CN106048714B - 一种籽晶连接结构 - Google Patents

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Abstract

一种籽晶连接结构，包括：上杆套，所述上杆套为中空设置，在所述上杆套的侧壁上设有调节孔；下滑杆，所述下滑杆设置在所述上杆套内，在所述下滑杆的侧部设有定位销，所述定位销穿设于所述调节孔；限位台，所述限位台设置在所述下滑杆的端部。所述调节孔为腰形孔。在所述上杆套的端部设有上连接件。在所述限位台上设有下连接件。本发明籽晶连接结构采用滑套的连接方式，在引晶阶段时的籽晶下压模具时滑套会往上退回，使籽晶对模具不会产生较大的压力，从而保护模具不被籽晶压出凹痕。达到保护模具和延长模具使用寿命的作用。

Description

一种籽晶连接结构
技术领域
本发明涉及物理领域，尤其涉及半导体技术，特别涉及蓝宝石晶体生长，具体的是一种籽晶连接结构。
背景技术
目前市场蓝宝石生长炉主要分为:蓝宝石泡生炉、蓝宝石导膜炉、蓝宝石热交换炉、火焰法蓝宝石炉。其中针对现有市场蓝宝石泡生炉和蓝宝石导膜炉各自占有其特定市场的优势。而随着市场对蓝宝石窗口片的需求不断变化，蓝宝石导膜炉生长大尺寸窗口片的优势渐渐被市场所重视，片数从原来的1片、3片、5片到现在的16片、23片、30片，宽度从原来的40毫米发展到现在80毫米甚至于110毫米。
目前市场上对蓝宝石窗口片的应用相当广泛，有低端应用也有高端应用，蓝宝石生长过程中籽晶对模具的损伤是一直存在的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种保护模具、延长模具使用的寿命的籽晶连接结构。
为解决上述技术问题，本发明籽晶连接结构，包括：上杆套，所述上杆套为中空设置，在所述上杆套的侧壁上设有调节孔；下滑杆，所述下滑杆设置在所述上杆套内，在所述下滑杆的侧部设有定位销，所述定位销穿设于所述调节孔；限位台，所述限位台设置在所述下滑杆的端部。
所述调节孔为腰形孔。
在所述上杆套的端部设有上连接件。
在所述限位台上设有下连接件。
本发明籽晶连接结构采用滑套的连接方式，在引晶阶段时的籽晶下压模具时滑套会往上退回，使籽晶对模具不会产生较大的压力，从而保护模具不被籽晶压出凹痕。达到保护模具和延长模具使用寿命的作用。
附图说明
图1为本发明籽晶连接结构的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明籽晶连接结构作进一步详细说明。
如图1所示，本发明籽晶连接结构使用滑套连接，可以根据使用时长短需求增加或减少长度。具体的，包括：中空的上杆套1，在上杆套1的端部设有上连接件6。下滑杆3设置在上杆套1内，在下滑杆3的侧部设有定位销4，定位销4从上杆套1侧壁上的腰形调节孔2内伸出，在调节孔2移动以带动下滑杆3移动，设置在下滑杆3端部的限位台5以限制下滑杆3的运动幅度，在限位台5上设有下连接件7。
以上已对本发明创造的较佳实施例进行了具体说明，但本发明创造并不限于实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本发明创造精神的前提下还可作出种种的等同的变型或替换，这些等同的变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。

Claims (3)

1.一种籽晶连接结构，其特征在于，包括：上杆套，所述上杆套为中空设置，在所述上杆套的侧壁上设有调节孔，所述调节孔为腰形孔；下滑杆，所述下滑杆设置在所述上杆套内，在所述下滑杆的侧部设有定位销，所述定位销穿设于所述调节孔；限位台，所述限位台设置在所述下滑杆的端部。
2.根据权利要求1所述的籽晶连接结构，其特征在于，在所述上杆套的端部设有上连接件。
3.根据权利要求1所述的籽晶连接结构，其特征在于，在所述限位台上设有下连接件。
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