CN202297861U - 单晶炉热场加热器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种单晶炉热场加热器，它包括石墨加热器（1），设置于石墨加热器（1）底部的电极支腿（2），所述石墨加热器（1）为圆筒状结构，石墨加热器（1）外表面上，沿轴线方向上下交替开设有加热槽（3），加热槽（3）沿圆周均匀分布，加热槽（3）为通槽。本实用新型的优点在于，能耗低，发热均匀，热利用率高。
Description
技术领域
本实用新型涉及高温炉用装置，具体涉及一种单晶炉热场加热器。
背景技术
单晶硅主要采用直拉单晶制造法生产，这种生产工艺需要用到单晶炉。将原材料放入坩埚中，在单晶炉中加热融化，在将棒状籽晶浸入熔液中。在合适的温度下，熔液中的硅原子会在固液交界面上形成规则的结晶，成为单晶体。吧籽晶微微旋转向上提升，熔液中的硅原子会在前面形成的单晶体上继续结晶，如此往复即可得到单晶硅锭。
目前单晶炉主要使用石墨加热器进行加热，普通的石墨加热器为一环形石墨，然后在电极支腿上通电加热，这种加热器有发热不均匀，能耗高，热效率低等缺点。
实用新型内容
本实用新型的目的即在于克服现有技术的不足，提供一种发热均匀，能耗低，热效率高的单晶炉热场加热器。
本实用新型的目的通过以下技术方案实现：
单晶炉热场加热器，包括石墨加热器，设置于石墨加热器底部的电极支腿，所述石墨加热器为圆筒状结构，石墨加热器外表面上，沿轴线方向上下交替开设有加热槽，加热槽沿圆周均匀分布，加热槽为通槽。
本实用新型的优点在于：由于在加热器圆周上开设了加热槽，使加热器轴向电阻均匀，发热功率均匀，热效率高，而且开设加热槽改变了加热器电阻分布，降低了能耗，提高了热效率。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图
图2为本实用新型俯视图
图中，1-石墨加热器，2-电极支腿，3-加热槽。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步说明，本实用新型的保护范围不限于以下所述。
如图1和图2所示，单晶炉热场加热器，包括石墨加热器1，设置于石墨加热器1底部的电极支腿2，所述石墨加热器1为圆筒状结构，石墨加热器1外表面上，为了使石墨加热器1轴向电阻均匀，沿轴线方向上下交替开设有加热槽3，加热槽3沿圆周均匀分布，加热槽3为通槽。
将电极热支腿2接上电极通电即可开始加热。
Claims (1)
1.单晶炉热场加热器，其特征在于，它包括石墨加热器（1），设置于石墨加热器（1）底部的电极支腿（2），所述石墨加热器（1）为圆筒状结构，石墨加热器（1）外表面上，沿轴线方向上下交替开设有加热槽（3），加热槽（3）沿圆周均匀分布，加热槽（3）为通槽。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103628129A (zh) * | 2012-08-27 | 2014-03-12 | 上海杰姆斯电子材料有限公司 | 一种直拉法制备单晶硅所使用的石墨加热器 |
| CN105113019A (zh) * | 2015-09-29 | 2015-12-02 | 何康玉 | 一种发热钨棒加热电极 |
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2011
- 2011-11-01 CN CN2011204260866U patent/CN202297861U/zh not_active Expired - Fee Related
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| C14 | Grant of patent or utility model | ||
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| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20120704 Termination date: 20141101 |
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