CN204151454U - 蓝宝石单晶炉伸缩籽晶杆 - Google Patents
蓝宝石单晶炉伸缩籽晶杆 Download PDFInfo
- Publication number
- CN204151454U CN204151454U CN201420549083.5U CN201420549083U CN204151454U CN 204151454 U CN204151454 U CN 204151454U CN 201420549083 U CN201420549083 U CN 201420549083U CN 204151454 U CN204151454 U CN 204151454U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- seed rod
- rod cover
- crystal
- cover
- sapphire single
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本实用新型蓝宝石单晶炉伸缩籽晶杆，包括：籽晶杆套，籽晶杆套为中空设计；导向销，导向销设置在籽晶杆套内；籽晶杆，籽晶杆设置在籽晶杆套的内腔；籽晶杆的一端从下部与导向销连接；拉绳，拉绳设置在籽晶杆套的内腔；籽晶杆的一端从上部与导向销连接。在籽晶杆套内设有导向槽，导向槽沿着籽晶杆套的轴向设置。拉绳为钨绳。本实用新型将晶体生长行程和晶体出炉行程分开，为此设计的籽晶杆套，可使籽晶杆可以在中间上下运动，部分运动精度不是很高，这种籽晶杆上下运动用在晶体出炉时；籽晶杆相对籽晶杆套停在一个适当的位置时，相对静止成为一体，籽晶杆和籽晶杆套一起做精度更高的上下运动，这段更高精度的运动可以应用于晶体生长阶段。
Description
技术领域
本发明涉及蓝宝石单晶生产领域，特别是一种适用于蓝宝石单晶炉的蓝宝石单晶炉伸缩籽晶杆。
背景技术
EFG工艺法蓝宝石单晶炉中，行程有两部分组成，晶体生长行程和晶体出炉行程，两者相加，行程需要很长，所以籽晶杆一般都很长，所以EFG工艺法蓝宝石单晶炉都相应的很高。分析发现实际上晶体生长的行程段，精度是要求比较高，而晶体出炉行程精度要求一般，目前都是按精度高的晶体生长行程来设计，这样需要很大尺寸的直线运动单元来保证精度，EFG工艺法蓝宝石单晶炉也很高，高度上需要更大厂房空间。
发明内容
本发明提供了一种降低生产成本、方便操作的蓝宝石单晶炉伸缩籽晶杆。
为解决上述技术问题，本发明蓝宝石单晶炉伸缩籽晶杆，包括：籽晶杆套，所述籽晶杆套为中空设计；导向销，所述导向销设置在所述籽晶杆套内；籽晶杆，所述籽晶杆设置在所述籽晶杆套的内腔；所述籽晶杆的一端从下部与所述导向销连接；拉绳，所述拉绳设置在所述籽晶杆套的内腔；所述籽晶杆的一端从上部与所述导向销连接。
在所述籽晶杆套内设有导向槽，所述导向槽沿着所述籽晶杆套的轴向设置。
所述拉绳为钨绳。
本发明蓝宝石单晶炉伸缩籽晶杆将晶体生长行程和晶体出炉行程分开，为此设计的籽晶杆套，可使籽晶杆可以在中间上下运动，部分运动精度不是很高，这种籽晶杆上下运动用在晶体出炉时；籽晶杆相对籽晶杆套停在一个适当的位置时，相对静止成为一体，籽晶杆和籽晶杆套一起做精度更高的上下运动，这段更高精度的运动可以应用于晶体生长阶段。
附图说明
图1为本发明蓝宝石单晶炉伸缩籽晶杆结构示意图；
图2为本发明蓝宝石单晶炉伸缩籽晶杆工作示意图。
本发明蓝宝石单晶炉伸缩籽晶杆附图中附图标记说明：
1-籽晶杆套 2-导向销 3-导向槽
4-籽晶杆 5-钨绳
具体实施方式
下面结合附图对本发明蓝宝石单晶炉伸缩籽晶杆作进一步详细说明。
如图1、图2所示，本发明蓝宝石单晶炉伸缩籽晶杆，导向销2穿过籽晶杆4上的销孔安装在一起，籽晶杆4安装在籽晶杆4套1里，籽晶杆4在籽晶套杆中上下滑动，由于导向销2和导向槽3的作用，保证了籽晶杆4在籽晶套杆中上下滑动也是规律的，钨绳5连接在籽晶杆4上，对籽晶杆4的运动起牵引作用。
假设籽晶杆套1的长度为L1；籽晶杆4的长度为L2；晶体生长行程为S1、晶体出炉行程为S2。
目前市场上的设备，高精度运动单元的行程S＝S1+S2，运动单元尺寸也相应放大，保证运动部分，设备的高度H1＝L1+L2+S1+S2，整体就很高。
按本发明蓝宝石单晶炉伸缩籽晶杆的设计，高精度运动单元的行程S＝S1，运动单元尺寸相对小了，保证运动部分，设备的高度H1＝L1+L2+S1，整体就矮不少。
本发明蓝宝石单晶炉伸缩籽晶杆将晶体生长行程和晶体出炉行程分开，为此设计的籽晶杆套，可使籽晶杆可以在中间上下运动，部分运动精度不是很高，这种籽晶杆上下运动用在晶体出炉时；籽晶杆相对籽晶杆套停在一个适当的位置时，相对静止成为一体，籽晶杆和籽晶杆套一起做精度更高的上下运动，这段更高精度的运动可以应用于晶体生长阶段。
以上已对本发明创造的较佳实施例进行了具体说明，但本发明创造并不限于实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本发明创造精神的前提下还可作出种种的等同的变型或替换，这些等同的变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。
Claims (3)
1.蓝宝石单晶炉伸缩籽晶杆，其特征在于，包括：
籽晶杆套，所述籽晶杆套为中空设计；
导向销，所述导向销设置在所述籽晶杆套内；
籽晶杆，所述籽晶杆设置在所述籽晶杆套的内腔；所述籽晶杆的一端从下部与所述导向销连接；
拉绳，所述拉绳设置在所述籽晶杆套的内腔；所述籽晶杆的一端从上部与所述导向销连接。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石单晶炉伸缩籽晶杆，其特征在于，在所述籽晶杆套内设有导向槽，所述导向槽沿着所述籽晶杆套的轴向设置。
3.根据权利要求1所述的蓝宝石单晶炉伸缩籽晶杆，其特征在于，所述拉绳为钨绳。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420549083.5U CN204151454U (zh) | 2014-09-23 | 2014-09-23 | 蓝宝石单晶炉伸缩籽晶杆 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420549083.5U CN204151454U (zh) | 2014-09-23 | 2014-09-23 | 蓝宝石单晶炉伸缩籽晶杆 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN204151454U true CN204151454U (zh) | 2015-02-11 |
Family
ID=52509587
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201420549083.5U Expired - Fee Related CN204151454U (zh) | 2014-09-23 | 2014-09-23 | 蓝宝石单晶炉伸缩籽晶杆 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN204151454U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105506732A (zh) * | 2014-09-23 | 2016-04-20 | 上海朗兆机电设备有限公司 | 伸缩籽晶杆 |
| CN114574954A (zh) * | 2022-01-26 | 2022-06-03 | 江苏集芯半导体硅材料研究院有限公司 | 晶体生长装置 |
-
2014
- 2014-09-23 CN CN201420549083.5U patent/CN204151454U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105506732A (zh) * | 2014-09-23 | 2016-04-20 | 上海朗兆机电设备有限公司 | 伸缩籽晶杆 |
| CN114574954A (zh) * | 2022-01-26 | 2022-06-03 | 江苏集芯半导体硅材料研究院有限公司 | 晶体生长装置 |
| CN114574954B (zh) * | 2022-01-26 | 2023-02-14 | 江苏集芯半导体硅材料研究院有限公司 | 晶体生长装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| MY176299A (en) | Mobile x-ray device with telescopic column | |
| WO2012143145A3 (de) | Traganordnung für solarmodule | |
| CN204151454U (zh) | 蓝宝石单晶炉伸缩籽晶杆 | |
| CN104373539A (zh) | 可调节滑块行程的曲柄摇杆装置 | |
| CN103964201A (zh) | 一种吸吊式物品搬运装置 | |
| CN204433647U (zh) | 伸缩托板接料结构 | |
| CN105506732A (zh) | 伸缩籽晶杆 | |
| CN204079376U (zh) | 升降平台 | |
| CN103444596A (zh) | 一种海上游动龙门吊装置 | |
| LT2016052A (lt) | Pašarų tiekimo aparatas su varikliu valdomu pakėlimu | |
| CN204353723U (zh) | 一种管头装配机的落料调节机构 | |
| CN205414841U (zh) | 用于装阀球的装置 | |
| CN104149086B (zh) | 一种带三坐标微调的升降吸盘机械手的带微调座的升降臂 | |
| CN204048299U (zh) | 一种新型烤箱可调节灯管架 | |
| CN204146718U (zh) | 一种可伸缩的蚊帐支撑立杆 | |
| CN204354068U (zh) | 一种拉拔装置 | |
| CN204338642U (zh) | 简易折弯机 | |
| CN103433795A (zh) | 用于数控机床的机械手 | |
| CN104192759A (zh) | 简易气缸式升降架 | |
| CN104949501A (zh) | 一种料斗干燥机滑轨矫正器 | |
| CN204913744U (zh) | 一种相框弹片推送结构 | |
| CN203723047U (zh) | 移动式备秧台 | |
| CN206567831U (zh) | 一种用于生产轴承外圈的固定夹具 | |
| MX2021002218A (es) | Dispositivo de orientacion para objetos alargados. | |
| CN104555281A (zh) | 一种伸缩托板接料结构 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| PP01 | Preservation of patent right |
Effective date of registration: 20191106 Granted publication date: 20150211 |
|
| PP01 | Preservation of patent right | ||
| PD01 | Discharge of preservation of patent |
Date of cancellation: 20221106 Granted publication date: 20150211 |
|
| PD01 | Discharge of preservation of patent | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20150211 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |