CN103215637A - 带支撑环的单晶炉热场 - Google Patents

带支撑环的单晶炉热场 Download PDF

Info

Publication number
CN103215637A
CN103215637A CN2012100170944A CN201210017094A CN103215637A CN 103215637 A CN103215637 A CN 103215637A CN 2012100170944 A CN2012100170944 A CN 2012100170944A CN 201210017094 A CN201210017094 A CN 201210017094A CN 103215637 A CN103215637 A CN 103215637A
Authority
CN
China
Prior art keywords
support ring
thermal field
furnace body
mono
furnace
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN2012100170944A
Other languages
English (en)
Inventor
吴学军
周凯平
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NINGXIA RIJING NEW ENERGY EUIPMENT CO Ltd
Original Assignee
NINGXIA RIJING NEW ENERGY EUIPMENT CO Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NINGXIA RIJING NEW ENERGY EUIPMENT CO Ltd filed Critical NINGXIA RIJING NEW ENERGY EUIPMENT CO Ltd
Priority to CN2012100170944A priority Critical patent/CN103215637A/zh
Publication of CN103215637A publication Critical patent/CN103215637A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

带支撑环的单晶炉热场带支撑环的单晶炉热场属于冶炼机电技术领域，特别涉及单晶硅热场带支撑环的升降机构；热场零件安装在中炉体和下炉体内外筒体之间的空腔内；支撑环为石墨件，它的下端面由支撑块支撑，支撑块通过螺钉固定在中炉体的下法兰上；中炉体和下炉体为水冷焊接件，由上下法兰、内外筒体及中间水道构成，同轴心安装；有益效果是：降低损耗，提高作业效率；拆卸使用方便，彻底解决了原机构存在的工作强度大、维护困难等现象。

Description

带支撑环的单晶炉热场
技术领域：
带支撑环的单晶炉热场属于冶炼机电技术领域，特别涉及单晶炉热场带支撑环的升降机构。
背景技术：
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料；单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料；一般的单晶炉热场升降机构，都不采用支撑环，极易造成热场零件拆卸疲劳、热场零件损坏等现象。
发明内容：
本发明带支撑环的单晶炉热场发明目的在于：设计制造一种与现有技术不同的安全系数高、作业方便的带支撑环的单晶炉热场。
本发明带支撑环的单晶炉热场是这样实现的：由热场零件、中炉体、支撑环、支撑块和下炉体组成；热场零件安装在中炉体和下炉体内外筒体之间的空腔内；支撑环为石墨件，它的下端面由支撑块支撑，支撑块通过螺钉固定在中炉体的下法兰上；中炉体和下炉体为水冷焊接件，由上下法兰、内外筒体及中间水道构成，同轴心安装；热场零件由石墨件和保温毡组成；支撑块由SUS316材质制成。
硅单晶结束拉晶后，在中升降机构的作用下，中炉体上升，带动支撑块及支撑环一起上升，热场零件在支撑环的支撑作用下，一起上升，从而减少拆卸热场的工作量。
本发明带支撑环的单晶炉热场的有益效果是：降低损耗，提高作业效率；拆卸使用方便，彻底解决了原机构存在的工作强度大、维护困难等现象。
附图说明：
附图是带支撑环的单晶炉热场结构示意图。
图中：热场零件1、中炉体2、支撑环3、支撑块4和下炉体5。
具体实施方式：
本发明带支撑环的单晶炉热场由热场零件1、中炉体2、支撑环3、支撑块4和下炉体5组成；热场零件1安装在中炉体2和下炉体5内外筒体之间的空腔内；支撑环3为石墨件，它的下端面由支撑块4支撑，支撑块4通过螺钉固定在中炉体2的下法兰上；中炉体2和下炉体5为水冷焊接件，由上下法兰、内外筒体及中间水道构成，同轴心安装；热场零件1由石墨件和保温毡组成；支撑块4由SUS316材质制成。

Claims (3)

1.带支撑环的单晶炉热场，其特征在于：由热场零件（1）、中炉体（2）、支撑环（3）、支撑块（4）和下炉体（5）组成；热场零件(1)安装在中炉体（2）和下炉体（5）内外筒体之间的空腔内；支撑环（3）为石墨件，它的下端面由支撑块(4)支撑，支撑块(4)通过螺钉固定在中炉体（2）的下法兰上；中炉体（2）和下炉体（5）为水冷焊接件，由上下法兰、内外筒体及中间水道构成，同轴心安装。
2.根据权利要求1所述带支撑环的单晶炉热场，其特征在于：热场零件（1）由石墨件和保温毡组成。
3.根据权利要求1所述带支撑环的单晶炉热场，其特征在于：支撑块（4）由SUS316材质制成。
CN2012100170944A 2012-01-19 2012-01-19 带支撑环的单晶炉热场 Pending CN103215637A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2012100170944A CN103215637A (zh) 2012-01-19 2012-01-19 带支撑环的单晶炉热场

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2012100170944A CN103215637A (zh) 2012-01-19 2012-01-19 带支撑环的单晶炉热场

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN103215637A true CN103215637A (zh) 2013-07-24

Family

ID=48813769

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2012100170944A Pending CN103215637A (zh) 2012-01-19 2012-01-19 带支撑环的单晶炉热场

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103215637A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109487336A (zh) * 2018-10-19 2019-03-19 杭州弘晟智能科技有限公司 一种单晶炉快速冷却装置

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2110153U (zh) * 1991-09-28 1992-07-15 宋兆圣 一种暖气炉
JPH0648886A (ja) * 1992-07-24 1994-02-22 Kawasaki Steel Corp 単結晶引上装置
JPH10279381A (ja) * 1997-03-29 1998-10-20 Super Silicon Kenkyusho:Kk 単結晶引上げ装置及びその解体・組立て方法
US20040055531A1 (en) * 2002-09-20 2004-03-25 Memc Electronic Materials, Inc. Heat shield assembly for a crystal puller
CN2791039Y (zh) * 2005-01-07 2006-06-28 河南安彩高科股份有限公司 耐用可调式热屏支撑装置
EP2141131A2 (de) * 2008-06-30 2010-01-06 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Verfahren zur Herstellung eines Quarzglastiegels
CN201942779U (zh) * 2010-11-30 2011-08-24 中国电子科技集团公司第四十六研究所 一种应用在单晶炉中的热屏装置
CN102286775A (zh) * 2011-08-27 2011-12-21 宁夏日晶新能源装备股份有限公司 能够快速换料的单晶炉及单晶炉快速换料方法
CN102304758A (zh) * 2011-09-26 2012-01-04 芜湖昊阳光能股份有限公司 石墨热场的炉底保温装置
CN202643897U (zh) * 2012-01-19 2013-01-02 宁夏日晶新能源装备股份有限公司 带支撑环的单晶炉热场

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2110153U (zh) * 1991-09-28 1992-07-15 宋兆圣 一种暖气炉
JPH0648886A (ja) * 1992-07-24 1994-02-22 Kawasaki Steel Corp 単結晶引上装置
JPH10279381A (ja) * 1997-03-29 1998-10-20 Super Silicon Kenkyusho:Kk 単結晶引上げ装置及びその解体・組立て方法
US20040055531A1 (en) * 2002-09-20 2004-03-25 Memc Electronic Materials, Inc. Heat shield assembly for a crystal puller
CN2791039Y (zh) * 2005-01-07 2006-06-28 河南安彩高科股份有限公司 耐用可调式热屏支撑装置
EP2141131A2 (de) * 2008-06-30 2010-01-06 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Verfahren zur Herstellung eines Quarzglastiegels
CN201942779U (zh) * 2010-11-30 2011-08-24 中国电子科技集团公司第四十六研究所 一种应用在单晶炉中的热屏装置
CN102286775A (zh) * 2011-08-27 2011-12-21 宁夏日晶新能源装备股份有限公司 能够快速换料的单晶炉及单晶炉快速换料方法
CN102304758A (zh) * 2011-09-26 2012-01-04 芜湖昊阳光能股份有限公司 石墨热场的炉底保温装置
CN202643897U (zh) * 2012-01-19 2013-01-02 宁夏日晶新能源装备股份有限公司 带支撑环的单晶炉热场

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109487336A (zh) * 2018-10-19 2019-03-19 杭州弘晟智能科技有限公司 一种单晶炉快速冷却装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN202643897U (zh) 带支撑环的单晶炉热场
CN103215637A (zh) 带支撑环的单晶炉热场
CN206486622U (zh) 一种用于gt多晶炉铸造g7多晶硅锭的装置
CN202915554U (zh) 氮气加热炉温度控制系统
CN202390561U (zh) 单晶炉热场中保温桶提升装置
CN202643884U (zh) 单晶炉水冷套结构
CN202898592U (zh) 一种用于单晶炉的导流筒
CN103290467B (zh) 单晶炉水冷套结构
CN202090103U (zh) 硅芯炉
CN204607101U (zh) 一种钒氮合金球送料装置中的加料装置
CN201553769U (zh) 生产海绵钛的还原反应装置
CN201648565U (zh) 一种硅单晶炉的热场系统
CN102400211B (zh) 单晶炉热场中保温桶提升装置
CN202954143U (zh) 一种上下分体坩埚
CN207479494U (zh) 一种便于拆卸电镦机砧块的机构
CN205123517U (zh) 一种电机定子入座的工装
CN202390584U (zh) 单晶炉热场中轴挡料罩结构
CN202390583U (zh) 配置电极保护套的单晶炉
CN202220221U (zh) 下腔体保温结构及采用下腔体保温结构的多晶炉
CN103132102B (zh) 铝电解槽槽壳用防拱变形的可拆式中间支承装置
CN202744706U (zh) 用于环锭细纱机的气架里外摆装置
CN217149382U (zh) 一种新型节能电极
CN203513829U (zh) 用于单晶炉的坩埚轴
CN203626893U (zh) 一种用于trt静叶内壳体的可拆卸防冲刷环
CN203119659U (zh) 一种发电机机座

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C12 Rejection of a patent application after its publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20130724