CN201962410U - 一种硅棒生产用石墨软毡 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种硅棒生产用石墨软毡，内衬外套有石墨软毡构成的外套层。本实用新型能够使热量集中，进而确保单晶硅棒的温度。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶硅棒生产领域，尤其涉及一种硅棒生产用石墨软毡。
背景技术
单晶硅具有准金属的物理性质，主要用于制作半导体元件和太阳能电池，单晶硅有较弱的导电性，其电导率随温度的升高而增加，有显著的半导电性。单晶硅的制法通常是先制得多晶硅或无定形硅，然后用直拉法或悬浮区熔法从熔体中生长出棒状单晶硅。单晶硅棒在成型时需要进行加热，如果温度不够会影响单晶硅生长。
实用新型内容
本实用新型目的是提供一种硅棒生产用石墨软毡，在加热时能够保证单晶硅温度。
为了达到上述目的，本实用新型所采用的技术方案为：
一种硅棒生产用石墨软毡，其特征在于：包括有筒形的金属内衬，所述金属内衬外套有多圈石墨软毡构成的外套层。
本实用新型置于单晶硅棒生产加热装置外，对单晶硅生产加热装置进行保温，由于石墨软毡具有较好的保温特性，能够使热量集中，进而确保单晶硅棒的温度。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
如图1所示。一种硅棒生产用石墨软毡，包括有筒形的金属内衬1，金属内衬1外套有多圈石墨软毡构成的外套层2。
Claims (1)
1.一种硅棒生产用石墨软毡，其特征在于：包括有筒形的金属内衬，所述金属内衬外套有多圈石墨软毡构成的外套层。
Priority Applications (1)
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| CN2011200057764U CN201962410U (zh) | 2011-01-11 | 2011-01-11 | 一种硅棒生产用石墨软毡 |
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN201962410U true CN201962410U (zh) | 2011-09-07 |
Family
ID=44524947
Family Applications (1)
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Country Status (1)
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| CN (1) | CN201962410U (zh) |
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2011
- 2011-01-11 CN CN2011200057764U patent/CN201962410U/zh not_active Expired - Fee Related
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