CN2832837Y - 转动拉晶轴的水内冷机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了转动拉晶轴的水内冷机构，它包括盖套1、套管3、水嘴5、套轴6、拉晶轴7、水管4，拉晶轴一端为圆锥体或短圆柱体，和套轴6的内锥体或短圆柱体支口相匹配，拉晶轴端头开密封槽可安装密封圈，拉晶轴的另一端设置有内孔2，内孔2插入水管，拉晶轴端头外部安装籽晶夹头及籽晶，套管3和水管4用螺纹连接成一体，且将密封垫压紧，并用螺钉连接在套轴6上，水管4另一端则插入拉晶轴7内孔，随着拉晶轴的转动水管4一体转动。本实用新型具有以下优点：分段加工、结构简单，工艺操作方便，装配精度高，经使用该机构具有高精度、高稳定性、高可靠性。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种水内冷机构，特别是一种转动拉晶轴的水内冷机构。
背景技术
以往，转动拉晶轴常用实心材料制成，如陶瓷刚玉材料、不锈钢材料等。不但加工难度大、成品率低、易损坏，且由于转动拉晶轴伸入炉体的一端装有籽晶，拉晶时一边转动一边升降，籽晶接触熔体温度高达1420℃到2000℃，常使实心材料轴弯曲，或使真空密封破坏，影响晶体的生长。
发明内容
本实用新型的目的即在于克服现有技术的缺点，提供一种采用双层结构循环水内冷转动拉晶轴的水内冷机构，结构简单，工艺操作方便，装配精度高。
本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：转动拉晶轴的水内冷机构，它包括盖套、套管、水嘴、套轴、拉晶轴、水管，拉晶轴一端为圆锥体或短圆柱体，和套轴的内锥体或短圆柱体支口相匹配，拉晶轴端头开密封槽可安装密封圈，拉晶轴的另一端设置有内孔，内孔插入水管，拉晶轴端头外部安装籽晶夹头及籽晶，套管和水管用螺纹连接成一体，且将密封垫压紧，并用螺钉连接在套轴上，水管另一端则插入拉晶轴内孔，随着拉晶轴的转动水管一体转动。
通过上面的叙述可以看出，本实用新型具有以下优点：分段加工、结构简单，工艺操作方便，装配精度高，经使用该机构具有高精度、高稳定性、高可靠性。本实用新型适用于不同工艺的晶体生长炉、硅单晶炉、区熔单晶炉等设备上的转动拉晶轴，以采用熔体法或区熔法生产人工晶体，如YAG、YAP、YLF、BNN、LN、LT、Si、GaAs等激光晶体、光学晶体、半导体晶体、化合物晶体等。
附图说明
图1为本实用新型结构图.
图中1盖套，2内孔，3套管，4水管，5水嘴，6套轴，7拉晶轴。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的描述：如图1所示，转动拉晶轴的水内冷机构，它包括盖套1、套管3、水嘴5、套轴6、拉晶轴7、水管4，拉晶轴一端为圆锥体或短圆柱体，和套轴6的内锥体或短圆柱体支口相匹配，拉晶轴端头开密封槽可安装密封圈，拉晶轴的另一端设置有内孔2，内孔2插入水管，拉晶轴端头外部安装籽晶夹头及籽晶，套管3和水管4用螺纹连接成一体，且将密封垫压紧，并用螺钉连接在套轴6上，水管4另一端则插入拉晶轴7内孔2，随着拉晶轴的转动水管4一体转动。
套管3内部一端带有精确内锥度，另一端为内圆柱形。
拉晶轴7表面粗糙度轮廓算术平均偏差Ra在1.6以内。
Claims (3)
1、转动拉晶轴的水内冷机构其特征在于：它包括盖套(1)、套管(3)、水嘴(5)、套轴(6)、拉晶轴(7)、水管(4)，拉晶轴一端为圆锥体或短圆柱体，和套轴(6)的内锥体或短圆柱体支口相匹配，拉晶轴端头开密封槽可安装密封圈，拉晶轴的另一端设置有内孔(2)，内孔(2)插入水管，拉晶轴端头外部安装籽晶夹头及籽晶，套管(3)和水管(4)用螺纹连接成一体，且将密封垫压紧，并用螺钉连接在套轴(6)上，水管(4)另一端则插入拉晶轴(7)内孔(2)，随着拉晶轴的转动水管(4)一体转动。
2、根据权利要求1所述转动拉晶轴的水内冷机构，其特征在于：套管(3)内部一端带有精确内锥度，另一端为内圆柱形。
3、根据权利要求1所述转动拉晶轴的水内冷机构，其特征在于：拉晶轴(7)表面粗糙度轮廓算术平均偏差Ra在1.6以内。
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| CN 200520034949 CN2832837Y (zh) | 2005-07-28 | 2005-07-28 | 转动拉晶轴的水内冷机构 |
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Publications (1)
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| CN2832837Y true CN2832837Y (zh) | 2006-11-01 |
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| CN103103603A (zh) * | 2011-11-11 | 2013-05-15 | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 | 一种可长期在真空设备的高温环境下工作的水冷轴 |
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