CN103215637A - 带支撑环的单晶炉热场 - Google Patents

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吴学军
周凯平
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Abstract

带支撑环的单晶炉热场带支撑环的单晶炉热场属于冶炼机电技术领域,特别涉及单晶硅热场带支撑环的升降机构;热场零件安装在中炉体和下炉体内外筒体之间的空腔内;支撑环为石墨件,它的下端面由支撑块支撑,支撑块通过螺钉固定在中炉体的下法兰上;中炉体和下炉体为水冷焊接件,由上下法兰、内外筒体及中间水道构成,同轴心安装;有益效果是:降低损耗,提高作业效率;拆卸使用方便,彻底解决了原机构存在的工作强度大、维护困难等现象。

Description

带支撑环的单晶炉热场
技术领域:
带支撑环的单晶炉热场属于冶炼机电技术领域,特别涉及单晶炉热场带支撑环的升降机构。
背景技术:
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备,而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料;单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的单晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料;一般的单晶炉热场升降机构,都不采用支撑环,极易造成热场零件拆卸疲劳、热场零件损坏等现象。
发明内容
本发明带支撑环的单晶炉热场发明目的在于:设计制造一种与现有技术不同的安全系数高、作业方便的带支撑环的单晶炉热场。
本发明带支撑环的单晶炉热场是这样实现的:由热场零件、中炉体、支撑环、支撑块和下炉体组成;热场零件安装在中炉体和下炉体内外筒体之间的空腔内;支撑环为石墨件,它的下端面由支撑块支撑,支撑块通过螺钉固定在中炉体的下法兰上;中炉体和下炉体为水冷焊接件,由上下法兰、内外筒体及中间水道构成,同轴心安装;热场零件由石墨件和保温毡组成;支撑块由SUS316材质制成。
硅单晶结束拉晶后,在中升降机构的作用下,中炉体上升,带动支撑块及支撑环一起上升,热场零件在支撑环的支撑作用下,一起上升,从而减少拆卸热场的工作量。
本发明带支撑环的单晶炉热场的有益效果是:降低损耗,提高作业效率;拆卸使用方便,彻底解决了原机构存在的工作强度大、维护困难等现象。
附图说明:
附图是带支撑环的单晶炉热场结构示意图。
图中:热场零件1、中炉体2、支撑环3、支撑块4和下炉体5。
具体实施方式:
本发明带支撑环的单晶炉热场由热场零件1、中炉体2、支撑环3、支撑块4和下炉体5组成;热场零件1安装在中炉体2和下炉体5内外筒体之间的空腔内;支撑环3为石墨件,它的下端面由支撑块4支撑,支撑块4通过螺钉固定在中炉体2的下法兰上;中炉体2和下炉体5为水冷焊接件,由上下法兰、内外筒体及中间水道构成,同轴心安装;热场零件1由石墨件和保温毡组成;支撑块4由SUS316材质制成。

Claims (3)

1.带支撑环的单晶炉热场,其特征在于:由热场零件(1)、中炉体(2)、支撑环(3)、支撑块(4)和下炉体(5)组成;热场零件(1)安装在中炉体(2)和下炉体(5)内外筒体之间的空腔内;支撑环(3)为石墨件,它的下端面由支撑块(4)支撑,支撑块(4)通过螺钉固定在中炉体(2)的下法兰上;中炉体(2)和下炉体(5)为水冷焊接件,由上下法兰、内外筒体及中间水道构成,同轴心安装。
2.根据权利要求1所述带支撑环的单晶炉热场,其特征在于:热场零件(1)由石墨件和保温毡组成。
3.根据权利要求1所述带支撑环的单晶炉热场,其特征在于:支撑块(4)由SUS316材质制成。
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