CN102199787A - 太阳能硅单晶生产用涂层石英坩埚 - Google Patents
太阳能硅单晶生产用涂层石英坩埚 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102199787A CN102199787A CN2010101306177A CN201010130617A CN102199787A CN 102199787 A CN102199787 A CN 102199787A CN 2010101306177 A CN2010101306177 A CN 2010101306177A CN 201010130617 A CN201010130617 A CN 201010130617A CN 102199787 A CN102199787 A CN 102199787A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- quartz crucible
- coated
- crystal silicon
- silicon materials
- production
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
本发明公开了提供一种太阳能硅单晶生产用涂层石英坩埚,包括石英坩埚埚体,所述石英坩埚埚体的内壁上设有一层碳酸钡涂层。本发明可以大幅度地延长石英坩埚的使用寿命,可以有效提高长晶成品率。另外在石英坩埚内壁上形成的一层白矽石结晶,可以增加石英坩埚的强度,减少高温软化的现象。
Description
技术领域
本发明涉及一种太阳能硅生产用石英坩埚,具体地说是一种太阳能硅单晶生产用涂层石英坩埚。
背景技术
石英坩埚是太阳能硅单晶生产的生要元件之一,它不仅影响长晶的成品率,也会影响单晶的电学性能。太阳能硅单晶生产是将块状的高纯度多晶硅置于石英坩埚,加热使其熔化,并利用硅单晶制成的籽晶进行下种引晶,达到排除位错的目的,从而拉制出无位错单晶。由于熔融的硅熔体与石英坩埚在高温环境下会发生化学反应,对石英坩埚内壁产生侵蚀,不但降低了石英坩埚耐高温的能力,同时也影响了硅单晶的纯度。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术不足,提供一种太阳能硅单晶生产用涂层石英坩埚。
本发明采用的技术方案:一种太阳能硅单晶生产用涂层石英坩埚,包括石英坩埚埚体,所述石英坩埚埚体的内壁上设有一层碳酸钡涂层。
本发明在太阳能硅单晶生产用的石英坩埚内壁涂厚度均匀的含有结晶水的氢氧化钡层,氢氧化钡涂层与空气中的二氧化碳反应会生成碳酸钡。这种涂层石英坩埚在单晶炉上被加热时,碳酸钡将被分解形成氧化钡,氧化钡又会与石英坩埚反应形成矽酸钡(BaSiO3)。由于矽酸钡的存在,使得石英坩埚壁上形成一层致密微小的白矽石结晶,这种微小的白矽石结晶很难被溶液渗入而剥落,即使剥落也很快会被溶液溶解掉。
有益效果;本发明可以大幅度地延长石英坩埚的使用寿命,可以有效提高长晶成品率。另外在石英坩埚内壁上形成的一层白矽石结晶,可以增加石英坩埚的强度,减少高温软化的现象。
附图说明
附图为本发明结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体实施方式对本发明作进一步说明:
如附图所示:一种太阳能硅单晶生产用涂层石英坩埚,包括石英坩埚埚体1,所述石英坩埚埚体1的内壁上设有一层碳酸钡涂层2。
Claims (1)
1.一种太阳能硅单晶生产用涂层石英坩埚,包括石英坩埚埚体(1),其特征在于:所述石英坩埚埚体(1)的内壁上设有一层碳酸钡涂层(2)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2010101306177A CN102199787A (zh) | 2010-03-23 | 2010-03-23 | 太阳能硅单晶生产用涂层石英坩埚 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2010101306177A CN102199787A (zh) | 2010-03-23 | 2010-03-23 | 太阳能硅单晶生产用涂层石英坩埚 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102199787A true CN102199787A (zh) | 2011-09-28 |
Family
ID=44660766
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2010101306177A Pending CN102199787A (zh) | 2010-03-23 | 2010-03-23 | 太阳能硅单晶生产用涂层石英坩埚 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN102199787A (zh) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107099842A (zh) * | 2017-05-10 | 2017-08-29 | 宁夏协鑫晶体科技发展有限公司 | 单晶硅的制备方法 |
CN107460538A (zh) * | 2017-07-19 | 2017-12-12 | 内蒙古中环光伏材料有限公司 | 一种提高复投单晶硅成晶率的方法及投放碳酸钡用的料块 |
CN109267147A (zh) * | 2018-11-29 | 2019-01-25 | 内蒙古中环光伏材料有限公司 | 一种石英坩埚及其采用石英坩埚拉制硅单晶的方法 |
CN109267148A (zh) * | 2018-11-29 | 2019-01-25 | 内蒙古中环光伏材料有限公司 | 一种石英坩埚及其石英坩埚多次涂层的工艺方法 |
-
2010
- 2010-03-23 CN CN2010101306177A patent/CN102199787A/zh active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107099842A (zh) * | 2017-05-10 | 2017-08-29 | 宁夏协鑫晶体科技发展有限公司 | 单晶硅的制备方法 |
CN107460538A (zh) * | 2017-07-19 | 2017-12-12 | 内蒙古中环光伏材料有限公司 | 一种提高复投单晶硅成晶率的方法及投放碳酸钡用的料块 |
CN109267147A (zh) * | 2018-11-29 | 2019-01-25 | 内蒙古中环光伏材料有限公司 | 一种石英坩埚及其采用石英坩埚拉制硅单晶的方法 |
CN109267148A (zh) * | 2018-11-29 | 2019-01-25 | 内蒙古中环光伏材料有限公司 | 一种石英坩埚及其石英坩埚多次涂层的工艺方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102260902B (zh) | 石英坩埚涂层的制备方法 | |
CN102644108B (zh) | 一种铸造法生长硅晶体的装料方法以及生长硅晶体的工艺 | |
CN102242392B (zh) | 铸造法生产类似单晶硅锭炉内融化后晶种稳定于炉底的方法 | |
CN102199787A (zh) | 太阳能硅单晶生产用涂层石英坩埚 | |
CN104131339A (zh) | 一种多晶硅片的制备方法 | |
CN201762478U (zh) | 一种多晶硅铸锭用涂层石英坩埚 | |
JP2007112691A (ja) | シリコンの製造装置及び方法 | |
CN201634794U (zh) | 太阳能硅单晶生产用涂层石英坩埚 | |
CN104372407B (zh) | 一种晶体硅定向凝固生长设备和方法 | |
CN202558962U (zh) | 直拉法单晶硅生产用石英坩埚 | |
CN103255469A (zh) | 石墨加热器、石墨电极和降低硅片中碳含量的方法 | |
CN2884103Y (zh) | 直拉法单晶硅生产用石英坩埚 | |
CN102373503A (zh) | 一种多晶硅铸锭用涂层石英坩埚 | |
CN102242390B (zh) | 铸造法生产类似单晶硅锭化料加热方法 | |
CN208501149U (zh) | 一种坩埚 | |
TW201816202A (zh) | 單晶生長爐熱屏及其製造方法 | |
CN103882510A (zh) | 一种提升单晶硅生长速度的导流筒 | |
CN203021676U (zh) | 一种提升单晶硅生长速度的导流筒 | |
CN103334154A (zh) | 一种应用热交换生产多晶硅铸锭的方法 | |
CN102352527A (zh) | 感应加热压力生长氧化锌晶体的方法 | |
CN202297861U (zh) | 单晶炉热场加热器 | |
CN202401160U (zh) | 直拉单晶炉 | |
CN205839189U (zh) | 一种用于生产多晶硅铸锭的石英坩埚 | |
CN106498496A (zh) | 一种钨发热体处理方法 | |
CN102242393A (zh) | 铸造法生产类似单晶硅锭炉底温度控制方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20110928 |