CN203420010U - 温控蓝宝石生长炉 - Google Patents
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Abstract
温控蓝宝石生长炉,由提拉装置、电源控制器、温度传感器、欧陆控制器、钨坩埚、钨加热器、钨桶、炉体、底部保温层、钨支柱、侧面保温层组成,其特征是炉体的内侧设置侧面保温层,炉体的底侧设置底部保温层,炉体的中心轴线位置设置钨支柱,炉体的上端设置提拉装置,钨支柱的上端设置钨坩埚,钨坩埚的外侧设置钨加热器,钨加热器的外侧设置钨桶,温度传感器设置在炉体的中部钨桶的外侧,温度传感器通过欧陆控制器与电源控制器相连接,本实用新型的有益效果是温控蓝宝石生长炉设计有温度控制方案,温度控制稳定,蓝宝石晶体生长稳定、晶体生长质量较高。
Description
技术领域
本实用新型属于晶体加工技术领域,更具体的说是一种温控蓝宝石生长炉。
背景技术
蓝宝石单晶,又称白宝石,分子式为Al2O3,蓝宝石晶体具有硬度大,热导率高导热好,光学透明范围宽透过率高,热膨胀系数小,熔点高达2050度,耐高温,耐腐蚀,耐辐射等突出的物理化学性能,可以广泛应用于光学、光电子、精密机械、军事等领域中。特别是蓝宝石单晶这些优异物化的性能,使得该晶体成为目前蓝白光GaN基LED使用最为广泛的衬底,市场应用前景巨大。
蓝宝石晶体的制备方法主要有泡生法,泡生法生长的蓝宝石晶体具有尺寸大,晶体应力小,晶体的位错密度低,光学透明度高等优点,是目前使用最为广泛的产业化单晶生长方法之一。
目前,现有技术的蓝宝石晶体生长炉一般没有温度控制方案,温度控制一般采用人工肉眼观察,人工肉眼观察受观察者水平的影响较大,温度控制不稳定,影响蓝宝石晶体的生长。
发明内容
为了解决上述问题,本实用新型提供了一种设计有温度控制方案、温度控制稳定、蓝宝石晶体生长质量较高的温控蓝宝石生长炉,其具体方案为:所述的温控蓝宝石生长炉由提拉装置、电源控制器、温度传感器、欧陆控制器、钨坩埚、钨加热器、钨桶、炉体、底部保温层、钨支柱、侧面保温层组成,其特征是炉体的内侧设置侧面保温层,炉体的底侧设置底部保温层,炉体的中心轴线位置设置钨支柱,炉体的上端设置提拉装置,钨支柱的上端设置钨坩埚,钨坩埚的外侧设置钨加热器,钨加热器的外侧设置钨桶,温度传感器设置在炉体的中部钨桶的外侧,温度传感器通过欧陆控制器与电源控制器相连接。
本实用新型的有益效果是温控蓝宝石生长炉设计有温度控制方案,温度控制稳定,蓝宝石晶体生长稳定、晶体生长质量较高。
附图说明
附图1是本实用新型的结构示意图;附图1中:
1. 提拉装置,2. 电源控制器,3. 温度传感器,4. 欧陆控制器,5. 钨坩埚,6. 钨加热器,7. 钨桶,8. 炉体,9. 底部保温层,10. 钨支柱,11. 侧面保温层。
具体实施方式
结合附图1对本实用新型进一步详细描述,以便公众更好地掌握本实用新型的实施方法,本实用新型具体的实施方案为:所述的温控蓝宝石生长炉由提拉装置1、电源控制器2、温度传感器3、欧陆控制器4、钨坩埚5、钨加热器6、钨桶7、炉体8、底部保温层9、钨支柱10、侧面保温层11组成,其特征是炉体8的内侧设置侧面保温层11,炉体8的底侧设置底部保温层9,炉体8的中心轴线位置设置钨支柱10,炉体8的上端设置提拉装置1,钨支柱10的上端设置钨坩埚5,钨坩埚5的外侧设置钨加热器6,钨加热器6的外侧设置钨桶7,温度传感器3设置在炉体8的中部钨桶7的外侧,温度传感器3通过欧陆控制器4与电源控制器2相连接。
本实用新型的有益效果是温控蓝宝石生长炉设计有温度控制方案,温度控制稳定,蓝宝石晶体生长稳定、晶体生长质量较高。
Claims (1)
1.温控蓝宝石生长炉,由提拉装置(1)、电源控制器(2)、温度传感器(3)、欧陆控制器(4)、钨坩埚(5)、钨加热器(6)、钨桶(7)、炉体(8)、底部保温层(9)、钨支柱(10)、侧面保温层(11)组成,其特征是炉体(8)的内侧设置侧面保温层(11),炉体(8)的底侧设置底部保温层(9),炉体(8)的中心轴线位置设置钨支柱(10),炉体(8)的上端设置提拉装置(1),钨支柱(10)的上端设置钨坩埚(5),钨坩埚(5)的外侧设置钨加热器(6),钨加热器(6)的外侧设置钨桶(7),温度传感器(3)设置在炉体(8)的中部钨桶(7)的外侧,温度传感器(3)通过欧陆控制器(4)与电源控制器(2)相连接。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN201320489511.5U CN203420010U (zh) | 2013-08-12 | 2013-08-12 | 温控蓝宝石生长炉 |
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CN201320489511.5U CN203420010U (zh) | 2013-08-12 | 2013-08-12 | 温控蓝宝石生长炉 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN105350076A (zh) * | 2015-11-06 | 2016-02-24 | 山西晶科光电材料有限公司 | 一种蓝宝石晶体生长温度的监测方法 |
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2013
- 2013-08-12 CN CN201320489511.5U patent/CN203420010U/zh not_active Expired - Fee Related
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CN105350076A (zh) * | 2015-11-06 | 2016-02-24 | 山西晶科光电材料有限公司 | 一种蓝宝石晶体生长温度的监测方法 |
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Legal Events
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GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20140205 Termination date: 20160812 |