CN202898592U - 一种用于单晶炉的导流筒 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于单晶炉的导流筒,包括石墨制成的导流筒本体,导流筒本体内腔的纵向剖面为倒梯形,其特征在于:在导流筒本体内还配装有石英加料筒,石英加料筒的形状与导流筒本体内腔相配。本实用新型采用石英加料筒直接与单晶原料进行接触,减少了石墨制成的导流筒本体与单晶原料接触的几率,有效控制了单晶硅碳含量超标的概率,使得单晶品质不断提升。加料完成后不用取出,直接进行拉晶工艺操作,节约了取出加料器所耗费的时间,避免了二次污染,保障了晶体生长环境,有效提高了单晶产出量和单晶品质。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体和太阳电池单晶硅生产领域,具体为一种用于Cz法晶体生长单晶炉的导流筒。
背景技术
光伏行业实现单晶高产出、低成本,在时间一定的情况下,生产单晶的消耗大致相同,只有产量提升,才能有效降低单位成本。投料量增加有效的减少了清装炉所耗费的时间,是提升单晶产出的重要手段之一。
现在,光伏行业均采用二次加料来提高生产率,二次加料器往往采用石墨制成的导流筒。此石墨制成的导流筒直接与单晶原料进行接触,使得单晶硅碳含量超标,单晶品质产生下降。另外,加完料后需要将石墨制成的导流筒取出,造成单晶炉内环境污染
实用新型内容
本实用新型的目的是克服现有技术的不足,提供一种方便操作、有效控制单晶硅碳含量超标的导流筒。
本实用新型所采取的技术方案为:
一种用于单晶炉的导流筒,包括石墨制成的导流筒本体,导流筒本体内腔的纵向剖面为倒梯形,其特征在于:在导流筒本体内还配装有石英加料筒,石英加料筒的形状与导流筒本体内腔相配。
其中,石英加料筒的顶部设置有外翻的与筒体一次成型的支撑外沿。
其中,石英加料筒的底端放置在导流筒本体的底面上,石英加料筒的支撑外沿架设在导流筒本体的上口部,石英加料筒的外壁与导流筒本体内壁之间留有间隙。
其中,在石英加料筒的外壁与导流筒本体内壁之间的间隙内填充有保温层。
本实用新型与现有技术相比,有以下优点:
1、本实用新型采用石英加料筒直接与单晶原料进行接触,减少了石墨制成的导流筒本体与单晶原料接触的几率,有效控制了单晶硅碳含量超标的概率,使得单晶品质不断提升。
2、加料完成后不用取出,直接进行拉晶工艺操作,节约了取出加料器所耗费的时间,避免了二次污染,保障了晶体生长环境,有效提高了单晶产出量和单晶品质。
3、用石英加料筒代替石墨导流筒,石英相比石墨而言隔热性强,有效阻止了热能向上部的辐射,增加熔体表面与晶体温差梯度,熔液析晶速率变快,晶体生长速度随之得到相应提高。
附图说明
图1是本实用新型的结构简图。
其中,1.导流筒本体,2.石英加料筒。
具体实施方式
下面,结合图1对本实用新型作进一步说明。
如图1所示,本实用新型的一种用于单晶炉的导流筒,包括石墨制成的导流筒本体1,导流筒本体1内腔的纵向剖面为倒梯形,在导流筒本体1内还配装有石英加料筒2,石英加料筒2的形状与导流筒本体1内腔相配。石英加料筒2的顶部设置有外翻的与筒体一次成型的支撑外沿,石英加料筒2的底端放置在导流筒本体1的底面上,石英加料筒2的支撑外沿架设在导流筒本体1的上口部,石英加料筒2的外壁与导流筒本体1内壁之间留有间隙。
在具体的生产过程中,可以在石英加料筒2的外壁与导流筒本体1内壁之间的间隙内填充有保温层,进一步提高保温效果。
工作时,严格按照作业指导书规定的操作步骤依次进行拉晶工艺的准备工作,认真做好单晶炉拆清装,装料完成后把安装好的本实用新型的导流筒平稳放到石墨大盖上,慢慢的把所需增加原料装入本实用新型的导流筒中,原料要求颗粒大小一致,增加投料量时注意原料不能把本实用新型的导流筒下口堵住,否则会使原料夹在加料器中,造成事故发生。严格按照以上安装工艺完成后,进入正常拉晶工序。
Claims (4)
1.一种用于单晶炉的导流筒,包括石墨制成的导流筒本体,导流筒本体内腔的纵向剖面为倒梯形,其特征在于:在导流筒本体内还配装有石英加料筒,石英加料筒的形状与导流筒本体内腔相配。
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的导流筒,其特征在于:石英加料筒的顶部设置有外翻的与筒体一次成型的支撑外沿。
3.根据权利要求2所述的一种用于单晶炉的导流筒,其特征在于:石英加料筒的底端放置在导流筒本体的底面上,石英加料筒的支撑外沿架设在导流筒本体的上口部,石英加料筒的外壁与导流筒本体内壁之间留有间隙。
4.根据权利要求2所述的一种用于单晶炉的导流筒,其特征在于:在石英加料筒的外壁与导流筒本体内壁之间的间隙内填充有保温层。
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