CN105506732A - 伸缩籽晶杆 - Google Patents
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Abstract
本发明伸缩籽晶杆，包括：籽晶杆套，籽晶杆套为中空设计；导向销，导向销设置在籽晶杆套内；籽晶杆，籽晶杆设置在籽晶杆套的内腔；籽晶杆的一端从下部与导向销连接；拉绳，拉绳设置在籽晶杆套的内腔；籽晶杆的一端从上部与导向销连接。在籽晶杆套内设有导向槽，导向槽沿着籽晶杆套的轴向设置。拉绳为钨绳。本发明将晶体生长行程和晶体出炉行程分开，为此设计的籽晶杆套，可使籽晶杆可以在中间上下运动，部分运动精度不是很高，这种籽晶杆上下运动用在晶体出炉时；籽晶杆相对籽晶杆套停在一个适当的位置时，相对静止成为一体，籽晶杆和籽晶杆套一起做精度更高的上下运动，这段更高精度的运动可以应用于晶体生长阶段。
Description
技术领域
本发明涉及蓝宝石单晶生产领域，特别是一种适用于蓝宝石单晶炉的伸缩籽晶杆。
背景技术
EFG工艺法蓝宝石单晶炉中，行程有两部分组成，晶体生长行程和晶体出炉行程，两者相加，行程需要很长，所以籽晶杆一般都很长，所以EFG工艺法蓝宝石单晶炉都相应的很高。分析发现实际上晶体生长的行程段，精度是要求比较高，而晶体出炉行程精度要求一般，目前都是按精度高的晶体生长行程来设计，这样需要很大尺寸的直线运动单元来保证精度，EFG工艺法蓝宝石单晶炉也很高，高度上需要更大厂房空间。
发明内容
本发明提供了一种降低生产成本、方便操作的伸缩籽晶杆。
为解决上述技术问题，本发明伸缩籽晶杆，包括：籽晶杆套，所述籽晶杆套为中空设计；导向销，所述导向销设置在所述籽晶杆套内；籽晶杆，所述籽晶杆设置在所述籽晶杆套的内腔；所述籽晶杆的一端从下部与所述导向销连接；拉绳，所述拉绳设置在所述籽晶杆套的内腔；所述籽晶杆的一端从上部与所述导向销连接。
在所述籽晶杆套内设有导向槽，所述导向槽沿着所述籽晶杆套的轴向设置。
所述拉绳为钨绳。
本发明伸缩籽晶杆将晶体生长行程和晶体出炉行程分开，为此设计的籽晶杆套，可使籽晶杆可以在中间上下运动，部分运动精度不是很高，这种籽晶杆上下运动用在晶体出炉时；籽晶杆相对籽晶杆套停在一个适当的位置时，相对静止成为一体，籽晶杆和籽晶杆套一起做精度更高的上下运动，这段更高精度的运动可以应用于晶体生长阶段。
附图说明
图1为本发明伸缩籽晶杆结构示意图；
图2为本发明伸缩籽晶杆工作示意图。
本发明伸缩籽晶杆附图中附图标记说明：
1-籽晶杆套2-导向销3-导向槽
4-籽晶杆5-钨绳
具体实施方式
下面结合附图对本发明伸缩籽晶杆作进一步详细说明。
如图1、图2所示，本发明伸缩籽晶杆，导向销2穿过籽晶杆4上的销孔安装在一起，籽晶杆4安装在籽晶杆4套1里，籽晶杆4在籽晶套杆中上下滑动，由于导向销2和导向槽3的作用，保证了籽晶杆4在籽晶套杆中上下滑动也是规律的，钨绳5连接在籽晶杆4上，对籽晶杆4的运动起牵引作用。
假设籽晶杆套1的长度为L1；籽晶杆4的长度为L2；晶体生长行程为S1、晶体出炉行程为S2。
目前市场上的设备，高精度运动单元的行程S＝S1+S2，运动单元尺寸也相应放大，保证运动部分，设备的高度H1＝L1+L2+S1+S2，整体就很高。
按本发明伸缩籽晶杆的设计，高精度运动单元的行程S＝S1，运动单元尺寸相对小了，保证运动部分，设备的高度H1＝L1+L2+S1，整体就矮不少。
本发明伸缩籽晶杆将晶体生长行程和晶体出炉行程分开，为此设计的籽晶杆套，可使籽晶杆可以在中间上下运动，部分运动精度不是很高，这种籽晶杆上下运动用在晶体出炉时；籽晶杆相对籽晶杆套停在一个适当的位置时，相对静止成为一体，籽晶杆和籽晶杆套一起做精度更高的上下运动，这段更高精度的运动可以应用于晶体生长阶段。
以上已对本发明创造的较佳实施例进行了具体说明，但本发明创造并不限于实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本发明创造精神的前提下还可作出种种的等同的变型或替换，这些等同的变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。
Claims (3)
1.伸缩籽晶杆，其特征在于，包括：
籽晶杆套，所述籽晶杆套为中空设计；
导向销，所述导向销设置在所述籽晶杆套内；
籽晶杆，所述籽晶杆设置在所述籽晶杆套的内腔；所述籽晶杆的一端从下部与所述导向销连接；
拉绳，所述拉绳设置在所述籽晶杆套的内腔；所述籽晶杆的一端从上部与所述导向销连接。
2.根据权利要求1所述的伸缩籽晶杆，其特征在于，在所述籽晶杆套内设有导向槽，所述导向槽沿着所述籽晶杆套的轴向设置。
3.根据权利要求1所述的伸缩籽晶杆，其特征在于，所述拉绳为钨绳。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201410490282.8A CN105506732A (zh) | 2014-09-23 | 2014-09-23 | 伸缩籽晶杆 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201410490282.8A CN105506732A (zh) | 2014-09-23 | 2014-09-23 | 伸缩籽晶杆 |
Publications (1)
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| CN105506732A true CN105506732A (zh) | 2016-04-20 |
Family
ID=55715020
Family Applications (1)
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| CN201410490282.8A Pending CN105506732A (zh) | 2014-09-23 | 2014-09-23 | 伸缩籽晶杆 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN105506732A (zh) |
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- 2014-09-23 CN CN201410490282.8A patent/CN105506732A/zh active Pending
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| PB01 | Publication | ||
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