CN202359239U - 籽晶轴 - Google Patents

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吕立强
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Abstract

本实用新型籽晶轴，包括：中轴，所述中轴为两端开口中空设计；导水管，所述导水管设置在所述中轴内；堵头，所述堵头设置在所述中轴的一端；连接轴，所述连接轴设置在所述中轴的另外一端。所述籽晶轴还进一步包括一连接套，所述连接套与所述堵头连接。所述连接套的材质为纯铜。本实用新型籽晶轴根据使用环境及条件，连接套的位置更接近温场，同时与籽晶夹具连接，需要散热性能好，且材质不同，高温时的膨胀系数不同，便于拆装。因此选用工业纯铜，也有利于保证焊接质量。而连接部位全部采用氩弧焊，保证焊缝不得有影响密封的缺陷。通过上部炉体的运动机构，实现籽晶的升降及旋转运动控制。

Description

籽晶轴
技术领域
本实用新型涉及蓝宝石单晶生产领域，特别是一种籽晶轴。
背景技术
蓝宝石是一种简单配位型氧化物晶体。具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性，被广泛的应用于民用航天、半导体衬底、红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光的窗口材料等，同时晶体生长设备-单晶生长炉也随之得到了飞速的发展。
通常蓝宝石晶体生长炉的籽晶运动装置，包括炉体、温场、籽晶运动机构、籽晶夹具。通过籽晶轴连接籽晶夹具及籽晶运动机构，实现籽晶在晶体生长过程中的不同运动状态。
因籽晶轴属于长轴中空结构，内部有循环冷却水，距离温场距离近，外部温度高。根据晶体生长的工艺要求，对籽晶的旋转及升降运动都有严格的要求，保证结晶界面的稳定性，这就需要籽晶轴无论从材质及结构上都要有要求，防止高温变形及影响使用效果。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种能使籽晶获得平稳运动及良好性能的籽晶轴。
本实用新型籽晶轴，包括：中轴，所述中轴为两端开口中空设计；导水管，所述导水管设置在所述中轴内；堵头，所述堵头设置在所述中轴的一端；连接轴，所述连接轴设置在所述中轴的另外一端。
所述籽晶轴还进一步包括一连接套，所述连接套与所述堵头连接。所述连接套的材质为工业纯铜。
本实用新型籽晶轴根据使用环境及条件，连接套的位置更接近温场，同时与籽晶夹具连接，需要散热性能好，且材质不同，高温时的膨胀系数不同，便于拆装。因此选用工业纯铜，也有利于保证焊接质量。而连接部位全部采用氩弧焊，保证焊缝不得有影响密封的缺陷。通过上部炉体的运动机构，实现籽晶的升降及旋转运动控制。
附图说明
图1为本实用新型籽晶轴结构剖示图；
本实用新型籽晶轴附图中附图标记说明：
1-连接套  2-堵头  3-导水管
4-中轴    5-连接轴
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型籽晶轴作进一步详细说明。
如图1所示，本实用新型籽晶轴的设置导水管3在腔内，外部焊缝焊接时需先将导水管3置入中轴4、堵头2及连接套1内，然后进行焊接，连接部位全部采用氩弧焊，保证焊缝不得有影响密封的缺陷。为了保证焊后加工精度，需进行时效处理。然后对成品进行做水压试验，压力0.5-0.6MPa，5小时以上无渗漏现象，保证气密性及泄漏率。因籽晶轴属于长轴中空类结构，加工完成后应使用专用工装工位，防止其变形，影响使用效果。
本实用新型籽晶轴根据使用环境及条件，连接套的位置更接近温场，同时与籽晶夹具连接，需要散热性能好，且材质不同，高温时的膨胀系数不同，便于拆装。因此选用工业纯铜，也有利于保证焊接质量。而连接部位全部采用氩弧焊，保证焊缝不得有影响密封的缺陷。通过上部炉体的运动机构，实现籽晶的升降及旋转运动控制。
以上已对本实用新型创造的较佳实施例进行了具体说明，但本实用新型创造并不限于实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本发明创造精神的前提下还可作出种种的等同的变型或替换，这些等同的变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。

Claims (3)

1.籽晶轴，其特征在于，包括：
中轴，所述中轴为两端开口中空设计；
导水管，所述导水管设置在所述中轴内；
堵头，所述堵头设置在所述中轴的一端；
连接轴，所述连接轴设置在所述中轴的另外一端。
2.根据权利要求1所述的籽晶轴，其特征在于，所述籽晶轴还进一步包括一连接套，所述连接套与所述堵头连接。
3.根据权利要求2所述的籽晶轴，其特征在于，所述连接套的材质为纯铜。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN105506732A (zh) * 2014-09-23 2016-04-20 上海朗兆机电设备有限公司 伸缩籽晶杆
CN107142517A (zh) * 2017-04-28 2017-09-08 西安创联新能源设备有限公司 一种宝石炉籽晶轴的制造工艺

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105506732A (zh) * 2014-09-23 2016-04-20 上海朗兆机电设备有限公司 伸缩籽晶杆
CN107142517A (zh) * 2017-04-28 2017-09-08 西安创联新能源设备有限公司 一种宝石炉籽晶轴的制造工艺
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