CN202390583U - 配置电极保护套的单晶炉 - Google Patents

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吴学军
周凯平
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Abstract

本实用新型配置电极保护套的单晶炉属于冶炼机电技术领域，特别涉及配置单晶炉热场电极保护装置；含硅液，由轴向阻液板、石墨护套、炉底护盘、石英护套和石墨电极组成；石墨电极的下端与设备连接，上端外侧套有石英护套；炉底护盘装在石墨护套上；石墨护套套装在石英护套上；轴向阻液板和石墨电极同轴心配装在石英护套顶端外侧；有益效果是：消除安全隐患，降低成本，提高作业效率；拆卸使用方便，便于维修更换。

Description

配置电极保护套的单晶炉
技术领域：
配置电极保护套的单晶炉属于冶炼机电技术领域，特别涉及配置单晶炉热场电极保护装置。
背景技术：
单晶硅是光伏发电和半导体行业中的基础原料，单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料；单晶炉是多晶硅转化为单晶硅生产过程中的必备设备；目前，单晶炉热场电极保护一般采用石墨护套内充填石英材料解决硅液沿轴向漏出，此装置保护安全系数低、时有设备损坏现象。
发明的内容：
本实用新型配置电极保护套的单晶炉发明目的在于：改进单晶炉电极保护结构消除安全隐患，设计制造一种与现有技术不同的电极保护单晶炉。
本实用新型配置电极保护套的单晶炉是这样实现的：含硅液，由轴向阻液板、石墨护套、炉底护盘、石英护套、石墨电极组成；石墨电极的下端与设备连接，外侧套有石英护套；炉底护盘装在石墨护套上；石墨护套套装在石英护套上；轴向阻液板和石墨电极同轴心配装在石英护套顶端外侧；轴向阻液板由石英片板或陶瓷材料制造。
硅单晶生产作业过程中，泄漏出来的硅液在轴向阻液板的作用下，流到炉底护盘上，不会沿着石墨电极轴向流到设备上。
本实用新型配置电极保护套的单晶炉的有益效果是：消除安全隐患，降低成本，提高作业效率；拆卸使用方便，便于维修更换。
附图说明：
附图是配置电极保护套的单晶炉结构示意图。
图中：硅液1、轴向阻液板2、石墨护套3、炉底护盘4、石英护套5、石墨电极6。
具体实施方式：
本实用新型配置电极保护套的单晶炉含硅液1，并由轴向阻液板2、石墨护套3、炉底护盘4、石英护套5和石墨电极6组成；石墨电极6的下端与设备连接，外侧套有石英护套5；炉底护盘4装在石墨护套3上；石墨护套3套在石英护套5上；轴向阻液板2和石墨电极6同轴心配装在石英护套5顶端外侧；轴向阻液板2由石英片板或陶瓷材料制造。

Claims (2)

1.配置电极保护套的单晶炉，其特征在于：含硅液(1)，由轴向阻液板(2)、石墨护套(3)、炉底护盘(4)、石英护套(5)、石墨电极(6)组成；石墨电极(6)的下端与设备连接，外侧套有石英护套(5)；炉底护盘(4)装在石墨护套(3)上；石墨护套(3)套装在石英护套(5)上；轴向阻液板(2)和石墨电极(6)同轴心配装在石英护套(5)顶端外侧。
2.根据权利要求1所述配置电极保护套的单晶炉，其特征在于：轴向阻液板(2)由石英片板或陶瓷材料制造。
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