CN202380135U - 一种晶体生长炉的绝热结构 - Google Patents
一种晶体生长炉的绝热结构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN202380135U CN202380135U CN2011204519917U CN201120451991U CN202380135U CN 202380135 U CN202380135 U CN 202380135U CN 2011204519917 U CN2011204519917 U CN 2011204519917U CN 201120451991 U CN201120451991 U CN 201120451991U CN 202380135 U CN202380135 U CN 202380135U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- heat insulating
- insulating construction
- thickness
- millimeter
- crystal growth
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Furnace Housings, Linings, Walls, And Ceilings (AREA)
Abstract
本实用新型提供了一种晶体生长炉的绝热结构，该绝热结构包括内层、中心层、外层，内层和外层为钨钼板，中心层为石墨软毡。本实用新型提供的晶体生长炉的绝热结构具有寿命长、绝热性能好且不污染晶体的优点，克服传统绝热结构的缺陷，具有良好的市场应用前景。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种晶体生长炉，特别涉及一种晶体生长炉的绝热结构。
背景技术
LED产业链相对较长，跨越了晶体生长，掏棒，基片切割，MOCVD外延及芯片，封装等等，蓝宝石晶体生长的特点为周期长，能耗高，且晶体质量无法直接反馈，随着蓝宝石晶体生长尺寸的增大和LED产业的快速普及，许多晶体生长过程中的实际问题也愈发明显，如能耗，周期，热场寿命，加工难度等引起了人们的关注。为了进一步推广LED照明产业的发展，降低生产成本，制备高质量的蓝宝石晶体成为行业目前亟待解决的课题。
为了减少不必要的热损失，传统方法是使用石墨软毡作为传统保温材料，然而在蓝宝石炉的高温环境下，软毡容易挥发造成碳杂质进入氧化铝熔体，污染晶体。因此，为了实现对蓝宝石晶体炉热场的保温效果，现多采用金属热屏结构，即采用多个0.1-5毫米厚的钨或钼板，弯成直径由小到大的圆筒状，并且套叠在一起并相互固定起来，最终形成一定厚度的保温层。保温层的厚度及高度，由热场需要保持的温度及热场高度决定，多为8-12层/5-7厘米厚。同时，该热场材料的使用寿命仅为18个月，因此为了保证热场使用效果及纯度，该保温材料材料需要定期更换。在实际晶体成本中，热场材料作为消耗品占成本中很大比例，而且该钨/钼金属层的保温效果在高温环境下不如传统石墨软毡。
亟需寻找一种使用寿命长、绝热性能好且不污染晶体的新的绝热结构。
实用新型内容
为了解决上述问题，本实用新型提供了一种新的晶体生长炉的绝热结构，该结构对传统两种绝热结构进行改进，结合它们的优点，克服各自的缺陷。
一种晶体生长炉的绝热结构，该绝热结构包括内层、中心层、外层，内层和外层为钨钼板，中心层为石墨软毡。
其中，所述中心层的厚度为5-100毫米。
其中，所述内层的厚度为0.1-5毫米。
其中，所述外层的厚度为0.1-5毫米。
其中，所述绝热结构还包括底板和顶部，底板和顶部为钨钼板。
优选地，所述底板的厚度为0.1-5毫米。
优选地，所述顶部的厚度为0.1-5毫米。
其中，所述绝热结构的内层、中心层和外层用钼钉连接。
本实用新型提供的新的晶体生长炉的绝热结构为金属-石墨软毡-金属的三明治式的混合结构，石墨软毡夹在两层金属保温筒之间，并加以顶部和底层，可防止高温下软毡挥发而污染晶体，且具有良好的保温效果。
显然，根据本实用新型的上述内容，按照本领域的普通技术知识和惯用手段，在不脱离本实用新型上述基本技术思想前提下，还可以做出其它多种形式的修改、替换或变更。
以下通过实施例形式的具体实施方式，对本实用新型的上述内容再作进一步的详细说明。但不应将此理解为本实用新型上述主题的范围仅限于以下的实例。凡基于本实用新型上述内容所实现的技术均属于本实用新型的范围。
附图说明
图1本实用新型的结构示意图。
其中，1是内层，2是中心层，3是外层，4是底板，5是顶部，6是钼钉。
具体实施方式
如图1所示，一种晶体生长炉的绝热结构，该绝热结构包括内层1、中心层2、外层3，内层1和外层3为钨钼板，中心层2为石墨软毡。
其中，所述中心层2的厚度为5-100毫米。
其中，所述内层1的厚度为0.1-5毫米。
其中，所述外层3的厚度为0.1-5毫米。
其中，所述绝热结构还包括底板4和顶部5，底板4和顶部5为钨钼板。
优选地，所述底板4的厚度为0.1-5毫米。
优选地，所述顶部5的厚度为0.1-5毫米。
其中，所述绝热结构的内层1、中心层2和外层3用钼钉6连接。
本实用新型提供的新的晶体生长炉的绝热结构克服了传统绝热结构的缺陷，具有良好的工业应用前景。
Claims (8)
1.一种晶体生长炉的绝热结构，其特征在于：该绝热结构包括内层(1)、中心层(2)、外层(3)，内层(1)和外层(3)为钨钼板，中心层(2)为石墨软毡。
2.根据权利要求1所述的绝热结构，其特征在于：所述中心层(2)的厚度为5-100毫米。
3.根据权利要求1所述的绝热结构，其特征在于：所述内层(1)的厚度为0.1-5毫米。
4.根据权利要求1所述的绝热结构，其特征在于：所述外层(3)的厚度为0.1-5毫米。
5.根据权利要求1所述的绝热结构，其特征在于：所述绝热结构还包括底板(4)和顶部(5)，底板(4)和顶部(5)为钨钼板。
6.根据权利要求5所述的绝热结构，其特征在于：所述底板(4)的厚度为0.1-5毫米。
7.根据权利要求5所述的绝热结构，其特征在于：所述顶部(5)的厚度为0.1-5毫米。
8.根据权利要求1所述的绝热结构，其特征在于：所述绝热结构的内层(1)、中心层(2)和外层(3)用钼钉(6)连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011204519917U CN202380135U (zh) | 2011-11-15 | 2011-11-15 | 一种晶体生长炉的绝热结构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011204519917U CN202380135U (zh) | 2011-11-15 | 2011-11-15 | 一种晶体生长炉的绝热结构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN202380135U true CN202380135U (zh) | 2012-08-15 |
Family
ID=46628652
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2011204519917U Expired - Fee Related CN202380135U (zh) | 2011-11-15 | 2011-11-15 | 一种晶体生长炉的绝热结构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN202380135U (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105040093A (zh) * | 2015-08-25 | 2015-11-11 | 哈尔滨工业大学 | 一种混合热场结构蓝宝石晶体生长炉 |
| CN106917136A (zh) * | 2015-12-24 | 2017-07-04 | 有研半导体材料有限公司 | 一种直拉单晶炉热场保温结构 |
| CN109311765A (zh) * | 2016-06-01 | 2019-02-05 | 普兰西股份有限公司 | 高温隔绝系统 |
-
2011
- 2011-11-15 CN CN2011204519917U patent/CN202380135U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105040093A (zh) * | 2015-08-25 | 2015-11-11 | 哈尔滨工业大学 | 一种混合热场结构蓝宝石晶体生长炉 |
| CN106917136A (zh) * | 2015-12-24 | 2017-07-04 | 有研半导体材料有限公司 | 一种直拉单晶炉热场保温结构 |
| CN109311765A (zh) * | 2016-06-01 | 2019-02-05 | 普兰西股份有限公司 | 高温隔绝系统 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN202380135U (zh) | 一种晶体生长炉的绝热结构 | |
| CN101864591A (zh) | 一种硅单晶炉热场系统的改进方法 | |
| CN202543391U (zh) | 一种多晶硅铸锭炉 | |
| CN204752899U (zh) | 一种单晶炉底部加热器 | |
| CN202187081U (zh) | 一种单晶炉热场 | |
| CN204608214U (zh) | 一种铸锭炉 | |
| CN204097603U (zh) | 用于蓝宝石单晶炉的组合式下隔热保温屏 | |
| CN203715785U (zh) | 一种拼接型直拉单晶炉固化保温桶 | |
| CN102168301A (zh) | 直拉式单晶炉中石墨坩埚 | |
| CN104501592B (zh) | 用于镁合金熔炼的低能耗电阻炉 | |
| CN102586891B (zh) | 一种内衬复合式耐高温坩埚 | |
| CN207435296U (zh) | 一种玻璃窑炉投料池的侧壁钢结构 | |
| CN201850332U (zh) | 一种宝石的单晶体生长温场 | |
| CN104451876A (zh) | 晶体生长用非等径鸟笼状发热体 | |
| CN203174225U (zh) | 一种晶体生长炉 | |
| CN103882511A (zh) | 一种拼接型直拉单晶炉固化保温桶 | |
| CN201952523U (zh) | 单晶炉用石墨坩埚 | |
| CN202164396U (zh) | 节能保温拉丝弓形板 | |
| CN202390577U (zh) | 单晶硅生长炉的石墨坩埚 | |
| CN202246581U (zh) | 一种乙烯裂解炉炉壁板外壁构造 | |
| CN202323098U (zh) | 一种定向凝固炉的石墨底板 | |
| CN203230843U (zh) | 一种斜式内螺纹密封圈 | |
| CN201538837U (zh) | 一种炭化炉 | |
| CN203385052U (zh) | 一种带波浪形防风装置的灶具支架 | |
| CN203083376U (zh) | 电煅炉 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20120815 Termination date: 20151115 |
|
| EXPY | Termination of patent right or utility model |