DE102007033086A1 - Verfahren zur Herstellung eines optischen Bauteils mit Längsbohrungen, sowie mikrostrukturierte optische Faser - Google Patents

Verfahren zur Herstellung eines optischen Bauteils mit Längsbohrungen, sowie mikrostrukturierte optische Faser Download PDF

Info

Publication number
DE102007033086A1
DE102007033086A1 DE102007033086A DE102007033086A DE102007033086A1 DE 102007033086 A1 DE102007033086 A1 DE 102007033086A1 DE 102007033086 A DE102007033086 A DE 102007033086A DE 102007033086 A DE102007033086 A DE 102007033086A DE 102007033086 A1 DE102007033086 A1 DE 102007033086A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
cladding tube
perforated
ensemble
longitudinal bores
longitudinal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE102007033086A
Other languages
English (en)
Inventor
Peter Bauer
Jan Vydra
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Heraeus Quarzglas GmbH and Co KG
Original Assignee
Heraeus Quarzglas GmbH and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Heraeus Quarzglas GmbH and Co KG filed Critical Heraeus Quarzglas GmbH and Co KG
Priority to DE102007033086A priority Critical patent/DE102007033086A1/de
Priority to PCT/EP2008/054546 priority patent/WO2009010317A1/en
Publication of DE102007033086A1 publication Critical patent/DE102007033086A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/02Optical fibres with cladding with or without a coating
    • G02B6/02295Microstructured optical fibre
    • G02B6/02314Plurality of longitudinal structures extending along optical fibre axis, e.g. holes
    • G02B6/02342Plurality of longitudinal structures extending along optical fibre axis, e.g. holes characterised by cladding features, i.e. light confining region
    • G02B6/02357Property of longitudinal structures or background material varies radially and/or azimuthally in the cladding, e.g. size, spacing, periodicity, shape, refractive index, graded index, quasiperiodic, quasicrystals
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/01205Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from tubes, rods, fibres or filaments
    • C03B37/01211Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from tubes, rods, fibres or filaments by inserting one or more rods or tubes into a tube
    • C03B37/0122Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from tubes, rods, fibres or filaments by inserting one or more rods or tubes into a tube for making preforms of photonic crystal, microstructured or holey optical fibres
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/01205Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from tubes, rods, fibres or filaments
    • C03B37/01225Means for changing or stabilising the shape, e.g. diameter, of tubes or rods in general, e.g. collapsing
    • C03B37/01228Removal of preform material
    • C03B37/01231Removal of preform material to form a longitudinal hole, e.g. by drilling
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/01205Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from tubes, rods, fibres or filaments
    • C03B37/01225Means for changing or stabilising the shape, e.g. diameter, of tubes or rods in general, e.g. collapsing
    • C03B37/0124Means for reducing the diameter of rods or tubes by drawing, e.g. for preform draw-down
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2203/00Fibre product details, e.g. structure, shape
    • C03B2203/02External structure or shape details
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2203/00Fibre product details, e.g. structure, shape
    • C03B2203/10Internal structure or shape details
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2203/00Fibre product details, e.g. structure, shape
    • C03B2203/10Internal structure or shape details
    • C03B2203/14Non-solid, i.e. hollow products, e.g. hollow clad or with core-clad interface
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2203/00Fibre product details, e.g. structure, shape
    • C03B2203/42Photonic crystal fibres, e.g. fibres using the photonic bandgap PBG effect, microstructured or holey optical fibres
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/02Optical fibres with cladding with or without a coating
    • G02B6/02295Microstructured optical fibre
    • G02B6/02314Plurality of longitudinal structures extending along optical fibre axis, e.g. holes
    • G02B6/02319Plurality of longitudinal structures extending along optical fibre axis, e.g. holes characterised by core or core-cladding interface features
    • G02B6/02323Core having lower refractive index than cladding, e.g. photonic band gap guiding
    • G02B6/02328Hollow or gas filled core
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/102Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type for infrared and ultraviolet radiation
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Abstract

Es geht bei der Erfindung um ein Verfahren zur Herstellung eines optischen Bauteils mit Längsbohrungen aus einem SiO<SUB>2</SUB>-haltigen Glas. Um hiervon ausgehend ein kostengünstiges Verfahren bereitzustellen, das die Herstellung einer mikrostrukturierten optischen Faser mit Längsbohrungen mit hoher geometrischer Präzision oder einer Vorform zum Ziehen einer derartigen Faser ermöglicht, wird erfindungsgemäß ein Verfahren vorgeschlagen, das folgende Verfahrensschritte umfasst: (a) Bereitstellen eines eine Mittelachse aufweisenden Kernstabs, (b) Bereitstellen eines perforierten Hüllrohres, das eine Hüllrohr-Längsachse und eine Hüllrohr-Wandung aufweist, die mit einer oder mit mehreren, parallel zur Hüllrohr-Längsachse verlaufenden und durch mechanisches Bohren erzeugten Längsbohrungen versehen ist, (c) Bilden eines koaxialen Ensembles, umfassend den Kernstab und das den Kernstab umhüllende perforierte Hüllrohr, und (d) Kollabieren des Ensembles (1) unter Bildung des optischen Bauteils (40).

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines optischen Bauteils mit Längsbohrungen in Form einer mikrostrukturierten optischen Faser oder in Form einer Vorform, aus der eine mikrostrukturierte optische Faser durch Ziehen erhalten werden kann.
  • Außerdem betrifft die Erfindung eine mikrostrukturierte optische Faser, die einen Kernbereich und einen diesen umgebenden Mantelbereich aufweist, der von einer Vielzahl kapillarer Hohlräume durchzogen ist.
  • Mikrostrukturierte optische Fasern mit Längsbohrungen, wie etwa „Photonic Crystal Fibres (PCF)", „Holey Fibres", „optische Hohlfasern", „photonische Kristallfasern" oder so genannte „Air Clad-Fasern", stellen eine besondere Form optischer Fasern aus Quarzglas dar, wie sie in vielen Gebieten der Telekommunikationstechnik, der Materialbearbeitung oder in der Medizin- und Analysetechnik eingesetzt werden.
  • Die Lichtführung in einer mikrostrukturierten optischen Faser mit Längsbohrungen wird durch Hohlräume beeinflusst, die die Fasern über ihre gesamte Länge durchziehen, und die in einer bestimmten geometrischen Anordnung um den Kernbereich angeordnet sind. Die mikrostrukturierte optische Faser mit Längsbohrungen hat einen Kernbereich, der von einem mit Hohlräumen durchzogenen Mantelbereich umgeben ist.
  • Für die Herstellung mikrostrukturierter optischer Fasern mit Längsbohrungen sind zwei grundlegend unterschiedliche Techniken bekannt. In der JP-2005-247620 A wird ein Verfahren vorgeschlagen, bei dem ein Ensemble zusammengestellt wird, bestehend aus einem inneren Kernstab und einer Vielzahl darum herum angeordneter Kapillarröhrchen, die an einem Ende verschlossen sind. Die Kapillarröhrchen und der Kernstab sind mit ihren Längsachsen parallel zueinander innerhalb der Innenbohrung eines Hüllrohres mit polygonalem Innenquerschnitt dichtest möglich angeordnet. Vor dem Faserziehen wird die Luft innerhalb der Kapillarröhrchen durch Argon oder Stickstoff ausgetauscht, und danach wird dem Ensemble mit der offenen Seite beginnend zonenweise erweicht und kollabiert und dabei gleichzeitig zu einer mikrostrukturierten optischen Faser abgezogen.
  • Ein Problem besteht darin, die Hohlräume zwischen den Kapillarröhrchen beim Kollabieren des Ensembles vollständig zu eliminieren, ohne dass dabei auch die Innenbohrungen der Kapillarröhrchen kollabieren oder sich übermäßig verjüngen.
  • Es ist auch bekannt, eine massive Vorform oder einen sogenannten Kernstab für die Herstellung mikrostrukturierter Fasern mit axialen Längsbohrungen zu versehen. Ein derartiges Verfahren ist in der EP 1 327 611 A2 beschrieben. Es wird vorgeschlagen, die Längsbohrungen der Vorform mechanisch mittels eines Ultraschallbohrers zu erzeugen.
  • Die Lichtausbreitung erfolgt im Wesentlichen im Material des Kernstabs. Daher sind die Anforderungen an dessen Reinheit, Homogenität und Maßhaltigkeit besonders hoch und die Herstellung ist kostenintensiv. Der Kernstab stellt in der Regel den wertvollsten Bestandteil der Vorform dar. Er besteht aus einem Kernbereich, der meist von einem Mantelbereich mit anderem Brechungsindex umhüllt ist.
  • Beim bekannten Verfahren besteht das Risiko, dass beim Fehlschlagen einer Bohrung die gesamte Vorform oder der Kernstab zu verwerfen sind, was einen beträchtlichem Materialausschuss, Zeit- und Kostenaufwand bedeutet.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein kostengünstiges Verfahren bereitzustellen, das die Herstellung einer mikrostrukturierten optischen Faser mit Längsbohrungen mit hoher geometrischer Präzision oder einer Vorform zum Ziehen einer derartigen Faser ermöglicht.
  • Weiterhin liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine dämpfungsarme mikrostrukturierte optische Faser hoher Präzision anzugeben.
  • Hinsichtlich des Verfahrens wird diese Aufgabe erfindungsgemäß gelöst durch ein Verfahren, das die folgenden Verfahrensschritte umfasst:
    • (a) Bereitstellen eines eine Mittelachse aufweisenden Kernstabs,
    • (b) Bereitstellen eines perforierten Hüllrohres, das eine Hüllrohr-Längsachse und eine Hüllrohr-Wandung aufweist, die mit einer oder mit mehreren, parallel zur Hüllrohr-Längsachse verlaufenden und durch mechanisches Bohren erzeugten Längsbohrungen versehen ist,
    • (c) Bilden eines koaxialen Ensembles, umfassend den Kernstab und das den Kernstab umhüllende perforierte Hüllrohr, und
    • (d) Kollabieren des Ensembles unter Bildung des optischen Bauteils.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren betrifft diejenige Technik, bei der ein Ensemble aus zylinderförmigen Bauteilen zusammengestellt, dieses kollabiert und dabei gleichzeitig zu dem optischen Bauteil mit Längsbohrungen elongiert wird. Dabei wird das optische Bauteil in Form einer mikrostrukturierten optischen Faser erhalten oder in Form einer Vorform, aus der eine mikrostrukturierte optische Faser anschließend gezogen werden kann. Außer dem Kernstab und mindestens einem den Kernstab koaxial umhüllenden perforierten Hüllrohr kann das Ensemble weitere Bauteile umfassen, insbesondere Mantelrohre, Stäbe oder Kapillaren, wie dies auch sonst bei koaxialen Ensembles aus dem Stand der Technik bekannt ist.
  • Die erfindungsgemäße Modifikation des Standes der Technik beruht im Wesentlichen darauf, dass mindestens eines der Hüllrohre eine perforierte Wandung aufweist. Die Wandung ist mit einer Längsbohrung oder mit mehreren Längsbohrungen durchzogen, die parallel zur Hüllrohr-Längsachse verlaufen und die durch mechanisches Aufbohren der Hüllrohr-Wandung erzeugt sind. Das perforierte Hüllrohr umgibt den Kernstab unmittelbar oder mittelbar. Im Fall mehrere Längsbohrungen sind diese statistisch in der Hüllrohr-Wandung verteilt oder sie sind in Form eines oder mehrerer Lochkränze mit kreisförmigem oder polygonalem Querschnitt um die Hüllrohr-Längsachse angeordnet. Soweit nicht ausdrücklich anderes beschrieben, betreffen die folgenden Erläuterungen auch die Ausführungsform mit nur einer Längsbohrung, auch wenn sich diese der Übersichtlichkeit halber nur mit der Ausführungsform mit mehreren Längsbohrungen befassen. Die Längsbohrungen – oder zumindest ein Teil davon – bleiben nach dem Kollabieren des Ensembles erhalten und bilden in der optischen Faser feine, um den Kernbereich verteilte und parallel zur Faser-Längsachse verlaufende Kanäle.
  • Durch die Erfindung ergeben sich folgende Vorteile:
    • (1) Die Längsbohrungen können in dem perforierten Hüllrohr separat von den übrigen Bauteilen des Ensembles, insbesondere separat vom Kernstab erzeugt werden, so dass bei fehlerhaften Bohrungen der Materialverlust vergleichsweise geringfügig ist. Der Durchmesser der Längsbohrungen und ihre geometrische Verteilung innerhalb der Wandung sind einfach an die Anforderungen anzupassen, was eine flexible Herstellung eines mikrostrukturierten Bauteils möglich.
    • (2) Der Bereich zwischen den Längsbohrungen der Hüllrohr-Wandung ist bereits mit Glasmasse aufgefüllt. Bei einem derartigen Hüllrohr ist es nicht erforderlich, Hohlräume zu kollabieren, wie dies bei aneinander liegenden Kapillaren der Fall ist.
    • (3) Die Längsbohrungen werden durch mechanisches Aufbohren erzeugt, was eine hohe Genauigkeit und Variabilität gewährleistet.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren verbindet somit die bekannten Techniken, wobei es von deren Vorteilen Gebrauch macht, aber gleichzeitig deren Nachteile vermeidet.
  • Der mindestens eine Kernstab umfasst in Regel einen Kernbereich aus einem Glaswerkstoff mit höherem Brechungsindex oder aus einem Glaswerkstoff, der mit aktiven Komponenten dotiert ist, wie dies von Laserfasern oder Verstärkerfasern bekannt ist. Der Kernstab selbst kann mit Bohrungen versehen sein, wobei dies aus den oben erwähnten Gründen nicht bevorzugt ist. Die nach dem Verfahren erhaltene optische Faser kann als so genannte „Einfachmodenfaser" oder als „Mehrmodenfaser" ausgeführt sein.
  • Mindestens ein Teil des gesamten Mantelbereichs der mikrostrukturierten optischen Faser wird über das perforierte Hüllrohr bereitgestellt. Außerdem können ein oder mehrere Mantelrohre aus Quarzglas zum Mantelmaterial der Faser beitragen, oder eine oder mehrere Schichten aus SiO2-Soot, die auf der Außenwandung des Hüllrohres oder von Mantelrohren aufgebracht werden.
  • Das mindestens eine Hüllrohr zeigt im einfachsten Fall einen ringförmigen Querschnitt. Die Hüllrohr-Innenwandung oder die Hüllrohr-Außenwandung können aber unabhängig voneinander auch andere Geometrien aufweisen, wie etwa eine ovale oder polygonale Geometrie. Im Zusammenhang mit einem Ensemble, bei dem innerhalb der Hüllrohr-Innenbohrung weitere Bauteile um den Kernstab angeordnet sind, kann insbesondere ein Hüllrohr mit im Querschnitt hexagonaler Innenwandung vorteilhaft eingesetzt werden.
  • Durch das Kollabieren des Ensembles wird eine Vorform erhalten. Besonders vorteilhaft ist eine Verfahrensvariante, bei der das Kollabieren des Ensembles gemäß Verfahrensschritt (d) mit einem Elongieren des Ensembles einhergeht.
  • Dabei wird je nach Grad des Elongierens eine Vorform oder eine optische Faser erhalten. Das Kollabieren und Elongieren des Ensembles kann dabei in zeitlich aufeinander folgenden Verfahrensschritten oder gleichzeitig ausgeführt werden. Durch ein gleichzeitiges Elongieren kann die Einhaltung vorgegebener Abmessungen des Endproduktes (Vorform oder Faser) erleichtert werden.
  • Weiterhin hat es sich bewährt, wenn das Bereitstellen des perforierten Hüllrohres gemäß Verfahrensschritt (b) eine Maßnahme umfasst, bei der ein mit den Längsbohrungen versehener dickwandiger Ausgangs-Hohlzylinder zu einem Hüllrohrstrang elongiert wird.
  • Dabei wird aus einem einzigen dickwandigen Ausgangs-Hohlzylinder ein perforiertes Hüllrohr oder mehrere perforierte Hüllrohren erhalten. Die Ausführung der mechanischen Bohrungen und das Einhalten der Maßhaltigkeit sind in einem dickwandigeren Hohlzylinder im Vergleich zu einem dünnwandigen Rohr relativ einfach zu bewerkstelligen. Darüber hinaus zeichnen sich die nach dem Elongieren des Ausgangs-Hohlzylinders erhaltenen Längsbohrungen durch eine im Schmelz fluss erzeugte, glatte Innenwandung aus. Dies gilt gleichermaßen für die innere und äußere Zylindermantelfläche des Hüllrohres. Eine glatte Innenwandung ist vergleichsweise einfach zu reinigen und vermindert Anhaftungen und Ablagerungen von Partikeln.
  • In dem Zusammenhang hat es sich auch bewährt, wenn der Hüllrohrstrang zu einer Vielzahl von perforierten Hüllrohren abgelängt wird.
  • Dabei wird aus einem einzigen dickwandigen Ausgangs-Hohlzylinder eine Vielzahl von perforierten Hüllrohren erhalten. Der Aufwand zur Erzeugung der Längsbohrungen im dickwandigen Ausgangs-Hohlzylinder fällt nur einmal an, was sich auf die Produktivität des Verfahrens vorteilhaft auswirkt
  • Die Längsbohrungen des Hüllrohres sind erfindungsgemäß auf einen mechanischen Bohrvorgang zurückzuführen. Es hat sich aber auch als vorteilhaft erwiesen, wenn die Innenbohrung des Hüllrohres durch mechanische Bearbeitung erhalten wird.
  • Durch mechanische Bearbeitung lassen sich Maßvorgaben exakt einhalten. Vorteilhafterweise wird auch die Außenwandung durch mechanische Bearbeitung erhalten. Etwaige Maßabweichungen werden durch einen anschließenden Elongierprozess maßstäblich verkleinert und gleichzeitig werden dabei Oberflächenrauhigkeiten beseitigt.
  • Vorzugsweise werden mehrere Längsbohrungen erzeugt, die auf einem Hüllkreis um die Hüllrohr-Längsachse verteilt sind.
  • Die Längsbohrungen bilden hierbei einen Lochkranz, um dessen Umfang sie (gleichmäßig) verteilt sind. Eine Zylindersymmetrie der Bohrungen wirkt sich in der Regel auf die Übertragungseigenschaften der optischen Faser vorteilhaft aus.
  • Im Hinblick darauf, ein vorgegebenes Faserdesign mit hoher Flexibilität und gleichzeitig hoher Maßhaltigkeit gewährleisten zu können, hat sich eine Verfahrensvariante bewährt, bei der die Längsbohrungen auf mehreren, unterschiedlich großen Hüllkreisen um die Hüllrohr-Längsachse verteilt sind.
  • Alternativ oder ergänzend dazu hat es sich bewährt, wenn das das Bilden des koaxialen Ensembles gemäß Verfahrensschritt (c) das Umgeben des perforierten Hüllrohres mit mindestens einem weiteren, zweiten perforierten Hüllrohr mit größerem Innendurchmesser umfasst, welches eine Wandung aufweist, die mit einer Vielzahl von Längsbohrungen versehen ist, die parallel zur Hüllrohr-Längsachse verlaufen.
  • Durch den Einsatz mehrerer koaxial zueinander angeordneter perforierter Hüllrohre – zum Beispiel auch mit unterschiedlicher Geometrie im Querschnitt – sind die optischen Eigenschaften des Ensembles einfach an die Erfordernisse anzupassen.
  • In der Regel umfasst das Bilden des koaxialen Ensembles gemäß Verfahrensschritt (c) das Umgeben des perforierten Hüllrohres mit mindestens einem weiteren eine Längsachse aufweisenden Mantelrohres mit größerem Innendurchmesser.
  • Innerhalb der Innenbohrung des Mantelrohres sind weitere Bauteile des Ensembles angeordnet. Der Innenquerschnitt des Mantelrohres ist in der Regel rund, er kann jedoch auch polygonal sein, was eine dichte Anordnung von etwaigen zusätzlichen Kapillaren oder Stäben innerhalb der Mantelrohr-Innenbohrung erleichtert.
  • Weiterhin hat es sich als günstig erwiesen, wenn das Ensemble vor dem Kollabieren und Elongieren gemäß Verfahrensschritt (d) einer Reinigungsbehandlung unterzogen wird, die ein Gasphasenätzen bei einer Temperatur oberhalb von 1400°C umfasst.
  • Beim Gasphasenätzen werden die Oberflächen des Ensembles mit einem Ätzgas beaufschlagt, was zu einem oberflächlichen Abtrag der frei zugänglichen SiO2-Oberflächen führt. Verunreinigte Oberflächenschichten werden so entfernt und dabei auch anhaftende Verunreinigungscluster von dem Ätzgas unterwandert und mittels der Ätzmittel-Strömung abgelöst und ausgetragen. Beim Gasphasenätzen ist die Gefahr gering, dass Rückstände innerhalb des Ensembles verbleiben und es erleichtert insbesondere die Beseitigung von Hydroxylgruppen aus einer ober flächennahen Schicht des Quarzglases. Das Ätzgas ist ein mit SiO2 chemisch reagierendes Ätzmittel, wie zum Beispiel SF6 oder C2F6. Das Gasphasenätzen wird vorzugsweise als Heißätzprozess bei einer Temperatur oberhalb von 1400°C durchgeführt, so dass eine hohe Löslichkeit von Verunreinigungen ergibt. Insbesondere lassen sich Hydroxylgruppen aus tieferen Schichten erst dadurch in wirtschaftlich akzeptablen Behandlungsdauern entfernen. Diese Verfahrensvariante wird besonders bevorzugt, wenn das Ensemble ein die übrigen Bauteile umhüllendes Mantelrohr umfasst. Das Ätzgas wird dann in die Innenbohrung des Mantelrohres eingeleitet.
  • Es hat sich als günstig erwiesen, wenn beim Kollabieren gemäß Verfahrensschritt (d) ein vorgegebener Druck in den Längsbohrungen erzeugt und aufrechterhalten wird.
  • In den mindestens einseitig offenen Längsbohrungen wird hierbei ein Unterdruck oder ein Überdruck gegenüber dem Außen anliegenden Druck aufrechterhalten. Dies erleichtert die Einhaltung oder die Einstellung eines vorgegebnen Innendurchmessers der Längsbohrungen nach dem Kollabieren.
  • Es hat sich auch bewährt, wenn die Längsbohrungen des perforierten Hüllrohres vor dem Kollabieren und Elongieren gemäß Verfahrensschritt (d) einseitig oder beidseitig verschlossen werden.
  • Die Längsbohrungen können mittels Stopfen oder dergleichen verschlossen werden. Dadurch wird gewährleistet, dass während der Herstellung des Ensembles und seiner Weiterverarbeitung zu der mikrostrukturierten optischen Faser weder Verunreinigungen aus der Umgebung in die Innenbohrung der Längsbohrungen gelangen, die sich in einem späteren Heißprozess nachteilig auswirken könnten, noch dass etwaige Verunreinigungen aus den Längsbohrungen in die anderen Bereiche des Ensembles eingetragen werden, wo sie sich möglicherweise besonders schädlich auswirken könnten. Darüber hinaus vermindert der Gasdruck in der Innenbohrung der beidseitig geschlossenen Längsbohrungen die Gefahr eines vollständigen Kollabierens.
  • Gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahrens wird somit ein Halbzeug für die Herstellung einer mikrostrukturierten optischen Faser eingesetzt, in Form eines eine Längsachse aufweisenden, perforierten Hüllrohres, das eine Wandung aufweist, die mit einer Längsachsbohrung oder mit einer Vielzahl von Längsbohrungen durchzogen ist, welche parallel zur Längsachse verlaufen, wobei die Herstellung der mindestens einen Längsbohrung ein mechanisches Bohren umfasst.
  • Durch den Einsatz dieses Halbzeugs ergeben sich folgende Vorteile:
    • (1) Die Längsbohrungen können in dem perforierten Hüllrohr separat von den übrigen Bauteilen des Ensembles, insbesondere separat vom Kernstab erzeugt werden, so dass auch bei fehlerhaften Bohrungen der Materialverlust vergleichsweise geringfügig ist. Der Durchmesser der Längsbohrungen oder der Durchmesser des von den Längsbohrungen gebildeten Lochkranzes ist einfach an die Anforderungen anzupassen, was eine flexible Herstellung eines mikrostrukturierten Bauteils möglich.
    • (2) Der Bereich zwischen den Längsbohrungen ist bereits mit Glasmasse aufgefüllt. Es nicht erforderlich, Hohlräume zu kollabieren, wie dies bei aneinander liegenden Kapillaren der Fall ist.
    • (3) Die Längsbohrungen des Halbzeugs werden durch mechanisches Aufbohren erzeugt, was eine hohe Genauigkeit und Variabilität gewährleistet.
  • Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform weisen die Längsbohrungen des perforierten Hüllrohres eine im Schmelzfluss erzeugte Innenwandung auf.
  • Die im Schmelzfluss erzeugte Innenwandung der Längsbohrungen wird beispielsweise dadurch erhalten, dass das perforierte Hüllrohr in einem Elongier-Verfahren erzeugt wird. Hierzu wird ein dickwandiger Ausgangs-Zylinder mit Längsbohrungen parallel zur Zylinder-Längsachse versehen und anschließend zu einem Hüllrohr-Strang elongiert. Aus diesem wird eine Vielzahl von Hüllrohren erhalten. Dabei weisen nicht nur die Längsbohrungen eine im Schmelzfluss erzeugte Innenwandung auf, sondern auch die übrigen Zylindermantelflächen des Hüllrohres.
  • Durch Elongieren eines koaxialen Ensembles gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren, insbesondere unter Einsatz des oben beschriebenen Halbzeugs wird die mikrostrukturierte optische Faser gemäß der Erfindung erhalten, bei der der den Kernbereich umgebende Mantelbereich von einer Vielzahl kapillarer Hohlräume durchzogen ist.
  • Der Mantelbereich der Faser oder ein Teil davon sowie alle kapillaren Hohlräume oder ein Teil derselben werden durch ein perforiertes Hüllrohr oder mehrere perforierte Hüllrohre im Sinne der Erfindung bereitgestellt, indem ein entsprechendes Ensemble von Bauteilen kollabiert und zu einer Vorform für die optische Faser oder direkt zu der optischen Faser elongiert werden. Die Längsbohrungen des oder der Hüllrohre bilden danach kapillare Hohlräume der Faser.
  • Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen und einer Zeichnung näher erläutert. Im Einzelnen zeigen in schematischer Darstellung:
  • 1 eine erste Ausführungsform eines perforierten Hüllrohres zum Einsatz beim erfindungsgemäßen Verfahren, im radialen Querschnitt,
  • 2 eine zweite Ausführungsform eines perforierten Hüllrohres zum Einsatz beim erfindungsgemäßen Verfahren, im radialen Querschnitt,
  • 3 eine Ausführungsform eines Ensembles aus Mantelrohr, perforiertem Hüllrohr und Kernstab in einer Seitenansicht, und.
  • 4 eine aus dem Ensemble gemäß 3 durch Elongieren erhaltene mikrostrukturierte optische Faser mit einer Darstellung ihrer Hohlraumstruktur im radialen Querschnitt.
  • 1 zeigt ein Hüllrohr 1 aus synthetischem Quarzglas mit einem im Querschnitt runden Außenmantel und einer im Querschnitt runden Innenbohrung 2. Das Hüllrohr 1 hat einen Außendurchmesser von 45 mm, einen Innendurchmesser von 21 mm und eine Länge von 700 mm.
  • Die Wandung des Hüllrohres 1 ist mit einer Vielzahl von Durchgangsbohrungen 3 perforiert, die sich parallel zur Hüllrohr-Längsachse 4 erstrecken. Die Durch gangsbohrungen 3 sind um einen Hüllkreis 5 um die Längsachse 4 gleichmäßig verteilt und haben einen Durchmesser von 7 mm.
  • Das Hüllrohr 1 wird durch Elongieren eines Ausgangszylinders erhalten, in dessen Wandung Durchgangsbohrung mechanisch erzeugt sind. Das Ausziehverhältnis beim Elongierprozess beträgt etwa 13, wobei das Verhältnis der radialen Querschnittsabmessungen (Außendurchmesser, Innendurchmesser und Durchmesser der Bohrungen) zueinander beim Elongierprozess erhalten bleibt. Die Durchgangsbohrungen des Ausgangszylinders bilden danach die Durchgangsbohrungen im Hüllrohr 1. Demzufolge sind die Innenwandungen der Durchgangsbohrungen 3 sowie die Innenwandung 6 der Innenbohrung 2 und die Außenwandung 7 des Hüllrohres 1 im Schmelzfluss erzeugt.
  • 2 zeigt eine weitere Ausführungsform eines derartigen Halbzeugs in Form eines Hüllrohres 21 aus synthetischem Quarzglas. Diese hat ebenfalls einen im radialen Querschnitt runden Außenmantel und eine runde Innenbohrung 22. Das Hüllrohr 21 hat einen Außendurchmesser von 80 mm, einen Innendurchmesser von 24 mm und eine Länge von 700 mm.
  • Die Wandung des Hüllrohres 21 ist mit einer Vielzahl von Durchgangsbohrungen 23, 26 perforiert, die sich parallel zur Hüllrohr-Längsachse 24 erstrecken. Die Durchgangsbohrungen 23, 26 sind um einen inneren Hüllkreis 25 und um einen äußern Hüllkreis 27 um die Hüllrohr-Längsachse 24 gleichmäßig verteilt. Die Durchgangsbohrungen 23 um den inneren Hüllkreis 25 haben einen Durchmesser von 7 mm, und die Durchgangsbohrungen 26 um den äußeren Hüllkreis 27 haben einen Durchmesser von 10 mm.
  • Auch das Hüllrohr 21 wird durch Elongieren eines Ausgangszylinders erhalten, in dessen Wandung Durchgangsbohrung mechanisch erzeugt sind. Das Ausziehverhältnis beim Elongierprozess beträgt etwa 13, wobei das Verhältnis der radialen Querschnittsabmessungen (Außendurchmesser, Innendurchmesser und Durchmesser der Bohrungen) zueinander beim Elongierprozess erhalten bleibt. Die Durchgangsbohrungen des Ausgangszylinders bilden danach die Durchgangsbohrungen 23, 26 im Hüllrohr 21. Demzufolge sind die Innenwandungen der Durchgangsbohrungen 23, 26 sowie die Innenwandung 28 gangsbohrungen 23, 26 sowie die Innenwandung 28 der Innenbohrung 22 und die Außenwandung 29 des Hüllrohres 21 im Schmelzfluss erzeugt.
  • Die Hüllrohre 1 und 21 dienen als Halbzeug zur Herstellung einer Vorform für eine mikrostrukturierte optische Faser mittels einer Technik, bei der ein koaxiales Ensemble aus dem Hüllrohr 1, 21 und weiteren Bauteilen zusammengestellt und dieses nachfolgend kollabiert und elongiert wird. Diese Technik wird im Folgenden anhand 3 und anhand des in 1 beschriebenen Hüllrohres 1 näher erläutert.
  • 3 zeigt eine Seitenansicht eines koaxialen Ensembles 30 unter Einsatz eines perforierten Hüllrohres 1 gemäß 1. Das Hüllrohr 1 umgibt dabei unter Belassung eines Ringspalts 35 einen Kernstab 31. Dieser ist mit einem inneren Kernbereich 32 und einem Mantelbereich 33 versehen. Weiterhin umfasst das Ensemble 30 ein Mantelrohr 34, welches das Hüllrohr 1 unter Belassung eines weiteren Ringspalts 36 umgibt.
  • Der Kernstab 31 hat einen Außendurchmesser von 20 mm. Der Außendurchmesser des Mantelrohres 34 beträgt 160 mm und sein Innendurchmesser 46 mm.
  • Das Ensemble 30 wird einem Gasphasenätzen unterzogen, wobei durch die Innenbohrung des Mantelrohres 34 ein Ätzgas in Form von SF6 bei einer Temperatur von 1450°C geleitet wird. Dadurch werden die frei zugänglichen Quarzglas-Oberflächen oberflächlich abgetragen und dadurch gereinigt. Daraufhin werden die Durchgangsbohrungen 3 des Hüllrohres 1 einseitig verschlossen, indem die untere Stirnseite 37 des Hüllrohres 1 mittels einer Flamme erweicht und leicht lang gezogen wird (in der 3 nicht dargestellt). Das Ensemble 30 wird anschließend zu einer Vorform elongiert, indem es mit seiner unteren Stirnseite 37 beginnend kontinuierlich einer ringförmigen Heizzone zugeführt, darin zonenweise erweicht wird. Dabei wird in den Durchgangsbohrungen 3 ein Überdruck gegenüber dem außen anliegenden Druck und in den Ringspalten 35, 36 ein Unterdruck gegenüber dem außen anliegenden Druck aufrechterhalten. Die Ringspalte 35, 36 kollabieren dabei zonenweise und gleichzeitig wird das Ensemble zu der Vorform elongiert.
  • Das Ausziehverhältnis beim Elongierprozess beträgt etwa 4. Ein radialer Querschnitt der so erhaltenen Vorform 40 ist in 4 dargestellt. Es ist erkennbar, dass die vorherigen Ringspalte 35, 36 des Ensembles 30 kollabiert sind. Im Übrigen ist das Verhältnis der radialen Querschnittsabmessungen zueinander jedoch erhalten geblieben.
  • Die Vorform 40 wird in einem üblichen Faserziehprozess zu einer mikrostrukturierten optischen Faser gezogen. Der radiale Faserquerschnitt ist – abgesehen von der Größe – mit dem in 4 schematisch dargestellten radialen Vorformquerschnitt identisch. Die nach dem Ziehen erhaltene mikrostrukturierte optische Faser zeichnet sich insbesondere durch hohe geometrische Präzision aus. Die durch das Faserdesign vorgegebenen optischen Eigenschaften werden dadurch auch in der Praxis in hohem Maße erzielt.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • - JP 2005-247620 A [0005]
    • - EP 1327611 A2 [0007]

Claims (14)

  1. Verfahren zur Herstellung eines optischen Bauteils mit Längsbohrungen aus einem SiO2-haltigen Glas umfassend die folgenden Verfahrensschritte: (a) Bereitstellen eines eine Mittelachse aufweisenden Kernstabs (31), (b) Bereitstellen eines perforierten Hüllrohres (1; 21), das eine Hüllrohr-Längsachse (4; 24) und eine Hüllrohr-Wandung aufweist, die mit einer oder mit mehreren, parallel zur Hüllrohr-Längsachse (4; 24) verlaufenden und durch mechanisches Bohren erzeugten Längsbohrungen (3; 23; 26) versehen ist, (c) Bilden eines koaxialen Ensembles, umfassend den Kernstab (31) und das den Kernstab (31) umhüllende perforierte Hüllrohr (1; 21), und (d) Kollabieren des Ensembles (1) unter Bildung des optischen Bauteils (40).
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Kollabieren des Ensembles (1) gemäß Verfahrensschritt (d) mit einem Elongieren des Ensembles (1) einhergeht.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Bereitstellen des perforierten Hüllrohres (1; 21) gemäß Verfahrensschritt (b) eine Maßnahme umfasst, bei der ein mit den Längsbohrungen (3; 23; 26) versehener dickwandiger Ausgangs-Hohlzylinder zu einem Hüllrohrstrang elongiert wird.
  4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Hüllrohrstrang zu einer Vielzahl von perforierten Hüllrohren abgelängt wird.
  5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Innenbohrung (2; 22) des Hüllrohres (1; 21) durch mechanische Bearbeitung erhalten wird.
  6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Längsbohrungen (3; 23; 26) erzeugt werden, die auf einem Hüllkreis (5; 25; 27) um die Hüllrohr-Längsachse (4; 24) verteilt sind.
  7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Längsbohrungen (23; 26) auf mehreren, unterschiedlich großen Hüllkreisen (25; 27) um die Hüllrohr-Längsachse (24) verteilt sind.
  8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Bilden des koaxialen Ensembles (1) gemäß Verfahrensschritt (c) das Umgeben des perforierten Hüllrohres (1; 21) mit mindestens einem weiteren, zweiten perforierten Hüllrohr (1; 21) mit größerem Innendurchmesser umfasst, welches eine Wandung aufweist, die mit einer Vielzahl von Längsbohrungen (3; 23; 26) versehen ist, die parallel zur Hüllrohr-Längsachse (4; 24) verlaufen.
  9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Bilden des koaxialen Ensembles (1) gemäß Verfahrensschritt (c) das Umgeben des perforierten Hüllrohres (1; 21) mit mindestens einem weiteren eine Längsachse aufweisenden Mantelrohres mit größerem Innendurchmesser umfasst.
  10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Ensemble (1) vor dem Kollabieren gemäß Verfahrensschritt (d) einer Reinigungsbehandlung unterzogen wird, die ein Gasphasenätzen bei einer Temperatur oberhalb von 1400°C umfasst.
  11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass beim Kollabieren gemäß Verfahrensschritt (d) ein vorgegebener Druck in den Längsbohrungen (3; 23, 26) erzeugt und aufrechterhalten wird.
  12. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Längsbohrungen (3; 23; 26) des perforierten Hüllrohres (1; 21) vor dem Kollabieren gemäß Verfahrensschritt (d) einseitig oder beidseitig verschlossen werden.
  13. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein perforiertes Hüllrohr (1; 21) eingesetzt wird, bei dem die Längsbohrungen (3; 23; 26) eine im Schmelzfluss erzeugte Innenwandung aufweisen.
  14. Mikrostrukturierte optische Faser, die einen Kernbereich und einen diesen umgebenden Mantelbereich aufweist, der von einer Vielzahl kapillarer Hohlräume durchzogen ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Faser nach einem Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 12 erhalten wird.
DE102007033086A 2007-07-15 2007-07-15 Verfahren zur Herstellung eines optischen Bauteils mit Längsbohrungen, sowie mikrostrukturierte optische Faser Withdrawn DE102007033086A1 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102007033086A DE102007033086A1 (de) 2007-07-15 2007-07-15 Verfahren zur Herstellung eines optischen Bauteils mit Längsbohrungen, sowie mikrostrukturierte optische Faser
PCT/EP2008/054546 WO2009010317A1 (en) 2007-07-15 2008-04-15 Method for the manufacture of an optical component having longitudinal holes

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102007033086A DE102007033086A1 (de) 2007-07-15 2007-07-15 Verfahren zur Herstellung eines optischen Bauteils mit Längsbohrungen, sowie mikrostrukturierte optische Faser

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102007033086A1 true DE102007033086A1 (de) 2009-01-29

Family

ID=39627388

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102007033086A Withdrawn DE102007033086A1 (de) 2007-07-15 2007-07-15 Verfahren zur Herstellung eines optischen Bauteils mit Längsbohrungen, sowie mikrostrukturierte optische Faser

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE102007033086A1 (de)
WO (1) WO2009010317A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112912352A (zh) * 2018-10-24 2021-06-04 Asml荷兰有限公司 光纤及其生产方法

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2526879A (en) 2014-06-06 2015-12-09 Univ Southampton Hollow-core optical fibers
CN104199142B (zh) * 2014-09-02 2017-03-08 鞍山睿科光电技术有限公司 晶体结构大功率光纤
CN108473356B (zh) 2015-11-10 2022-05-17 Nkt光子学有限公司 用于预制件的元件、纤维生产方法和由预制件拉制的光纤
CN108474914B (zh) 2015-12-23 2021-02-02 Nkt光子学有限公司 光子晶体光纤组件
JP7107840B2 (ja) 2015-12-23 2022-07-27 エヌケイティー フォトニクス アクティーゼルスカブ 中空コア光ファイバおよびレーザシステム
EP3647874A1 (de) * 2018-11-05 2020-05-06 ASML Netherlands B.V. Optische fasern und herstellungsverfahren dafür
EP3766842A1 (de) * 2019-07-17 2021-01-20 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Verfahren zur herstellung einer hohlkernfaser und zur herstellung einer vorform für eine hohlkernfaser
EP3766841B1 (de) * 2019-07-17 2024-02-28 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Verfahren zur herstellung einer hohlkernfaser und zur herstellung einer vorform für eine hohlkernfaser

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4787927A (en) * 1985-08-13 1988-11-29 National Research Development Corporation Fabrication of optical fibers
WO2002072489A2 (en) * 2001-03-09 2002-09-19 Crystal Fibre A/S Fabrication of microstructured fibres
EP1255137A2 (de) * 2001-04-25 2002-11-06 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Optische Faser und Herstellungsverfahren
EP1327611A2 (de) 2002-01-09 2003-07-16 Nippon Telegraph and Telephone Corporation Verfahren zum Herstellen einer optischen Faser mit Löchern mittels eines Ultraschallbohrers
US20040175082A1 (en) * 2001-05-04 2004-09-09 Birks Timothy Adams Method and apparatus relating to optical fibres
US6944380B1 (en) * 2001-01-16 2005-09-13 Japan Science And Technology Agency Optical fiber for transmitting ultraviolet ray, optical fiber probe, and method of manufacturing the optical fiber probe
JP2005247620A (ja) 2004-03-03 2005-09-15 Masataka Nakazawa フォトニッククリスタルファイバの製造方法
EP1655625A1 (de) * 2003-08-13 2006-05-10 Nippon Telegraph and Telephone Corporation Optische faser und herstellungsverfahren dafür

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6411762B1 (en) * 1997-12-09 2002-06-25 Scientific-Atlanta, Inc. Optical fiber with irregularities at cladding boundary
JP4032226B2 (ja) * 2002-01-29 2008-01-16 住友電気工業株式会社 光ファイバプリフォームの製造方法
JP3630664B2 (ja) * 2002-01-29 2005-03-16 三菱電線工業株式会社 偏波保持フォトニッククリスタルファイバ
JP4158391B2 (ja) * 2002-03-25 2008-10-01 住友電気工業株式会社 光ファイバおよびその製造方法
CN1863741B (zh) * 2003-06-30 2011-03-30 普雷斯曼电缆及系统能源有限公司 用于对多孔光纤预制棒钻孔的方法和设备
WO2005010583A1 (en) * 2003-07-17 2005-02-03 Verrillon, Incorporated Optical fibers with improved resistance to ingressing molecules

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4787927A (en) * 1985-08-13 1988-11-29 National Research Development Corporation Fabrication of optical fibers
US6944380B1 (en) * 2001-01-16 2005-09-13 Japan Science And Technology Agency Optical fiber for transmitting ultraviolet ray, optical fiber probe, and method of manufacturing the optical fiber probe
WO2002072489A2 (en) * 2001-03-09 2002-09-19 Crystal Fibre A/S Fabrication of microstructured fibres
EP1255137A2 (de) * 2001-04-25 2002-11-06 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Optische Faser und Herstellungsverfahren
US20040175082A1 (en) * 2001-05-04 2004-09-09 Birks Timothy Adams Method and apparatus relating to optical fibres
EP1327611A2 (de) 2002-01-09 2003-07-16 Nippon Telegraph and Telephone Corporation Verfahren zum Herstellen einer optischen Faser mit Löchern mittels eines Ultraschallbohrers
EP1655625A1 (de) * 2003-08-13 2006-05-10 Nippon Telegraph and Telephone Corporation Optische faser und herstellungsverfahren dafür
JP2005247620A (ja) 2004-03-03 2005-09-15 Masataka Nakazawa フォトニッククリスタルファイバの製造方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112912352A (zh) * 2018-10-24 2021-06-04 Asml荷兰有限公司 光纤及其生产方法
CN112912352B (zh) * 2018-10-24 2023-03-28 Asml荷兰有限公司 光纤及其生产方法

Also Published As

Publication number Publication date
WO2009010317A1 (en) 2009-01-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102007033086A1 (de) Verfahren zur Herstellung eines optischen Bauteils mit Längsbohrungen, sowie mikrostrukturierte optische Faser
DE112004001055B4 (de) Verfahren zur Herstellung eines optischen Bauteils aus Quarzglas sowie Hohlzylinder aus Quarzglas zur Durchführung des Verfahrens
DE2448256C3 (de) Verfahren zur Herstellung von Glasfasern für optische Nachrichtenübertragung
EP0017742B1 (de) Verfahren zur Herstellung einer Multikanal-Lichtleitfaser
WO2005121037A1 (de) Verfahren zur herstellung eines optischen bauteils aus quarzglas
DE60010054T2 (de) Verfahren zum Herstellen einer optischen Faser mit Einstellung des Kerndiameterprofils der Vorform
DE102009004159B4 (de) Verfahren zur Herstellung einer Multi-Core-Preform
DE102004039645B3 (de) Verfahren zur Herstellung eines optischen Bauteils aus Quarzglas sowie zur Durchführung des Verfahrens geeignetes Vorprodukt
EP3766840A1 (de) Verfahren zur herstellung einer hohlkernfaser und zur herstellung einer vorform für eine hohlkernfaser
EP3766842A1 (de) Verfahren zur herstellung einer hohlkernfaser und zur herstellung einer vorform für eine hohlkernfaser
WO2004108615A1 (de) Quarzglas-zylinder für die herstellung eines optischen bauteils sowie verfahren für seine herstellung
DE19958276C1 (de) Verfahren für die Herstellung einer Quarzglas-Vorform für eine Lichtleitfaser
EP2933238A1 (de) Vorform für einen lichtwellenleiter mit einem nicht-runden kern und einem dotierten mantelbereich mit vorgegebener numerischer apertur sowie herstellungsverfahren
DE102006031898B4 (de) Verfahren zur Herstellung eines rohrförmigen Halbzeugs aus fluordotiertem Quarzglas
EP2545009B1 (de) Verfahren sowie rohrförmiges halbzeug zur herstellung einer optischen faser
DE102004014345B4 (de) Verfahren zur Herstellung eines optischen Bauteils
EP3766846A1 (de) Verfahren zur herstellung einer hohlkernfaser und zur herstellung einer vorform für eine hohlkernfaser
DE102006019333A1 (de) Verfahren und Vorform zur Herstellung einer mikrostrukturierten optischen Faser sowie nach dem Verfahren erhaltene Faser
EP4030203A1 (de) Antiresonanzvorformling mit zwei kontaktpunkten
EP3636607B1 (de) Verfahren zur herstellung eines kapillarrohres
DE102017119798B4 (de) Verfahren zum Herstellen einer Glasfaser-Preform mit einem Kern mit einem polygonalen Kernquerschnitt
WO2010052163A1 (de) Verfahren und zylinderförmiges halbzeug zur herstellung eines optischen bauteils
DE10252764B3 (de) Verfahren zur Herstellung einer faseroptischen, hohlstrukturieren Vorform und Verfahren zur Herstellung von durchgehende Hohlstrukturen enthaltenden optischen Fasern aus der Vorform
EP2715419A2 (de) Lichtleitfaser
EP3766841B1 (de) Verfahren zur herstellung einer hohlkernfaser und zur herstellung einer vorform für eine hohlkernfaser

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
R120 Application withdrawn or ip right abandoned
R120 Application withdrawn or ip right abandoned

Effective date: 20111025