CN202090097U - 碳/碳复合材料组合坩埚 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种方便去除石英坩埚残体且又保持坩埚圆度的碳/碳复合材料组合坩埚,它包括埚体,所述的埚体由2瓣~4瓣埚碗(2)组成,其特征是相邻埚碗(2)上分别设有连接孔,连接块(3)通过插入连接孔的连接销(4)安装在埚碗(2)上,通过连接销(4)将相邻埚碗(2)用连接块(3)组合成整体坩埚,本实用新型结构简单,操作方便,减轻了工人的劳动强度,能有效地减轻去除石英埚残体时对组合坩埚的损伤,延长了组合坩埚的使用寿命。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种高温炉用工装,具体地说是一种坩埚,特别是涉及一种碳/碳复合材料组合坩埚。
背景技术
目前,单晶炉拉制单晶硅棒时,盛装多晶硅块等原料的石英坩埚放入位于埚托之上的坩埚内,在保护性气氛中加热熔化,调控到工艺温度后,籽晶经导流筒插入熔融多晶硅液中,坩埚放在埚托上由其下的埚托轴带动一同旋转,同时,籽晶也逆向旋转并向上提升,使多晶硅液按籽晶的硅原子排列顺序结晶凝固成单晶硅棒。在单晶硅棒拉制过程中,炉内温度高达1500℃左右,此时,石英坩埚变软,要靠外面的坩埚承托,拉晶后残留的石英坩埚常紧贴坩埚内壁。
由于石英坩埚是一次性工装,必须逐炉更换,当坩埚为整体结构时,则石英坩埚去除较为困难,去除时甚至损坏坩埚。当坩埚采用多瓣结构时,如石墨坩埚,因其力学性能较差,石墨坩埚在高温环境中使用,要承托石英坩埚及原材料的重量,并处于旋转状态,在外力的作用下容易破裂,因此,目前单晶炉用石墨坩埚一般采用多瓣结构。为提高了坩埚的力学性能,也有采用碳/碳复合材料制备多瓣结构坩埚。
坩埚采用多瓣结构虽然能解决去除石英坩埚残体的问题,但其多瓣结构仅靠其底锥面与埚托的内锥面配合而成为一体,多瓣结构坩埚的圆度不佳,且在使用过程中,其圆度还有可能发生变化,影响拉晶环境的稳定,整棒率和成晶率均受到影响,导致企业生产成本增加。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种方便去除石英坩埚残体且又保持坩埚圆度的碳/碳复合材料组合坩埚。
本实用新型是采用如下技术方案实现其发明目的的,一种碳/碳复合材料组合坩埚,它包括埚体,所述的埚体由2瓣~4瓣埚碗组成,相邻埚碗上分别设有连接孔,连接块通过插入连接孔的连接销安装在埚碗上,通过连接销将相邻埚碗用连接块组合成整体坩埚。
本实用新型所述连接销的直径为5㎜~10㎜,长度为15㎜~50㎜。
由于采用上述技术方案,本实用新型较好的实现了发明目的,其结构简单,操作方便,减轻了工人的劳动强度,能有效地减轻去除石英埚残体时对组合坩埚的损伤,延长了组合坩埚的使用寿命。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图;
图2是图1的右视图;
图3是图1的A处放大图;
图4是实施例2的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明。
实施例1:
由图1、图2、图3可知,一种碳/碳复合材料组合坩埚,它包括埚体,所述的埚体由2瓣~4瓣(本实施例为2瓣)埚碗2组成,相邻埚碗2上分别设有连接孔,连接块3通过插入连接孔的连接销4安装在埚碗2上,本实施例在相邻埚碗2的对应处分别开设有一个穿过连接孔可放置连接块3的槽,通过连接销4将相邻埚碗2用连接块3组合成整体坩埚。
所述连接销4的直径为5㎜~10㎜(本实施例为6㎜),长度为15㎜~50㎜(本实施例为30㎜)。
所述组合坩埚组合、使用时,多瓣结构的埚碗2之间上部通过用连接块3组合成整体坩埚,下部靠其底锥面与埚托1的内锥面配合而成为一体。
本实用新型使用时,先将组合坩埚放于单晶炉内的埚托1上,然后将石英坩埚放入组合坩埚之中,再将多晶硅等原材料放入石英坩埚内,在保护气氛环境中将多晶硅等原材料加热熔化进行单晶硅棒的生产。当单晶硅棒拉制完毕去除石英坩埚残体时,拨出连接销4,即可将埚体分为2瓣,与石英坩埚残体脱开。
经实践试用,本实用新型操作方便,能有效地减轻了去除石英埚残体时对组合坩埚的损伤,延长了组合坩埚的使用寿命,此外,组合坩埚的圆度好且稳定,相对多瓣埚拉晶,其整棒率提高3﹪~10﹪。
实施例2:
由图4可知,本实施例为简单,将连接块3安装在相邻埚碗2的埚口上,通过连接销4将相邻埚碗2用连接块3组合成整体坩埚。
余同实施例1。
Claims (2)
1.一种碳/碳复合材料组合坩埚,它包括埚体,所述的埚体由2瓣~4瓣埚碗(2)组成,其特征是相邻埚碗(2)上分别设有连接孔,连接块(3)通过插入连接孔的连接销(4)安装在埚碗(2)上,通过连接销(4)将相邻埚碗(2)用连接块(3)组合成整体坩埚。
2.根据权利要求1所述的碳/碳复合材料组合坩埚,其特征是所述连接销(2)的直径为5㎜~10㎜,长度为15㎜~50㎜。
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CN2011201825713U CN202090097U (zh) | 2011-06-01 | 2011-06-01 | 碳/碳复合材料组合坩埚 |
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CN107557856A (zh) * | 2017-10-30 | 2018-01-09 | 扬中市惠丰包装有限公司 | 组合型碳碳坩埚 |
CN107740180A (zh) * | 2017-10-31 | 2018-02-27 | 扬中市惠丰包装有限公司 | 分离型碳碳坩埚 |
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- 2011-06-01 CN CN2011201825713U patent/CN202090097U/zh not_active Expired - Lifetime
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GR01 | Patent grant | ||
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CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 413000 Hunan province Yiyang Yingbin Road No. 2 Patentee after: Hunan gold carbon Limited by Share Ltd Address before: 413000 Hunan province Yiyang Yingbin Road No. 2 Patentee before: Hunan KBCarbon Composite Science and Technology Co., Ltd. |
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CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20111228 |