CN201648565U - 一种硅单晶炉的热场系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种硅单晶炉的热场系统,包括加热器、坩埚、导流筒、保温筒、保温盖、保温层以及埚托、托杆、上压片和下压片;还包括设置于上保温盖上面的挡圈;且保温层分为上保温套、中保温套和下保温套,分别设置于所述上保温筒、中保温筒和下保温筒的外侧。改善了热场系统的保温性能和保护气体的流动性能,有利于提高最终产品的质量。
Description
技术领域
本实用新型属于绿色能源太阳能电池技术领域,特别是涉及一种制备单晶硅棒的硅单晶炉的热场系统。所述的单晶硅棒用于制备太阳能电池单晶硅片。
背景技术
太阳能是一种取之不尽、用之不竭的绿色能源。太阳能电池是太阳能光伏发电系统的主要组件,其中单晶硅太阳能电池是目前发展最快的一种太阳能电池。单晶硅片的品质直接影响着单晶硅太阳能电池的质量,提高单晶硅片的品质是生产高效能太阳能电池的前提。目前,国内外普遍采用传统直拉生长法生产单晶硅,然后经切割制成单晶硅片。单晶硅棒生产中,原料的利用率和成品的效能受单晶炉这一关键生产设备的制约,而单晶炉的热场系统至关重要。现有单晶炉热场的结构存在保温性能和保护气体(Ar)流动性能方面的缺陷,影响了最终产品质量的提高。
实用新型内容
本实用新型针对上述现有技术存在的不足,提出了一种硅单晶炉的热场系统,该热场系统的保温性能和保护气体(Ar)流动性能得到了改善,有利于提高最终产品的质量。
本实用新型解决技术问题所采取的技术方案是:一种硅单晶炉的热场系统,包括加热器、坩埚、导流筒、保温筒、保温盖、保温层以及埚托、托杆、上压片和下压片;所述保温筒包括上保温筒、中保温筒和下保温筒;所述保温盖包括上保温盖和下保温盖;其特征在于,还包括挡圈,所述挡圈设置于上保温盖的上面;所述保温层分为上保温套、中保温套和下保温套,分别设置于所述上保温筒、中保温筒和下保温筒的外侧。
所述的挡圈为环状,它设置于上保温盖的上面,覆盖了上保温盖外侧与单晶炉炉腔内壁间的空隙,以阻挡且减少保护气体(Ar)向保温筒外侧与炉腔内壁间的空间流动。
所述的保温层分为上保温套、中保温套和下保温套,采用碳纤维固体毡为保温材料,分别设置于所述上保温筒、中保温筒和下保温筒的外侧。提高了保温性能,也方便了保温层设置的操作。
本实用新型中所述导流筒包括内导流筒和外导流筒,所述托杆包括托杆轴和托杆轴座。本实用新型还包括托杆护套、石墨电极和电极护套、电极螺丝和电极螺丝盖。
本实用新型的实施,改善了热场系统的保温性能和保护气体(Ar)流动性能,有利于提高最终产品的质量。
附图说明
附图为本实用新型一种实施方式的结构示意图。
具体实施方式
如附图所示,该硅单晶炉的热场系统,包括加热器1、坩埚2、内导流筒3、外导流筒4、上保温筒5、中保温筒6、下保温筒7、挡圈8、上保温盖9、下保温盖10、上保温套11、中保温套12、下保温套13、埚托14、托杆轴16和托杆轴座15、托杆护套17、上压片18、下压片19、石墨电极20和电极护套21、电极螺丝22和电极螺丝盖23。其中挡圈8设置于上保温盖9的上面;上保温套11、中保温套12和下保温套13分别设置于上保温筒5、中保温筒6和下保温筒7的外侧。
Claims (1)
1.一种硅单晶炉的热场系统,包括加热器、坩埚、导流筒、保温筒、保温盖、保温层以及埚托、托杆、上压片和下压片;所述保温筒包括上保温筒、中保温筒和下保温筒;所述保温盖包括上保温盖和下保温盖;其特征在于,还包括挡圈,所述挡圈设置于上保温盖的上面;所述保温层分为上保温套、中保温套和下保温套,分别设置于所述上保温筒、中保温筒和下保温筒的外侧。
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CN2010202185245U CN201648565U (zh) | 2010-06-04 | 2010-06-04 | 一种硅单晶炉的热场系统 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN102212875A (zh) * | 2011-06-03 | 2011-10-12 | 无锡中能晶科光电科技股份有限公司 | 一种硅单晶炉的热场系统 |
CN102400232A (zh) * | 2011-11-15 | 2012-04-04 | 镇江环太硅科技有限公司 | 一种单晶硅生长炉用石墨/炭毡复合电极 |
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2010
- 2010-06-04 CN CN2010202185245U patent/CN201648565U/zh not_active Expired - Fee Related
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Legal Events
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C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C17 | Cessation of patent right | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20101124 Termination date: 20110604 |