CN202247001U - 一种新型单晶炉用籽晶夹头 - Google Patents
一种新型单晶炉用籽晶夹头 Download PDFInfo
- Publication number
- CN202247001U CN202247001U CN2011202602303U CN201120260230U CN202247001U CN 202247001 U CN202247001 U CN 202247001U CN 2011202602303 U CN2011202602303 U CN 2011202602303U CN 201120260230 U CN201120260230 U CN 201120260230U CN 202247001 U CN202247001 U CN 202247001U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- chuck
- chuck body
- single crystal
- weight
- seed crystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Abstract
本实用新型提出一种新型单晶炉用籽晶夹头，包括重锤和固定于所述重锤下端的夹头本体，所述夹头本体下端设有悬挂籽晶的销轴，所述夹头本体靠近重锤处设有圆环形杂物槽，所述夹头本体的材质为石墨。本实用新型重锤部分采用相较于钼金属来说廉价的不锈钢制成，节约成本，同时，通过杂物槽对杂质进行收集，可以有效提高产品质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种半导体材料制备设备，尤其涉及一种新型单晶炉用籽晶夹头。
背景技术
现有籽晶夹头，其夹头本体以及重锤均采用耐高温的金属材料制成，由于籽晶夹头常年在高温环境下使用，夹头本体表面以及重锤表面会产生一定量氧化物以及其他杂质，在生产过程中，难以避免细小的杂物脱落，在重力作用下掉落硅熔体，对拉晶产生很大影响，使晶棒产生位错或断棱。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种可以有效防止杂质掉落硅熔体的单晶炉用籽晶夹头。
为解决上述技术问题，本实用新型一种新型单晶炉用籽晶夹头，包括重锤和固定于所述重锤下端的夹头本体，所述夹头本体下端设有悬挂籽晶的销轴，所述夹头本体靠近重锤处设有圆环形杂物槽，所述夹头本体的材质为石墨。优选的，所述重锤采用不锈钢制成。
通过如上技术方案的提出，本实用新型具有如下有益效果：
本实用新型重锤部分采用相较于钼金属来说廉价的不锈钢制成，节约成本，同时，通过杂物槽对杂质进行收集，可以有效提高产品质量。
附图说明
下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明：
图1为本实用新型实施例1提出的一种新型单晶炉用籽晶夹头示意图；
图中：
1、重锤；2、夹头本体；3、销轴；4、杂物槽。
具体实施方式
实施例1
本实施例提出一种新型单晶炉用籽晶夹头，包括重锤1和固定于重锤1下端的夹头本体2，重锤1采用不锈钢制成，夹头本体2下端设有悬挂籽晶的销轴3，夹头本体2靠近重锤1处设有圆环形杂物槽4，用于收集由重锤1表面脱落的杂质，夹头本体2的材质为石墨，其耐高温，且长期使用也不会存在杂质脱落混入硅熔体中，有效保证了产品质量。
本实用新型并不局限于此实施方式，以本实用新型思想为基础的相关实现总成均在本实用新型的保护范围内。
Claims (2)
1.一种新型单晶炉用籽晶夹头，包括重锤(1)和固定于所述重锤(1)下端的夹头本体(2)，所述夹头本体(2)下端设有悬挂籽晶的销轴(3)，其特征在于，所述夹头本体(2)靠近重锤(1)处设有圆环形杂物槽(4)，所述夹头本体(2)的材质为石墨。
2.如权利要求1所述的一种新型单晶炉用籽晶夹头，其特征在于，所述重锤(1)采用不锈钢制成。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011202602303U CN202247001U (zh) | 2011-07-21 | 2011-07-21 | 一种新型单晶炉用籽晶夹头 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011202602303U CN202247001U (zh) | 2011-07-21 | 2011-07-21 | 一种新型单晶炉用籽晶夹头 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN202247001U true CN202247001U (zh) | 2012-05-30 |
Family
ID=46108271
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2011202602303U Expired - Fee Related CN202247001U (zh) | 2011-07-21 | 2011-07-21 | 一种新型单晶炉用籽晶夹头 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN202247001U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104674336A (zh) * | 2015-03-16 | 2015-06-03 | 宁晋赛美港龙电子材料有限公司 | 一种单晶炉重掺单晶生产过程中籽晶用的牵引机构 |
| CN105506732A (zh) * | 2014-09-23 | 2016-04-20 | 上海朗兆机电设备有限公司 | 伸缩籽晶杆 |
-
2011
- 2011-07-21 CN CN2011202602303U patent/CN202247001U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105506732A (zh) * | 2014-09-23 | 2016-04-20 | 上海朗兆机电设备有限公司 | 伸缩籽晶杆 |
| CN104674336A (zh) * | 2015-03-16 | 2015-06-03 | 宁晋赛美港龙电子材料有限公司 | 一种单晶炉重掺单晶生产过程中籽晶用的牵引机构 |
| CN104674336B (zh) * | 2015-03-16 | 2017-02-22 | 宁晋赛美港龙电子材料有限公司 | 一种单晶炉重掺单晶生产过程中籽晶用的牵引机构 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN202247001U (zh) | 一种新型单晶炉用籽晶夹头 | |
| MY193954A (en) | Method for manufacturing ciliary margin stem cells | |
| CN201842895U (zh) | 单晶硅生长炉的石墨坩埚 | |
| CN201463538U (zh) | 组合坩埚 | |
| CN201801635U (zh) | 单晶炉用籽晶夹头 | |
| CN103014837A (zh) | 一种单晶炉二次加料方法 | |
| CN202247002U (zh) | 一种单晶炉用籽晶夹头 | |
| CN101748483A (zh) | 一种锗熔体浮渣清除装置及方法 | |
| CN202187086U (zh) | 单晶炉的梯度加热器 | |
| CN104357896A (zh) | 用于单晶硅制备的钼导流筒 | |
| CN204251753U (zh) | 一种用于提高单晶拉速的冷却设备 | |
| CN203065630U (zh) | 一种直拉单晶用石墨夹头 | |
| CN202390561U (zh) | 单晶炉热场中保温桶提升装置 | |
| CN202297843U (zh) | Cz直拉单晶炉籽晶重锤装置 | |
| CN202030859U (zh) | 一种单晶直拉工艺用籽晶夹头 | |
| CN204311153U (zh) | 一种用于磁场单晶炉的导流筒 | |
| CN204325542U (zh) | 一种具有双调节节点的籽晶杆结构 | |
| CN202482483U (zh) | 一种单晶炉用热屏悬挂机构 | |
| CN202064032U (zh) | 碳/碳复合材料坩埚 | |
| CN201962410U (zh) | 一种硅棒生产用石墨软毡 | |
| CN102212876A (zh) | 一种籽晶夹头的制作方法 | |
| CN201337956Y (zh) | 一种高压静电除尘除焦油器电晕线 | |
| CN204321159U (zh) | 一种低压铸造升液管 | |
| CN204022992U (zh) | 直拉法生产单晶硅用添加掺杂剂的装置 | |
| CN203546198U (zh) | 单晶炉加料装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C17 | Cessation of patent right | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20120530 Termination date: 20130721 |