DE102008058056A1

DE102008058056A1 - UV-Bestrahlungsvorrichtung

Info

Publication number: DE102008058056A1
Application number: DE102008058056A
Authority: DE
Inventors: Martin Dr. Weisgerber; Markus Dumon
Original assignee: Deutsche Mechatronics GmbH
Current assignee: Deutsche Mechatronics GmbH
Priority date: 2008-11-18
Filing date: 2008-11-18
Publication date: 2010-07-08

Abstract

Die Erfindung betrifft eine UV-Bestrahlungsvorrichtung, bestehend aus einer im Gehäuse (1) angeordneten länglichen Strahlungsquelle (3), einem aus mehreren, beweglich angeordneten Reflektorelementen bestehenden Reflektor mit länglichen Reflektorflächen, die der Strahlungsquelle zugeordnet sind und einem beweglichen Schottensystem (4) zur Steuerung der abgegebenen Strahlungsleistung, wobei erste Kühlkanäle mit einem Kühlstrom A für die Kühlung des Gehäuses (1) und des Schottensystems (4) und zweite Kühlkanäle mit einem Kühlstrom B für die Kühlung der Strahlungsquelle (3) im Innern des Schottensystems angeordnet sind. Dabei sind die ersten und die zweiten Kanäle mit ihren zugehörigen Kühlströmen A, B getrennt ausgebildet, wobei mindestens einem der ersten und zweiten Kühlkanäle eine Regel- oder Steuereinrichtung für die Kühlleistung angeordnet ist. Ferner ist der zweite Kühlkanal als Saug- oder Druckkanal (11) bis an die Oberfläche der Strahlungsquelle (3) herangeführt.

Description

Die Erfindung betrifft eine UV-Bestrahlungsvorrichtung, bestehend aus einer im Gehäuse 1 angeordneten länglichen Strahlungsquelle 3, einem Reflektor 2 mit einer länglichen Reflektorfläche, die der Strahlungsquelle zugeordnet ist und einem beweglichen Schottensystem 4 zur Steuerung der abgegebenen Strahlungsleistung, wobei erste Kühlkanäle mit einem Kühlstrom A für die Kühlung des Gehäuses 1 und des Schottensystems 4 und zweite Kühlkanäle mit einem Kühlstrom B für die Kühlung der Strahlungsquelle 3 im Innern des Schottensystems angeordnet sind.
Eine Bestrahlungsvorrichtung der eingangs genannten Art ist aus der DE 10109061 A1 bekannt. Dabei umfasst die Lampenanordnung ein Luftsaugmittel (beispielsweise ein Gebläse), welches Luft von unten nach oben zieht. Wenn die Seitenelemente des Schottensystems in der nicht abgeschotteten Position liegen, wird der Luftstrom aufwärts zwischen den Seitenelementen hindurch um die Lampe herum und nach außen über die Öffnung zwischen den oberen Elementen des Schottensystems geführt. In der abgeschotteten Position gelangt der Luftstrom von außen zu den beiden Seiten des Schottensystems, zwischen den Seitenelementen hindurch und an den oberen Elementen entlang wieder nach außen durch die Öffnung der zwei oberen Elemente. Die Lampe wird dann nur partiell im oberen Bereich gekühlt.
Mit der bekannten Anordnung soll die Luftströmung in der nicht abgeschotteten Position die Lampenoberfläche vollständig kühlen, während in der abgeschotteten Position die Luftkühlung nur teilweise auf die Lampenoberfläche einwirkt. Die Aufteilung der Luftströme im abgeschotteten und im nicht abgeschotteten Zustand ist jedoch durch die Bauform der UV-Bestrahlungsvorrichtung vorgegeben, sodass eine Anpassung an verschiedene Energieniveaus nicht ohne Weiteres möglich ist.
Aus der DE 10125770 A1 ist eine Bestrahlungsvorrichtung für eine langgestreckte Strahlungsquelle bekannt, die um ihre Längsachse drehbar angeordnet ist. Die Kühlung erfolgt durch Anblasen mit einem Kühlluftstrom.
Dabei bilden die voneinander beabstandeten Reflektorelemente einen Luftauslassschlitz, der sich über die gesamte Länge der Strahlungsquelle erstreckt. Der Luftauslassschlitz ist durch ein weiteres Strömungssieb von einer Kühlluftöffnung eines unterhalb der Strahlungsquelle angeordneten Abzugskanals getrennt. Die Kühlluftöffnung erstreckt sich ebenfalls über die gesamte Länge der Strahlungsquelle, wobei das Strömungssieb eine Vergleichmäßigung der Druckverhältnisse bewirken soll. Der erforderliche Unter- oder Überdruck wird beispielsweise durch eine geregelte (Vakuum-)Pumpe oder ein Gebläse erzeugt.
Um die optimale Lampentemperatur für die UV-Strahler zu erreichen, muss die Lampenoberflächentemperatur eingestellt werden. Dies geschieht bei der bekannten Bestrahlungsvorrichtung über eine Saugkühlung der Lampe, wobei der Abluftstrom über eine Drosselklappe geregelt werden kann.
Da die Luftkühlung auf die Lampentemperatur geregelt wird, ist die Reflektorkühlung, die ja mit demselben Luftstrom gekühlt werden soll, von dem Temperaturniveau der Lampentemperatur abhängig. Dies begrenzt die maximale Strahlerleistung bei luftgekühlten Systemen, insbesondere bei dichroitischen (IR-absorbierenden) Reflektorbeschichtungen.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, bei einer UV-Bestrahlungsvorrichtung der eingangs genannten Art die Reflektoren der Bestrahlungsvorrichtung unabhängig von der Lampentemperatur zu kühlen und eine effektive Kühlluftregelung vorzuschlagen, die variabel für verschiedene Strahlertypen und Strahlerleistungen einsetzbar ist. Die Kühlung sollte entweder saugend oder auch blasend erfolgen, wobei zusätzlich eine Befüllung des Strahlerzwischenraumes mit einem Inertgas zur Optimierung der UV-Ausbeute bei der Härtung der Oberfläche des bestrahlten Produktes ermöglicht werden soll.
Die Aufgabe wird durch die in den Patentansprüchen genannten Merkmale gelöst. Dabei gingen die Erfinder davon aus, dass die Kühlluftströme in mindestens zwei Bereiche aufgeteilt werden, einen ungeregelten Strang für die Reflektorkühlung am Schottensystem (Kühlstrom A) und einen geregelten Strang für die Lampentemperaturregelung (Kühlstrom B).
Der Strömungsverlauf bleibt durch die getrennte Anordnung der Kühlluftkanäle in den jeweiligen Betriebszuständen konstant. Die Kühlluft wird mit dem Kühlstrom B in die unmittelbare Umgebung der Lampenoberfläche gezielt steuerbar, beispielsweise über eine Drossel oder ein einstellbares Gebläse, herangeführt. Es entsteht dadurch ein gleichbleibendes Strömungsbild unabhängig von der Stellung des Schottensystems.
Durch den erfindungsgemäßen Strömungsverlauf in unabhängig voneinander geführten Kühlkanälen lassen sich hohe Leistungsdichten am Strahler erreichen, auch bei IR-absorbierenden Reflektoren. Insbesondere bei höheren Strahlungsleistungen ist es vorteilhaft, wenn als Kühlmedium Luft für beide Kühlkanäle vorgesehen wird.
Es ist vorteilhaft, wenn der zweite Kühlkanal als Aushalsung bis auf einen Abstand von 1 bis 3 mm an die Strahleroberfläche herangeführt ist. Dabei sollte die Aushalsung als Spalt zwischen zwei parallelen, glatten Außenwänden ausgebildet sein, wobei die Aushalsung zusätzlich aus einer Vielzahl gleichgerichteter Kanäle bestehen kann.
Es ist weiterhin vorteilhaft, wenn die Aushalsung aus einem oder mehreren Keramikkörpern besteht, die einen oder mehrere innen liegende Luftkanäle aufweisen. Eine weitere, aber in den meisten Fällen zu kostenintensive Lösung ist das Verwenden von einer Reihe von Röhrchen, vorzugsweise aus Quarzglas. Anhand von Versuchen wurde festgestellt, dass, wenn der Saugkanal bzw. die Aushalsung eine Düsenöffnung aufweist, diese vorteilhafterweise einen Ausgangsquerschnitt von 0,1 bis 0,3 Strahlerquerschnitt besitzt.
Um das Strömungsverhalten bei der Kühlung der Strahlungsquelle zu verbessern, wird vorgeschlagen, die Aushalsung als Luftgleichrichter mit einem, zwischen zwei parallelen, glatten Außenwänden angeordneten Wellblechmittelsteg auszubilden. Aus energietechnischen Gründen ist es günstig, die ersten und zweiten Kühlkanäle an mindestens ein Sauggebläse anzuschließen, wobei in einem der Kühlkanäle eine Drossel zur Steuerung der Saugleistung anzuordnen ist.
Eine Dichtung zwischen der Aushalsung und den beweglichen Schotten wirkt sich positiv auf die Strömung bei geöffneten Schotten aus. Dabei ist es für die Dichtungsfunktion vorteilhaft, wenn die Dichtung an den Schotten befestigt ist.
Die erfindungsgemäße UV-Bestrahlungsvorrichtung lässt sich besonders günstig betreiben, wenn eine Regel- oder Steuereinrichtung mit mindestens einem Messwertgeber für die Strahleroberflächentemperatur verbunden ist. Dies gilt insbesondere für den Fall, dass alle Kühlkanäle als Abluftkanäle ausgebildet sind, da dann die Stellung des Schottensystems die Luftströmung an der Lampenoberfläche und auf den Außenseiten des Schottensystems unterstützt.
Im Folgenden wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispieles näher erläutert.
Es zeigen:
1: Querschnitt durch ein erfindungsgemäß ausgebildetes Bestrahlungsmodul mit offenem Schottensystem
2: Querschnitt analog zu 1 mit geschlossenem Schottensystem
3: Varianten der Bauform der Aushalsung
4: Querschnitt der ineinanderliegenden Kanäle
5: Anordnung der Drossel
6: Querschnitt analog zu 1 mit zusätzlicher Glasscheibe
Nach 1 ist in einem Gehäuse 1 eine Strahlungsquelle 3 angeordnet, wobei seitlich von der Strahlungsquelle 3 ein bewegliches Schottensystem 4.1/4.2 mit je einem Reflektor 2.1/2.2 zur Steuerung der abgegebenen Strahlungsleistung angeordnet ist.
Zwischen den Reflektoren 2.1 und 2.2 und der Strahlungsquelle 3 befindet sich ein Strahlungsraum, der zum Substrat hin (nicht dargestellt) offen ist. Im Inneren des Gehäuses 1, begrenzt durch die Außenseite des Schottensystems 4, befinden sich erste Kühlkanäle für einen Kühlstrom A, der sowohl das Innere des Gehäuses 1 als auch das Schottensystem 4 von außen kühlt. Es ist jedoch auch möglich, im Inneren des Schottensystems 4 Kühlkanäle vorzusehen, die vorzugsweise zur Durchleitung von flüssigem Kühlmittel ausgebildet sind und dann auch die Reflektoren 2.1/2.2. kühlen.
Wie aus der Pfeilrichtung des Kühlstroms A ersichtlich ist, wird Luft in das Gehäuse 1 an den Seiten über Lufteintrittsöffnungen 5a, 5b der Außenwand eingesaugt, um das Schottensystem 4 von außen zu kühlen. In dem abgebildeten Fall wird die Kühlluft an der Gehäusewand entlang in einen zentralen Absaugkanal 7 geleitet und gelangt von dort über einen Sammler 9 zu einem Gebläse 15, das den gesamten Kühlluftstrom der erfindungsgemäßen UV-Bestrahlungsvorrichtung fördert.
Der zweite Kühlluftstrom B wird im Bereich der Strahlungsquelle 3 von einem langhalsigen Saugkanal 11 erfasst und über eine Drossel 12 in den Sammler 9 geleitet.
Mit den Dichtungen 6.1 und 6.2 werden die beweglichen Schotten 4.1 und 4.2 gegen den langhalsigen Saugkanal gedichtet.
Durch die separat angeordnete Drossel 12 ist der Strahlerkühlluftstrom direkt einstellbar, die Strömungsführung ändert sich bei einer Veränderung des Volumenstroms nicht.
In 2 ist die erfindungsgemäße UV-Bestrahlungsvorrichtung im Querschnitt mit geschlossenem Schottensystem 4 dargestellt. Man erkennt, dass der Kühlluftstrom A unverändert an der Außenseite des Schottensystems 4 entlang der Gehäuseinnenwand in den zentralen Saugkanal 7 geleitet wird und von dort über den Sammler in das Gebläse gelangt.
Auch der Kühlluftstrom A bleibt im Wesentlichen unverändert in seiner Richtung, jedoch wird der Volumenanteil in der Verschlussstellung des Schottensystems deutlich reduziert. Dadurch ist garantiert, dass bei einer Absenkung der Strahlerleistung im Standby-Betrieb auf 30% das Ausblasen des Strahlers mit Sicherheit vermieden wird, wobei die erforderliche Kühlluftmenge deutlich reduziert werden kann, was sich wiederum günstig auf den Energieverbrauch der Bestrahlungsvorrichtung auswirkt.
In 3 sind die verschiedenen Bauformen der Aushalsung dargestellt. Die einfachste Bauform ist in 3a die Anordnung zweier paralleler Wandungen 20, 21, zum Beispiel aus Metall. Die Breite des sich bildenden Spaltes 14 liegt idealerweise zwischen 0,05 und 0,2 des Strahler-Durchmessers.
In 3b ist in den Spalt 14 der Aushalsung eine gewellte Fläche eingepasst, zum Beispiel ein gewelltes Blech, welches mit den Wandungen punktuell verbunden ist, z. B. durch Verschweißen und einen Mittelsteg 22 bildet.
In 3c ist ein Hohlkörperelement gezeigt, vorzugsweise aus Keramik. Bei dieser Bauform ist zeichnerisch dargestellt, dass mehrere Elemente zum Erreichen der erforderlichen Längen eingesetzt werden können, wobei die Aushalsung aus einer Vielzahl gleichgerichteter Kanäle besteht.
Vorteilhafterweise besteht die Aushalsung aus einem Luftgleichrichter, wobei der Saugkanal 11 über einen Kühlkanal 8, eine Drossel 12 und einem Sammlerelement 9 an ein Sauggebläse 15 angeschlossen ist, während der erste Kühlkanal als zentraler Absaugkanal 7 über ein Anschlusselement 17 mit dem Sammlerelement 9 verbunden ist.
In 4 sind die einzelnen, als besonders vorteilhaft herausgefundenen Bauformen des zentralen Luftkanals 7 und des innenliegenden zweiten Kühlkanals 8 dargestellt. In 4a ist der Absaugkanal 7 rechteckig, mit einem innenliegenden, ebenfalls rechteckigen zweiten Kühlkanal 8. Aus strömungstechnischer Sicht vorteilhafter ist die Verwendung wie in 4b beschrieben einer runden Bauform des zweiten Kühlkanals 8 im Abluftkanal 7. Die Verwendung von zwei Rundrohren für die Kanäle 7 und 8 verbessert den Nutzeffekt. Es ist vorteilhaft, dass die Mittellinie 18 des ersten Kühlkanals innerhalb des zweiten Kühlkanals 8 liegt, der eine Mittellinie 19 aufweist, insbesondere der Abstand der beiden Mittellinien 18, 19 kleiner der Hälfte, und besonders bevorzugt kleiner 20%, der kürzesten Kantenlänge (oder Durchmessers) des zweiten Kühlkanals 8 ist. Weiter bevorzugt ist, dass der Abstand Δ der Mittellinien 18, 19 vom ersten und zweiten Kühlkanal kleiner 10%, der kürzesten Kantenlänge (oder Durchmessers) des zweiten Kühlkanals ist, und besonders bevorzugt, dass beide Mittellinien 18, 19 deckungsgleich sind.
5 offenbart eine wesentliche Komponente der kompakten Lösung der Erfindung. In dem Absaugkanal 7 ist in dem zweiten Kanal 8 die Drossel 12 eingebaut, die durch ein hier außenliegend dargestelltes Stellorgan 13 den Luftmengenstrom im zweiten Kühlkanal 8 steuert. Nach der Drossel werden beide Kühlluftströme vereinigt. Besonders vorteilhaft geschieht dies noch im Gehäuse 1 der Bestrahlungsvorrichtung. Aber auch nach der Verbindungsstelle von dem Gehäuse zur umgebenden Applikation ist diese Anordnung besonders effektiv, da eine doppelte Schlauchleitung für die Luftführung vermieden wird.
6 stellt die erfindungsgemäße Vorrichtung dar, mit einer strahlungsdurchlässigen Scheibe 30 zwischen Strahlungsquelle 3 und dem bestrahlten Substrat. Durch die strahlungsdurchlässige Scheibe ändert sich die Strömung im Innenraum des beweglichen Schottensystems 4 zwischen der geöffneten und der geschlossenen Position kaum, bei deutlich unterschiedlichen Strahlungsleistungen. Die Absaugung zur Strahlerkühlung direkt an der Strahlungsquelle 3 lässt eine exakte Steuerung der zulässigen Oberflächentemperaturen der Strahlungsquelle 3 zu. Obwohl die Volumenströme geringer sind als bei der Absaugungskühlung mit einer entfernt liegenden Absaugöffnung, lässt sich die Oberflächentemperatur der Strahlungsquelle schnell und punktgenau einstellen. Damit ist die vorgeschlagene Steuerung einer UV-Bestrahlungsvorrichtung sehr effizient und ermöglicht kurze Steuerzeiten bei Änderung der Strahlungsleistung beispielsweise beim Öffnen und Schließen des Schottensystems.
Zusammenfassend ist eine Vorrichtung dargestellt, die durch eine Absaugung der Kühlluft direkt am Strahler einer UV-Härtungseinheit zu jedem Betriebspunkt des UV-Härtungssystems die Oberflächentemperatur in dem für die Strahlerlebensdauer engen Oberflächentemperaturbereich kontrolliert. Überraschend einfach ist dies dadurch ermöglicht, dass die direkte Absaugung jedoch durch eine gesondert einstellbare Drossel 12 gezielt in der Wirkung reduziert werden kann. Besonders vorteilhaft wirkt sich dies im Stand-By-Betrieb aus in der Möglichkeit, die abgegebene Strahlungsleistung auf das absolute Minimum zu reduzieren wegen der genau einstellbaren Kühlluftabsaugung am Strahler. Hier ist gegenüber dem Stand der Technik ein wesentlicher Fortschritt gelungen.

A: erster Kühlluftstrom
B: zweiter Kühlluftstrom
1: Gehäuse
2: Reflektoren
2.1/2.2: einzelne Reflektoren
3: Strahlungsquelle
4: bewegliches Schottensystem
4.1/4.2: einzelne bewegliche Schotten des Systems
5: Lufteintrittsöffnungen im Gehäuse
5a/5b: einzelne Lufteintrittsöffnungen im Gehäuse
6: Dichtungen
6.1/6.2: einzelne Dichtungen
7: erster, zentraler Absaug- und Kühlkanal
8: zweiter Kühlkanal
9: Sammlerelement
10: Messwertgeber
11: langhalsiger Saugkanal
12: Drossel
13: Stellorgan für die Drossel
14: Spalt
15: Sauggebläse
16: Regel- und Steuereinrichtung
17: Anschlusselement
18: Mittellinie erster Kühlkanal
19: Mittellinie zweiter Kühlkanal
20: Wandung der Aushalsung
21: Wandung der Aushalsung
22: gewellter Mittelsteg

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

- DE 10109061 A1 [0002]
- DE 10125770 A1 [0004]

Claims

UV-Bestrahlungsvorrichtung, bestehend aus einer im Gehäuse (1) angeordneten länglichen Strahlungsquelle (3), einem aus mehreren, beweglich angeordneten Reflektorelementen bestehenden Reflektor mit länglichen Reflektorflächen, die der Strahlungsquelle zugeordnet sind und einem beweglichen Schottensystem (4) zur Steuerung der abgegebenen Strahlungsleistung, wobei erste Kühlkanäle mit einem Kühlstrom A für die Kühlung des Gehäuses (1) und des Schottensystems (4) und zweite Kühlkanäle mit einem Kühlstrom B für die Kühlung der Strahlungsquelle (3) im Innern des Schottensystems angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten und die zweiten Kanäle mit ihren zugehörigen Kühlströmen A, B getrennt ausgebildet sind, wobei in mindestens einem der ersten und zweiten Kühlkanäle eine Regel- oder Steuereinrichtung für die Kühlleistung angeordnet ist und dass der zweite Kühlkanal als Saug- oder Druckkanal (11) bis an die Oberfläche der Strahlungsquelle (3) herangeführt ist.
UV-Bestrahlungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die der Strahlungsquelle abgewandte Außenseite des Schottensystems als Begrenzung des ersten Kühlkanals ausgebildet ist und die Innenseite des Schottensystems mit den Reflektoren verbunden sind.
UV-Bestrahlungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Kühlkanal an ein Inertgasreservoir zur Kühlung der Strahlungsquelle (3) angeschlossen ist.
UV-Bestrahlungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Saugkanal (11) als Aushalsung des zweiten Kühlkanals bis auf einen Abstand von 1–3 mm an die Strahleroberfläche heran geführt ist.
UV-Bestrahlungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Saugkanal (11) über einen Kühlkanal (8), eine Drossel (12) und einem Sammlerelement (9) an ein Sauggebläse (15) angeschlossen ist.
UV-Bestrahlungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Kühlkanal als zentraler Absaugkanal (7) mit dem Sammlerelement (9) verbunden ist.
UV-Bestrahlungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Aushalsung einen Spalt (14) zwischen zwei parallelen, glatten Außenwänden (20, 21) aufweist.
UV-Bestrahlungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Aushalsung aus einer Vielzahl gleichgerichteter Kanäle besteht.
UV-Bestrahlungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Aushalsung aus einem oder mehreren Keramikkörpern besteht, die einen oder mehrere innen liegende Luftkanäle aufweisen.
UV-Bestrahlungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Saugkanal (11) eine längliche, der Strahlungsquelle (3) zugeordnete Düsenöffnung aufweist, wobei der Ausgangsquerschnitt der Aushalsung 0,05–0,3 Strahlerquerschnitt beträgt.
UV-Bestrahlungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Aushalsung als Luftgleichrichter mit einen zwischen zwei parallelen, glatten Außenwänden angeordneten gewellten Mittelsteg (22) ausgebildet ist.
UV-Bestrahlungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten und zweiten Kühlkanäle an mindestens ein Sauggebläse (15) angeschlossen sind, wobei in einem der Kühlkanäle eine Drossel (12) zur Steuerung der Saugleistung angeordnet ist.
UV-Bestrahlungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in dem zentralen Absaugkanal (7) eine Regel- oder Steuereinrichtung (16) mit mindestens einem Messwertgeber (10) und einem Stellorgan (13) für die Strahleroberflächentemperatur verbunden ist.
UV-Bestrahlungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Kühlkanäle als Abluftkanäle ausgebildet sind.
UV-Bestrahlungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass an den beweglichen Schotten jeweils eine Dichtung (6.1, 6.2) angebracht ist, die bei geöffnetem Zustand der Schotten zu jeder Seite der Aushalsung abdichtet.
UV-Bestrahlungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Kühlkanal (8) im Innern des ersten, zentralen Absaugkanals (7) angeordnet ist.
UV-Bestrahlungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Kühlkanal (8) rohrförmig mit rechteckigem oder bevorzugt rundem Querschnitt ausgebildet ist.
UV-Bestrahlungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittellinie (18) des ersten Kühlkanals innerhalb des zweiten Kühlkanals (8) liegt, der eine Mittellinie (19) aufweist, insbesondere der Abstand der beiden Mittellinien (18, 19) kleiner der Hälfte, und besonders bevorzugt kleiner 20%, der kürzesten Kantenlänge (oder Durchmessers) des zweiten Kühlkanals (8) ist.
UV-Bestrahlungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand Δ der Mittellinien (18, 19) vom ersten und zweiten Kühlkanal kleiner 10%, der kürzesten Kantenlänge (oder Durchmessers) des zweiten Kühlkanals ist, und besonders bevorzugt, dass beide Mittellinien (18, 19) deckungsgleich sind.
UV-Bestrahlungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Kanal (8) zumindest an dem zur Anschlussstelle hinweisenden Ende einen runden Querschnitt hat.
UV-Bestrahlungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Drossel (12) als Steuereinrichtung vom ersten Kühlstrom umschlossen ist, wobei der Antrieb der Regel- oder Steuereinrichtung als Stellorgan (13) innerhalb oder bevorzugt außerhalb des ersten Kühlstroms liegt.
UV-Bestrahlungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse (1) von einer strahlungsdurchlässigen Scheibe (30) verschlossen ist.