CN107142517A - 一种宝石炉籽晶轴的制造工艺 - Google Patents
一种宝石炉籽晶轴的制造工艺 Download PDFInfo
- Publication number
- CN107142517A CN107142517A CN201710294584.1A CN201710294584A CN107142517A CN 107142517 A CN107142517 A CN 107142517A CN 201710294584 A CN201710294584 A CN 201710294584A CN 107142517 A CN107142517 A CN 107142517A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- seed shaft
- axis body
- shaft axis
- seed
- reaches
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 230000032683 aging Effects 0.000 claims abstract description 23
- 238000005219 brazing Methods 0.000 claims abstract description 21
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000010791 quenching Methods 0.000 claims abstract description 16
- 230000000171 quenching effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 238000005496 tempering Methods 0.000 claims abstract description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 7
- 238000005553 drilling Methods 0.000 claims abstract description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 33
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 25
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 20
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 15
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 7
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 230000035882 stress Effects 0.000 claims description 6
- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims description 5
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 5
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 5
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims description 5
- QZLJNVMRJXHARQ-UHFFFAOYSA-N [Zr].[Cr].[Cu] Chemical compound [Zr].[Cr].[Cu] QZLJNVMRJXHARQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims description 4
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical group [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 3
- XPPWAISRWKKERW-UHFFFAOYSA-N copper palladium Chemical compound [Cu].[Pd] XPPWAISRWKKERW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000013527 degreasing agent Substances 0.000 claims description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 3
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000010437 gem Substances 0.000 description 7
- 229910001751 gemstone Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
- C30B15/32—Seed holders, e.g. chucks
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
- C30B29/16—Oxides
- C30B29/20—Aluminium oxides
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本发明提供了一种宝石炉籽晶轴的制造工艺，包括如下步骤：制备籽晶轴轴体及籽晶轴轴头备用→校直→高温时效→粗车→钻深孔→半精车→高温或中温时效→精车→淬火、趁热校直、回火→粗磨→低温时效→真空钎焊→精磨→螺纹加工。本发明焊接方式为真空钎焊，能保证良好的真空气密性和机械强度，避免了采用普通氩弧焊，因两种不同材料焊接熔点不同，焊接时熔接质量不易保证，易产生内部缺陷，在以后的使用中产生漏水风险。
Description
技术领域
本发明涉及一种籽晶轴制造技术，尤其是一种宝石炉籽晶轴的制造工艺。
背景技术
蓝宝石是一种简单配位型氧化物晶体。具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性，被广泛的应用于民用航天、半导体衬底、红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光的窗口材料等，同时晶体生长设备，单晶生长炉也随之得到了飞速的发展。通常蓝宝石晶体生长炉的籽晶运动装置，包括炉体、温场、籽晶运动机构、籽晶夹具。通过籽晶轴连接籽晶夹具及籽晶运动机构，实现籽晶在晶体生长过程中的不同运动状态。因籽晶轴属于长轴中空结构，内部有循环冷却水，距离温场距离近，外部温度高。根据晶体生长的工艺要求，对籽晶的旋转及升降运动都有严格的要求，保证结晶界面的稳定性，这就需要籽晶轴无论从材质及结构上都要有要求，传统的籽晶轴采用氩弧焊，因异种金属焊接时熔接质量不易保证，易产生内部缺陷，在以后的使用中产生漏水风险，造成安全隐患，影响使用效果。
发明内容
有鉴于此，本发明的主要目的就在于提供一种宝石炉籽晶轴的制造工艺。
为了解决上述问题，本发明提供了一种宝石炉籽晶轴的制造工艺，包括如下步骤：
步骤1)制备籽晶轴轴体及籽晶轴轴头备用；
步骤2)将步骤1)的籽晶轴轴体采用淬火趁热校直，淬火加热时籽晶轴体呈自由悬吊状态，籽晶轴体在淬火介质中冷却到180-200℃时，从冷却介质中取出籽晶轴体，趁热校直；
步骤3)高温时效,籽晶轴轴体重新加热到550-650℃，保温2H,随炉冷却，以消除残余应力。
步骤4)在高温时效后进行粗车处理，使得籽晶轴轴体表面粗糙度达Ra6.3，直线度达到1mm/M；
步骤5)钻深孔，在籽晶轴轴体中心位置钻φ15mm深孔贯通；
步骤6)步骤5)后进行半精车处理，使得籽晶轴轴体表面粗糙度达Ra3.2，直线度达到0.5mm/M；
步骤7)高温或中温时效，籽晶轴轴体重新加热到250-300℃，保温12H,随炉冷却，以消除加工残余应力；
步骤8)在步骤7)后进行精车处理，使得籽晶轴轴体表面粗糙度达Ra3.2，直线度达到0.1mm/M；
步骤9)淬火、趁热校直、回火；回火在专用深井油罐中进行，籽晶杆自由悬吊在油罐中，油温为160-180℃，保温4～8H，然后空冷或随炉冷却；
步骤10)粗磨；使得籽晶轴轴体表面粗糙度达Ra3.2，直线度达到0.05mm/M；
步骤11)低温时效；籽晶轴轴体粗磨之后悬挂于120～160℃的油罐中，进行一次时长为24小时的时效，时效之后随油炉冷却；
步骤12)真空钎焊，将步骤11)后的籽晶轴轴体与制备的籽晶轴头使用专用工装固定后放入真空钎焊炉，进行真空钎焊；
步骤13)精磨；使得籽晶轴轴体表面粗糙度达Ra0.8，直线度达到0.02mm/M；
步骤14)螺纹加工成型。
优选的，所述籽晶轴轴体材质为4Cr13。
优选的，所述籽晶轴轴体的轴体中空，内部通冷却水。
优选的，所述籽晶轴轴头材质为铬锆铜CuCrZr，其组成组分质量百分比为：Cr：0.1～0.8，Zr：0.3～0.6，余量为Cu。
优选的，步骤12)真空钎焊之前，将籽晶轴轴体与籽晶轴头放入加有除油剂的清洗液中,加热进行超声清洗1～2小时,再用丙酮浸泡,取出烘干待用；籽晶轴轴体与籽晶轴焊接头之间的组装间隙保证在0.02～0.1mm之间，焊接时，焊接钎料选用银铜钯钎料。
本发明用制备的籽晶轴根据使用环境及条件，籽晶轴焊接头的位置更接近高温区，同时与籽晶夹头连接，需要导热性能好并具有良好的高温机械性能，故选用铬锆铜CuCrZr。焊接方式为真空钎焊，能保证良好的真空气密性和机械强度，避免了采用普通氩弧焊，因两种不同材料焊接熔点不同，焊接时熔接质量很难保证，易产生内部缺陷，在以后的使用中产生漏水风险，造成安全隐患。
附图说明
为了易于说明，本发明由下述的具体实施及附图作以详细描述。
图1为本发明种籽晶轴的结构示意图；
其部件的名称以及标注如下
1.籽晶轴轴体；
2.籽晶轴焊接头。
具体实施方式
下面将结合附图以及具体实施例来详细说明本发明，在此本发明的示意性实施例以及说明用来解释本发明，但并不作为对本发明的限定。
实施例1
本发明提供了一种宝石炉籽晶轴的制造工艺，包括如下步骤：
步骤1)制备籽晶轴轴体及籽晶轴轴头备用；
步骤2)将步骤1)的籽晶轴轴体采用淬火趁热校直，淬火加热时籽晶轴体呈自由悬吊状态，籽晶轴体在淬火介质中冷却到180时，从冷却介质中取出籽晶轴体，趁热校直；
步骤3)高温时效,籽晶轴轴体重新加热到550℃，保温2H,随炉冷却，以消除残余应力。
步骤4)在高温时效后进行粗车处理，使得籽晶轴轴体表面粗糙度达Ra6.3，直线度达到1mm/M；
步骤5)钻深孔，在籽晶轴轴体中心位置钻φ15mm深孔贯通；
步骤6)步骤5)后进行半精车处理，使得籽晶轴轴体表面粗糙度达Ra3.2，直线度达到0.5mm/M；
步骤7)高温或中温时效，籽晶轴轴体重新加热到250℃，保温12H,随炉冷却，以消除加工残余应力；
步骤8)在步骤7)后进行精车处理，使得籽晶轴轴体表面粗糙度达Ra3.2，直线度达到0.1mm/M；
步骤9)淬火、趁热校直、回火；回火在专用深井油罐中进行，籽晶杆自由悬吊在油罐中，油温为160℃，保温4H，然后空冷或随炉冷却；
步骤10)粗磨；使得籽晶轴轴体表面粗糙度达Ra3.2，直线度达到0.05mm/M；
步骤11)低温时效；籽晶轴轴体粗磨之后悬挂于120℃的油罐中，进行一次时长为24小时的时效，时效之后随油炉冷却；
步骤12)真空钎焊，将步骤11)后的籽晶轴轴体与制备的籽晶轴头使用专用工装固定后放入真空钎焊炉，进行真空钎焊；
步骤13)精磨；使得籽晶轴轴体表面粗糙度达Ra0.8，直线度达到0.02mm/M；
步骤14)螺纹加工成型。
实施例2
本发明提供了一种宝石炉籽晶轴的制造工艺，包括如下步骤：
步骤1)制备籽晶轴轴体及籽晶轴轴头备用；
步骤2)将步骤1)的籽晶轴轴体采用淬火趁热校直，淬火加热时籽晶轴体呈自由悬吊状态，籽晶轴体在淬火介质中冷却到200℃时，从冷却介质中取出籽晶轴体，趁热校直；
步骤3)高温时效,籽晶轴轴体重新加热到650℃，保温2H,随炉冷却，以消除残余应力。
步骤4)在高温时效后进行粗车处理，使得籽晶轴轴体表面粗糙度达Ra6.3，直线度达到1mm/M；
步骤5)钻深孔，在籽晶轴轴体中心位置钻φ15mm深孔贯通；
步骤6)步骤5)后进行半精车处理，使得籽晶轴轴体表面粗糙度达Ra3.2，直线度达到0.5mm/M；
步骤7)高温或中温时效，籽晶轴轴体重新加热到300℃，保温12H,随炉冷却，以消除加工残余应力；
步骤8)在步骤7)后进行精车处理，使得籽晶轴轴体表面粗糙度达Ra3.2，直线度达到0.1mm/M；
步骤9)淬火、趁热校直、回火；回火在专用深井油罐中进行，籽晶杆自由悬吊在油罐中，油温为180℃，保温8H，然后空冷或随炉冷却；
步骤10)粗磨；使得籽晶轴轴体表面粗糙度达Ra3.2，直线度达到0.05mm/M；
步骤11)低温时效；籽晶轴轴体粗磨之后悬挂于160℃的油罐中，进行一次时长为24小时的时效，时效之后随油炉冷却；
步骤12)真空钎焊，将步骤11)后的籽晶轴轴体与制备的籽晶轴头使用专用工装固定后放入真空钎焊炉，进行真空钎焊；
步骤13)精磨；使得籽晶轴轴体表面粗糙度达Ra0.8，直线度达到0.02mm/M；
步骤14)螺纹加工成型。
实施例3
本发明提供了一种宝石炉籽晶轴的制造工艺，包括如下步骤：
步骤1)制备籽晶轴轴体及籽晶轴轴头备用；
步骤2)将步骤1)的籽晶轴轴体采用淬火趁热校直，淬火加热时籽晶轴体呈自由悬吊状态，籽晶轴体在淬火介质中冷却到190℃时，从冷却介质中取出籽晶轴体，趁热校直；
步骤3)高温时效,籽晶轴轴体重新加热到600℃，保温2H,随炉冷却，以消除残余应力。
步骤4)在高温时效后进行粗车处理，使得籽晶轴轴体表面粗糙度达Ra6.3，直线度达到1mm/M；
步骤5)钻深孔，在籽晶轴轴体中心位置钻φ15mm深孔贯通；
步骤6)步骤5)后进行半精车处理，使得籽晶轴轴体表面粗糙度达Ra3.2，直线度达到0.5mm/M；
步骤7)高温或中温时效，籽晶轴轴体重新加热到280℃，保温12H,随炉冷却，以消除加工残余应力；
步骤8)在步骤7)后进行精车处理，使得籽晶轴轴体表面粗糙度达Ra3.2，直线度达到0.1mm/M；
步骤9)淬火、趁热校直、回火；回火在专用深井油罐中进行，籽晶杆自由悬吊在油罐中，油温为170℃，保温6H，然后空冷或随炉冷却；
步骤10)粗磨；使得籽晶轴轴体表面粗糙度达Ra3.2，直线度达到0.05mm/M；
步骤11)低温时效；籽晶轴轴体粗磨之后悬挂于140℃的油罐中，进行一次时长为24小时的时效，时效之后随油炉冷却；
步骤12)真空钎焊，将步骤11)后的籽晶轴轴体与制备的籽晶轴头使用专用工装固定后放入真空钎焊炉，进行真空钎焊；
步骤13)精磨；使得籽晶轴轴体表面粗糙度达Ra0.8，直线度达到0.02mm/M；
步骤14)螺纹加工成型。
参照实施例1至实施例3，本发明在改变温度条件下，其得到的籽晶轴轴体均符合本发明的设计要求和使用要求，因此，当在本发明限定的温度条件下，得到的籽晶轴轴体均为优选的结果。
为了达到更好的效果，在本发明中，所述籽晶轴轴体材质为4Cr13。所述籽晶轴轴体的轴体中空，内部通冷却水。所述籽晶轴轴头材质为铬锆铜CuCrZr，其组成组分质量百分比为：Cr：0.1～0.8，Zr：0.3～0.6，余量为Cu。
步骤12)真空钎焊之前，将籽晶轴轴体与籽晶轴头放入加有除油剂的清洗液中,加热进行超声清洗1～2小时,再用丙酮浸泡,取出烘干待用；籽晶轴轴体与籽晶轴焊接头之间的组装间隙保证在0.02～0.1mm之间，焊接时，焊接钎料选用银铜钯钎料。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点，本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内，本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (5)
1.一种宝石炉籽晶轴的制造工艺，其特征在于，包括如下步骤：
步骤1)制备籽晶轴轴体及籽晶轴轴头备用；
步骤2)将步骤1)的籽晶轴轴体采用淬火趁热校直，淬火加热时籽晶轴体呈自由悬吊状态，籽晶轴体在淬火介质中冷却到180-200℃时，从冷却介质中取出籽晶轴体，趁热校直；
步骤3)高温时效,籽晶轴轴体重新加热到550-650℃，保温2H,随炉冷却，以消除残余应力；
步骤4)在高温时效后进行粗车处理，使得籽晶轴轴体表面粗糙度达Ra6.3，直线度达到1mm/M；
步骤5)钻深孔，在籽晶轴轴体中心位置钻φ15mm深孔贯通；
步骤6)步骤5)后进行半精车处理，使得籽晶轴轴体表面粗糙度达Ra3.2，直线度达到0.5mm/M；
步骤7)高温或中温时效，籽晶轴轴体重新加热到250-300℃，保温12H,随炉冷却，以消除加工残余应力；
步骤8)在步骤7)后进行精车处理，使得籽晶轴轴体表面粗糙度达Ra3.2，直线度达到0.1mm/M；
步骤9)淬火、趁热校直、回火；回火在专用深井油罐中进行，籽晶杆自由悬吊在油罐中，油温为160-180℃，保温4～8H，然后空冷或随炉冷却；
步骤10)粗磨；使得籽晶轴轴体表面粗糙度达Ra3.2，直线度达到0.05mm/M；
步骤11)低温时效；籽晶轴轴体粗磨之后悬挂于120～160℃的油罐中，进行一次时长为24小时的时效，时效之后随油炉冷却；
步骤12)真空钎焊，将步骤11)后的籽晶轴轴体与制备的籽晶轴头使用专用工装固定后放入真空钎焊炉，进行真空钎焊；
步骤13)精磨；使得籽晶轴轴体表面粗糙度达Ra0.8，直线度达到0.02mm/M；
步骤14)螺纹加工成型。
2.根据权利要求1所述的宝石炉籽晶轴的制造工艺，其特征在于，所述籽晶轴轴体材质为4Cr13。
3.根据权利要求2所述的宝石炉籽晶轴的制造工艺，其特征在于，所述籽晶轴轴体的轴体中空，内部通冷却水。
4.根据权利要求1所述的宝石炉籽晶轴的制造工艺，其特征在于，所述籽晶轴轴头材质为铬锆铜CuCrZr，其组成组分质量百分比为：Cr：0.1～0.8，Zr：0.3～0.6，余量为Cu。
5.根据权利要求1所述的宝石炉籽晶轴的制造工艺，其特征在于，步骤12)真空钎焊之前，将籽晶轴轴体与籽晶轴头放入加有除油剂的清洗液中,加热进行超声清洗1～2小时,再用丙酮浸泡,取出烘干待用；籽晶轴轴体与籽晶轴焊接头之间的组装间隙保证在0.02～0.1mm之间，焊接时，焊接钎料选用银铜钯钎料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201710294584.1A CN107142517B (zh) | 2017-04-28 | 2017-04-28 | 一种宝石炉籽晶轴的制造工艺 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201710294584.1A CN107142517B (zh) | 2017-04-28 | 2017-04-28 | 一种宝石炉籽晶轴的制造工艺 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN107142517A true CN107142517A (zh) | 2017-09-08 |
| CN107142517B CN107142517B (zh) | 2020-04-03 |
Family
ID=59775147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201710294584.1A Expired - Fee Related CN107142517B (zh) | 2017-04-28 | 2017-04-28 | 一种宝石炉籽晶轴的制造工艺 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN107142517B (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112705590A (zh) * | 2020-12-11 | 2021-04-27 | 山东新升光电科技有限责任公司 | 一种蓝宝石单晶炉提拉杆矫直装置及方法 |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR1443650A (fr) * | 1964-08-04 | 1966-06-24 | Nippon Electric Co | Dispositif de croissance de cristaux |
| CN1362544A (zh) * | 2001-12-26 | 2002-08-07 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 籽晶杆夹头的成型方法 |
| WO2009038748A2 (en) * | 2007-09-20 | 2009-03-26 | Kamterter Ii, L.L.C. | Seed testing method and apparatus |
| CN201762481U (zh) * | 2010-08-30 | 2011-03-16 | 宁夏日晶电子科技有限公司 | 单晶炉籽晶夹头机构 |
| CN202359239U (zh) * | 2011-10-25 | 2012-08-01 | 上海朗兆机电设备有限公司 | 籽晶轴 |
| CN202830222U (zh) * | 2012-05-19 | 2013-03-27 | 鸿福晶体科技(安徽)有限公司 | 用于晶体生长的籽晶杆 |
| CN104264225A (zh) * | 2014-09-05 | 2015-01-07 | 中国科学院理化技术研究所 | 一种用于大尺寸lbo晶体生长的籽晶杆及生长方法 |
| CN104357898A (zh) * | 2014-10-19 | 2015-02-18 | 镇江大成新能源有限公司 | 石墨籽晶夹头 |
| CN205556854U (zh) * | 2015-12-28 | 2016-09-07 | 福建鑫晶精密刚玉科技有限公司 | 一种晶体生长籽晶杆夹持装置 |
-
2017
- 2017-04-28 CN CN201710294584.1A patent/CN107142517B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR1443650A (fr) * | 1964-08-04 | 1966-06-24 | Nippon Electric Co | Dispositif de croissance de cristaux |
| CN1362544A (zh) * | 2001-12-26 | 2002-08-07 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 籽晶杆夹头的成型方法 |
| WO2009038748A2 (en) * | 2007-09-20 | 2009-03-26 | Kamterter Ii, L.L.C. | Seed testing method and apparatus |
| CN201762481U (zh) * | 2010-08-30 | 2011-03-16 | 宁夏日晶电子科技有限公司 | 单晶炉籽晶夹头机构 |
| CN202359239U (zh) * | 2011-10-25 | 2012-08-01 | 上海朗兆机电设备有限公司 | 籽晶轴 |
| CN202830222U (zh) * | 2012-05-19 | 2013-03-27 | 鸿福晶体科技(安徽)有限公司 | 用于晶体生长的籽晶杆 |
| CN104264225A (zh) * | 2014-09-05 | 2015-01-07 | 中国科学院理化技术研究所 | 一种用于大尺寸lbo晶体生长的籽晶杆及生长方法 |
| CN104357898A (zh) * | 2014-10-19 | 2015-02-18 | 镇江大成新能源有限公司 | 石墨籽晶夹头 |
| CN205556854U (zh) * | 2015-12-28 | 2016-09-07 | 福建鑫晶精密刚玉科技有限公司 | 一种晶体生长籽晶杆夹持装置 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 杨景星: "单晶炉籽晶杆的热处理", 《热处理》 * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112705590A (zh) * | 2020-12-11 | 2021-04-27 | 山东新升光电科技有限责任公司 | 一种蓝宝石单晶炉提拉杆矫直装置及方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN107142517B (zh) | 2020-04-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN111018352B (zh) | 钛及钛合金-可伐封接用玻璃材料及其制备方法和应用 | |
| CN107142517A (zh) | 一种宝石炉籽晶轴的制造工艺 | |
| CN105731800A (zh) | 一种防粘陶瓷锅的制备方法 | |
| CN103911119A (zh) | 石英砂复合三元硝酸熔盐传热蓄热介质及其制备方法 | |
| WO2019205758A1 (zh) | 太阳能光热发电传热蓄热介质及其制备方法 | |
| CN104250852B (zh) | 蓝宝石晶体生长装置及生长方法 | |
| CN202030857U (zh) | 直拉单晶炉用组合坩埚 | |
| CN106222478B (zh) | 一种三元合金封接材料及其制备方法 | |
| WO2019205759A1 (zh) | 一种太阳能光热发电传热蓄热介质及其制备方法 | |
| CN102922609A (zh) | 一种超声振动旋转掏料装置 | |
| CN103953638A (zh) | 一种熔融石英陶瓷辊的连接端轴 | |
| CN208255513U (zh) | 具有冷却结构的激光场镜 | |
| CN103397383B (zh) | 一种节能蓝宝石晶体炉及其使用方法 | |
| CN103819087A (zh) | 一种硼硅酸盐玻璃及其制备方法 | |
| CN202359239U (zh) | 籽晶轴 | |
| CN104926144A (zh) | 一种耐高温玻璃材料及其制备方法 | |
| CN104582024B (zh) | 一种分段冷却用加热管及其使用方法 | |
| CN103408224A (zh) | 一种低温电熔明料玻璃配方、工艺方法及制得的明料玻璃 | |
| CN204917995U (zh) | 一种剔除高纯石英砂中气液包裹体的装置 | |
| Pogrebenkov et al. | Low-Melting Glass-Ceramic Composites with Low Linear Thermal Expansion Coefficient for Radio-Electronics | |
| CN104190937A (zh) | 一种超大型细晶钼电极的制备方法 | |
| CN107799247B (zh) | 一种负温度系数热敏电阻及其制备方法 | |
| CN201288122Y (zh) | 玻璃窑炉用复合型鼓泡管 | |
| CN113061979B (zh) | 一种具有热障涂层的多节式炭炭复合材料坩埚及其制备方法和应用 | |
| CN105112843A (zh) | 一种耐腐蚀的热障涂层及其制作方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20200403 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |