DE102008026568A1 - Halbleiterbauelement, Speichermodul und Verfahren zum Testen einer Fehlerkorrektur-Funktionalität beim Zugriff auf ein Speicherbauelement - Google Patents

Halbleiterbauelement, Speichermodul und Verfahren zum Testen einer Fehlerkorrektur-Funktionalität beim Zugriff auf ein Speicherbauelement Download PDF

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  • Techniques For Improving Reliability Of Storages (AREA)
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Abstract

Ausführungsformen der Erfindung betreffen ein Halbleiterbauelement, ein Speichermodul und ein Verfahren zum Testen einer Fehlerkorrektur-Funktionalität beim Zugriff auf ein Speicherbauelement mit einer Speicherfehlerschaltung zur Erzeugung wenigstens eines Speicherfehlers durch eine Modifizierungseinheit (457) zur steuerbaren Modifizierung wenigstens eines Zugriffdatums beim Zugriff auf das Speicherbauelement.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Halbleiterbauelement, ein Speichermodul und ein Verfahren zum Testen einer Fehlerkorrektur-Funktionalität beim Zugriff auf ein Speicherbauelement.
  • Speicherbauelemente und deren Integration zu kompakten, zumeist standardisierten Speichermodulen sind Gegenstand sehr vieler elektronischer Geräte, wie PCs, Notebooks, Mobiltelefonen, etc. Mit der fortwährenden Steigerung der Speicherkapazität dieser Speicherbauelemente und Speichermodule erhöht sich die Wahrscheinlichkeit, dass fehlerhafte Speicherbauelemente oder Speichermodule die korrekte Funktionalität dieser Geräte beeinträchtigen. Daher werden derartige Speicherbauelemente im Produktionsprozess wiederholt getestet, um die Kosten nachfolgender Produktionsschritte einzusparen und damit insgesamt die Ausbeute an vollfunktionstüchtigen Speicherbauelementen oder Speichermodulen zu erhöhen.
  • Derartige Tests kommen dabei insbesondere bei DRAM-(Dynamic-Random-Access-Memory)-Speicherbauelementen und DRAM-Speichermodulen zum Einsatz.
  • Es sei angemerkt, dass die im Rahmen dieser Anmeldung wiederholt aufgeführte Anwendung der Erfindung im Zusammenhang mit DRAM-Speicherbauelementen lediglich beispielhaft und keinesfalls einschränkend für die beschriebenen Ausführungsformen zu verstehen sind. Der Fachmann wird im Hinblick auf die Beschreibung erkennen, dass die Erfindung im Zusammenhang mit beliebigen Speicherbauelementen und Speichermodulen zum Einsatz kommen kann.
  • Aufgrund der genannten zahlreichen Funktionstests der Speicherbauelemente auch unter Betriebsbedingungen am Rande der jeweiligen Spezifikationsbereiche der Speicherbauelemente – wie z. B. bei höchster und niedrigster zugelassener Betriebsspannung oder Betriebstemperatur – wird es mit dem Produktionsreifegrad der Speicherbauelemente zunehmend schwieriger, Speicherbauelemente, mit deterministischen, „harten” Einzelfehlern bestimmter Speicherzellen zu finden, die auch bei normalen Betriebsbedingungen „harte”, d. h. leicht zu reproduzierende Fehler liefern.
  • Nach der Integration einer vorbestimmten Anzahl von Speicherbauelementen auf einem Speichermodul werden in den sich anschließenden Speichermodultests unter verschärften Testbedingungen üblicherweise Ausbeuten in Höhe von 95–99% funktionstüchtiger Speichermodule erzielt. Infolgedessen sind Speichermodule mit deterministischen Fehlern äußerst selten, da fehlerhafte Speichermodule meist schon in vorangegangenen Testschritten herausgetestet werden.
  • Damit ist zum gegenwärtigen Zeitpunkt keine Lösung bekannt, die es erlauben würde, ein System umfassend ein Speichermodul und seine Speicherbauelemente am Rande der Funktionsstabilität bei eingeschalteter Fehlerkorrektur-Hardware (ECC-(Error-Correction-Code)-Hardware) des Speichermoduls zu betreiben und zu testen.
  • Es ist daher Aufgabe der Erfindung, ein neuartiges Halbleiterbauelement, ein Speichermodul und ein Verfahren zum Testen einer Fehlerkorrektur-Funktionalität beim Zugriff auf ein Speicherbauelement zur Verfügung zu stellen.
  • Die Erfindung erreicht dieses und weitere Ziele durch die Gegenstände der Ansprüche 1 und 21.
  • Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
  • Gemäß einer Ausführungsform betrifft die Erfindung ein Halbleiterbauelement, welches eingerichtet ist zum Testen einer Fehlerkorrektur-Funktionalität beim Zugriff auf ein Speicherbauelement. Das Halbleiterbauelement umfasst eine Speicherfehlerschaltung zur Erzeugung wenigstens eines Speicherfehlers durch eine Modifizierungseinheit zur steuerbaren Modifizierung wenigstens eines Zugriffsdatums beim Zugriff auf das Speicherbauelement.
  • Gemäß einer weiteren Ausführungsform betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Testen einer Fehlerkorrektur-Funktionalität beim Zugriff auf ein Speicherbauelement mit dem Schritt des steuerbaren Modifizierens wenigstens eines Zugriffsdatums beim Zugriff auf das Speicherbauelement durch eine Bitfehlerschaltung zur Erzeugung wenigstens eines Bitfehlers.
  • Im Folgenden werden Aspekte von Ausführungsbeispielen der Erfindung anhand der beigefügten Zeichnungen näher erläutert. In den Zeichnungen zeigt:
  • 1 eine schematische Darstellung des Aufbau eines DRAM-Speicherbauelements mit Zugriffslogik;
  • 2 eine schematische Darstellung des Ein-/Ausgabebereichs eines Speicherbauelements mit Bitfehlerschaltung gemäß einer Ausführungsform der Erfindung;
  • 3 eine schematische Darstellung der steuerbaren Funktionen und Betriebsparameter einer zwischen einen Datenzwischenspeicher und die Treiber-/Empfängerschaltung für eine Datenleitung eines Speicherbauelements gekoppelten Bitfehlerschaltung gemäß einer Ausführungsform der Erfindung;
  • 4 eine schematische Darstellung der Funktionsweise der Einheiten einer Bitfehlerschaltung gemäß einer Ausführungsform der Erfindung.
  • Im Folgenden werden hauptsächlich Ausführungsformen beschrieben, deren Gegenstand Speicherbauelemente mit einer integrierten Speicherfehlerschaltung sind, um eine Fehlerkorrektur-Funktionalität beim Zugriff auf das Speicherbauelement testen zu können.
  • Es sind jedoch auch Ausführungsformen möglich, die allgemein ein Halbleiterbauelement betreffen, das eine Speicherfehlerschaltung, also z. B. eine wie nachfolgend beschriebene Bitfehlerschaltung umfasst, um eine Fehlerkorrektur-Funktionalität beim Zugriff auf ein Speicherbauelement testen zu können. Solche Halbleiterbauelemente können in Form anderer Komponenten eines Speichermoduls wie Speicher-Controller oder Speicher-Pufferbauelemente oder grundsätzlich auch als eigenständige Bausteine implementiert werden, die mit den am Test der Fehlerkorrektur-Funktionalität beim Zugriff auf ein Speicherbauelement beteiligten Komponenten zusammenwirken.
  • In 1 ist schematisch der Aufbau eines DRAM-Speicherbauelements dargestellt. Ein adressierter Zugriff auf das Speicherzellenfeld 10 kann bei aktivem Taktsignal 24 (Clock, CLK) und Taktaktivierungssignal (Clock-Enable, CKE) erfolgen durch Anlegen von codierten Zugriffsbefehlen über den Befehlssignalbus 25 an den Befehlsblock 21 der Zugriffskontrolleinheit 20 (Access-Control) in Form von standardisierten Befehlssignalen wie Write Enable (WE), Chip Select (CS), Row Active Strobe (RAS) und Column Active Strobe (CAS). Parallel kann die Speicheradresse der aktuell adressierten Speicherzelle, d. h. die aktuelle Zugriffsadresse über den Adresssignalbus 26 an den Adressblock 22 der Zugriffskontrolleinheit 20 übermittelt werden.
  • Die Zugriffskontrolleinheit 20 kann für den Zugriff auf die aktuell adressierte Speicherzelle mit der Speicherzeilenadresse x (Row) und der Speicherspaltenadresse y (Column) zusammen mit einem Zugriffskontrollbefehl (ACT-Befehl) die Speicherzeilenadresse (x-Address) an das Speicherzellenfeld 10 über die Adressleitungen 13 (A0, ..., A15) an den Speicherzeilenadressdecoder 11 übermitteln.
  • Der Speicherzeilenadressdecoder 11 (x-Address-Decoder) kann daraufhin nach einer vorbestimmten Zeitspanne die adressierte Speicherzeile x auswählen. Die in den Speicherzellen entlang der ausgewählten Speicherzeile x gespeicherten Bits können mittels Schreib-/Leseverstärkern (Sense Amplifiern (SA)) zur Adressierung durch den Speicherspaltenadressdecoder 12 bereitgestellt werden. Der nach dem Zugriffskontrollbefehl folgende Schreib- oder Lesebefehl erfolgt mit übertragener Speicherspaltenadresse (y-Address) an den entsprechenden Schreib-/Leseverstärker.
  • Ein wie oben dargestellter Speicherzugriff kann auf verschiedene Bereiche im DRAM-Speicherbauelement gleichzeitig erfolgen, so dass über den parallelen Datenpfad 100 mehrere Bits in einem Datenzwischenspeicher 40 (Prefetch-Buffer) parallel adressiert zusammengeführt werden können. Je nachdem, ob das DRAM-Speicherbauelement in 4, 8 oder 16 Bereichen organisiert ist, kann die im Datenzwischenspeicher 40 parallel zu speichernde Datenmenge 4, 8 oder 16 Bit breit sein Zudem erfolgt der Zugriff auf das Speicherbauelement typischerweise in Form von Datenbursts, die mehrere Bits umfassen. Daher beträgt die Tiefe des Datenzwischenspeichers 40 üblicherweise 4 oder 8 Bit, je nach unterstützter, minimaler Datenburstlänge je Datenzugriff. Dies führt zu Zugriffsdatenbursts, die als sequentielle Folgen einer Anzahl von Zugriffsdaten verstanden werden können, auf die über jeweils einen der Anschlüsse der Datenleitungen 60 (DQ-Anschlüsse DQ0, ..., D15) von außerhalb des Speicherbauelements zugegriffen werden kann, wobei die Anzahl der sequentiellen Zugriffsdaten des Datenbursts der Tiefe des Datenzwischenspeichers 40 entspricht.
  • Basierend auf diesem so genannten Prefetching-Prinzip, kann trotz gleich bleibender Frequenz des internen Taktsignals 24 die Datenrate externer Zugriffe auf das DRAM-Speicherbauelement erhöht werden. Die Treiber-/Empfängerschaltungen 50 (I/O-Driver) für die Datenleitungen 60 können mit den logischen Daten des Datenzwischenspeichers 40 angesteuert werden und diese logischen Daten in entsprechende Spannungspegel für die Datenleitungen 60 umwandeln.
  • Bei Speichermodulen mit einfacher Datenrate (Single-Data-Rate-(SDR)-Modulen) kann ein auf einer der Datenleitungen 60 zur Verfügung gestelltes Datum einmal pro Takt den Pegel wechseln. Bei Speichermodulen mit doppelter Datenrate (Double-Data-Rate-(DDR)-Modulen) kann der Pegelwechsel zweimal pro Takt erfolgen. Zusätzlich zu den üblichen Betriebsmodi eines Speicherbauelements können in bestimmten Ausführungsformen wie der gemäß 1 Betriebsmodi und Mittel vorgesehen sein, um einen Bauelementbezeichner oder Chip-Identifier (kurz Chip-ID) auslesen zu können, wobei die Chip-ID bei der Fertigung eines DRAM-Speicherbauelements bauelementspezifisch, d. h. chipindividuell elektrisch oder laser-optisch eingebrannt (fusing) werden kann. In der Chip-ID sind Herstellungsdaten wie insbesondere Datum, Losnummer, Wafernummer w und Wafer-x- und -y-Koordinaten des Speicherbauelements abgelegt, die das Speicherbauelement eineindeutig identifizieren. Typischerweise umfasst eine Chip-ID 80 Bits.
  • 2 zeigt eine schematische Darstellung des Ein-/Ausgabebereichs eines Speicherbauelements mit einer Bitfehlerschaltung 45 gemäß einer Ausführungsform der Erfindung. Darin ist dargestellt, wie ein Datenburst, welcher 8 Bits umfasst, mittels der entsprechenden Treiber-/Empfängerschaltung 50 über den Ein-/Ausgangsanschluss 61 für die Datenleitung DQ0 extern zur Verfügung gestellt werden kann. Der Datenzwischenspeicher 41 für die Datenleitung DQ0 kann auf einer Art Schieberegister basieren, dessen Bit 0 – verstärkt über die Treiberstufe der Treiber-/Empfängerschaltung 50 – während eines Burstbetriebs den Ein-/Ausgangsanschluss 61 für die Datenleitung DQ0 treiben kann.
  • Gemäß der Ausführungsform nach 2 können Bitfehlerschaltungen 45 zwischen jedes der Schieberegister des Datenzwischenspeichers 40 und die Treiber-/Empfängerschaltungen 50 für die Datenleitungen 60 gekoppelt werden. Die Implementierung der Bitfehlerschaltungen 45 an dieser Stelle im Datenpfad ist unkritisch, da dort die Wechselwirkung mit anderen Einheiten des Speicherbauelements gering ist. In alternativen Ausführungsformen können die Bitfehlerschaltungen 45 jedoch auch an anderen, insbesondere ähnlich unkritischen Stellen im Datenpfad implementiert werden.
  • Die Bitfehlerschaltungen 45 können steuerbare Pegel-Inverter als Modifizierungseinheit 457 umfassen, die je nach eingestellter Fehlerart Fehler durch einzelne Bit-Invertierungen auf der jeweiligen der Datenleitungen 60 erzeugen. Somit ist es ermöglicht, „harte” d. h. deterministische speicheradressenspezifische Fehler auf einer oder mehreren der Datenleitungen 60 zu generieren. Die Bitfehlerschaltungen 45 können dadurch ferner Einzel-Bitfehler innerhalb eines Datenbursts auf einer oder mehreren der Datenleitungen 60 erzeugen.
  • Gerade diese eingangs genannten, bei getesteten Speicherbauelementen seltenen deterministischen Speicherfehler erleichtern es erheblich, die Speicherbauelemente oder die vollständigen Speichermodule anwendungsnah im Zusammenspiel mit Speicher-Controller oder Speichermodul-Pufferbauelementen zu testen. Diese Speicherfehler ermöglichen es, die Schnittstellen (DRAM-Interfaces) zwischen DRAM-Speicherbauelementen und den genannten weiteren Bauelementen auf dem Speichermodul auf ihre Fehlertoleranz und ihre Funktionstüchtigkeit bzgl. Fehlerkorrekturfähigkeit zu testen.
  • D. h. eine Bitfehlerschaltung 45 gemäß der Ausführungsform in 2 erlaubt, auf einfache Weise einzelne Bitfehler zu generieren, so dass ein funktionstüchtiges Speichermodul gezielt Übertragungsfehler provozieren kann und somit ein System, umfassend ein Speichermodul und seine Speicherbauelemente, am Rande der Funktionsstabilität bei eingeschalteter Fehlerkorrektur-Hardware des Speichermoduls betrieben und testet werden kann. Des Weiteren erlaubt eine Bitfehlerschaltung 45 eine weiterhin einfache Adressleitungsdecodierung für Speicherzugriffe beim Einsatz des Speicherbauelements in verschiedenen Applikationsplattformen.
  • Grundsätzlich könnte eine Erzeugung von Speicherfehlern auch durch sonstige Manipulationen einzelner Ein-/Ausgangsanschlüsse für die Datenleitungen 60 bewirkt werden. Diese Speicherfehler glichen in ihrer Wirkung jener Art von Lötfehlern an einem Ein-/Ausgangsanschluss für eine Datenleitung, die bei einem Speichermodul auf dieser Datenleitung einen vollständigen Betriebsausfall bewirken.
  • Auch wäre es grundsätzlich möglich, einen Anschluss des Befehlssignalbusses eines DRAM-Speicherbauelements zu entfernen, um Speicherfehler zu erzeugen. In diesem Fall wäre jedoch das gesamte Speichermodul oder der gesamte Teil des DRAM-Speicherbauelements auf allen mit dem Befehl parallel betriebenen Datenleitungen funktionsuntüchtig. Die beiden letztgenannten genannten Möglichkeiten zur Erzeugung von Speicherfehlern, d. h. eine Manipulation am Anschluss einer Datenleitung oder eine Abtrennung eines Anschlusses des Befehlssignalbusses, wären jedoch insofern gegenüber der Bitfehlerschaltung 45 nachteilig, als die sich ergebenden Speicherfehlerraten so hoch wären, dass das Speichermodul nicht booten oder zu einem Systemabsturz führen würde.
  • Ferner wäre es auch denkbar, kurzzeitige Speicherfehler mittels einer mechanischen Lösung zu erzeugen, indem am Anschluss einer Datenleitung physikalisch eine Steckverbindung geöffnet und wieder geschlossen wird. Allerdings gehen mechanische Kontakt- oder Schaltkonstruktionen mit langsamen Schaltvorgängen einher, so dass in der Regel nur mit Hilfe elektrischer Schalter ein definierter, hinreichend kurzzeitiger Störimpuls generiert werden könnte. Jedoch sind im Hinblick auf die sich dabei ergebenden Schaltvorgänge im Zeitintervall von übertragenen Daten mit 1–2 ns Bitdauer auch solche elektrische Schalter zu langsam, um zielgerichtet und reproduzierbar einzelne Speicherfehler „dosiert” zu generieren. Auch derartige mittels einfacher Erzeugungsmechanismen generierte Speicherfehler hätten Systemabstürze zur Folge und erlaubten daher nicht, die Schnittstellen zwischen Speicherbauelementen und den weiteren Bauelementen auf einem Speichermodul auf ihre Fehlertoleranz und ihre Funktionstüchtigkeit bzgl. Fehlerkorrekturfähigkeit zu testen.
  • D. h. rückblickend wäre jeder Versuch, auf mechanischem oder elektro-mechanischem Wege Speicherfehler zu generieren, zu langsam, nicht deterministisch oder nicht dosiert genug, um Fehler einzelner Speicherzellen zum Testen des Speichersystems auf Fehlerkorrektur-Funktionalität (ECC-(Error-Correction-Code)-Funktionalität) simulieren zu können.
  • In 3 ist eine Ausführungsform der Bitfehlerschaltung 45 schematisch mit ihren steuerbaren Funktionen und Betriebsparametern dargestellt. Insbesondere werden darin die programmierbaren und quasi-zufällig einstellbaren Fehlererzeugungsparameter erläutert. Wie bereits in der Ausführungsform in 2 ist die Bitfehlerschaltung 45 zwischen den Datenzwischenspeicher 41 und die DQ-Treiber-/Empfängerschaltung 50 der Datenleitung DQ0 gekoppelt und kann zur gezielten Erzeugung eines Bitfehlers eine Bit-Inversion auf der Datenleitung DQ0 (DQ-Bit-Inversion) auslösen. Entsprechende Bitfehlerschaltungen können zwischen die weiteren der Datenzwischenspeicher 40 und die zugehörigen der DQ-Treiber-/Empfängerschaltungen 50 gekoppelt sein.
  • In der Ausführungsform der Bitfehlerschaltung 45 nach 3 können die steuerbaren Funktionen und Betriebsparameter, d. h. die Einstellungen der Bitfehlerschaltung 45 durch wenigstens eine Einstellung eines Modus-Registers 460 (Mode-Register Setting) und/oder wenigstens eine Testmodussequenz (Test Mode Sequence) programmierbar eingestellt werden.
  • Zum Beispiel kann in der Ausführungsform der Bitfehlerschaltung 45 nach 3 der Schreib-/Lesefehlerauswahlbereich 465 des Modus-Registers 460 steuern, ob die Bitfehlerschaltung 45 mittels der Schreib-/Lesefehler-Multiplexereinheit 455 (WR-RD-Multiplexer)Schreib- und/oder Lesefehler erzeugen soll. Dazu kann das Register für Bit 0 des Datenzwischenspeichers 41 für die Datenleitung DQ0 mit den XOR-Gattern 4571, 4572 als Schreib- bzw. Lesefehler-Auslöser gekoppelt werden. D. h. bei der Erzeugung eines Lesefehlers steuert das Register für Bit 0 des Datenzwischenspeichers 41 für die Datenleitung DQ0 einen Eingang des lesefehlerauslösenden XOR-Gatters 4571 an. Umgekehrt steuert bei der Erzeugung eines Schreibfehlers der Ausgang des schreibfehlerauslösenden XOR-Gatters 4572 das Register für Bit 0 des Datenzwischenspeichers 41 für die Datenleitung DQ0 an.
  • Die Schreib-/Lesefehler-Multiplexereinheit 455 kann für die Auslösung einzelner Bitfehler gezielt ein Fehlerauslösesignal (Fail-Trigger) in Form eines logischen „1”-Pulses als weiteres Eingangssignal eines der XOR-Gatter 4571, 4572 bereitstellen. Dies bewirkt die Invertierung eines aus dem Register für Bit 0 des Datenzwischenspeichers 41 für die Datenleitung DQ0 ausgelesenen Logikwerts beim Erzeugen eines Lesefehlers bei einem Lesezugriff auf das Speicherbauelement oder die Invertierung eines von der DQ-Treiber-/Empfängerschaltung 50 empfangenen Logikwerts beim Erzeugen eines Schreibfehlers bei einem Schreibzugriff auf das Speicherbauelement.
  • Anstelle der XOR-Gatter sind jedoch auch andere Modifizierungsschaltungen als Teile der Modifizierungseinheit denkbar, wie z. B. NAND, AND-Gatter oder allgemein Schaltungen zur gesteuerten, wenigstens zeitweisen Modifizierung des zu lesenden oder zu schreibenden Logikwerts.
  • Für die getrennte Abschaltbarkeit der Erzeugung von Schreib- und/oder Leserfehlern können beispielsweise zwischen den Ausgängen für das Schreib- und Lesefehlerauslösesignal der Schreib-/Lesefehler-Multiplexereinheit 455 und den Eingängen der XOR-Gatter 4571, 4572 jeweils Multiplexer einer Fehlererzeugungs-Ein-/Ausschalteinheit 456 vorgesehen sein, welche wahlweise die genannten Schreib- bzw. Lesefehlerauslösesignale oder eine logische „0” zum Ausschalten der jeweiligen Fehlererzeugung zu den XOR-Gattern 4571, 4572 durchleiten. Die Einstellung der Fehlererzeugungs-Ein-/Ausschalteinheit 456 kann durch den Fehlererzeugungs-Ein-/Ausschaltbereich 466 des Modus-Registers 460 erfolgen.
  • Dies erlaubt eine zuschaltbare Fehlerinjektion beim Lesen und/oder Schreiben von Daten über die Schnittstelle des DRAM-Speicherbauelements.
  • Damit nicht alle DRAM-Speicherbauelemente eines Speichermoduls zum selben Zeitpunkt Fehler im Bezug auf Speicherzellen mit einander entsprechenden Speicherzellen generieren, kann z. B. die nichtflüchtige, eingebrannte Chip-ID 30 dazu verwendet werden, die Speicheradresse, für die, wenn auf sie zugegriffen wird, ein Bitfehler erzeugt werden soll, d. h. die Fehleradresse quasi-zufällig zu bestimmen. In alternativen Ausführungsformen können jedoch auch andere Bauelementspezifika zur quasi-zufälligen Bestimmung der Fehleradresse wie z. B. andere Startvektoren für ein Pseudo-Zufallszahlengenerator-Schieberegister eingebrannt oder durch eine andere Außenbeschaltung der Bitfehlerschaltung 45 implementiert werden.
  • Zur Bestimmung der Fehleradresse kann wie in der Ausführungsform der Bitfehlerschaltung 45 in 3 die Bitfehlerschaltung 45 ein zumindest Teile der Chip-ID 30 aufnehmendes 24-bit Register umfassen, in dem z. B. die Wafernummer w, die Wafer-x-Koordinate und die Wafer-y-Koordinate des jeweiligen Speicherbauelements zwischengespeichert werden können. Ferner kann in der Bitfehlerschaltung 45 ein weiteres Register vorgesehen sein um, die Speicheradresse 15 zwischenzuspeichern, die als Startadresse für den aktuellen Zugriffsdatenburst bestimmt ist. Diese Speicheradresse kann neben der Speicherzeilenadresse x und der Speicherspaltenadresse y auch die Speicherbankadresse z umfassen.
  • Eine Adressvergleichseinheit 451 (Fail-Address-Matching-Unit) erhält der Werte des Teile der Chip-ID 30 aufnehmenden 24-bit Registers und des weiteren Registers für die aktuelle Zugriffsadresse als Eingangsdaten, um daraus wenigstens ein Adressübereinstimmungssignal bzgl. der Speicherzeilenadresse x und/oder der Speicherspaltenadresse y des Zugriffsdatums oder des Zugriffsdatenbursts zu erzeugen. Dieses wenigstens eine Adressübereinstimmungssignal kann als Basis für ein Fehlerauslösesignal genutzt werden.
  • Da es unwahrscheinlich ist, dass Speicherbauelemente mit der gleichen Wafer-x- und -y-Koordinate auf dem gleichen Speichermodul verbaut werden, ist es ebenso unwahrscheinlich, dass die Bitfehlerschaltungen der entsprechenden Speicherbauelemente Speicherfehler in einander entsprechenden Speicheradressen erzeugen. D. h. auf die oben beschriebene Weise kann die bauelemente-, d. h. chipspezifische Zufälligkeit der Fehlererzeugung durch die Chip-ID 30 so gesteuert werden, dass – trotz gleicher Fehlererzeugungshardware in jedem Speicherbauelement – die Fehlererzeugung chipindividuell beeinflusst werden kann. Im Übrigen kann die Fehlererzeugungshardware durch weitere Einstellungen des Modus-Registers 460 gesteuert werden.
  • Auf die oben dargestellte Weise ist es ferner möglich, Speicherfehler der Speicherbauelemente auf einem Speichermodul bauelementspezifisch unterschiedlich „dosiert” und damit auch zeitlich „dosiert” zu verteilen, so dass auch z. B. 18 parallel verdrahtete DRAM-Speicherbauelemente auf 72 Bit Breite einen korrigierbaren einzelnen Fehler in einem Datenburst auf einer vorbestimmten Datenleitung erzeugen können. Dazu können die integrierten Bitfehlerschaltungen 45 aller über einen Befehlsadressbus parallel angeschlossenen DRAM-Speicherbauelemente eines Speichermoduls über vorbestimmte Einstellungen des Modus-Registers 460 oder eine Testmodussequenz programmiert werden.
  • Ferner ermöglichen wie oben beschriebene Konfigurationen für die Schnittstelle eines DRAM-Speicherbauelements, an möglichst vielen Adressbitpositionen (z. B. 16 Adressbitpositionen, 3 Bank-Auswahlbitpositionen) und allen Datenbitpositionen eines Datenbursts zeitlich quasi-zufällige, aber adressspezifisch deterministische Speicherfehler zu generieren.
  • Wie oben erläutert kann mittels der Adressvergleichseinheit 451 prinzipiell für jeden aktuellen Zugriffsdatenburst ein Fehlerauslösesignal erzeugt werden, wenn auf eine Speicherzelle zugegriffen wird, deren Adresse mit einer der aus der Chip-ID 30 abgeleiteten, bauelementspezifischen Fehleradressen übereinstimmt, d. h. wenn die aktuelle Zugriffsadresse mit der Fehleradresse übereinstimmt.
  • Als relevante Bestandteile der Zugriffsadresse können je nach eingestellter Fehlerart nur die entsprechende Speicherzeilenadresse x, nur die entsprechende Speicherspaltenadresse y oder eine Einzeladresse bestehend aus Speicherzeilenadresse x und Speicherspaltenadresse y ausgewählt werden. Zur Auswahl der Fehlerart kann eine Fehlerartauswahleinheit 452 (Fail-Type-Selector-Unit) dazu eingerichtet sein, ein Adressübereinstimmungssignal umfassend ein Speicherzeilenadressübereinstimmungssignal und ein Speicherspaltenadressübereinstimmungssignal seitens der Adressvergleichseinheit 451 zu empfangen und daraus je nach Einstellung ein Fehlerauslösesignal zu erzeugen. Die Einstellung der Fehlerart (xy-Fail-Type-Set) kann über den Fehlerartauswahlbereich 462 des Modus-Registers 460 erfolgen, welcher die Fehlerartauswahleinheit 452 ansteuert.
  • Die Ausführungsform der Bitfehlerschaltung 45 in 3 umfasst weiterhin eine Burst-Bit-Fehlereinfügeeinheit 453 (Burst-Bit Setting Unit) zur Einstellung, welches Bit im jeweiligen Datenburst fehlerhaft sein soll. Durch die Burst-Bit-Fehlereinfügeeinheit 453 kann das im Zugriffsdatenburst ausfallende, d. h. fehlerhafte Bit, quasi-zufällig basierend auf der Chip-ID 30 ausgewählt werden, um prinzipiell jedes der Bits eines Datenbursts beim Test des Schnittstelle des DRAM-Speicherbauelements ausfallen lassen zu können.
  • Ferner umfasst die Ausführungsform der Bitfehlerschaltung 45 in 3 eine Fehlerfrequenzeinheit 454, mit der die Fehlerhäufigkeit eingestellt werden kann. Die Einstellung des Werts der Fehlerhäufigkeit kann dabei über den Fehlerfrequenzbereich 464 des Modus-Registers 460 erfolgen, welcher die Fehlerfrequenzeinheit 454 ansteuert. Diese Einstellung kann z. B. bewirken, dass eine Art Fehlerauslösesignal-Filter entweder alle oder z. B. nur jedes 2., 4., 8., ... der Burst-Bit-Fehlerauslösesignale seitens der Burst-Bit-Fehlereinfügeeinheit 453 weiterleitet damit die Fehlerhäufigkeit eingestellt werden kann. Die Fehlerfrequenzeinheit 454 kann wie in der Ausführungsform nach 3 mit dem (gefilterten) Fehlerauslösesignal die Schreib-/Lesefehler-Multiplexereinheit 455 ansteuern.
  • Das Speicherbauelement gemäß der Ausführungsform nach 3 umfasst damit eine leicht zu implementierende, Platz sparende Bitfehlerschaltung 45 auf einem funktionalem DRAM-Speicherbauelement, die hinzuschaltbar sein kann und in regelmäßigen, jedoch einstellbaren Abständen bauelementspezifische, d. h. von DRAM-Speicherbauelement zu DRAM-Speicherbauelement unterschiedliche Speicherfehler generiert. Somit ist es möglich, beispielsweise 18 Stück x4 organisierter DRAM-Speicherbauelemente in x72 Organisation parallel zu betreiben, ohne dass zwingend mehrere oder alle DRAM-Speicherbauelemente zur gleichen Zeit einen Fehler generieren würden, der dann zu einem durch die Fehlerkorrektur unkorrigierbaren Fehler (ECC-Fehler) und einem nachfolgenden Systemabsturz führen würde.
  • Ein Speichermodul mit Speicherbauelementen der Ausführungsform nach 3 erlaubt somit, ein funktionierendes Speichermodul der Art betreiben zu können, so dass parallel betriebene Speicherbauelemente des Speichermoduls deterministische, „harte” Fehler mit einstellbarer Häufigkeit generieren können und weitere Bauelemente eines Speichermoduls, wie z. B. Speicher-Pufferbauelemente oder Speicher-Controller, im Hinblick auf ihre Fehlertoleranz durch den Einsatz ihrer eingebauten Fehlererkennungs-Hardware überprüft werden können.
  • 4 zeigt in einem weiteren Ausführungsbeispiel der Bitfehlerschaltung 45 schematisch und etwas detaillierter die Funktionsweise der Adressvergleichseinheit 451, der Fehlerartauswahleinheit 452, der Burst-Bit-Fehlereinfügeeinheit 453 zur Einstellung, welches Bit im jeweiligen Datenburst fehlerhaft sein soll, der Fehlerfrequenzeinheit 454 und der Schreib-/Lesefehler-Multiplexereinheit 455.
  • Im obersten Bereich der 4 ist eine mögliche Implementierung der Adressvergleichseinheit 451 dargestellt. Wie bereits das Ausführungsbeispiel nach 3 umfasst die Adressvergleichseinheit 451 in 4 ein Teile der Chip-ID 30 aufnehmendes Register, in dem die Wafernummer w, die Wafer-x-Koordinate und die Wafer-y-Koordinate des jeweiligen Speicherbauelements zwischengespeichert werden können. Ferner ist in der Adressvergleichseinheit 451 ein weiteres Register vorgesehen, um die Speicheradresse 15, genauer die Speicherstartadresse zwischenzuspeichern, die für den aktuellen Zugriffsdatenburst bestimmt ist. Diese Speicheradresse umfasst neben der Speicherzeilenadresse x und der Speicherspaltenadresse y auch die Speicherbankadresse z.
  • Die Adressvergleichseinheit 451 kann die Speicherzeilenadresse x und die Speicherbankadresse z zu einer 16 Bit breiten effektiven Speicherzeilenadresse x' zusammenfassen. Diese effektive Speicherzeilenadresse x' kann über ein entsprechend breites XOR-Gatter mit der aus der Chip-ID 30 abgeleiteten Fehlerzeilenadresse verknüpft werden, um das Speicherzeilenadressübereinstimmungssignal 4511 zu erzeugen. Analog kann die Speicherspaltenadresse y des aktuellen Zugriffsdatenbursts über ein weiteres XOR-Gatter mit der aus der Chip-ID 30 abgeleiteten Fehlerspaltenadresse verknüpft werden, um das Speicherspaltenadressübereinstimmungssignal 4512 zu erzeugen.
  • Die Funktion der Adressvergleichseinheit 451 der Ausführungsform in 4 ist somit, dass basierend auf einer quasi-zufälligen Fehleradresse, die z. B. aus der Chip-ID 30 ableitbar ist, ein Adressübereinstimmungsereignis (Address-Match-Event) bzgl. Der effektiven Speicherzeilenadresse x' und der Speicherspaltenadresse y des Zugriffsdatums oder Zugriffsdatenbursts erzeugt wird.
  • In der Ausführungsform nach 4 steuern das Speicherzeilenadressübereinstimmungssignal 4511 und das Speicherspaltenadressübereinstimmungssignal 4512 die Fehlerartauswahleinheit 452 an. Zur Auswahl der Fehlerart kann die Fehlerartauswahleinheit 452 wie in 4 dargestellt sechs verknüpfte XOR-Gatter aufweisen, um durch Verknüpfung des Speicherzeilenadressübereinstimmungssignals 4511, des Speicherspaltenadressübereinstimmungssignals 4512 und den Werten im Fehlerartauswahlbereich 462 des Modus-Registers 460 die gewünschte Fehlerart auszuwählen.
  • So kann z. B. durch den Wert im Fehlerartauswahlbereich 4621 des Modus-Registers 460 die x-Fehlerart ausgewählt werden, bei der eine Adressübereinstimmung nur zwischen der Speicherzeilenadresse des aktuellen Zugriffsdatenbursts und der Fehlerzeilenadresse überprüft wird. Durch den Wert im Fehlerartauswahlbereich 4622 des Modus-Registers 460 kann demgegenüber die y-Fehlerart ausgewählt werden, bei der eine Adressübereinstimmung nur zwischen der Speicherspaltenadresse des aktuellen Zugriffsdatenbursts und der Fehlerspaltenadresse überprüft wird. Und schließlich kann durch den Wert im Fehlerartauswahlbereich 4623 des Modus-Registers 460 die x- und -y-Fehlerart ausgewählt werden, bei der eine Adressübereinstimmung sowohl zwischen der Speicherzeilenadresse des aktuellen Zugriffsdatenbursts und der Fehlerzeilenadresse als auch zwischen der Speicherspaltenadresse des aktuellen Zugriffsdatenbursts und der Fehlerspaltenadresse überprüft wird.
  • Durch die genannte und in 4 dargestellte Verknüpfung erzeugt die Fehlerartauswahleinheit 452 ein entsprechendes vorläufiges Fehlerauslösesignal 4521.
  • Die Burst-Bit-Fehlereinfügeeinheit 453 zur Einstellung, welches Bit im jeweiligen Datenburst fehlerhaft sein soll, kann wie in der Ausführungsform nach 4 in einer Art von – z. B. 8-Bit – Schieberegister 4531 aufgebaut sein. Zu Beginn des Betriebs der Bitfehlerschaltung 45 wird eine logische „1” als Startwert 4533 an die erste Position in dem zunächst vollständig auf logische Nullen zurückgesetzten Schieberegister 4531 geschrieben und der Inhalt des Schieberegisters 4531 gemäß einem aus der Chip-ID 30 abgeleiteten Wert entsprechend oft in eine festgelegte Richtung zyklisch verschoben.
  • Während der Dauer eines Datenbursts, dessen Andauern dem Schieberegister 4531 über den Datenbursttakt 4532 der aktuellen Datenleitung DQx signalisiert wird, wird mit jedem Datenbit dieses Datenbursts der Inhalt des Schieberegisters 4531 um ein Bit in eine festgelegte Richtung zyklisch verschoben. Falls ein vorläufiges Fehlerauslösesignal 4521 während des entsprechenden Datenbursts aktiv ist und gleichzeitig das Burst-Inversions-Bit an der letzten Stelle des Schieberegisters 4531 am Ende des Burstdurchlaufs gesetzt ist, wird über eine XOR-Verknüpfung der letztgenannten Werte ein Burst-Bit-Fehlerauslösesignal 4534 (Burst-Bit-Trigger) erzeugt, um zu bestimmen, welches Bit im jeweiligen Datenburst fehlerhaft sein soll. Dadurch können infolge unterschiedlicher Chip-IDs 30 die Fehler an unterschiedlichen Positionen im jeweiligen Datenbursts quasi-zufällig generiert werden.
  • In der Ausführungsform nach 4 können demnach folgende Fehlerarten unterstützt sein:
    • – Einzel-DQ-Bit-Burst-Fehler und Einzel-DQ-Fehler abhängig entweder von einer vorbestimmten Speicherzeilen- oder -spaltenadresse,
    • – Einzel-Bitfehler, sowohl abhängig von der Speicherzeilenadresse als auch von der Speicherspaltenadresse.
  • In der nachgelagerten Fehlerfrequenzeinheit 454 kann die Anzahl der fehlerhaften Datenbursts gezählt und das Burst-Bit-Fehlerauslösesignal 4534 erst an die Schreib-/Lesefehler-Multiplexereinheit 455 weitergeleitet werden, wenn ein bestimmter Fehler z. B. 1-, 2-, 4-, 8-, ... mal registriert worden ist. Die Fehlerfrequenzeinheit 454 dient damit quasi zur Einstellung des Grads eines weichen Fehlers, der tatsächlich erst bei mehrmaligem Zugriff eintritt.
  • Hierzu kann die Fehlerfrequenzeinheit 454 einen Fehlerfrequenzmultiplexer 4542 aufweisen, dem für das Zählen von Fehlern auf einer bestimmten Datenleitung das Aktivitätssignal 4541 der aktuellen Datenleitung DQx zugeführt wird. Durch eine weitere XOR-Verknüpfung des Ausgangsignals des Fehlerfrequenzmultiplexers 4542 mit dem Burst-Bit-Fehlerauslösesignal 4534 kann damit das Fehlerauslösesignal 4543 an die Schreib-/Lesefehler-Multiplexereinheit 455 weitergeleitet werden.
  • In der Schreib-/Lesefehler-Multiplexereinheit 455 kann durch den Wert in einem Schreibfehlerauswahlbereich 4651 des Modus-Registers 460 eingestellt werden, ob die Schreib-/Lesefehler-Multiplexereinheit 455 Schreibfehler erzeugen soll. Dazu wird dieser Wert mit dem Fehlerauslösesignal 4543 und einem Aktivitätssignal 4551 eines Schreibzugriffs auf aktuelle Datenleitung DQx über ein entsprechendes XOR-Gatter verknüpft, um ein vorläufiges Schreibfehler-Fehlerauslösesignal zu erzeugen.
  • Ferner kann durch den Wert in einem Lesefehlerauswahlbereich 4652 des Modus-Registers 460 eingestellt werden, ob die Schreib-/Lesefehler-Multiplexereinheit 455 Lesefehler erzeugen soll. Dazu wird dieser Wert mit dem Fehlerauslösesignal 4543 und einem Aktivitätssignal 4552 eines Lesezugriffs auf aktuelle Datenleitung DQx über ein entsprechendes XOR-Gatter verknüpft, um ein vorläufiges Lesefehler-Fehlerauslösesignal zu erzeugen.
  • In der sich anschließenden Fehlererzeugungs-Ein-/Ausschalteinheit 456 können für die getrennte Abschaltbarkeit der Erzeugung von Schreib- und/oder Leserfehlern das vorläufige Schreib- und das vorläufige Lesefehler-Fehlerauslösesignal über jeweils ein XOR-Gatter mit dem Wert des Schreibfehler-Ein-/Ausschaltbereichs 4661 des Modus-Registers 460 bzw. dem Wert des Lesefehler-Ein-/Ausschaltbereichs 4662 des Modus-Registers 460 verknüpft werden, um das Schreibfehler-Fehlerauslösesignal 471 bzw. das Lesefehler-Fehlerauslösesignal 472 zu erzeugen. Die beiden letztgenannten Signale können dann schreib- bzw. lesefehlerauslösende XOR-Gatter wie die XOR-Gatter 4571, 4572 nach 3 zur tatsächlichen Bitfehlererzeugung ansteuern.
  • 1
  • 10
    Zellenfeld eines DRAM-Speicherbauelements
    11
    Speicherzeilenadressdecoder („x-Addressdecoder”)
    12
    Speicherspaltenadressdecoder („y-Addressdecoder”)
    13
    Adressleitungen (A0, ..., A15)
    20
    Zugriffskontrolleinheit („Access-Control”)
    21
    Befehlsblock der Zugriffskontrolleinheit („CMD”)
    22
    Adressblock der Zugriffskontrolleinheit („ADDR”)
    23
    Modus-Register-Block der Zugriffskontrolleinheit („Modus Register Setting, MRS”)
    24
    Taktsignal („CLK”)
    25
    Befehlssignalbus (für Befehlssignale wie z. B. „WE”, „CS”, „RAS”, „CAS”)
    26
    Adresssignalbus
    30
    Chip-ID
    40
    Datenzwischenspeicher („Pefetch-Buffer”)
    50
    Treiber-/Empfängerschaltung für eine Datenleitung („DQ-I/O-Buffer”)
    60
    Datenleitungen (DQ0, ..., DQ15)
    100
    Datenpfad
  • 2
  • 41
    Datenzwischenspeicher für Datenleitung DQ0
    45
    Bitfehlerschaltung („Bit-Fail ASIC”)
    61
    Ein-/Ausgangsanschluss für Datenleitung DQ0
  • 3
  • 15
    Speicheradresse des aktuellen Zugriffsdatenbursts
    451
    Adressvergleichseinheit
    452
    Fehlerartauswahleinheit
    453
    Burst-Bit-Fehlereinfügeeinheit
    454
    Fehlerfrequenzeinheit
    455
    Schreib-/Lesefehler-Multiplexereinheit
    456
    Fehlererzeugungs-Ein-/Ausschalteinheit
    457
    Modifizierungseinheit
    4571
    XOR zur Lesefehlerauslösung
    4572
    XOR zur Schreibfehlerauslösung
    460
    Modus-Register/(Test-Modus) („MRS”/„TM”)
    462
    Fehlerartauswahlbereich des Modus-Registers
    464
    Fehlerfrequenzbereich des Modus-Registers
    465
    Schreib-/Lesefehlerauswahlbereich des Modus-Registers
    466
    Fehlererzeugungs-Ein-/Ausschaltbereich des Modus-Registers
  • 4
  • 4511
    Speicherzeilenadressübereinstimmungssignal
    4512
    Speicherspaltenadressübereinstimmungssignal
    4521
    vorläufiges Fehlerauslösesignal
    4531
    Schieberegister der Burst-Bit-Fehlereinfügeeinheit
    4532
    Datenbursttakt der aktuellen Datenleitung DQx
    4533
    Startwert-„1” nach Zurücksetzung des Schieberegisters
    4534
    Burst-Bit-Fehlerauslösesignal
    4541
    Aktivitätssignal der aktuellen Datenleitung DQx
    4542
    Fehlerfrequenzmultiplexer
    4543
    Fehlerauslösesignal
    4551
    Aktivitätssignal eines Schreibzugriffs auf aktuelle Datenleitung DQx
    4552
    Aktivitätssignal eines Lesezugriffs auf die aktuelle Datenleitung DQx
    4621
    Fehlerartauswahlbereich des Modus-Registers für die x-Fehlerart
    4622
    Fehlerartauswahlbereich des Modus-Registers für die y-Fehlerart
    4623
    Fehlerartauswahlbereich des Modus-Registers für die x- und -y-Fehlerart
    4651
    Schreibfehlerauswahlbereich des Modus-Registers
    4652
    Lesefehlerauswahlbereich des Modus-Registers
    4661
    Schreibfehler-Ein-/Ausschaltbereich des Modus-Registers
    4662
    Lesefehler-Ein-/Ausschaltbereich des Modus-Registers
    471
    Schreibfehler-Fehlerauslösesignal
    472
    Lesefehler-Fehlerauslösesignal

Claims (22)

  1. Halbleiterbauelement eingerichtet zum Testen einer Fehlerkorrektur-Funktionalität beim Zugriff auf ein Speicherbauelement mit einer Speicherfehlerschaltung zur Erzeugung wenigstens eines Speicherfehlers durch eine Modifizierungseinheit (457) zur steuerbaren Modifizierung wenigstens eines Zugriffsdatums beim Zugriff auf das Speicherbauelement.
  2. Halbleiterbauelement nach Anspruch 1, wobei das Halbleiterbauelement ein Speicherbauelement ist, und wobei die Speicherfehlerschaltung eine Bitfehlerschaltung (45) zur Erzeugung wenigstens eines Bitfehlers ist.
  3. Speicherbauelement nach Anspruch 2, wobei die Bitfehlerschaltung (45) wenigstens eine Modifizierungsschaltung als Teil der Modifizierungseinheit (457) umfasst, welche einer Gruppe entnommen ist, die XOR-Gatter (4571), NAND-Gatter und AND-Gatter enthält.
  4. Speicherbauelement nach einem der Ansprüche 2 bis 3, wobei die Bitfehlerschaltung (45) beim Lese- und/oder Schreibzugriff zuschaltbar ist.
  5. Speicherbauelement nach einem der Ansprüche 2 bis 4, wobei die Frequenz der steuerbaren Modifizierung zur Festlegung der Fehlerhäufigkeit einstellbar ist.
  6. Speicherbauelement nach einem der Ansprüche 2 bis 5, wobei die Speicheradresse im Speicherbauelement, die für das wenigstens eine modifizierte Zugriffsdatum vorgesehen ist, einstellbar ist.
  7. Speicherbauelement nach einem der Ansprüche 2 bis 6, wobei die Speicherzeilen- und Speicherspaltenadresse des wenigstens einen modifizierten Zugriffsdatums einstellbar ist zur Erzeugung wenigstens eines Bitfehlers in einer vorbestimmten Speicherzelle des Speicherbauelements.
  8. Speicherbauelement nach einem der Ansprüche 2 bis 7, welches eingerichtet ist, Zugriffe in Form von Datenbursts zu verarbeiten, wobei die Bitfehlerschaltung (45) eine Burst-Bit-Fehlereinfügeeinheit (453) umfasst zur Erzeugung wenigstens eines einzelnen Bitfehlers an einer quasi-zufälligen Position wenigstens eines vorbestimmten der Datenbursts.
  9. Speicherbauelement nach einem der Ansprüche 2 bis 8, wobei die Modifizierung des wenigstens einen Zugriffsdatums basierend auf einer bauelementspezifischen Chip-ID (30) des Speicherbauelements quasi-zufällig steuerbar ist.
  10. Speicherbauelement nach einem der Ansprüche 2 bis 9, wobei die Bitfehlerschaltung (45) eine Adressvergleichseinheit (451) umfasst zum Überprüfen der Übereinstimmung einer quasi-zufälligen Fehleradresse, die aus der bauelementspezifischen Chip-ID (30) ableitbar ist, mit der Speicherzeilen- und Speicherspaltenadresse des Zugriffsdatums oder des Zugriffsdatenbursts, wobei die Adressvergleichseinheit (451) eingerichtet ist, um ein Speicherzeilenadressübereinstimmungssignal (4511) und ein Speicherspaltenadressübereinstimmungssignal (4512) bzgl. der Speicherzeilen- und Speicherspaltenadresse des Zugriffsdatums oder des Zugriffsdatenbursts zu erzeugen.
  11. Speicherbauelement nach einem der Ansprüche 2 bis 10, wobei die Bitfehlerschaltung (45) eine Fehlerartauswahleinheit (452) umfasst, die eingerichtet ist, vorbestimmbar wahlweise bei aktivem Speicherzeilenadressübereinstimmungssignal (4511), aktivem Speicherspaltenadressübereinstimmungssignal (4512) oder aktivem Speicherzeilen- (4511) und Speicherspaltenadressübereinstimmungssignal (4512) ein vorläufiges Fehlerauslösesignal (4521) zu erzeugen.
  12. Speicherbauelement nach einem der Ansprüche 2 bis 11, wobei die Burst-Bit-Fehlereinfügeeinheit (453) ein Schieberegister (4531) umfasst, dessen Inhalt entsprechend jedem Datenbit eines Zugriffsdatenbursts und wenigstens einem vorbestimmten aus der bauelementspezifischen Chip-ID (30) abgeleiteten Wert in eine vorbestimmte Richtung zyklisch verschiebbar ist, um ein Burst-Bit-Fehlerauslösesignal (4534) für die Einstellung zu erzeugen, welches wenigstens eine Bit des Zugriffsdatenbursts zur Erzeugung des wenigstens einen Bitfehlers zu invertieren ist.
  13. Speicherbauelement nach einem der Ansprüche 2 bis 12, wobei die Bitfehlerschaltung (45) eine Fehlerfrequenzeinheit (454) umfasst, die eingerichtet ist, die Fehleranzahl der Bitfehler oder der fehlerhaften Datenbursts zu zählen, um das vorläufige Fehlerauslösesignal (4521) oder das Burst-Bit-Fehlerauslösesignal (4534) zur Modifizierungseinheit (457) weiterzuleiten, wenn eine vorbestimmbare Fehleranzahl erreicht worden ist.
  14. Speicherbauelement nach einem der Ansprüche 2 bis 13, wobei die Bitfehlerschaltung (45) eine Schreib-/Lesefehler-Multiplexereinheit (455) umfasst, die eingerichtet ist, vorbestimmbar das vorläufige Fehlerauslösesignal (4521) oder das Burst-Bit-Fehlerauslösesignal (4534) als Schreib- (471) und/oder Lesefehler-Fehlerauslösesignal (472) zur Modifizierungseinheit (457) weiterzuleiten.
  15. Speicherbauelement nach einem der Ansprüche 2 bis 14, wobei die Bitfehlerschaltung (45) wenigstens zwei XOR-Gatter (4571, 4572) als Teil der Modifizierungseinheit (457) umfasst, die durch das Zugriffsdatum und das Schreib- (471) bzw. das Lesefehler-Fehlerauslösesignal (472) ansteuerbar sind.
  16. Speicherbauelement nach einem der Ansprüche 2 bis 15, wobei wenigstens eine Einstellung der Bitfehlerschaltung (45) durch wenigstens eine Einstellung eines Modus-Registers (460) und/oder wenigstens eine Testmodussequenz programmierbar ist.
  17. Speicherbauelement nach einem der Ansprüche 2 bis 16, wobei die Bitfehlerschaltung (45) mit wenigstens einer Treiber-/Empfängerschaltung (50) für eine Datenleitung des Speicherbauelements gekoppelt ist.
  18. Speicherbauelement nach einem der Ansprüche 2 bis 17, wobei die Bitfehlerschaltung (45) zwischen wenigstens einen Datenzwischenspeicher (41) und die Treiber-/Empfängerschaltung (50) für eine Datenleitung des Speicherbauelements gekoppelt ist.
  19. Speichermodul, umfassend wenigstens ein Speicherbauelement nach einem der Ansprüche 2 bis 18.
  20. Speichermodul, nach Anspruch 19 umfassend wenigstens zwei Speicherbauelemente nach einem der Ansprüche 2 bis 18, wobei die Bitfehlerschaltungen der Speicherbauelemente eingerichtet sind, Bitfehler zeitlich koordiniert zu erzeugen.
  21. Verfahren zum Testen einer Fehlerkorrektur-Funktionalität beim Zugriff auf ein Speicherbauelement mit dem Schritt: steuerbares Modifizieren wenigstens eines Zugriffsdatums beim Zugriff auf das Speicherbauelement durch eine Bitfehlerschaltung zur Erzeugung wenigstens eines Bitfehlers.
  22. Verfahren nach Anspruch 21, wobei das Modifizieren des wenigstens einen Zugriffsdatums quasi-zufällig gesteuert erfolgt basierend auf einer bauelementspezifischen Chip-ID des Speicherbauelements.
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