DE102007051669A1 - Abbildende Optik, Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie mit einer derartigen abbildenden Optik sowie Verfahren zur Herstellung eines mikrostrukturierten Bauteils mit einer derartigen Projektionsbelichtungsanlage - Google Patents
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
| 8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: CARL ZEISS SMT GMBH, 73447 OBERKOCHEN, DE |
|
| 8131 | Rejection | ||
| R003 | Refusal decision now final |
Effective date: 20110222 |