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Die
Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Quarzglastiegels
zum Ziehen eines Einkristalls, das folgende Verfahrensschritte umfasst:
- (a) Bereitstellen einer Schmelzform mit einer Wandung,
die eine Innenseite, eine Außenseite und
durchgehende Löcher
zwischen Außenseite und
Innenseite aufweist,
- (b) Bereitstellen einer Außenschichtkörnung aus ersten,
gröberen
SiO2-Teilchen und Ausbilden einer Außenkörnungsschicht
aus der Außenschichtkörnung an
der Innenseite der Schmelzform-Wandung,
- (c) Bereitstellen einer Sperrschichtkörnung aus zweiten, feineren
SiO2-Teilchen und Erzeugen einer Sperrkörnungsschicht
aus der Sperrschichtkörnung
auf der Außenkörnungsschicht,
- (d) Anlegen eines Unterdrucks an der Außenseite der Schmelzform-Wandung,
- (e) Erhitzen der Sperrkörnungsschicht
und der Außenkörnungsschicht
unter Bildung eines Quarzglastiegels mit transparenter Innenschicht.
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Stand der Technik
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Quarzglastiegel
werden zur Aufnahme der Metallschmelze beim Ziehen von Einkristallen
nach dem sogenannten Czochralski-Verfahren eingesetzt. Ihre Herstellung
erfolgt üblicherweise,
indem an der Innenwandung einer metallischen Schmelzform eine Schicht
aus SiO2-Körnung erzeugt und diese unter Einsatz
eines Lichtbogens (Plasma) erhitzt und dabei zu dem Quarzglastiegel
gesintert wird. Die Wandung des so erzeugten Quarzglastiegels wird
in der Regel aus einer transparenten Innenschicht und einer opaken
Außenschicht
gebildet.
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Die
transparente Innenschicht steht beim Ziehprozess im Kontakt zur
Siliziumschmelze und unterliegt hohen mechanischen, chemischen und thermischen
Belastungen. In der Innenschicht verbliebene kleine Restblasen wachsen
unter dem Einfluss von Temperatur und Druck und können schließlich zerplatzen,
wodurch Bruchstücke
und Verunreinigungen in die Siliziumschmelze gelangen und dadurch
eine geringere Ausbeute an versetzungsfreiem Silizium-Einkristall
erzielt wird.
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Um
den korrosiven Angriff der Siliziumschmelze zu verringern und damit
einhergehend die Freisetzung von Verunreinigungen aus der Tiegelwandung
zu minimieren, ist die Innenschicht daher möglichst homogen und blasenarm.
Zur Verbesserung dieser Eigenschaften sind Tiegelherstellungsverfahren
mit vakuumunterstützter
Ausbildung der Innenschicht bekannt. Dabei wird eine Vakuum-Schmelzform eingesetzt,
deren Wandung porös ist
oder die mit einer Vielzahl durchgehender Bohrungen versehen ist,
so dass bei Anlegen eines Unterdrucks an der Schmelzformaußenseite
Gase aus der SiO2-Körnungsschicht nach außen abgezogen
werden können.
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Ein
derartiges Vakuum-Herstellungsverfahren sowie ein Verfahren der
eingangs genannten Gattung sind aus der
US 4,632,686 A bekannt. Hierbei
wird in eine Vakuum-Schmelzform zunächst eine Schicht aus grobem
Quarzpulver mit Teilchendurchmessern im Bereich von 100 bis 300 μm gegeben und
zu einer Außenkörnungsschicht
an der Innenwandung geformt. Auf die Innenseite der Außenkörnungsschicht
wird eine Innenkörnungsschicht
aufgebracht, die aus einem feineren Quarzglaspulver besteht. Die
Durchmesser der Pulverteilchen liegen im Gereicht zwischen 44 und
120 μm,
also im geometrischen Mittel bei Teilchengröße um 80 μm. Infolge der vergleichsweise
hohen Packungsdichte der feineren Pulverteilchen lassen diese beim
Anlegen von Vakuum von der Außenseite
der Schmelzform her weniger Luft passieren und wirken insoweit als
Sperrschicht, die es ermöglicht,
ein stärkeres
Vakuum zu erzeugen, was wiederum zu einer effektiveren Entfernung von
eingeschlossenen Gasen aus den Körnungsschichten
beiträgt.
Auf diese Weise wird erreicht, dass beim Sintern der Körnungsschichten
von Innen aus – durch
Einführen
einer Plasmaquelle in den Innenraum der Schmelzform – das feinteilige
Quarzglaspulver zuerst aufschmilzt und dabei eine dichte Glasschicht
bildet. Sobald die Glasschicht erzeugt ist, kann der Unterdruck
noch weiter erhöht
werden. Erst unter dem Einfluss dieses erhöhten Vakuums ist das Erschmelzen
einer wirklich blasenarmen Innenschicht möglich.
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Die
davor erzeugte Glasschicht ist zwar dicht, enthält jedoch noch – mangels
ausreichend hohen Vakuums – eine
Vielzahl von Blasen. Diese zwar dichte aber nicht blasenfreie Schicht
wird hier als „Versiegelungsschicht" bezeichnet. Die
blasenhaltige Versiegelungsschicht muss vor dem bestimmungsgemäßen Einsatz
des Quarzglastiegels entfernt werden. Um den Aufwand dafür gering
zu halten, ist eine möglichst
dünne Versiegelungsschicht
erwünscht.
Es zeigt sich außerdem,
dass die Versiegelungsschicht lokal unterschiedlich dick ausgebildet
sein kann. Dies erschwert das Entfernen ohne eine Beeinträchtigung der
darunter liegenden blasenfreien Schicht. So werden beispielsweise
zum vollständigen
Abätzen
dicker Bereiche der Versiegelungsschicht nicht nur die dünneren Schichtbereichen
der Versiegelungsschicht entfernt, sondern auch die darunter liegenden
Bereiche der blasenfreien Innenschicht lokal abgetragen. Außerdem kommt
es infolge von lokalen Unterschieden bei der Erzeugung der Versiegelungsschicht leicht
zu Inhomogenitäten,
insbesondere im Übergangsbereich
zwischen Boden und Seitenwandung des Tiegels, die sich bei der anschließenden Herstellung
der blasenfreien Innenschicht bemerkbar machen.
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Technische Aufgabe
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Der
Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, das eingangs genannte
Verfahren dahingehend zu verbessern, dass eine möglichst dünne und gleichmäßige Versiegelungsschicht
und damit einhergehend auch eine homogene Innenschicht reproduzierbar
erzeugt werden kann.
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Diese
Aufgabe wird ausgehend von dem Verfahren der eingangs genannten
Gattung erfindungsgemäß dadurch
gelöst,
dass die SiO2-Teilchen der Sperrschichtkörnung eine
mittlere Teilchengröße (D50-Wert) von weniger als 50 μm aufweisen
und dass das Ausbilden der Sperrkörnungsschicht eine Maßnahme zur
Fixierung der Sperrschichtkörnung auf
der Außenkörnungsschicht
umfasst.
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An
der Schmelzform-Wandung wird eine Außenkörnungsschicht erzeugt, die
aus relativ grobkörniger
Außenschichtkörnung besteht.
Diese Art der SiO2-Körnung mit mittleren Teilchengrößen von
mehr als 50 μm
wird im Folgenden auch als „grobe
Körnung" oder „Grobkörnung" bezeichnet. Zwischen
der Außenkörnungsschicht
und der Wandung der Schmelzform können eine oder mehrere weitere SiO2-Körnungsschichten
vorgesehen sein.
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Unmittelbar
auf der Außenkörnungsschicht wird
eine Sperrkörnungsschicht
aus Sperrschichtkörnung
aufgebracht, die feinteilige SiO2-Teilchen
enthält.
Diese Art der SiO2-Körnung mit mittleren Teilchengrößen von
weniger als 50 μm
wird im Folgenden auch als „feine
Körnung" oder „Feinkörnung" bezeichnet. Die
Sperrkörnungsschicht
bildet die innerste Körnungsschicht.
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Beim
Aufbringen der Sperrschichtkörnung oder
danach wird ein Unterdruck an der Außenseite der Schmelzform-Wandung
angelegt, der wegen der Porosität
der Körnungsschichten
in den Innenraum der Schmelzform durchgreift und daher das dort
enthaltene Gas durch die Körnungsschichten
abgesaugt wird.
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Die
Körnungsschichten
werden anschließend
erhitzt. Das Erhitzen der Körnungsschichten
erfolgt in der Regel unter der Einwirkung eines Lichtbogens, wie
aus dem Stand der Technik bekannt. Im Verlauf dieses Erhitzungsvorgangs
werden die SiO2-Körnungsschichten zu dem Quarzglastiegel
mit opaker Außenschicht
und transparenter Innenschicht gesintert. Die transparente Innenschicht
wird dabei aus verglaster Feinkörnung
und/oder aus anderer SiO2-Körnung gebildet.
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Beim
erfindungsgemäßen Verfahren
wird eine Sperrschichtkörnung
eingesetzt, die sich durch eine geringe mittlere Teilchengröße von weniger
als 50 μm
auszeichnet. Diese feinteilige Körnung
wirkt nicht nur als mechanische Sperrschicht, indem sie beim Anlegen
eines Vakuums an der Schmelzform-Außenwandung das Einsaugen von
Atmosphäre
aus dem Schmelztiegel-Innenraum behindert, sondern sie zeichnet
sich insbesondere durch eine hohe Sinteraktivität aus.
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Die
hohe Sinteraktivität
führt dazu,
dass die Sperrschichtkörnung
besonders gleichmäßig – das heißt ohne
lokale Inhomogenitäten – bei vergleichsweise
nied riger Temperatur und kurzer Heizdauer zu einer dichten, glasigen
Versiegelungsschicht sintert. Diese Versiegelungsschicht bildet
sich somit gleichmäßig über der
gesamten Tiegel-Innenwandung aus und ermöglicht so das rasche Anlegen
eines stärkeren
Vakuums, was beim weiteren Sintern die Blasendichte der tiefer liegenden
Schichten reduziert.
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Die
Mindestdicke der Versiegelungsschicht ergibt sich bei gegebener
Leistung des Lichtbogens aufgrund derjenigen Heizdauer, die zum
vollständigen
Versiegeln der Sperrkörnungsschicht
erforderlich ist. Wegen der hohen Sinteraktivität der Sperrschichtkörnung kommt
es zu einer gleichmäßigen und
schnellen vollständigen
Versiegelung der Oberfläche,
so dass das stärkere
Vakuum relativ frühzeitig angelegt
und die Stärke
der mit geringem Vakuum erzeugten, blasen-haltigen Versiegelungsschicht relativ
gering gehalten werden kann.
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Die
hohe Sinteraktivität
der Feinkörnung
wird durch deren Feinteiligkeit und die damit einhergehende hohe
spezifische BET-Oberfläche
erreicht. Diese Eigenschalten erschweren aber andererseits die Handhabung
bei den üblichen
Prozessbedingungen der Tiegelherstellung oder machen sie sogar unmöglich. Insbesondere
kommt es leicht zu einem Verblasen der feinteiligen Körnung unter
dem Einfluss des Lichtbogendrucks und durch Gasströme und thermische
Konvektion im Innenraum der Schmelzform, was die Herstellung einer
Sperrkörnungsschicht
mit gleichmäßiger Dicke
erschwert.
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Eine
weitere Herausforderung beim erfindungsgemäßen Verfahren besteht daher
darin, die feinteilige Sperrschichtkörnung an der Außenkörnungsschicht
zu fixieren, um sie dadurch weitgehend als gleichmäßige Schicht
gewünschter
Dicke zu immobilisieren. Nur durch eine weitgehende Immobilisierung
der Körnung
ist die Ausbildung einer Sperrkörnungsschicht
mit gleichmäßiger Dicke
erreichbar. Die Immobilisierung wird vorzugsweise durch eine Verstärkung der
Adhäsionskräfte zwischen
den Teilchen der Sperrschichtkörnung
und der Außenkörnungsschicht
erreicht, wie sie weiter unten noch näher erläutert wird.
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Erst
das Zusammenspiel zwischen einer gleichmäßigen und vorzugsweise dünnen Sperrkörnungsschicht
und der hohen Sinteraktivität
der sie bildenden SiO2- Körnung
ermöglicht
somit die Ausbildung der gewünschten,
gleichmäßig dünnen Versiegelungsschicht.
Dadurch, dass die an die Sperrkörnungsschicht
unmittelbar angrenzende Außenkörnungsschicht
aus gröberen
SiO2-Teilchen besteht, ergibt sich beim
Fortschreiten der Sinterfront von Innen nach Außen ein merklicher Abfall in
der Sinteraktivität,
so dass die Dicke der Versiegelungsschicht auf Basis der Dicke der
Sperrkörnungsschicht
genau vorgegeben werden kann.
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Eine
besonders hohe Sinteraktivität
der Sperrschichtkörnung
wird erreicht, wenn die SiO2-Teilchen der
Sperrschichtkörnung
eine mittlere Teilchengröße (D50-Wert) von weniger als 30 μm, vorzugsweise
eine mittlere Teilchengröße (D50-Wert) von weniger als 20 μm, aufweisen.
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Mittlere
Teilchengrößen von
weniger als 1 μm
sind jedoch nicht bevorzugt, da derartig feine Teilchen abgesehen
von der oben erläuterten
Problematik des leichten Verblasens auch zu Agglomeratbildung neigen,
was ihre Verarbeitung zu einer gleichmäßigen Sperrkörnungsschicht
zusätzlich
erschwert. Die Ermittlung des D50-Wertes
der Teilchengrößenverteilung
erfolgt nach DIN 725-5 (2007-04).
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Die
SiO2-Teilchen der Außenschichtkörnung weisen bevorzugt eine
mittlere Teilchengröße (D50-Wert) von mehr als 100 μm, besonders
bevorzugt eine mittlere Teilchengröße (D50-Wert)
von mehr als 120 μm,
auf.
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Die
erleichtert in erster Linie die Handhabung der Körnung beim Tiegel-Herstellungsprozess.
Außerdem
ergibt sich dadurch ein deutlicher Unterschied zwischen den Sinteraktivitäten der
SiO2-Körnungen
der Sperrkörnungsschicht
und der an sie angrenzenden Außenkörnungsschicht.
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Weiterhin
hat es sich als günstig
erwiesen, wenn die SiO2-Teilchen der Sperrschichtkörnung eine
mehrmodale Teilchengrößenverteilung
aufweisen, mit einem ersten Maximum der Größenverteilung im Bereich von
0,03 bis 2 μm
und einem zweiten Maximum im Bereich von 3 bis 50 μm.
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Die
SiO2-Teilchen der Sperrschichtkörnung liegen
dabei in einer Teilchengrößenverteilung
vor, die zwei oder mehr Maxima aufweist. Mindestens eines der Maxima – und zwar
ein Nebenmaximum – liegt
im feinteiligen Bereich mit Teilchen durchmessern unterhalb von 2 μm, ein weiteres
Maximum – und
zwar das Hauptmaximum – liegt
im grobkörnigen Bereich
mit Teilchendurchmessern oberhalb von 3 μm. Eine derartige mehrmodale
Teilchengrößenverteilung
mit mindestens zwei Körnungsverteilungen, die
sich in ihrer mittleren Größe deutlich
voneinander unterscheiden, erleichtert die Einstellung einer hohen Packungsdichte
der Körnungsschicht
(hohe Schutt- oder Rütteldichte),
was – unterstützt durch
den besonders feinteiligen Anteil der Körnung – zu der gewünschten
hohen Sinteraktivität
wesentlich beiträgt. Denn
kleine SiO2-Teilchen (im μm-Bereich)
haben eine relativ große
spezifische äußere Oberfläche, mit BET-Werten
zwischen 1 und 20 m2/g. Dadurch wird die
Sinteraktivität
der Sperrkörnungsschicht
verbessert, so dass bereits durch Sintern bei vergleichsweise geringer
thermischer Belastung (niedrigere Sintertemperatur und/oder kürzere Sinterdauer)
eine geschlossenporige Oberfläche
erzeugt wird. Dies gilt insbesondere auch für SiO2-Teilchen
mit Teilchengrößen im Nanometerbereich
(< 100 nm, mit
BET-Oberflächen
von mehr als 40 m2/g), wie sie beispielsweise als
pyrogener Soot bei der Herstellung von synthetischem Quarzglas durch
Oxidation oder Flammenhydrolyse von silizium-haltigen Ausgangssubstanzen anfallen.
Allerdings bewirken derartig kleine Teilchen in großer Menge
eine vergleichsweise starke Schwindung beim Sintern der Körnungsschicht,
was zur Rissbildung führen
kann. Daher ist deren Gewichtsanteil in der SiO2-Körnungsschicht
auf maximal 20% begrenzt.
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Es
hat sich außerdem
als günstig
erwiesen, wenn der Sperrschichtkörnung
ein die Viskosität
von Quarzglas verringernder Dotierstoff zugesetzt wird.
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Dabei
wird die Erweichungstemperatur der SiO2-Körnung durch
die Zugabe eines oder mehrere Dotierstoffe gesenkt, was zu einer
besonders raschen Verdichtung der Körnungsschicht beim Erhitzen
führt.
Im Fall, dass die dotierte Körnung
ausschließlich
für die
Ausbildung der Versiegelungsschicht eingesetzt und diese vor dem
bestimmungsgemäßen Einsatz
des Quarzglastiegels entfernt wird, enthält die resultierende blasenfreie
Innenschicht de Dotierstoff nicht.
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Eine
bevorzugte Maßnahme
zur Fixierung der Sperrschichtkörnung
umfasst ein Anfeuchten der Außenkörnungsschicht
vor oder beim Erzeugen der Sperrkörnungsschicht.
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Das
Anfeuchten der Außenkörnungsschicht bewirkt
eine Erhöhung
von Adhäsionskräften in
Bezug auf die darauf aufgebrachte Sperrschichtkörnung, was zu deren Immobilisierung
in Form einer Sperrkörnungsschicht
beiträgt.
Die Außenkörnungsschicht
wird entweder aus angefeuchteter Außenschichtkörnung hergestellt oder sie
wird vor dem Aufbringen der Sperrschichtkörnung befeuchtet, etwa durch
Aufsprühen
einer Flüssigkeit,
wie etwa Wasser oder Alkohol. Die Befeuchtung kann aber auch während des
Aufbringens der Sperrschichtkörnung
erfolgen.
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Alternativ
oder ergänzend
dazu hat es sich auch bewährt,
wenn die Maßnahme
zur Fixierung der Sperrschichtkörnung
ein Anfeuchten der Sperrschichtkörnung
umfasst.
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Die
Sperrschichtkörnung
wird in der Regel nur geringfügig
angefeuchtet, so dass sich ein Feuchtigkeitsgehalt von weniger als
4% ergibt. Alternativ dazu kann die Sperrschichtkörnung beispielsweise
in einer Suspension aufgenommen oder dispergiert in einem Kieselsäure-Gel
auf die Außenkörnungsschicht
aufgetragen werden. Das Anfeuchten der Sperrschichtkörnung kann
vor, beim oder nach dem Erzeugen der Sperrkörnungsschicht erfolgen. Diese
Maßnahme
hat gegenüber
dem Befeuchten der Außenkörnungsschicht
den Vorteil, dass die Feuchtigkeit nur oberflächennah eingebracht wird, und
daher im Verlauf des Tiegelherstellungsprozesses leichter wieder
entfernt werden kann.
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Im
einfachsten Fall wird zum Anfeuchten Wasserdampf eingesetzt. Wasser
bewirkt eine merkliche Verstärkung
der Adhäsionskräfte zwischen
den Körnungsteilchen
und hat bei einem Einsatz zur Befeuchtung der Sperrschichtkörnung den
weiteren Vorteil, dass es deren Viskosität herabsetzt, was das Erzeugen
einer dichten Versiegelungsschicht erleichtert. Andererseits ist
darauf zu achten, dass der Hydroxylgruppengehalt der oberflächennahen
Schichten des Quarzglastiegels, insbesondere der blasenfreien Innenschicht,
nicht zu hoch wird, da ansonsten die thermische Stabilität des Quarzglastiegels
leidet.
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Im
Hinblick hierauf hat sich eine Verfahrensweise als günstig erwiesen,
bei der zum Anfeuchten eine wasserfreie Flüssigkeit eingesetzt wird.
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Hierdurch
wird der Eintrag von Hydroxylgruppen und damit die Gefahr einer
merklichen Verminderung der thermischen Stabilität des Quarzglastiegels verringert.
Als wasserfreie beziehungsweise als hydroxylfreie Flüssigkeiten
kommen beispielsweise organische Flüssigkeiten in Betracht.
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Weiterhin
hat sich eine Maßnahme
zur Fixierung der Sperrschichtkörnung
als günstig
erwiesen, die ein Aufbringen von Sperrschichtkörnung auf einem flexiblen,
flächigen
Hilfskörper
und ein Fixieren auf dem Hilfskörper
umfasst, der anschließend
mit der darauf fixierten Sperrschichtkörnung auf die Außenkörnungsschicht
aufgelegt wird.
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Die
Sperrschichtkörnung
wird hier beispielsweise in Form einer flüssigen Suspension oder einer pastösen Masse
bereitgestellt und auf einem flexiblen Flächengebilde in vorgegebener
Schichtstärke aufgetragen.
Bei dem Flächengebilde
handelt es sich beispielsweise um konglomerat-, netz- oder gitterartige
Anordnungen von Fasern, Streifen oder Garnen. Nach dem Beschichten
des Flächengebildes – und gegebenenfalls
einem Trocknen der Beschichtungsmasse – wird es auf der Außenkörnungsschicht
aufgelegt. Das Flächengebilde
kann beispielsweise aus Quarzglas bestehen; vorzugsweise besteht
es aber aus Zellulose und wird im weiteren Tiegel-Herstellungsprozess
verascht.
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Es
wird eine Verfahrensweise bevorzugt, bei der das Erhitzen gemäß Verfahrensschritt
(e) einen zweistufigen Heizprozess umfasst, mit einer ersten Heizstufe,
während
der die Sperrkörnungsschicht
bei niedrigerer Temperatur verglast wird, und mit einer zweiten
Heizstufe, während
der die Außenkörnungsschicht
bei höherer
Temperatur erhitzt und dabei mindestens teilweise gesintert wird.
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Infolge
der hohen Sinteraktivität
setzt das Verglasen der Sperrschichtkörnung bereits bei einer Temperatur
ein, die so niedrig ist, dass die daran angrenzende Grobkörnung noch
porös und
damit gasdurchlässig
bleibt. Dadurch wird eine Versiegelungsschicht mit definierter,
dünner
Wandstärke
auf einem durchgehend weiterhin porösen Untergrund erzeugt. Da
nur die sinteraktive Sperrschichtkörnung sintert, besteht die
Versiegelungsschicht vollständig
aus gesinterter Sperrschichtkörnung
und zwar mit einer Schichtdicke, die durch die Sperrschichtkörnungsschicht
vorgegeben wird. Nach Ausbildung der dichten Versiegelungsschicht
wird die Stärke
des Vakuums erhöht,
so dass Gase aus der noch vollständig porösen Außenkörnungsschicht
entfernt werden, und in der zweiten Heizstufe wird daraufhin die
Außenkörnungsschicht
bei höherer
Temperatur gesintert.
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Dabei
hat es sich als günstig
erwiesen, wenn der Übergang
von der ersten zur zweiten Heizstufe nach dem vollständigen Verglasen
der Sperrkörnungsschicht
erfolgt.
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Dadurch
ergibt sich eine definierte Stärke
der Versiegelungsschicht.
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Im
Hinblick auf eine einerseits zwar gasdichte, andererseits aber möglichst
dünne Versiegelungsschicht
wird eine Verfahrensweise bevorzugt, bei der die Sperrkörnungsschicht
mit einer Schichtdicke im Bereich von 0,3 mm bis 5 mm, vorzugsweise mit
einer Schichtdicke von weniger als 3 mm, erzeugt wird.
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Bei
einer relativen Dichte der Sperrkörnungsschicht von etwa 80%
(bezogen auf die Dichte von Quarzglas) ergeben sich nach dem Sintern
der Sperrkörnungsschicht
Dicken für
die Versiegelungsschicht im Bereich von etwa 0,2 mm bis 4 mm, vorzugsweise
weniger als 2,4 mm.
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Eine
auf der Innenwandung des Quarzglastiegels vorhandene, blasenhaltige
SiO2-Versiegelungsschicht wird vorzugsweise
durch Abbrennen mittels Plasma entfernt.
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Durch
das Abbrennen der Versiegelungsschicht mittels Plasma während des
Tiegel-Herstellungsprozesses wird ein zusätzlicher Arbeitsschritt vermieden,
wie etwa beim Entfernen der Versiegelungsschicht durch Sandstrahlen
oder durch chemisches Ätzen.
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Ausführungsbeispiel
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Die
Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen und einer
Zeichnung näher erläutert. Es
zeigt
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1 in
schematischer Darstellung eine Schmelzvorrichtung zur Durchführung des
erfindungsgemäßen Verfahrens
beim Verfahrensschritt des Verglasens der Wandung des Quarzglastiegels,
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2 den
Ausschnitt „A" der Wandung des Quarzglastiegels
aus 1 nach Ausbilden der Versiegelungsschicht in vergrößerte Darstellung,
und
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3 ein
Diagramm der SiO2-Teilchengrößenverteilung
einer Rohstoffkomponente für
den Einsatz beim erfindungsgemäßen Verfahren.
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Die
Schmelzvorrichtung gemäß 1 umfasst
eine Schmelzform 1 aus Metall mit einem Innendurchmesser
von 75 cm, die mit einem Außenflansch auf
einem Träger 3 aufliegt.
Der Träger 3 ist
um die Mittelachse 4 rotierbar. In den Innenraum 20 der Schmelzform 1 ragen
eine Kathode 5 und eine Anode 6 (Elektroden 5; 6)
aus Grafit, die – wie
anhand der Richtungspfeile 7 angedeutet – innerhalb
der Schmelzform 1 in allen Raumrichtungen verfahrbar sind.
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Die
offene Oberseite der Schmelzform 1 wird von einem Hitzeschild 2 in
Form einer wassergekühlten
Metallplatte mit einer Dicke von 10 mm überragt, die eine zentrale
Durchgangsbohrung aufweist, durch die hindurch die Elektroden 5, 6 in
die Schmelzform 1 hineinragen. Der Hitzeschild 2 ist
mit einem Gaseinlass 9 für Wasserdampf verbunden. Zwischen
der Schmelzform 1 und dem Hitzeschild 2 ist ein
Entlüftungsspalt
mit einer Weite von 50 mm vorgesehen (1 zeigt
diese Abmessung und alle anderen Abmessungen der Vorrichtung nur
schematisch, nicht maßstäblich).
Der Hitzeschild 2 ist in der Ebene oberhalb der Schmelzform 1 horizontal
verfahrbar (in x- und y-Richtung), wie dies die Richtungspfeile 10 andeuten.
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Der
Raum zwischen dem Träger 3 und
der Schmelzform 1 ist mittels einer Vakuumeinrichtung, die
durch den Richtungspfeil 17 repräsentiert wird, evakuierbar.
Die Schmelzform 1 weist eine Vielzahl von Durchlässen 8 auf
(diese sind in 1 nur symbolisch im Bodenbereich
angedeutet), über
die das an der Außenseite
der Form 1 anliegende Vakuum 17 nach Innen durchgreifen
kann.
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Im
Folgenden wird die Herstellung eines 28-Zoll-Quarzglastiegels gemäß der Erfindung
anhand eines bevorzugten Ausführungsbeispiels
näher erläutert.
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In
einem ersten Verfahrensschritt wird kristalline Körnung aus
natürlichem,
mittels Heißchlorierung
gereinigtem Quarzsand, mit einer Korngröße im Bereich von 90 μm bis 315 μm in die
um ihre Längsachse 4 rotierende
Schmelzform 1 eingefüllt.
Unter der Wirkung der Zentrifugalkraft und mittels einer Formschablone
wird an der Innenwandung der Schmelzform 1 eine rotationssymmetrische
tiegelförmige
Körnungsschicht 12 aus
mechanisch verfestigtem Quarzsand geformt. Die mittlere Schichtdicke der
Körnungsschicht 12 beträgt etwa
12 mm.
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In
einem zweiten Verfahrensschritt wird auf der Innenwandung der Quarzsand-Schicht 12 eine Innenkörnungsschicht 14 aus
synthetisch hergestelltem Quarzglaspulver ebenfalls unter Einsatz
einer Formschablone und unter anhaltender Rotation der Schmelzform 1 ausgeformt.
Das synthetische Quarzpulver hat Teilchengrößen im Bereich von 50 bis 120 μm, wobei
die mittlere Teilchengröße bei etwa
85 μm liegt.
Die mittlere Schichtdicke der Innenkörnungsschicht 14 beträgt ebenfalls
etwa 12 mm.
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Die
Körnungsschicht 12 und
die Innenkörnungsschicht 14 bilden
zusammen eine „Außenkörnungsschicht" im Sinne dieser
Erfindung. Auf der Außenkörnungsschicht
(12; 14) wird in einem dritten Verfahrensschritt – ebenfalls
unter Einsatz einer Formschablone und unter anhaltender Rotation
der Schmelzform 1 – eine
weitere SiO2-Körnungsschicht (16)
mit einer mittleren Dicke um 3 mm aus einer „Sperrschichtkörnung" ausgeformt.
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3 zeigt
eine typische Teilchengrößenverteilung
der hierfür
eingesetzten Sperrschichtkörnung.
Auf der y-Achse des Diagramms ist der Volumenanteil V (in %) der
Körnung
aufgetragen, auf der x-Achse der Teilchendurchmesser D (in μm). Die Sperrschichtkörnung besteht
aus sphärischen,
synthetisch erzeugten SiO2-Teilchen, die
sich durch eine mehrmodale Teilchengrößenverteilung mit einem verhältnismäßig engen
Maximum der Größenverteilung
bei etwa 15 μm
(D50-Wert)
auszeichnen. Ein Nebenmaximum liegt im Bereich um 2 μm. Die Sperrschichtkörnung wird
vorab in einem Heißchlorierverfahren
gereinigt. Der Verunreinigungsgehalt der gereinigten Sperrschichtkörnung ist
gering und liegt insgesamt bei weniger als 1 Gew.-ppm.
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Wegen
der geringen Teilchengröße und der damit
einhergehenden hohen Fluidität
der Sperrschichtkörnung
sind Maßnahmen
zur Fixierung der Sperrkörnungsschicht 16 erforderlich.
Zum einen wird vor dem Ausformen der Sperrkörnungsschicht 16 die
Innenkörnungsschicht 14 mit
Wasser besprüht und
dadurch angefeuchtet. Daraufhin wird das Hitzeschild 2 über der Öffnung der
Schmelzform 1 positioniert und vor dem Zünden des
Plasmas 13 über
den Einlass 9 Wasserdampf zur Befeuchtung der Sperrkörnungsschicht 16 in
den Tiegel-Innenraum eingelassen. Auf diese Weise wird auch die
Sperrkörnungsschicht 16 zusätzlich in
ihrer Form fixiert.
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In
einem weiteren Verfahrensschritt erfolgt das Verglasen der Körnungsschichten 12, 14 und 16. Die
Elektroden 5; 6 werden durch die zentrale Öffnung des
Hitzeschildes 2 in den Innenraum 20 eingeführt und
zwischen den Elektroden 5; 6 ein Lichtbogen gezündet, der
in 1 durch die Plasmazone 13 als grau hinterlegter
Bereich gekennzeichnet ist. Gleichzeitig wird an der Außenseite
der Schmelzform 1 ein Vakuum angelegt, das aber wegen der
porösen SiO2-Körnungs-schichten 12, 14; 16 bis
in den Innenraum 20 der Schmelzform 1 durchgreift,
so dass in diesem Verfahrensstadium kein ausreichend hohes Vakuum
erreichbar ist.
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Zum
Verglasen der Körnungsschichten 12; 14; 16 wird
ein dreistufiger Verglasungsprozess angewandt. In der ersten Verglasungsstufe
werden die Elektroden 5; 6 in eine zentrale Position
des Innenraums 20 verbracht und mit einer Leistung von
etwa 270 kW (200 V, 1350 A) beaufschlagt. Die dadurch erzeugte Hitze
im Innenraum 20 genügt
zum Sintern der besonders sinteraktiven Teilchen der Sperrkörnungsschicht 16 und
es bildet sich sehr schnell und gleichmäßig über die gesamte Tiegel-Innenwandung eine
lückenlose
dichte Versiegelungsschicht 21 (siehe 2),
welche zwar blasenhaltig ist. jedoch die nicht verschmolzenen Anteile
der Tiegelwandung von der Atmosphäre im Schmelzform-Innenraum 20 trennt.
Die Dicke der Versiegelungsschicht ergibt sich bei gegebener Leistung
des Plasmas 13 aufgrund der zum vollständigen Versiegeln erforderlichen Heizdauer.
Diese ist beim erfindungsgemäßen Verfahren
etwa halb so lang wie beim Verfahren nach dem Stand der Technik,
so dass sich auch nur etwa halb so starke Versiegelungsschicht 21 ausbildet.
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Sobald
die Sperrkörnungsschicht 16 vollständig verschmolzen
und eine geschlossene Versiegelungsschicht 21 ausgebildet
ist, beginnt die zweite Verglasungsstufe. Da weiterhin über die
Vakuumeinrichtung 17 abgepumpt wird, entsteht in der noch nicht
verglasten Außenkörnungsschicht 12; 14 ein Unterdruck
von etwa 200 mbar (absolut). Die Elektroden 5; 6 werden
nun mit einer Leistung von 600 kW (300 V, 2000 A) beaufschlagt und
zusammen mit dem Hitzeschild 2 in die in 1 gezeigte
seitliche Position gebracht, um die Körnungsschichten 12; 14 im Bereich
der Seitenwandung zu verglasen.
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Diese
Verglasungsstufe wird anhand in 2, die einen
Vergrößerung von
Ausschnitt „A" der Tiegelwandung
zeigt, näher
erläutert.
Nach Fertigstellung der gleichmäßig dicken,
blasigen aber dichten Versiegelungsschicht 21 liegt der
Unterdruck im Bereich der Körnungsschichten 12, 14 bei
etwa 200 mbar (absolut) und die Elektroden 5; 6 werden mit
einer Leistung von 600 kW beaufschlagt. Die Plasmazone 13 wird
langsam nach unten bewegt, wie der Richtungspfeil 23 andeutet
und dabei die Innenschichtkörnung 14 kontinuierlich
und bereichsweise zu einer blasenfreien Innenschicht 22 erschmolzen.
Die Gleichmäßigkeit
und geringe Dicke der vorab erzeugten Versiegelungsschicht 21 trägt dazu
bei, dass auch die Dicke der Innenschicht 22 im Wesentlichen
konstant ist. Während
des Verglasens wird die blasenhaltige Versiegelungsschicht 21 unter der
Wirkung des Plasmas 13 teilweise abgebrannt, so dass davon
nur noch ein dünner
Film 25 mit einer Dicke von weniger als 1 mm übrig bleibt.
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Zum
Verglasen der Körnungsschichten 12; 14 im
Bereich des Bodens werden Hitzeschild 2 und Elektroden 5; 6 in
eine zentrale Position gebracht und die Elektroden 5; 6 nach
unten abgesenkt.
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Infolge
des höheren
Vakuums nach der Ausbildung der Versiegelungsschicht 21 bildet
sich beim Verglasen der Körnungsschichten 12; 14 unterhalb der
Versiegelungsschicht 21 eine dichte, blasenarme und daher
transparente Innenschicht 22 aus der Innenkörnungsschicht 14.
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Sobald
die transparente Innenschicht 22 eine Dicke von etwa 2,5
mm erreicht hat, wird in der dritten Verglasungsstufe die Saugleistung
der Vakuumeinrichtung 17 über ein Drosselventil (in 1 nicht
dargestellt) so verringert, dass der Druck in den noch nicht verglasten
Bereichen der Körnungsschichten 12; 14 auf
900 mbar (Absolutdruck) ansteigt. Das hierzu benötigte Gas kommt insbesondere
aus dem Innenraum 20 der Schmelzform 1, aus der
es durch nicht verschmolzene Bereiche der Körnungsschichten 12; 14 über die Öffnungen 8 der Formwandung
austritt.
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Der
Schmelzvorgang wird beendet, bevor die Schmelzfront die Innenwandung
der Schmelzform 1 erreicht.
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Die
dünne,
nicht transparente Versiegelungsschicht, die die transparente Innenschicht überzieht,
wird während
der zweiten und dritten Verglasungsstufe durch die Einwirkung des
Plasmas 13 zumindest teilweise abgebrannt. Etwaige Reste
werden am Ende des Herstellungsprozesses durch chemisches Ätzen vollständig beseitigt.
Die innere Oberfläche
des so hergestellten Quarzglastiegels wird somit von einer glatten,
blasenarmen und gleichmäßig dicken
Innenschicht 22 aus synthetischem SiO2 gebildet,
die mit einer Außenschicht
aus opakem Quarzglas fest verbunden ist. Die so erzeugte Innenschicht 22 zeichnet
sich außerdem
durch ein geringes Blasenwachstum beim bestimmungsgemäßen Einsatz des
Tiegels aus.