CN203625526U - 单晶炉用底部加热器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种加工方便、发热均匀的单晶炉用底部加热器，它包括发热体、电极接头，其特征是所述发热体为两组形状对称的蛇形体并联而成，所述蛇形体由碳/碳复合材料或石墨材料制成，本实用新型结构简单，加工方便，成本低，具有强度高、发热效率高、发热均匀等特点。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种单晶炉，具体地说是一种单晶炉用底部加热器。
背景技术
硅单晶炉热场系统对单晶成品率、拉速及单晶棒质量都有很大的影响，而对硅单晶生产企业来说，提高硅材料利用率，降低单位能耗，提高生产效率，降低生产成本一直是企业追求的目标。因此，热场系统设计和热场内关键元件的选材和使用备受关注。
众所周知，硅棒越大，产品品质就越好，单位成本也随之降低。但是，增加硅棒尺寸，热场系统的尺寸也相应增加，投料量从原来的90㎏左右增加到150㎏以上，显著增加了热场控制的难度。为此，目前运行的大尺寸单晶炉（22英寸以上）都在尝试采用双加热结构，也就是在原来环形加热的基础上增加一个底部加热器，这样可以提高热场的均匀性，缩短化料时间，有效解决热场控制难及熔硅再结晶的问题。
目前，底部加热器主要选用石墨材质。然而，由于石墨材料自身电阻率较小、力学性能较差且高温热震脆性大等特点，制备的石墨加热器有如下缺点：（1）电阻率小，在加热器形状一定的情况下，为了提高电阻，有时只能减小横截面积，由于石墨性脆，强度低，横截面积较小容易折断；（2）石墨性脆，强度低，在维修过程中易损坏，使用寿命较短。
如专利号200920122502.6，申请日为2009年6月22日，公开号为CN201501940U的专利公开了一种改进的直拉单晶炉加热器结构。该加热器包括一个石墨材质的圆周均匀分布的底部加热器。该底部加热器采用扇形结构，离圆心越近，单位空间的发热面积越大，在使用时会导致离圆心不同距离的点上发热不均匀；同时，该加热器采用石墨材料制备，且设计为条状的扇形结构，加工困难、容易折断、维修也不方便。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种加工方便、发热均匀的单晶炉用底部加热器。
本实用新型是采用如下技术方案实现其发明目的的，一种单晶炉用底部加热器，它包括发热体、电极接头，所述发热体为两组形状对称的蛇形体并联而成，所述蛇形体由碳/碳复合材料或石墨材料制成。
为使发热均匀，本实用新型所述两组蛇形体的弯部的边缘与两个相同中心的弧外切或内切。
本实用新型所述两组蛇形体的弯部的边缘与弧外切的弧为圆或椭圆上的一段，蛇形体的弯部的边缘与弧内切的弧为圆上的一段。
本实用新型所述两组蛇形体3的弯部5的边缘与两个同心圆外切或内切。
为加工方便，降低成本，本实用新型所述的电极接头为电极连接块，电极连接块由石墨材料或碳/碳复合材料制成，电极连接块与蛇形体通过紧固件连接，所述紧固件由石墨材料或碳/碳复合材料制成。
由于采用上述技术方案，本实用新型较好的实现了发明目的，其结构简单，加工方便，成本低，具有强度高、发热效率高、发热均匀等特点。
附图说明
图1是本实用新型实施例1的结构示意图；
图2是图1的仰视图；
图3是本实用新型实施例2的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明。
实施例1：
由图1、图2可知，一种单晶炉用底部加热器，它包括发热体、电极接头，所述发热体为两组形状对称的蛇形体3并联而成，所述蛇形体3由碳/碳复合材料或石墨材料制成。
为使发热均匀，本实用新型所述两组蛇形体3的弯部5的边缘与两个相同中心的弧外切或内切。
本实用新型所述两组蛇形体3的弯部5的边缘与两个同心圆4外切或内切。
为加工方便，降低成本，本实用新型所述的电极接头为电极连接块1，电极连接块1由石墨材料或碳/碳复合材料制成，电极连接块1与蛇形体3通过紧固件2连接，所述紧固件2由石墨材料或碳/碳复合材料制成。
本实施例的发热体、电极接头为分体结构。所述发热体、电极连接块1、紧固件2均由碳/碳复合材料制成。
实施例2：
由图3可知，本实施例的发热体、电极接头为一体结构。本实用新型所述两组蛇形体3的弯部5的边缘与弧外切的弧为圆4或椭圆6上的一段（本实施例为椭圆6），蛇形体3的弯部5的边缘与弧内切的弧为圆4上的一段。
余同实施例1。
Claims (5)
1.一种单晶炉用底部加热器，它包括发热体、电极接头，其特征是所述发热体为两组形状对称的蛇形体并联而成，所述蛇形体由碳/碳复合材料或石墨材料制成。
2.根据权利要求1所述的单晶炉用底部加热器，其特征是所述两组蛇形体的弯部的边缘与两个相同中心的弧外切或内切。
3.根据权利要求2所述的单晶炉用底部加热器，其特征是所述两组蛇形体的弯部的边缘与弧外切的弧为圆或椭圆上的一段，蛇形体的弯部的边缘与弧内切的弧为圆上的一段。
4.根据权利要求2所述的单晶炉用底部加热器，其特征是所述两组蛇形体的弯部的边缘与两个同心圆外切或内切。
5.根据权利要求1或2或3或4所述的单晶炉用底部加热器，其特征是所述的电极接头为电极连接块，电极连接块由石墨材料或碳/碳复合材料制成，电极连接块与蛇形体通过紧固件连接，所述紧固件由石墨材料或碳/碳复合材料制成。
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- 2013-11-01 CN CN201320683419.2U patent/CN203625526U/zh not_active Expired - Lifetime
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