gleichzeitig eine ausreichende Haltekraft und Reibung auf das Substrat
ausgeübt
wird, um dieses zum Bewegen zu zwingen, ohne dass irgendeine Beschädigung auf
der Oberfläche
des Substrats bewirkt wird.
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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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In
der Halbleiter- oder Solarzellenindustrie werden Substrate, wie
zum Beispiel ein Siliziumblech, eine Siliziumplatte oder ein Wafer,
durch herkömmliche Übertragungsvorrichtungen
transportiert, wobei das Substrat gepresst und von wenigstens einem
Paar oberer Andrückrollen
und unterer Andrückrollen
gehalten wird, um zu ermöglichen,
dass das Substrat auf einer bestimmten Bahn, die in der Übertragungsvorrichtung
festgelegt ist, durch die Reibung, die von den rotierenden Druckrollen
ausgeübt wird,
bewegt wird. Somit wird das Substrat befördert, um sich kontinuierlich
zu bewegen und eine Anzahl an Produktionsstationen in einem Herstellungsprozess
zu durchlaufen, wie zum Beispiel eine chemische Imprägnierstation,
Trockenstation, usw.
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Nachfolgend
wird auf die 1 bis 4 verwiesen,
welche eine herkömmliche Übertragungsvorrichtung
darstellen. Gemäß den Figuren
umfasst die herkömmliche Übertragungsvorrichtung 100:
eine Vielzahl an Transportrollen 10 und eine Vielzahl an Druckrollen 20.
Darüber
hinaus umfasst jede Transportrolle weiterhin: eine Spindel 11;
zwei radial extrudierende Stützräder 12,
die an der Spindel 11 zum Stützen eines Substrates 30 angeordnet
sind; zwei Spurräder 13,
die an der Spindel 11 an Positionen außerhalb der zwei Stützräder 12 angeordnet
sind, um zu definieren, dass sich das Substrat 30 in einer
bestimmten Bahn bewegt, wobei der äußere Durchmesser D13 von jedem
Spurrad 13 größer ist
als der äußere Durchmesser
D12 seines entsprechenden Stützrads 12.
Es ist zu bemerken, dass das Substrat 30 gewöhnlich ein
sprödes
Bauteil ist, wie zum Beispiel ein Siliziumwafer, usw. Die vielen
Druckrollen 20 sind über
den vielen Transportrollen 10 angeordnet und jede davon
besteht aus einer Spindel 21, die parallel mit einem spezifischen
Abstand d zu der Spindel 11 angeordnet ist, und eine Hülse 22,
die daran zwei radial extrudierende Druckräder 23 aufweist, die an
Positionen entsprechend zu den zwei Stützrädern 12 an der Spindel 11 der
Transportrolle angeordnet sind. Da das Substrat 30 fest
zwischen den Druckrädern 23 und
den Stützrädern 12 eingeschlossen
ist, kann es durch die Reibung, die von den rotierenden Rollen ausgeübt wird,
wie in 4 dargestellt, zum Bewegen gezwungen werden. Da
die Druckräder 23 und
die Stützräder 12 hauptsächlich aus
steifen Materialien hergestellt sind, ist darüber hinaus die Peripherie dieser
Räder 23, 12 mit
Pufferreifen 231, 121 bedeckt, die gewöhnlicher
Weise aus einem elastischen Material, wie zum Beispiel Gummi, hergestellt sind.
Weiterhin gibt es zwei Langlöcher 222,
die an der Hülse 22 an
zwei radial gegenüberliegenden
Positionen relativ zur Spindel 21 ausgebildet sind und jedes
Langloch 222 ist durch eine bestimmte Länge L gekennzeichnet. Wie in
der 2 und 4 dargestellt ist, sind die
zwei Langlöcher 222 für einen
Stift 24 zum Hindurchführen
bereitgestellt, um den zwei Enden des Stifts 24 zu ermöglichen,
lose darin angebracht zu sein. Dadurch können die Druckräder 23 der
Hülse 22 natürlich auf
ihre entsprechenden Stützräder 12 drücken und
gleichzeitig wird die Hülse 22 durch
die Beschränkung
des Stifts 24 vor einem axialen Bewegen bewahrt wird, sondern
es wird nur ein Rotieren um die Achse davon ermöglicht, da der Winkelbereich
der Rotation der Hülse 22 durch
die spezifische Länge
L der zwei Langlöcher 222 definiert
ist.
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Wie
in der 3 und 4 dargestellt ist, werden die
Stützräder 12 und
die Spurräder 13 ebenfalls
zum Rotieren gebracht, wenn die Spindel 11 zum Drehen von
einer externen Energiequelle angetrieben ist. Somit werden die elastischen
Pufferreifen 121 eine Reibung auf das Substrat 30,
welches auf den Stützrädern 12 angeordnet
ist, ausüben,
um das Substrat 30 zu zwingen, sich zusammen mit der Rotation
der Stützräder 12 vorwärts zu bewegen.
Wenn das Substrat 30 an die Druckräder 20 herankommt, wird
das Drücken
des sich vorwärts
bewegenden Substrats 30 die Druckräder 23 und die Hülse 22 anheben,
um es dem Substrat 30 zu ermöglichen, fest zwischen den
Druckrädern 23 und
den Trage-Rädern 12 durch
die Elastizität
und der Reibung der Pufferreifen 121, 231 eingespannt
zu sein. Somit kann das Substrat 30 vor einer Schrägstellung
durch Vibration bewahrt werden, während es zur Bewegung angetrieben
wird, was insbesondere zutreffend ist, um das Substrat vor Rutschen
und dem folgenden Stoßen
zu bewahren, wenn sich das Substrat 30 auf einer schrägen Bahn
bewegt, um dieses zu einem chemischen Imprägnierbecken oder davon weg
zu transportieren.
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Jedoch
ist die vorher genannte Substratübertragung
unzureichend. Obwohl der Rand von jenen Rädern 23, 12 mit
Pufferreifen 231, 121 bedeckt ist, könnte der
Prozess der kontinuierlichen Übertragung
des Substrats 30 nicht sanft ausgeführt werden, da die Volumina
der elastischen Pufferreifen 231, 121 im Bezug
auf diejenige der steifen Räder 23, 12 vergleichsweise
kleiner sind, so dass die Pufferreifen 231, 121 nicht
ausreichend zur sanften Substratübertragung
deformiert werden können.
Die oben genannte Beschreibung ist insbesondere zutreffend, wenn
die Bahn des Substrats schräg
ist. Beispielsweise, wenn ein Substrat, das zum Bewegen auf eine schräge Bahn
gebracht wird, auf ein Druckrad 12 trifft und während das
Drücken
des bewegte Substrats nicht in der Lage ist, das Druckrad 12 anzuheben, wird
die Steifigkeit des entsprechenden Stützrads 23 mit unzureichend
deformierten Pufferreifen 231 die Substratübertragung
derart behindern, dass das sequenziell übertragene Substrat mit einem
anderen kollidieren kann und somit eine Beschädigung des Substrats durch
eine übermäßig hohe
Klemmkraft oder durch Komprimieren und Stauchen bewirkt wird, welche
sich aus der Kollision ergeben.
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Die
Materialauswahl sowie die resultierende Deformationsausgestaltung
der Stützräder 12,
der Druckräder 23 und
der Pufferreifen 121, 231 werden deshalb zu Schlüsselfragen
zur Ausgestaltung einer Übertragungsvorrichtung,
die in der Lage ist, eine ausreichende Haltekraft und Reibung auf
das Substrat 30 auszuüben,
um dieses zur Bewegung zu zwingen, ohne dass irgendeine Beschädigung auf
der Oberfläche
des Substrates bewirkt wird, und die gleichzeitig in der Lage ist,
eine ausreichendere Deformation bereitzustellen, das dünne Substrat 30 zur sanften
Bewegung zu führen,
ohne dass bewirkt wird, dass das sequenziell übertragene Substrat mit einem anderen
kollidiert und somit bewirkt wird, dass es durch übermäßig hoher
Klemmkraft oder durch die Kompression und Stauchung, die aus der
Kollision resultieren, beschädigt
wird.
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KURZFASSUNG DER ERFINDUNG
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Die
vorliegenden Erfindung betrifft eine Übertragungsvorrichtung für ein dünnes und
sprödes Substrat,
welche eine Übertragungsvorrichtung
ist, die mit einem bedeutend verbesserten Puffervermögen gegen
Deformationen ausgebildet ist und in der Lage ist, ein dünnes Substrat
sanft zu bewegen, ohne dass irgendeine Beschädigung auf dem Substrat während der Übertragung
bewirkt wird, während gleichzeitig
eine ausreichende Haltekraft und Reibung auf das Substrat ausgeübt wird,
um dieses zur Bewegen zu zwingen, ohne dass irgend eine Beschädigung der
Oberfläche
des Substrats bewirkt wird.
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Um
die oben genannte Aufgabe zu erfüllen stellt
die vorliegende Erfindung eine Übertragungsvorrichtung
für ein
dünnes
und sprödes
Substrat bereit, das im Wesentlichen eine Vielzahl an Transportrollen
und eine Vielzahl an Andruckrollen umfasst, wobei jede Transportrolle
weiterhin umfasst: ein Spindel, die aus einem steifen Material hergestellt
ist, und eine Vielzahl an Stützrädern, die
aus einem elastischen Material, beispielsweise Gummi, hergestellt sind
und radial an der Spindel angeordnet sind, wo sie hervorragen; und
jede Andruckrolle umfasst eine Hülse,
eine Spindel, die von der Hülse
umhüllt
ist und eine Vielzahl an Druckrädern,
die aus einem elastischen Material, wie zum Beispiel Gummi, hergestellt sind
und radial an der Hülse
angeordnet sind, wo sie an Positionen entsprechend den Stützrädern, die
an der Spindel der Transportrolle angeordnet sind, hervorragen.
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Der
weitere Anwendungsbereich der vorliegenden Anmeldung wird durch
die nachfolgend detaillierte Beschreibung ersichtlich werden. Jedoch sollte
es selbstverständlich
sein, dass die detaillierte Beschreibung und die besonderen Beispiele,
in welchen bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung angegeben sind,
nur zur Veranschaulichung sind, da verschiedene Änderungen und Modifikationen
im Geist und Umfang der Erfindung für den Fachmann mit der detaillierten
Beschreibung offensichtlich werden.
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KURZE BESCHREIBUNG DER FIGUREN
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Die
vorliegende Erfindung wird besser durch die nachfolgende detaillierte
Beschreibung und die beigefügten
Zeichnungen verstanden, die nur zur Veranschaulichung beigefügt sind
und deshalb die vorliegende Erfindung nicht einschränken sollen,
wobei:
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1 eine
schematische Darstellung ist, die eine herkömmliche Übertragungsvorrichtung darstellt.
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2 eine
Draufsicht einer Andruckrolle ist, die in der herkömmlichen Übertragungsvorrichtung gemäß 1 verwendet
wird.
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3 eine
Schnittdarstellung der herkömmlichen Übertragungsvorrichtung
gemäß 1 ist.
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4 eine
Seitenansicht der herkömmlichen Übertragungsvorrichtung
gemäß 1 ist.
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5 eine
Schnittansicht einer Übertragungsvorrichtung
gemäß einer
ersten Ausführungsform
der Erfindung ist.
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6 eine
Spannungs-Deformations-Kurve der Übertragungsvorrichtung gemäß 5 und
der herkömmlichen Übertragungsvorrichtung
gemäß 1 darstellt.
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7 eine
Schnittansicht einer Übertragungsvorrichtung
gemäß einer
zweiten Ausführungsform
der Erfindung ist.
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8 eine
Schnittansicht einer Übertragungsvorrichtung
gemäß einer
dritten Ausführungsform
der Erfindung ist.
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BESCHREIBUNG DER BEISPIELHAFTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
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Zum
weiteren Verständnis
und zur Kenntnis der erfüllten
Funktionen und strukturellen Merkmale der Erfindung werden verschiedene
beispielhafte Ausführungsformen
im Zusammenhang mit der detaillierten Beschreibung wie folgt dargestellt:
Nachfolgend
wird auf 5 verwiesen, die eine Schnittansicht
einer Übertragungsvorrichtung
gemäß einer
ersten Ausführungsform
der Erfindung ist. Die Übertragungsvorrichtung 200 aus 5 umfasst eine
Vielzahl an Transportrollen 40 und eine Vielzahl an Andruckrollen 50.
Jede Transportrolle 40 umfasst weiterhin eine steife Spindel 41,
eine Gummischicht 411, die so ausgebildet ist, dass sie
das Äußere der Spindel 41 umhüllt, um
diese abzudecken, zwei sich radial extrudierende Stützräder 42,
die an der Gummischicht 411 ausgebildet sind, während sie
auf der Spindel 11 zum Stützen eines Substrats angeordnet sind,
und zwei Spurräder 43,
die an der Spindel 41 an Positionen außerhalb der zwei Stützräder 12 angeordnet
sind, um das Substrat 30 zum Bewegen in einer bestimmten
Spur festzulegen, wobei der äußere Durchmesser
D43 von jedem Spurrad 43 größer als der äußere Durchmesser
D42 des entsprechenden Stützrads 42 ist.
Es ist zu bemerken, dass das Substrat 30 gewöhnlich ein
sprödes
Bauteil ist, wie zum Beispiel ein Solarzellenwafer usw. Darüber hinaus sind
die vielen Andruckrollen 50 über den vielen Transportrollen 40 angeordnet
und jede davon umfasst eine Spindel 51, die parallel mit
einem bestimmten Abstand d zu der Spindel 41 angeordnet
ist, und eine Hülse 52,
die zwei daran angeordnete radial extrudierende Druckräder 53 an
Positionen entsprechend zu den zwei Stützrädern 42 auf der Spindel 41 der
Transportrollen aufweist. In dieser Ausführungsform gibt es einen elastischen
Pufferreifen 531, der an der Peripherie von jedem Druckrad 53 angeordnet ist,
wobei der Pufferreifen 531 aus Gummi hergestellt werden
kann. Darüber
hinaus gibt es zwei Langlöcher 522,
die an der Hülse 52 an
zwei radial gegenüberliegenden
Positionen relativ zur Spindel 51 ausgebildet sind, und
jedes Langloch 522 ist durch eine spezifische Länge L, ähnlich zu
denen, die in 2 und 4 dargestellt
sind, gekennzeichnet. Wie in 5 dargestellt
ist, werden die zwei Langlöcher 522 für einen
Stift 54 bereitgestellt, so dass dieser hindurch passt,
um den zwei Enden des Stifts 54 zu ermöglichen, locker darin angebracht
zu sein. Dabei können
die Druckräder 3 der
Hülsen 52 natürlich auf deren
entsprechende Stützräder 42 drücken und gleichzeitig
wird die Hülse 52 vor
einer axialen Bewegung durch die Begrenzung des Stifts 54 bewahrt, sondern
es wird nur das Auf- und Abbewegen entlang des Pins 54 ermöglicht.
Da das Substrat 30 fest zwischen den Drückrädern 53 und den Stützrädern 52 eingespanntt
ist, kann es zur Bewegung durch die Reibung, die von den rotierenden
Rollen ausgeübt wird,
gezwungen werden, während
es, wie in 5 dargestellt, dazwischen fest
aufgenommen ist.
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Die Übertragungsvorrichtung
gemäß der Erfindung
ist dadurch gekennzeichnet, dass ihre Stützräder 42 aus Gummi hergestellt
sind, beispielsweise NBR, HNBR, FPM, Silikon, PTFE, TFM, CR oder
AR, usw. In dieser Ausführungsform
sind die Stützräder 42 integral
(einstückig)
mit der Gummischicht 411 ausgebildet und in ähnlicher
Weise sind die Druckräder 53 ebenfalls
integral (einstückig)
mit der Hülse 52 ausgebildet.
Bezüglich
des Typs der Gummis, der zum Herstellen der Gummischicht 411 ausgewählt wird,
ist dieser von den Größen der
Stützräder 42 und der
Druckräder 53 und
ebenfalls von dem Material des Substrates, das dadurch transportiert
wird und ebenso von dessen Größe abhängig, so
dass es keine spezielle Einschränkung
hinsichtlich des Materials der Gummischicht 411 gibt. Darüber hinaus
können die
Stützräder 42 und
das Druckrad 53 entweder aus den gleichen oder unterschiedlichen
Materialien hergestellt sein, sie sollten jedoch alle aus einem
säure- und
laugenresistenten Material hergestellt sein, so dass sie zum Betrieb
der Substratübertragung
in einem Herstellprozess mit chemischen Imprägnier- oder Ätzverfahren
verwendet werden können.
In dieser Ausführungsform
ist, wenn die Stützräder 42 gänzlich aus
Gummi hergestellt sind, deren Deformation, die aus dem Zwang des
Substrats 30 zur Auf- und Abbewegung um einen schrägen Winkel
resultiert, um zwischen den Stützrädern 43 und
den Druckrädern 53 eingespannt
zu sein, verglichen mit den herkömmlichen
Stützrädern, die
aus einem steifen Material hergestellt sind, ungefähr dreimal
so groß.
Somit kann sich das Substrat 30 durch das Zusammenwirken
zwischen der ausreichenden Deformation des Stützrads 42 und der
Auf- und Abbewegung der Druckräder 53 sanft
bewegen und somit verhindern, dass es durch übermäßig hoher Druckkraft oder durch
Komprimieren und Stauchen, das sich durch Kollision bei der Übertragung
ergeben könnte,
beschädigt
wird.
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Nachfolgend
wird auf 6 verwiesen, die Spannungs-Deformations-Kurven
der Übertragungsvorrichtung
gemäß 5 und
der herkömmlichen Übertragungsvorrichtung
gemäß 1 darstellt.
In dem in 6 beschriebenen Experiment werden
drei Arten von Trage-Rädern,
die aus unterschiedlichen Materialien hergestellt sind, zur Simulierung,
wie sie durch eine Spannung von einem Substrat deformiert werden,
das dadurch befördert
wird, eingesetzt. In der 6 stellt die Kurve L1 die Deformation
eines herkömmlichen
steifen Stützrades 12 dar,
der von einem Pufferreifen 121 umhüllt ist, wie derjenige, der
in 3 dargestellt ist; und die Kurve L2 stellt die
Deformation des Stützrads 42,
das in der 5 dargestellt ist, dar, das
aus Gummi hergestellt ist. Zu der Kurve L1 ist zu bemerken, dass,
wenn sich die Deformation des Stützrads 12 von
1,0 × 10–4 m
auf 1,7 × 10–3 m
erhöht,
die Spannung zum Erzeugen einer solchen Deformation von 6.500 kg/m3 auf 200.000 kg/m3 ansteigt,
so dass eine solche Spannung auch auf das Substrat einwirkt und
somit bewirkt wird, dass dieses bricht. Andererseits ist zu der
Kurve L2 zu bemerken, dass, wenn sich die Deformation des Stützrads 42 von
1,0 × 10–4 m
auf 1,7 × 10–3 m
erhöht,
dadurch die Spannung zum Bewirken einer solchen Deformation von
3.600 kg/m3 auf 25.000 kg/m3 ansteigt,
da die Spannung, die auf das Substrat einwirkt, im hohen Maße reduziert
ist und somit das Substrat weniger wahrscheinlich geschädigt wird.
Was die Kurve L3 in der 6 anbelangt, so ergibt sich
diese durch ein steifes Stützrad 12 mit
Pufferreifen 121, das ähnlich dem
herkömmlichen
Stützrad 12 ist,
das in 3 dargestellt ist. Sie unterscheiden sich jedoch
darin, dass der Durchmesser des Pufferreifens 121, der
bei dem Stützrad
gemäß L3 verwendet
wird, ungefähr das
Zweifache von dem ist, der bei L1 eingesetzt wird. Beispielsweise
ist die Dicke des Pufferreifens, der die Kurve L1 ergibt, 5 mm und
die Dicke des Pufferreifens, der die Kurve L3 ergibt, 10 mm. Wenn
sich die Deformation des Stützrades 12 von
1,0 × 10–4 m auf
1,7 × 10–3 m
in der Kurve L3 erhöht,
wird somit die Spannung, die eine derartige Deformation bewirkt, von
5.500 kg/m3 auf 75.000 kg/m3 ansteigen, was andeutet, dass der Erhöhung der
Dicke des Pufferreifens 121 die Spannung, die auf das Substrat
einwirkt, noch größer ist
als diejenige, die auf das Substrat einwirkt, wenn es von Stützrädern gemäß der vorliegenden
Erfindung befördert
wird. Entsprechend ist das Gummistützrad 42 gemäß der Erfindung
das Beste, um zu verhindern, dass das Substrat durch Spannung beschädigt wird.
Jedoch kann durch das Verwenden von dickeren Pufferreifen das herkömmliche
steife Trag-Rad
besser funktionieren, als jene mit einem dünneren Pufferrad.
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Nachfolgend
wird auf 7 verwiesen, die eine Schnittansicht
einer Übertragungsvorrichtung gemäß einer
zweiten Ausführungsform
der Erfindung ist. In der 7 sind nur
ein Transportrollen-Paar und deren entsprechende Andruckrollen 50 dargestellt, wobei
die Andruckrollen 50 eine Spindel 51, eine Hülse 52,
ein Andrückrad 53 und
einen Pufferreifen 531 umfassen. Die Transportrolle 40A umfasst
eine steife Spindel 41A, eine Gummischicht 411A,
die zum Bedecken der Spindel 41A auf dieser ausgebildet
ist, und ein radial extrudierendes Gummistützrad 42A, das integral
mit der Gummischicht 411A ausgebildet ist. Die vorliegende
Ausführungsform
ist dadurch gekennzeichnet, dass es einen weiteren Gummipufferreifen 421A gibt,
der an der Peripherie des Gummistützrads 42A ausgebildet
ist. Entsprechend sind bei dieser Ausführungsform das Stützrad 42A und
das Drückrad 53 zusammen
mit ihren Pufferreifen 421A, 531 alle aus einem
Gummi hergestellt und der Gummi kann NBR, HNBR, FPM, Silikon, PTFE,
TFM, CR oder AR sein. In ähnlicher
Weise können
das Stützrad 42A und
das Druckrad 53 zusammen mit ihren Pufferreifen 421A, 531 entweder
aus gleichen oder unterschiedlichen Materialien hergestellt sein,
jedoch sollten sie alle aus einem säure- und laugenresistenten
Kunststoff hergestellt sein, so dass sie in dem Betrieb der Substratübertragung
in einem Herstellprozess mit chemischen Imprägnier- oder Ätzprozessen verwendet
werden können.
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Nachfolgend
wird auf 8 verwiesen, die eine Schnittansicht
einer Übertragungsvorrichtung gemäß einer
dritten Ausführungsform
der Erfindung ist. Ähnlich
zu derjenigen, die in 7 dargestellt ist, zeigt die
vorliegende Ausführungsform
ebenfalls nur ein Transportrollen-Paar 40B und ihre entsprechenden
Andruckrollen 50, wobei die Andruckrolle 50 eine Spindel 51,
eine Hülse 52,
ein Druckrad 53 und einen Pufferreifen 531 umfasst,
und wobei die Transportrolle 40B eine Spindel 41B,
eine Gummischicht 411B, ein Stützrad 42B und einen
Pufferreifen 421B umfasst. Die vorliegende Ausführungsform
ist dadurch gekennzeichnet, dass es weiterhin eine Kunststoffpufferschicht 422B gibt,
die zwischen dem Pufferreifen 421B und der Peripherie des
Stützrads 42B eingelagert
ist. Beispielsweise kann die zweite Pufferschicht 422B aus
PVC hergestellt sein. In ähnlicher Weise
sind das Stützrad 42B und
das Druckrad 53 alle zusammen mit ihren Pufferreifen 421B, 531 aus einem
Gummi hergestellt und der Gummi kann NBR, HNBR, FPM, Silikon, PTFE,
TFM, CR oder AR sein. Darüber
hinaus können
das Stützrad 42A und
das Druckrad 53 zusammen mit ihren Pufferreifen 421A entweder
aus gleichen oder unterschiedlichen Materialien hergestellt sein.
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Zusammenfassend
betrifft die vorliegende Erfindung eine Übertragungsvorrichtung für ein dünnes und
sprödes
Substrat mit einem in hohem Maße verbesserten
Deformationspuffervermögen,
das in der Lage ist, ein dünnes
Substrat bei einer sanften Bewegung zu führen, ohne dass irgend eine
Beschädigung
am Substrat während
der Übertragung
verursacht wird, was insbesondere zutreffend ist, wenn sogar die Übertragungsstrecke
des Substrats schräg
ist und das Drücken
des sich bewegenden Substrats nicht in der Lage ist, das Drückrad anzuheben.
Die Deformation des Stützrads 42 ist
groß genug,
um das Substrat richtig zwischen dem Stützrads und dem Drückrad 53 eingespannt
zu führen,
um zu verhindern, dass das Substrat durch übermäßig hohe Klemmkraft oder durch
Komprimieren und Stauchen, das aus einer Kollision resultiert, beschädigt wird, während gleichzeitig
eine ausreichende Haltekraft und Reibung auf das Substrat ausgeübt wird,
um es zur Bewegung zu zwingen, ohne dass irgend eine Beschädigung auf
der Oberfläche
des Substrates verursacht wird.
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Hinsichtlich
der oben genannter Beschreibung ist zu erkennen, dass die optimalen
Dimensionsverhältnisse
für die
Teile der Erfindung, einschließlich
einer Variation in der Größe, des
Materials, der Kontur, der Form, der Funktion und der Art des Betriebs,
des Zusammenbaus und der Benutzung so zu betrachten sind, dass sie
für einen
Fachmann naheliegend und offensichtlich sind und dass alle zu denjenigen
gleichwertigen Verhältnisse,
die in den Figuren veranschaulicht und in der Beschreibung beschrieben
sind, als in der vorliegenden Erfindung mit eingeschlossen anzusehen
sind.