DE102007015731A1 - Halbleitervorrichtung mit Wärmeabstrahlteil und Halbleiterchip und Verfahren zu dessen Herstellung - Google Patents
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Abstract
Ein Herstellungsverfahren für eine Halbleitervorrichtung, die einen Halbleiterchip (21, 22), erste und zweite Wärmeabstrahlteile (11, 12) und einen Verbindungsanschluss (50, 61, 62) aufweist, umfasst: Bereitstellen eines Leiterrahmens (70) mit ersten und zweiten aufgehängten Anschlüssen (71, 76, 77a-77f) und dem Verbindungsanschluss; Biegen der aufgehängten Anschlüsse; Anordnen des Chips auf dem ersten Bauteil, Druckkontaktieren des ersten Anschlusses mit dem ersten Bauteil und Verbinden des Chips mit dem Verbindungsanschluss mit dem ersten Bauteil; und Bereitstellen einer Zusammenbauschablone (100) mit einer Basis (110) und einer Abdeckung (130), Anordnen des ersten Bauteils an der Basis, Anordnen des zweiten Bauteils am zweiten Anschluss, Drücken des zweiten Bauteils mit der Abdeckung in Richtung der Basis, um Wärmeabstrahlflächen parallel zu machen und Verbinden des Chips und des zweiten Bauteils. Eine Distanz zwischen den ersten beiden Bauteilen und dem zweiten Anschluss ist größer als die Distanz von dem ersten Bauteil und dem Chip.
Description
- Die vorliegende Erfindung betrifft eine Halbleitervorrichtung mit einem Wärmeabstrahlteil und einem Halbleiterchip und ein Verfahren zu dessen Herstellung.
- Eine Halbleitervorrichtung mit einem Paar von Wärmeabstrahlteilen und einem Halbleiterchip sind beispielsweise in der JP-PS 3525832 beschrieben. Die Wärmeabstrahlteile sind thermisch und elektrisch mit dem Halbleiterchip in Verbindung. Jedes Wärmeabstrahlteil enthält eine Wärmeabstrahloberfläche. Insbesondere sind zwei Halbleiterchips auf einer gemeinsamen Ebene angeordnet und die Wärmeabstrahlteile sind zwischen die beiden Halbleiterchips gesetzt. Jeder Chip enthält eine Hauptelektrode, die thermisch und elektrisch mit einem Bondierungsteil, beispielsweise einem Lotteil mit den Wärmeabstrahlteilen verbunden ist. Ein Kunstharzverguss deckt die Vorrichtung derart ab, dass die Wärmeabstrahlfläche eines jeden Wärmeabstrahlteils von dem Verguss vorsteht. Jeder Halbleiterchip wird mit einem Signal gesteuert, das über einen Steueranschluss von einem externen Schaltkreis eingegeben wird.
- Bei der obigen Vorrichtung sind die Wärmeabstrahlteile und der Steueranschluss integriert. Die Dicke eines jeden Wärmeabstrahlteils unterscheidet sich jedoch von der Dicke des Steueranschlusses. Folglich wird die Vorrichtung aus einem verformten Bauteil gebildet. Das verformte Bauteil wird derart erhalten, dass ein gerolltes Bauteil plastisch verformt wird und/oder die Oberfläche einer Metallplatte wird ausgeschnitten. Alternativ werden die Wärmeabstrahlteile und der Steueranschluss unabhängig voneinander bereitgestellt und dann werden sie vercrimpt.
- Da bei der obigen Vorrichtung die Wärmeabstrahlteile und der Steueranschluss integriert sind, treten die folgenden Probleme auf:
Zunächst ist es notwendig, die Wärmeabstrahlteile und den Steueranschluss zu integrieren. Wenn folglich das verformte Bauteil bereitgestellt wird, wird das gerollte Metallbauteil plastisch verformt. Eine von der plastischen Verformung verursachte Bearbeitungsbelastung baut sich in dem verformten Teil auf. Somit kann sich das Wärmeabstrahlteil verwerfen und Abweichungen von der Ebenheit der Wärmeabstrahloberfläche des Wärmeabstrahlteils werden groß. Da weiterhin die Wärmeabstrahlteile den Halbleiterchip zwischen sich einschließen, wird es schwierig, eine Parallelität zwischen den Wärmeabstrahloberflächen der Wärmeabstrahlteile aufrechtzuerhalten. - Die Abweichung von der Flachheit der Wärmeabstrahloberfläche und der Parallelität zwischen den Wärmeabstrahloberflächen beeinflusst die Wärmeabstrahlleistung des Wärmeabstrahlteils. Folglich ist es notwendig, die Abweichung von der Flachheit und die Parallelität mit einer Genauigkeit kleiner als 100 μm oder 50 μm zu steuern. Wenn jedoch das verformte Bauteil im Zuge seiner Herstellung verformt wird, wächst die Abweichung von der Flachheit an und die Parallelität nimmt ab. Damit wird auch die Wärmeabstrahlleistung verringert.
- Wenn die Wärmeabstrahlteile und der Steueranschluss vercrimpt werden, ist es notwendig, für diesen Crimpvorgang das Wärmeabstrahlteil metallisch zu bearbeiten. Diese metallische Bearbeitung kann ebenfalls eine Abweichung von der Flachheit und der Parallelität des Wärmeabstrahlteils erzeugen. Somit nimmt auch dadurch die Wärmeabstrahlleistung ab.
- Weiterhin ist es schwierig, die Materialien für das Wärmeabstrahlteil und den Steueranschluss auszuwählen. Insbesondere ist es für das Material des Wärmeabstrahlteils notwendig, eine ausreichende elektrische Leitfähigkeit und Wärmeleitfähigkeit zu haben. Für das Material des Steueranschlusses ist es notwendig, dass hohe mechanische Festigkeit, Biegefähigkeit und/oder Positioniergenauigkeit eines äußeren Leiters vorhanden sind. Durch Bearbeitung des gerollten Bauteiles und/oder der metallischen Platte werden jedoch das Wärmeabstrahlteil und der Steueranschluss zusammengefügt, sodass letztendlich ein verformtes Bauteil hergestellt wird. Folglich ist es schwierig, die obigen Anforderungen zu erfüllen. Wenn beispielsweise das Wärmeabstrahlteil aus reinem Kupfer, etwa gemäß dem japanische Industriestandard C1020 mit einem Erweichungspunkt von 200°C gemacht wird, wird die HV-Härte des Steueranschlusses unzureichend. Damit nimmt die Formstabilität des Steueranschlusses und die Bearbeitbarkeit durch Pressen des Steueranschlusses ab. Es kann hier angedacht werden, unterschiedliche Materialien bereitzustellen, die dann vercrimpt werden. Dieses Verfahren kann jedoch die Metallbearbeitung beeinflussen.
- Weiterhin, wenn die Halbleitervorrichtung hergestellt wird, wird ein Paar von Wärmeabstrahlteilen mittels des Halbleiterchips verlötet. In diesem Fall kann die Benetzbarkeit durch das Lot und die Massenschwerpunktlage von angeordneten Elementen bewirken, dass die Dicke der Halbleitervorrichtung und die Parallelität des Wärmeabstrahlteils schwanken. Es ist jedoch wichtig, eine Maßgenauigkeit beizubehalten. Somit ist es notwendig, die Ausrichtung des Paars von Wärmeabstrahlteilen so zu halten, dass sich bestimmte Abmessungen ergeben, d.h. dass ein bestimmter Abstand zwischen den Wärmeabstrahlteilen vorliegt. Angesichts hiervon ist bei der JP-PS 3620399 der Halbleiterchip zwischen den Wärmeabstrahlteilen eingeschlossen, wobei die Parallelität der Wärmeabstrahloberflächen des Paares von Wärmeabstrahlteilen beibehalten wird. In diesem Fall ist es jedoch notwendig, dass die Wärmeabstrahlteile eine komplizierte Form haben, sodass die Parallelität aufrechterhalten werden kann. Wenn jedoch die Form der Wärmeabstrahlteile kompliziert wird, kann die Bearbeitung das Wärmeabstrahlteil und das Steuerbauteil beeinflussen, sodass sich wiederum die Formgenauigkeit verringert.
- Es ist somit notwendig, die Parallelität beizubehalten und Abweichungen von der Flachheit in dem Paar von Wärmeabstrahlteilen zu verringern.
- Angesichts des obigen Problems ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Halbleitervorrichtung mit einem Wärmeabstrahlteil und einem Halbleiterchip zu schaffen, wo sich die genannten Probleme nicht ergeben bzw. wo diese genannten Probleme zumindest teilweise beseitigt sind. Es ist eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren bereitzustellen, mit dem eine Halbleitervorrichtung mit einem Wärmeabstrahlteil und einem Halbleiterchip herstellbar ist.
- Gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung geschaffen, die einen Halbleiterchip, erste und zweite Wärmeabstrahlteile und einen Verbindungsanschluss hat, wobei die ersten und zweiten Wärmeabstrahlteile den Halbleiterchip derart zwischen sich einschließen können, dass die ersten und zweiten Wärmeabstrahlteile in den Halbleiterchips erzeugte Wärme abstrahlen und wobei der Verbindungsanschluss den Halbleiterchip und die ersten und zweiten Wärmeabschaltteile miteinander und mit einem externen Schaltkreis elektrisch verbindet, wobei das Verfahren aufweist: Bereitstellen eines plattenförmigen Leiterrahmens mit ersten und zweiten aufgehängten Anschlüssen und dem Verbindungsanschluss; Biegen des ersten aufgehängten Anschlusses zu einer ersten Seite des Leiterrahmens hin und Biegen des zweiten aufgehängten Anschlusses zu einer zweiten Seite des Leiterrahmens hin, so dass eine Distanz zwischen den ersten und zweiten aufgehängten Anschlüssen in einer Richtung senkrecht zum Leiterrahmen auf eine bestimmte Distanz festgelegt wird; Bereitstellen des ersten Wärmeabstrahlteils, so dass dieses zur ersten Seite des Leiterrahmens weist und Bereitstellen des zweiten Wärmeabstrahlteils, so dass dieses zur zweiten Seite des Leiterrahmens weist, wobei jedes der ersten und zweiten Wärmeabstrahlteile unabhängig von dem Leiterrahmen bereitgestellt wird; Anordnen des Halbleiterchips an dem ersten Wärmeabstrahlteil, um eine erste Seite des Halbleiterchips und eine Innenfläche des ersten Wärmeabstrahlteils zu kontaktieren; Druckkontaktieren des ersten aufgehängten Anschlusses mit dem ersten Wärmeabstrahlteil und Verbinden des Halbleiterchips zusammen mit dem Verbindungsanschluss mit dem ersten Wärmeabstrahlteil; und Bereitstellen einer Zusammenbauschablone mit einer Basis und einer Abdeckung, Anordnen des ersten Wärmeabstrahlteils an der Basis nach dem Verbinden des Halbleiterchips zusammen mit dem Verbindungsanschluss mit dem ersten Wärmeabstrahlteil, Anordnen des zweiten Wärmeabstrahlteils an dem zweiten aufgehängten Anschluss, um eine Innenfläche des zweiten Wärmeabstrahlteils und eine Befestigungsfläche des zweiten aufgehängten Anschlusses in Kontakt zu bringen, Drücken des zweiten Wärmeabstrahlteils mit der Abdeckung in Richtung der Basis derart, das eine Wärmeabstrahlfläche des zweiten Wärmeabstrahlteils parallel zu einer Wärmeabstrahlfläche des ersten Wärmeabstrahlteils ist, und Verbinden einer zweiten Seite des Halbleiterchips und der Innenfläche des zweiten Wärmeabstrahlteils in einem Zustand, wo der zweite aufgehängte Anschluss in Druckkontakt mit dem zweiten Wärmeabstrahlteil durch eine Rückstellkraft einer Federfunktion des zweiten aufgehängten Anschlusses ist, wobei eine Distanz zwischen der Innenfläche des ersten Wärmeabstrahlteils und der Befestigungsfläche des zweiten aufgehängten Anschlusses größer als eine Distanz zwischen der Innenfläche des ersten Wärmeabstrahlteils und der zweiten Seite des Halbleiterchips nach dem Verbinden des Halbleiterchips zusammen mit dem Verbindungsanschluss mit dem ersten Wärmeabstrahlteil ist.
- Bei dem obigen Verfahren ist es nicht notwendig, die Wärmeabstrahlteile bereitzustellen, die plastisch verformt werden. Somit verwerfen sich die Wärmeabstrahlteile nicht, sodass Abweichungen von der Flachheit der Wärmeabstrahlteile verringert werden. Weiterhin wird durch Verwendung der Rückstellkraft der aufgehängten Anschlüsse die Parallelität der Wärmeabstrahlteile verbessert, sodass die Abmessungsgenauigkeit der Wärmeabstrahloberflächen der Wärmeabstrahlteile verbessert wird.
- Gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung weist eine Halbleitervorrichtung auf: einen Halbleiterchip; erste und zweite Wärmeabstrahlteile zum Einschließen des Halbleiterchips zwischen sich und zum Abstrahlen von Wärme, die vom Halbleiterchip erzeugt wird, wobei die ersten und zweiten Wärmeabstrahlteile elektrisch mit dem Halbleiterchip verbunden sind; einen Verbindungsanschluss, der mit jedem Wärmeabstrahlteil verbunden ist und elektrisch mit einem externen Schaltkreis verbunden ist, wobei der Verbindungsanschluss zu den ersten und zweiten Wärmeabstrahlteilen einen unterschiedlichen Gegenstand darstellt; und einen Harzverguss zum Versiegeln der ersten und zweiten Wärmeabstrahlteile und des Verbindungsanschlusses.
- Da bei der obigen Vorrichtung der Verbindungsanschluss gegenüber den ersten und zweiten Wärmeabstrahlteilen ein unterschiedlicher Gegenstand oder ein unterschiedliches Bauteil ist, können die Wärmeabstrahlteile vorbereitet oder bereitgestellt werden, ohne dass ein plastisches Verformungsverfahren durchgeführt werden muss. Somit wird die Abmessungsgenauigkeit und die Abweichung von der Flachheit der Wärmeabstrahlteile verbessert. Damit wird die Abmessungsgenauigkeit und Positionsgenauigkeit eines jeden Bauteils in der Vorrichtung ebenfalls verbessert.
- Weitere Einzelheiten, Aspekte und Vorteile der vorliegenden Erfindung ergeben sich besser aus der folgenden Beschreibung von Ausführungsformen anhand der Zeichnung.
- Es zeigt:
-
1A eine Draufsicht auf eine Halbleitervorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform,1B eine "Transparentansicht" der Vorrichtung aus Richtung des Pfeils IB in1A und1C eine Schnittansicht durch die Vorrichtung entlang Linie IC-IC in1A ; -
2A eine Draufsicht zur Erläuterung eines Herstellungsverfahrens der Vorrichtung von1A ,2B eine Seitenansicht auf die Vorrichtung aus Richtung IIB in2A und2C –2G jeweils Schnittansichten durch die Vorrichtung entlang der Linien IIC-IIC, IID-IID, IIE-IIE, IIF-IIF und IIG-IIG in2A ; -
3A eine Draufsicht zur Erläuterung eines Herstellungsverfahrens für die Vorrichtung und3B eine Seitenansicht auf die Vorrichtung aus Richtung IIIB in3A ; -
4A eine Draufsicht zur Erläuterung eines Herstellungsverfahrens für die Vorrichtung und3B eine Schnittdarstellung entlang Linie IVB-IVB in4A ; -
5A eine Draufsicht zur Erläuterung des Herstellungsverfahrens für die Vorrichtung,5B eine "Transparentansicht" der Vorrichtung aus Richtung VB in5A und5C eine Seitenansicht der Vorrichtung aus Richtung VB in5A ; -
6A eine Draufsicht zur Erläuterung eines Herstellungsverfahrens für die Vorrichtung und6B eine "Transparentansicht" der Vorrichtung aus Richtung VIB in6A ; -
7A eine Draufsicht zur Erläuterung des Herstellungsverfahrens für die Vorrichtung,7B eine Seitenansicht auf die Vorrichtung aus Richtung VIIB in7A und7C eine Querschnittsdarstellung durch die Vorrichtung entlang Linie VIIC-VIIC in7A ; -
8A eine Draufsicht und8B eine vergrößerte perspektivische Teilansicht eines Teils VIIIB in der Vorrichtung von8A ; -
9 eine vergrößerte perspektivische Teilansicht zur Erläuterung eines Verfahrens zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform; -
10A eine Draufsicht zur Erläuterung eines Herstellungsverfahrens für eine Halbleitervorrichtung gemäß einer vierten Ausführungsform und10B eine Seitenansicht aus Richtung XB in10A ; -
11 eine Schnittdarstellung durch eine Halbleitervorrichtung gemäß einer fünften Ausführungsform; und -
12 eine Schnittdarstellung durch eine Halbleitervorrichtung gemäß einer sechsten Ausführungsform. - (Erste Ausführungsform)
- Eine Halbleitervorrichtung S1 gemäß einer ersten Ausführungsform ist in den
1A bis1C gezeigt. Die Vorrichtung S1 ist beispielsweise zur Steuerung eines Inverters in einem Hybridfahrzeug geeignet. - In der Vorrichtung S1 ist ein erster Halbleiterchip
21 auf einem ersten Wärmeabstrahlteil11 angeordnet und ein zweites Wärmeabstrahlteil12 ist unter Zwischen schaltung eines ersten Wärmeabstrahlblocks31 auf dem ersten Halbleiterchip21 angeordnet. Eine Gateelektrode des ersten Halbleiterchips21 ist über eine Gateverdrahtung oder einen Gatedraht40 mit einem Steuersignalanschluss50 verbunden. Das erste Abstrahlteil11 ist mit einem ersten Hauptanschluss61 verbunden und das zweite Abstrahlteil12 ist mit einem zweiten Hauptanschluss62 verbunden. - Ein zweiter Halbleiterchip
22 ist auf dem ersten Wärmeabstrahlteil11 so angeordnet, dass der erste Halbleiterchip21 und der zweite Halbleiterchip22 parallel zueinander liegen. Das zweite Wärmeabstrahlteil12 liegt unter Zwischenschaltung eines zweiten Wärmeabstrahlblocks32 auf dem zweiten Halbleiterchip22 . Die beiden Seiten eines jeden Chips21 und22 weisen Elektroden auf. - Der erste Halbleiterchip
21 enthält beispielsweise eine FWD (Freilaufdiode) oder dergleichen. Der zweite Halbleiterchip22 weist beispielsweise ein Leistungshalbleiterelement auf, beispielsweise einen IGBT (bipolarer Transistor mit isoliertem Gate), sowie einen Thyristor. - Der Steuersignalanschluss
50 und die ersten und zweiten Hauptanschlüsse61 und62 sind Leitungen zur Eingabe eines Signals von einem externen Schaltkreis an die Chips21 und22 . Der Steuersignalanschluss50 und die ersten und zweiten Hauptanschlusse61 und62 sind aus einem Leiterrahmen70 aus einer hitzebeständigen Kupferlegierung oder Kupfer oder Aluminium oder einer Legierung hieraus. Der Leiterrahmen70 ist plattenförmig. - Ein Bondierteil
80 liegt entlang der ersten und zweiten Wärmeabstrahlteile11 und12 , der ersten und zweiten Halbleiterchips21 und22 und der ersten und zweiten Wärmeabstrahlblöcke31 und32 , sodass diese Elemente elektrisch und thermisch miteinander verbunden sind. Ein weiteres Bondierteil81 liegt zwischen dem ersten Hauptanschluss61 und dem ersten Wärmeabstrahlteil11 und zwischen dem zweiten Hauptanschluss und dem zweiten Wärmeabstrahlteil12 , sodass der erste Hauptanschluss61 elektrisch mit dem ersten Wärmeabstrahlteil11 verbunden ist und der zweiten Hauptanschluss62 elektrisch mit dem zweiten Wärmeabstrahlteil12 . Die Bondierteile80 und81 sind aus Lot oder einem leitfähigen Kleber. In dieser Ausführungsform sind die Bondierteile80 und81 aus einem Lot der Zinnreihe. Alternativ können die Bondierteile80 und81 beispielsweise aus einer Silberpaste sein. - Jedes Wärmeabstrahlteil
11 und12 arbeitet als Wärmeabstrahlplatte zur Abführung von Wärme, die im Halbleiterchip21 bzw.22 erzeugt wird. Somit ist das Wär meabstrahlteil11 ,12 aus einem Material mit ausgezeichneter Wärmeleitfähigkeit und geringem Widerstand, beispielsweise Kupfer oder Aluminium. Jeder Wärmeblock31 ,32 leitet die im Halbleiterchip21 ,22 erzeugte Wärme zur Seite des zweiten Wärmeabstrahlteils. Jeder Wärmeblock31 ,32 ist aus reinem Kupfer oder dergleichen. - Die Wärmeabstrahlteile
11 ,12 und die Wärmeabstrahlblöcke31 ,32 sind aus einer Metallplatte durch ein Pressbearbeitungsverfahren gebildet. Da die Platte lediglich gepresst wird, wird im Wesentlichen keine Bearbeitungsbelastung, Dehnspannungen oder dergleichen in den Wärmeabstrahlteilen11 und12 und den Wärmeabstrahlblöcken31 und32 gebildet. Die Formgenauigkeit der Wärmeabstrahlteile11 ,12 und der Wärmeabstrahlblöcke31 ,32 ist somit vergleichsweise hoch. Um die Wärmeabstrahlleistung eines jeden Wärmeabstrahlteils11 ,12 aufrechtzuerhalten, ist es bevorzugt, dass die Parallelität der Wärmeabstrahloberflächen hoch ist. Diese Parallelität ist auch als Rauigkeit der Wärmeabstrahloberfläche definierbar. Wenn die Parallelität hoch ist, ist die Rauigkeit gering. Somit ist es bevorzugt, wenn die Rauigkeit der Wärmeabstrahloberfläche eines jeden Wärmeabstrahlteils11 ,12 kleiner als 100 μm, besonders bevorzugt kleiner als 50 μm ist. - Folglich wird an der Oberseite eines jeden Halbleiterchips
21 ,22 die Wärme über den Wärmeabstrahlblock31 ,32 und das zweiten Wärmeabstrahlteil12 abgeführt. An der Bodenseite eines jeden Halbleiterchips21 ,22 wird die Wärme über das ersten Wärmeabstrahlteil11 abgeführt. - Wie in
1B gezeigt, ist ein erster aufgehängter Anschluss71 mit dem ersten Wärmeabstrahlteil11 auf Seiten des Steuersignalanschlusses verbunden. Ein zweiter aufgehängter Anschluss72 ist mit dem Wärmeabstrahlteil11 verbunden. Der zweite aufgehängte Anschluss72 liegt gegenüber dem ersten aufgehängten Anschluss71 . Ein dritter aufgehängter Anschluss73 ist mit dem zweiten Wärmeabstrahlteil12 auf Seiten des Steuersignalanschlusses verbunden. Das Bondierteil81 ist zwischen jedem aufgehängten Anschluss71 –73 und jedem Wärmeabstrahlteil11 ,12 angeordnet, sodass der aufgehängte Anschluss71 –73 mit dem entsprechenden Wärmeabstrahlteil11 ,12 verbunden ist. - Wie weiterhin in
2A gezeigt, ist ein sechster aufgehängter Anschluss76 entsprechend dem ersten aufgehängten Anschluss71 mit dem ersten Wärmeabstrahlteil11 auf Seiten des Steuersignalanschlusses verbunden. Ein vierter aufgehängter Anschluss74 entsprechend dem zweiten aufgehängten Anschluss72 ist mit dem ersten Wärmeabstrahlteil11 verbunden. Ein fünfter aufgehängter Anschluss75 entsprechend dem dritten aufgehängten Anschluss73 ist mit dem zweiten Wärmeabstrahlteil12 auf Seiten des Steuersignalanschlusses verbunden. Die vierten bis sechsten aufgehängten Anschlüsse74 –76 sind auf einer Seite der Vorrichtung S1 angeordnet, die entgegengesetzt zu den ersten bis dritten aufgehängten Anschlüssen71 –73 ist. Unter „aufgehängter Anschluss" sei im Rahmen der vorliegenden Erfindung ein Anschluss verstanden, der nach Art eines Auslegers oder frei auskragend (und damit in der Regel federnd) ausgebildet ist, wie aus der zugehörigen Figuren der Zeichnung hervorgeht, auf die hier Bezug genommen wird. - Ein Teil eines jeden aufgehängten Anschlusses
71 –76 ist gefaltet oder geknickt, um die Parallelität zwischen den ersten und zweiten Abstrahlteilen11 ,12 beizubehalten, wenn die Vorrichtung S1 hergestellt wird. Da weiterhin der aufgehängte Anschluss71 –76 alleine mit dem Wärmeabstrahlteil11 ,12 verbunden ist, wird die Arbeitsweise der Vorrichtung S1 nicht direkt beeinflusst. Die Parallelität ist als Verkippungsgrad einer Wärmeabstrahloberfläche des Wärmeabstrahlteils11 ,12 bezüglich der entsprechenden anderen Wärmeabstrahloberfläche definiert. Wenn die Parallelität hoch ist, ist der Verkippungsgrad gering. - Eine Seite des ersten Wärmeabstrahlteils
11 , eine Seite des zweiten Wärmeabstrahlteils12 , ein Teil des Steuersignalanschlusses50 , ein Teil des ersten Hauptanschlusses61 und ein Teil des zweiten Hauptanschlusses62 stehen von einem Harzverguss90 vor. Der Steuersignalanschluss50 und die ersten und zweiten Hauptanschlüsse61 und62 liefern hierbei einen Verbindungsanschluss. - Ein Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung S1 ist in den
2A –7C erläutert. - Gemäß den
2A bis2G wird ein plattenförmiger Leiterrahmen70 bereitgestellt. Insbesondere werden der Steuersignalanschluss50 , die ersten und zweiten Hauptanschlüsse61 und62 und die ersten bis sechsten aufgehängten Anschlüsse71 –76 geformt, d.h. gemustert und ausgebildet und miteinander mit einer Verbindungsschiene verbunden, sodass der Leiterrahmen70 vorbereitet ist. Der Leiterrahmen70 wird beispielsweise durch ein Pressbearbeitungsverfahren gebildet. - Bevorzugt kann jeder aufgehängte Anschluss
71 –76 , der in dem Leiterrahmen70 ausgebildet ist, eine Federfunktion haben, auch wenn der Leiterrahmen70 in einem Reflow-Vorgang einer Temperaturerhöhung ausgesetzt ist. Angesichts hiervon wird der Leiterrahmen70 aus einem gewissen Material gefertigt, um die Federfunkti on der aufgehängten Anschlüsse71 –76 sicherzustellen. Insbesondere hat das Material des Leiterrahmens70 einen Erweichungspunkt, der höher ist als die Temperatur, bei der die aufgehängten Anschlüsse71 –76 mit den Wärmeabstrahlteilen11 und12 verbunden werden. Somit ist es bevorzugt, dass der Erweichungspunkt des Leiterrahmens70 höher als die Reflow-Temperatur ist. Der Leiterrahmen70 ist beispielsweise aus Kupfer, Aluminium oder einer Legierung hieraus. - Wenn der Leiterrahmen
70 und die ersten und zweiten Wärmeabstrahlteile11 ,12 miteinander verbunden (bondiert) werden, steuern die ersten bis sechsten aufgehängten Anschlüsse71 –76 die Ausrichtung und Positionierung eines jeden Wärmeabstrahlteils11 ,12 und einen Abstand zwischen den ersten und zweiten Wärmeabstrahlteilen11 ,12 und stellen die Parallelität zwischen den Wärmeabstrahloberflächen der Wärmeabstrahlteile11 ,12 ein. Wie in2A gezeigt, sind sechs aufgehängte Anschlüsse71 –76 am Leiterrahmen70 ausgebildet. - Wie in
2B gezeigt, hat jeder der Hauptanschlüsse61 und62 und der aufgehängten Anschlüsse71 –76 einen oberen Abschnitt als einen Biegeabschnitt70a , der gebogen wird. Jeder Biegeabschnitt70a ist so ausgebildet, dass ein oberes Ende des Hauptanschlusses61 ,62 oder des aufgehängten Anschlusses71 –76 in Richtung einer Seite des Leiterrahmens70 (d.h. auf Seiten des ersten Wärmeabstrahlteils70 ) oder der anderen Seite des Leiterrahmens70 (d.h. der Seite des zweiten Wärmeabstrahlteils) gebogen wird.2B ist eine Transparentansicht aus Richtung des Pfeils IIB in2A . - Wie in
2C gezeigt, ist der obere Abschnitt des sechsten aufgehängten Anschlusses76 in Richtung der einen Seite des Leiterrahmens70 gebogen. Gemäß2D ist der obere Abschnitt eines jeden vierten und fünften aufgehängten Anschlusses74 ,75 in Richtung der anderen Seite des Leiterrahmens70 gebogen. Gemäß2E ist der Steuersignalanschluss50 nicht gebogen und der obere Abschnitt des ersten Hauptanschlusses61 ist in Richtung der einen Seite des Leiterrahmens70 gebogen. Gemäß2F ist der obere Abschnitt des zweiten Hauptanschlusses62 in Richtung der anderen Seite des Leiterrahmens70 gebogen. Gemäß2G ist der obere Abschnitt des dritten aufgehängten Anschlusses73 in Richtung der anderen Seite des Leiterrahmens70 gebogen. Der obere Abschnitt eines jeden der ersten und zweiten aufgehängten Anschlüsse71 ,72 ist hierbei in Richtung der einen Seite des Leiterrahmens70 gebogen. - Der Biegeabschnitt
70a eines jeden der Hauptanschlüsse61 ,62 und aufgehängten Anschlüsse71 –76 ist so gebildet, dass der obere Abschnitt der Hauptanschlüsse61 ,62 oder der aufgehängten Anschlüsse71 –76 in Richtung der einen Seite oder der anderen Seite des Leiterrahmens70 gedrückt wird. - An dem oberen Abschnitt eines jeden der Hauptanschlüsse
61 ,62 und aufgehängten Anschlüsse71 –76 wird eine Oberflächenbehandlung durchgeführt, um den oberen Abschnitt mit dem Wärmeabstrahlteil11 ,12 zu verbinden. Insbesondere wird das Bondierteil81 auf dem oberen Abschnitt eines jeden der Hauptanschlüsse61 ,62 und aufgehängten Anschlüsse71 –76 ausgebildet. Das Bondierteil81 wird auf dem oberen Abschnitt so angeordnet, dass das Bondierteil81 dem Wärmeabstrahlteil11 ,12 gegenüberliegt. Falls notwendig kann der gesamte obere Abschnitt mit einem Nickel-Platierungsfilm überzogen werden. - Der Steuersignalanschluss
50 und die Hauptanschlüsse61 ,62 sind Drähte zur elektrischen Verbindung mit einem externen Schaltkreis. Folglich hat das Material der Steuersignalanschlüsse50 und Hauptanschlüsse61 ,62 ausgezeichnete Leitfähigkeit. Es ist bevorzugt, wenn der Steuersignalanschluss50 und die Hauptanschlüsse61 ,62 aus Kupfer, Aluminium oder einer Legierung hieraus sind. Wenn es notwendig ist, dass der Steuersignalanschluss50 , die Hauptanschlüsse61 ,62 und die aufgehängten Anschlüsse71 –76 Biegeeigenschaft und Hitzebeständigkeit haben, können sie aus einer Legierung oder dergleichen mit diesen Eigenschaften sein. - In den
3A und3B ist das erste Wärmeabstrahlteil11 am Leiterrahmen70 angeordnet. Zuerst wird das erste Wärmeabstrahlteil1 , das getrennt vom Leiterrahmen70 ist, durch Pressbearbeitung einer Metallplatte vorbereitet. Die Wärmeabstrahloberfläche und die Befestigungsoberfläche des ersten Wärmeabstrahlteils12 werden durch Pressbearbeiten und Stanzen eines gerollten Bauteils vorbereitet, sodass hohe Parallelität erhalten wird. Die Halbleiterchips21 ,22 werden auf der Befestigungsoberfläche des ersten Wärmeabstrahlteils11 angeordnet. Bevorzugt ist das erste Wärmeabstrahlteil11 aus reinem Kupfer oder Aluminium mit ausgezeichneter Wärmeleitfähigkeit, sodass in den Halbleiterchips21 ,22 erzeugte Wärme problemlos abgeführt wird. Weiterhin wird das zweite Wärmeabstrahlteil12 auf ähnliche Weise vorbereitet. - Ein Nickelüberzug kann auf der Oberfläche des ersten Wärmeabstrahlteils
11 ausgebildet werden. Das erste Wärmeabstrahlteil11 kann einen Erweichungspunkt haben, der niedriger als eine Reflow-Temperatur in einem Reflow-Prozess ist, solan ge das erste Wärmeabstrahlteil11 ausreichend Wärmeleitfähigkeit hat. Das zweite Wärmeabstrahlteil12 kann ebenfalls eine Nickelbeschichtung haben und kann einen Erweichungspunkt unter der Reflow-Temperatur haben. Bevorzugt ist der Erweichungspunkt der ersten und zweiten Wärmeabstrahlteile11 ,12 niedriger als eine Temperatur, mit der die aufgehängten Anschlüsse71 –76 an den Wärmeabstrahlteilen11 ,12 angebondet werden. - Wie in
3A gezeigt, sind die ersten und zweiten Halbleiterchips21 ,22 an dem ersten Wärmeabstrahlteil11 angeordnet. Weiterhin sind die ersten und zweiten Wärmeabstrahlblöcke31 ,32 mit dem dazwischenliegenden Bondierteil80 an den ersten und zweiten Halbleiterchips21 ,22 angeordnet. Weiterhin ist das Bondierteil80 an den ersten und zweiten Wärmeabstrahlblöcken31 ,32 angeordnet und liegt gegenüber den ersten und zweiten Halbleiterchips21 ,22 . Das Bondierteil80 verbindet die Wärmeabstrahlblöcke31 ,32 und das zweite Wärmeabstrahlteil12 . - Somit wird das erste Wärmeabstrahlteil
11 zusammen mit den Halbleiterchips21 ,22 und den hieran angeordneten Wärmeabstrahlblöcken31 ,32 vorbereitet. Der gemäß2A ausgebildete Leiterrahmen wird am ersten Wärmeabstrahlteil11 angeordnet. Somit liegt das Bondierteil81 um die ersten, zweiten und sechsten aufgehängten Anschlüsse71 ,72 und76 herum und das Bondierteil81 liegt um den ersten Hauptanschluss61 herum; es erfolgt eine Bondierung mit dem ersten Wärmeabstrahlteil11 . Die Positionierung zwischen den ersten Wärmeabstrahlteil11 und dem Leiterrahmen70 wird unter Verwendung einer Kohlenstoffschablone oder dergleichen durchgeführt. - Der obige Leiterrahmen
70 mit dem ersten Wärmeabstrahlteil11 wird bei beispielsweise 280°C einer Reflow-Behandlung unterworfen, sodass das Bondierteil80 aufschmilzt. Somit werden die Halbleiterchips21 ,22 und die Wärmeabstrahlblöcke31 ,32 miteinander verbunden. Weiterhin werden die Halbleiterchips21 ,22 und das erste Wärmeabstrahlteil11 miteinander verbunden. Weiterhin werden die ersten, zweiten und sechsten aufgehängten Anschlüsse71 ,72 und76 , der erste Hauptanschluss61 und das erste Wärmeabstrahlteil11 miteinander verbunden. - Nach dem obigen Reflow-Prozess wird gemäß
3B eine Oberfläche des ersten Wärmeabstrahlteils11 , auf der die Halbleiterchips21 ,22 angeordnet sind, als Referenzoberfläche definiert. In diesem Fall werden die dritten bis fünften aufgehängten Anschlüsse73 –75 und der zweite Hauptanschluss62 bereitgestellt, indem der Leiterrahmen70 in Richtung einer Seite entgegengesetzt zum ersten Wärmeab strahlteil11 gebogen wird. Eine Seite eines jeden dritten bis fünften aufgehängten Anschlusses73 –75 und zweiten Hauptanschlusses62 , wo das Bondierteil81 angeordnet ist, weist zu dem zweiten Wärmeabstrahlteil12 . Die eine Seite eines jeden dritten bis fünften aufgehängten Anschlusses73 –75 und des zweiten Hauptanschlusses62 ist entfernt von der einen Seite des ersten Wärmeabstrahlblocks61 oder des zweiten Wärmeabstrahlblocks32 , der zum zweiten Wärmeabstrahlteil12 weist. - Insbesondere wird eine Distanz zwischen der Referenzoberfläche des ersten Wärmeabstrahlteils
11 und der einen Seite eines jeden der dritten bis fünften aufgehängten Anschlüsse73 –75 als H1 definiert. Eine Distanz zwischen der Referenzoberfläche und der einen Seite des ersten Wärmeabstrahlblocks31 wird als H2 definiert. Die aufgehängten Anschlüsse73 –75 und die Hauptanschlüsse61 ,62 werden aus dem Leiterrahmen70 so gebogen, dass die Distanz H1 größer als die Distanz H2 ist. - Wenn der Leiterrahmen
70 gebildet wird und der Leiterrahmen70 mit dem ersten Wärmeabstrahlteil11 verbunden wird, wird der Biegeabschnitt70a gebildet, indem die aufgehängten Anschlüsse71 –76 und die Hauptanschlüsse61 ,62 gebogen werden, um eine Beziehung zu erhalten, bei der die Distanz H1 größer als die Distanz H2 ist. - In den
4A und4B werden der Steuersignalanschluss50 und die Gateelektrode des ersten Halbleiterchips21 mit dem Gatedraht40 verbunden. Der Gatedraht40 ist beispielsweise aus Aluminium oder Gold. Bei diesem Drahtbondierprozess wird der Steuersignalanschluss50 elektrisch mit dem ersten Halbleiterchip21 verbunden. Wenn ein Innenleiter des Steuersignalanschlusses50 mit dem ersten Halbleiterchip21 über ein Kissen oder dergleichen verlötet wird, können der Steuersignalanschluss50 und die Gateelektrode des ersten Halbleiterchips21 in einem Prozess verlötet werden, der in den3A und3B gezeigt ist. - In den
5A bis5C ist das zweite Wärmeabstrahlteil12 auf einem Produkt gemäß den4A und4B angeordnet. Insbesondere wird das Produkt von4A in eine Zusammenbauschablone100 gemäß5B gesetzt. Die Zusammenbauschablone100 umfasst eine Basis110 zur Anordnung des ersten Wärmeabstrahlteils11 darauf, eine Mehrzahl von Stützen120 auf Seiten des Hauptanschlusses und des Steuersignalanschlusses im Leiterrahmen70 , eine Abdeckung130 zum Drücken des zweiten Wärmeabstrahlteils12 auf die Basis110 und einen Gewichtsabschnitt140 zum Aufbringen einer Last auf die Abdeckung130 . Jedes Element in der Zusammenbauschablone100 ist aus einem Material, das bei der Reflow-Temperatur ausreichend temperaturbeständig ist. - Eine Oberfläche sowohl der Abdeckung
130 als auch der Basis110 , die in Druckkontakt mit den Wärmeabstrahlteilen11 ,12 gelangt, ist abgeflacht. Somit ist die Abweichung in der Flachheit der Abdeckung130 und der Basis110 vergleichsweise gering. Die Mehrzahl von Stützen120 hat gleiche Höhe von der Oberfläche der Basis110 aus, auf der das erste Wärmeabstrahlteil11 angeordnet wird. Die Höhe einer jeden Stütze120 definiert die Distanz zwischen den ersten und zweiten Wärmeabstrahlteilen11 ,12 , wenn der Leiterrahmen70 auf dem zweiten Wärmeabstrahlteil12 angeordnet wird. Somit entspricht die Höhe des Trägers oder der Stütze120 der Distanz zwischen den Wärmeabstrahloberflächen der ersten und zweiten Wärmeabstrahlteile11 ,12 in der Vorrichtung S1 der1B und1C . - Zuerst wird der Leiterrahmen
70 auf der Zusammenbauschablone100 nach dem Prozess der4A bis4B angeordnet. Dann wird gemäß5B das zweite Wärmeabstrahlteil12 auf den dritten bis fünften aufgehängten Anschlüssen73 –75 und dem zweiten Hauptanschluss62 angeordnet und dann drückt die Abdeckung130 das zweite Wärmeabstrahlteil12 in Richtung der Basis110 und kontaktiert es hiermit. Die Last wird von der Abdeckung130 unter Verwendung des Gewichts140 aufgebracht, das im Bereich zwischen einigen zehn Gramm bis einigen hundert Gramm liegt. - Der obere Abschnitt eines jeden der aufgehängten Anschlüsse
71 –76 und der Hauptanschlüsse61 bis62 hat eine Federfunktion, da der obere Abschnitt den gebogenen Abschnitt70a hat. Die elastische Kraft der Federfunktion erzeugt eine Rückstellkraft. Genauer gesagt, die ersten, zweiten und sechsten aufgehängten Anschlüsse71 ,72 und76 und der erste Hauptanschluss61 , die in Richtung der einen Seite des Leiterrahmens70 gebogen werden, empfangen die Rückstellkraft in Richtung der Seite des ersten Wärmeabstrahlteils. Die dritten bis fünften aufgehängten Anschlüsse73 –75 und der zweite Hauptanschluss62 empfangen die Rückstellkraft in Richtung der Seite des zweiten Wärmeabstrahlteils. Somit wird das erste Wärmeabstrahlteil11 in Richtung der Basis110 gedrückt und das zweite Wärmeabstrahlteil12 wird in Richtung der Abdeckung130 gedrückt. - Jede Stütze
120 hat die gleiche Höhe und eine Abweichung in der Flachheit der Oberfläche sowohl der Basis110 als auch der Abdeckung130 , d.h. der Oberfläche, die auf das Wärmeabstrahlteil11 oder12 drückt, ist gering. Wenn folglich die Abde ckung130 in Druckkontakt mit den Stützen120 gelangt, wird die Parallelität zwischen Basis110 und Abdeckung130 beibehalten. Unter Verwendung der Rückstellkraft der aufgehängten Anschlüsse71 –76 und der Hauptanschlüsse61 bis62 im Leiterrahmen70 drücken die Wärmeabstrahlteile11 und12 auf die Basis110 und die Abdeckung130 . Die Parallelität zwischen den Wärmeabstrahloberflächen der Wärmeabstrahlteile11 ,12 wird beibehalten. Die Distanz zwischen den Wärmeabstrahloberflächen kann durch die Höhe der Stützen120 eingestellt werden. - Wenn der Leiterrahmen
70 hergestellt wird, wird der Biegeabschnitt70a eines jeden der aufgehängten Anschlüsse71 –76 und der Hauptanschlüsse61 bis62 unter den oben beschriebenen Bedingungen geformt. Unter Verwendung der Federfunktion der aufgehängten Anschlüsse71 –76 und der Hauptanschlüsse61 ,62 wird die Parallelität zwischen den Wärmeabstrahloberflächen beibehalten. - Weiterhin ist die Abdeckung
130 in Druckkontakt mit den Stützen120 und das Gewicht140 ist auf der Abdeckung130 angeordnet, sodass eine Last auf die Abdeckung130 aufgebracht wird. Der Leiterrahmen70 wird dann bei 280°C einem Reflow-Prozess unterworfen. Die Ausrichtung und Positionierung zwischen den aufgehängten Anschlüssen71 –76 , den Hauptanschlüssen61 ,62 und Wärmeabstrahlteilen11 ,12 wird beibehalten und die ersten, zweiten und sechsten aufgehängten Anschlüsse71 ,72 ,76 , der zweite Hauptanschluss62 , die Wärmeabstrahlblöcke31 ,32 und das zweite Wärmeabstrahlteil12 werden miteinander verbunden. Sodann wird das Produkt aus der Zusammenbauschablone100 entnommen. Das Ergebnis ist das in5C gezeigte Produkt. - In den
6A und6B wird dieses Produkt mit einem Harzverguss versiegelt. Genauer gesagt, das Produkt von5C wird in eine (nicht gezeigte) Form gebracht. Geschmolzenes Harz oder Kunststoff wird in die Form gegossen, sodass das Produkt in dem Harzverguss90 verschlossen wird. Insbesondere wird das Produkt so versiegelt oder eingebettet, dass die andere eine Seite des ersten Wärmeabstrahlteils11 , die andere eine Seite des zweiten Wärmeabstrahlteils12 und ein Teil eines jeden Hauptanschlusses61 ,62 von dem Harzverguss90 vorsteht. Um die Anhaftkraft des Harzvergusses90 zu erhöhen, kann das Produkt mit einem Polyamidfilm beschichtet werden. - Das Produkt wird somit mit dem Harzverguss
90 vergossen, sodass jedes Element in dem Harzverguss90 festgelegt ist, wobei Lage und Positionierung zwischen den Wärmeabstrahlteilen11 ,12 , dem Leiterrahmen70 etc. beibehalten werden. - In den
7A bis7C ist ein unnötiger Abschnitt des Produkts entfernt. Genauer gesagt, ein unnötiger Abschnitt des Leiterrahmens70 , der nicht der Steuersignalanschluss50 und die Hauptanschlüsse61 ,62 ist, sowie der Verbindungsstab werden weggeschnitten. Hiermit wird das in den7A und7B gezeigte Produkt erhalten. - Gemäß
7C sind die oberen Enden der ersten und zweiten aufgehängten Anschlüsse71 ,72 in dem Harzverguss90 aufgenommen. Jedoch sind die aufgehängten Anschlüsse71 ,72 nur mit dem ersten Wärmeabstrahlteil11 in Verbindung und sie haben keine elektrische Verbindung mit anderen Elementen. Obgleich somit die aufgehängten Anschlüsse71 und72 nicht aus dem Harzverguss90 entfernt werden, ergibt sich keine Schwierigkeit. Auf ähnliche Weise sind die dritten bis sechsten aufgehängten Anschlüsse73 –76 ebenfalls noch im Harzverguss90 enthalten. Die Vorrichtung S1 ist somit fertiggestellt. - Danach erfolgt ein Test hinsichtlich elektrischer Funktion und äußeres Erscheinungsbild an der Vorrichtung S1 und danach kann die Vorrichtung S1 in den Handel gehen.
- In dieser Ausführungsform werden der Leiterrahmen
70 und die ersten und zweiten Wärmeabstrahlteile11 ,12 unabhängig vorbereitet oder erstellt. Weiterhin wird die Vorrichtung S1 unter Verwendung der Federfunktion der aufgehängten Anschlüsse71 –76 im Leiterrahmen70 hergestellt. In diesem Fall ist es nicht notwendig, das Wärmeabstrahlteil11 ,12 plastisch zu verformen. Somit wird das Wärmeabstrahlteil11 ,12 ohne Einbringen von Bearbeitungsbelastungen erstellt. Folglich ergeben sich auch keine Verwertungen aufgrund der Bearbeitungsbelastung in den Wärmeabstrahlteilen11 oder12 . Eine Abweichung der Flachheit eines jeden Wärmeabstrahlteils11 bzw.12 wird verringert. - Da die oberen Abschnitte der aufgehängten Anschlüsse
71 –76 und der Hauptanschlüsse61 ,62 gebogen werden, erfolgt unter Verwendung der Rückstellkraft der aufgehängten Anschlüsse71 –76 und der Hauptanschlüsse61 ,62 durch die Wärmeabstrahlteil11 ,12 ein Druckkontakt mit der Basis110 und der Abdeckung130 , die unter Verwendung der Stützen120 parallel zueinander angeordnet sind. Die Parallelität zwischen den Wärmeabstrahlflächen wird so beibehalten. Folglich werden die oberen Abschnitte der aufgehängten Anschlüsse71 –76 und der Hauptanschlüsse61 ,62 so gebogen, dass sie eine Federfunktion haben. Die elastische Kraft der Feder funktion wirkt dahingehend, dass die Parallelität zwischen den Wärmeabstrahlflächen beibehalten wird. - Die Parallelität zwischen den ersten und zweiten Wärmeabstrahlteilen
11 ,12 wird somit verbessert und weiterhin erfolgt eine Verbesserung hinsichtlich der Abweichung von der Flachheit der Wärmeabstrahloberflächen. - (Zweite Ausführungsform)
- Die
8A und8B zeigen eine Halbleitervorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform. Insbesondere zeigen die8A und8B das Produkt nach dem Prozess der5A bis5C .8B zeigt den dritten aufgehängten Anschluss73 und das zweite Wärmeabstrahlteil12 in auseinandergebautem Zustand. - Gemäß
8B hat der dritte aufgehängten Anschluss73 den oberen Abschnitt mit einer Seitenwand73a , die eine Führung ist, um die Position des zweiten Wärmeabstrahlteils12 zu bestimmen. Die vierten und fünften aufgehängten Anschlüsse74 ,75 haben ähnliche Seitenwände, sodass die Seitenwände die Positionierung des zweiten Wärmeabstrahlteils12 führen. - Da jeder aufgehängten Anschluss
73 –75 die Seitenwand73a hat, kann das zweite Wärmeabstrahlteil12 ohne Verwendung einer Positionierschablone passend positioniert werden. Diese Seitenwand73a wird gleichzeitig mit der Ausbildung der aufgehängten Anschlüsse73 –75 aus dem Leiterrahmen70 durch ein Pressbearbeitungsverfahren erzeugt. - Die ersten, zweiten und sechsten aufgehängten Anschlüsse
71 ,72 und76 zur Verbindung mit dem ersten Wärmeabstrahlteil11 können Seitenwände ähnlich zur Seitenwand73a haben, wie in8B gezeigt. In diesem Fall wird das erste Wärmeabstrahlteil11 problemlos unter Verwendung der Seitenwände der aufgehängten Anschlüsse71 ,72 und76 positioniert. - (Dritte Ausführungsform)
-
9 ist eine vergrößerte Teilansicht des dritten aufgehängten Anschlusses73 und des zweiten Wärmeabstrahlteils12 in auseinandergebautem Zustand. Der dritte aufgehängte Anschluss73 enthält einen Vorsprung73b , der vom oberen Abschnitt des dritten aufgehängten Anschlusses73 in Richtung der Seite des zweiten Wärme abstrahlteils vorsteht. Der Vorsprung73b ist durch eine Pressbearbeitung des oberen Abschnitts des dritten aufgehängten Anschlusses73 gebildet. Das Bondierteil81 , beispielsweise ein Lotteil, wird auf dem Vorsprung73b angeordnet. Da der dritte aufgehängte Anschluss73 den Vorsprung73b an seinem oberen Abschnitt hat, sitzt das Bondierteil81 auf dem Vorsprung73b , sodass sich ein überschüssiges Material des Bondierteils81 nicht vom oberen Abschnitt des dritten aufgehängten Anschlusses73 wegbewegt, wenn das zweite Wärmeabstrahlteil12 Reflow-bearbeitet wird. Wenn das Bondierteil81 auf dem Vorsprung73b angeordnet ist, wird die Ausbreitung des Bondierteils81 begrenzt. Weiterhin können auch die anderen aufgehängten Anschlüsse71 –72 und74 –76 an ihren oberen Abschnitten entsprechende Vorsprünge haben. - (Vierte Ausführungsform)
- Die
10A und10B zeigen den Leiterrahmen70 . Im Leiterrahmen70 sind der erste aufgehängte Anschluss71 und der zweite aufgehängte Anschluss72 so miteinander verbunden, dass ein siebter aufgehängter Anschluss77a gebildet wird. Weiterhin ist der obere Abschnitt des dritten aufgehängten Anschlusses73 in Richtung der Seite des zweiten Hauptanschlusses verlängert. Somit wird ein achter aufgehängter Anschluss77b gebildet. Weiterhin sind der vierte aufgehängte Anschluss74 und der fünfte aufgehängte Anschluss75 so verbunden, dass ein neunter aufgehängter Anschluss77c gebildet wird. Der obere Abschnitt des sechsten aufgehängten Anschlusses76 wird in Richtung der Seite des ersten Hauptanschlusses verlängert, sodass ein zehnter aufgehängter Anschluss77d gebildet wird. Weiterhin sind der achte aufgehängte Anschluss77b und der neunte aufgehängte Anschluss77c mit Verbindungsstäben77e und77f verbunden. - Im Leiterrahmen
70 wird die Form des achten aufgehängten Anschlusses77b und des neunten aufgehängten Anschlusses77c durch Ausbilden des achten und neunten aufgehängten Anschlusses77b und77c und der Verbindungsstäbe77e und77f beibehalten, um die Steuersignalanschlussseite und die Hauptanschlussseite zu verbinden. Der Leiterrahmen70 wird durch eine Pressbearbeitung oder dergleichen gebildet. Somit kann der Leiterrahmen70 für die Halbleitervorrichtung S1 verwendet werden. - Obgleich die Vorrichtung S1 die siebten und achten aufgehängten Anschlüsse
77a und77b enthält, ist die Lagebeziehung zwischen dem ersten Wärmeabstrahlteil11 und den siebten und achten aufgehängten Anschlüssen77a und77b gemäß10B ähnlich wie bei der ersten Ausführungsform. - (Fünfte Ausführungsform)
-
11 zeigt eine Halbleitervorrichtung S1 gemäß einer fünften Ausführungsform. Bei dieser Vorrichtung S1 hat das erste Wärmeabstrahlteil11 ein Paar von Metallplatten11a ,11c und eine isolierende Platte11b , die zwischen den Metallplatten11a ,11c liegt. Weiterhin hat das zweite Wärmeabstrahlteil12 ein Paar von Metallplatten12a ,12c und eine isolierende Platte12b , die zwischen den Metallplatten12a und12c liegt. Die Metallplatten11a ,11c ,12a und12c und die isolierenden Platten11b und12b sind unter Verwendung eines Hartlötverfahrens, eines Aktivmetallverfahrens oder dergleichen miteinander verbunden. - Wenn die Vorrichtung S1 an einer externen Platine oder dergleichen angebracht wird, ist die von dem Harzverguss
90 vorstehende Metallplatte11c ,12c von der Metallplatte11a ,12a in dem Harzverguss90 durch die Isolationsplatte11b ,12b isoliert. Somit ist die Vorrichtung S1 gegenüber der externen Platine elektrisch isoliert. Obgleich die ersten und zweiten Wärmeabstrahlteile11 ,12 , die Isolierplatten11b ,12b enthalten, können die ersten und zweiten Wärmeabstrahlteile11 ,12 isolierende Harzschichten enthalten. - Weiterhin kann jedes der Wärmeabstrahlteile
11 ,12 aus zwei Schichten gebildet werden, die aus der Metallplatte11a ,12a und der isolierenden Platte11b ,12b zusammengesetzt sind. Weiterhin kann jedes der Wärmeabstrahlteile11 ,12 aus zwei Schichten gebildet werden, die aus der Metallplatte11a bzw.12a und der isolierenden Harzschicht zusammengesetzt sind. - (Sechste Ausführungsform)
-
12 zeigt eine Halbleitervorrichtung S1 gemäß einer sechsten Ausführungsform. Bei der Vorrichtung wird das erste Wärmeabstrahlteil11 durch ein speziell geformtes Bauteil13 gebildet, bei dem der erste Hauptanschluss61 und die ersten, zweiten und sechsten aufgehängten Anschlüsse71 ,72 und76 integriert sind. Da hierbei das erste Wärmeabstrahlteil11 von dem speziell geformten Bauteil13 gebildet wird, ist es für das erste Wärmeabstrahlteil11 notwendig, dass die Abweichung von der Flachheit der wärmeabstrahlenden Oberfläche in einem bestimmten Bereich gehalten wird. Alternativ kann das zweite Wärmeabstrahlteil12 durch das speziell geformte Bauteil13 geschaffen werden. - (Abwandlungen)
- Die Vorrichtung S1 muss den Wärmeabstrahlblock
31 ,32 nicht zwingend aufweisen. Wenn in diesem Fall der Leiterrahmen70 in die Zusammenbauschablone100 gesetzt wird, werden die aufgehängten Anschlüsse71 bis76 und die Hauptanschlüsse61 ,62 so geformt, dass eine Distanz zwischen der Referenzoberfläche des ersten Wärmeabstrahlteils11 und der Oberfläche eines jeden der aufgehängten Anschlüsse73 bis75 und des zweiten Hauptanschlusses62 größer als eine Distanz zwischen der Referenzoberfläche des ersten Wärmeabstrahlteils11 und der Oberfläche eines jeden Halbleiterchips21 ,22 ist. Hierbei entspricht die Distanz zwischen der Referenzoberfläche und der Oberfläche eines jeden der aufgehängten Anschlüsse73 bis75 und des zweiten Hauptanschlusses62 der Distanz H1 und die Distanz zwischen der Referenzoberfläche und der Oberfläche eines jeden Halbleiterchips21 ,22 entspricht der Distanz H2. Die Oberfläche eines jeden der aufgehängten Anschlüsse73 bis75 und des zweiten Hauptanschlusses62 weist zum zweiten Wärmeabstrahlteil12 und die Oberfläche eines jeden Halbleiterchips21 ,22 weist zum zweiten Wärmeabstrahlteil12 . Weiterhin kann die Anzahl der aufgehängten Anschlüsse71 bis76 einer oder mehrere betragen. - Jeder aufgehängte Anschluss
71 bis76 enthält den gebogenen Abschnitt70a gemäß den2A bis2G . Die Form eines jeden aufgehängten Anschlusses71 bis76 kann jedoch auch anders sein. Beispielsweise kann der obere Abschnitt eines jeden aufgehängten Anschlusses71 bis76 gebogen werden. Insbesondere kann der obere Abschnitt eine Federfunktion haben, so dass der obere Abschnitt eines jeden aufgehängten Anschlusses71 bis76 sich an das Wärmeabstrahlteil11 ,12 unter Verwendung einer Rückstellkraft der Federfunktion anlegt, wenn das Wärmeabstrahlteil11 in Druckkontakt mit dem oberen Abschnitt gelangt. - Der aufgehängte Anschluss
71 bis76 und das Wärmeabstrahlteil11 ,12 sind mit dem Bondier- oder Verbindungsteil81 verbunden. Alternativ können die aufgehängten Anschlüsse71 bis76 alleine durch Anlage oder Druckkontakt mit dem Wärmeabstrahlteil11 ,12 in Verbindung sein. In diesem Fall können die Wärmeabstrahlteile11 ,12 durch die Rückstellkraft der Federfunktion der aufgehängten Anschlüsse71 bis76 getragen werden. Die aufgehängten Anschlüsse71 bis76 kontaktieren die Wärmeabstrahlteile direkt ohne Verwendung des Bondierteils81 . - Die obige Beschreibung zeichnet sich unter anderem durch die folgenden Aspekte aus:
Gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung geschaffen, die einen Halbleiterchip, erste und zweite Wärmeabstrahlteile und einen Verbindungsanschluss hat, wobei die ersten und zweiten Wärmeabstrahlteile den Halbleiterchip derart zwischen sich einschließen können, dass die ersten und zweiten Wärmeabstrahlteile in den Halbleiterchips erzeugte Wärme abstrahlen und wobei der Verbindungsanschluss den Halbleiterchip und die ersten und zweiten Wärmeabschaltteile miteinander und mit einem externen Schaltkreis elektrisch verbindet, wobei das Verfahren aufweist: Bereitstellen eines plattenförmigen Leiterrahmens mit ersten und zweiten aufgehängten Anschlüssen und dem Verbindungsanschluss; Biegen des ersten aufgehängten Anschlusses zu einer ersten Seite des Leiterrahmens hin und Biegen des zweiten aufgehängten Anschlusses zu einer zweiten Seite des Leiterrahmens hin, so dass eine Distanz zwischen den ersten und zweiten aufgehängten Anschlüssen in einer Richtung senkrecht zum Leiterrahmen auf eine bestimmte Distanz festgelegt wird; Bereitstellen des ersten Wärmeabstrahlteils, so dass dieses zur ersten Seite des Leiterrahmens weist und Bereitstellen des zweiten Wärmeabstrahlteils, so dass dieses zur zweiten Seite des Leiterrahmens weist, wobei jedes der ersten und zweiten Wärmeabstrahlteile unabhängig von dem Leiterrahmen bereitgestellt wird; Anordnen des Halbleiterchips an dem ersten Wärmeabstrahlteil, um eine erste Seite des Halbleiterchips und eine Innenfläche des ersten Wärmeabstrahlteils zu kontaktieren; Druckkontaktieren des ersten aufgehängten Anschlusses mit dem ersten Wärmeabstrahlteil und Verbinden des Halbleiterchips zusammen mit dem Verbindungsanschluss mit dem ersten Wärmeabstrahlteil; und Bereitstellen einer Zusammenbauschablone mit einer Basis und einer Abdeckung, Anordnen des ersten Wärmeabstrahlteils an der Basis nach dem Verbinden des Halbleiterchips zusammen mit dem Verbindungsanschluss mit dem ersten Wärmeabstrahlteil, Anordnen des zweiten Wärmeabstrahlteils an dem zweiten aufgehängten Anschluss, um eine Innenfläche des zweiten Wärmeabstrahlteils und eine Befestigungsfläche des zweiten aufgehängten Anschlusses in Kontakt zu bringen, Drücken des zweiten Wärmeabstrahlteils mit der Abdeckung in Richtung der Basis derart, das eine Wärmeabstrahlfläche des zweiten Wärmeabstrahlteils parallel zu einer Wärmeabstrahlfläche des ersten Wärmeabstrahlteils ist, und Verbinden einer zweiten Seite des Halbleiterchips und der Innenfläche des zweiten Wärmeabstrahlteils in einem Zustand, wo der zweite aufgehängte Anschluss in Druckkontakt mit dem zweiten Wärmeabstrahlteil durch eine Rückstell kraft einer Federfunktion des zweiten aufgehängten Anschlusses ist, wobei eine Distanz zwischen der Innenfläche des ersten Wärmeabstrahlteils und der Befestigungsfläche des zweiten aufgehängten Anschlusses größer als eine Distanz zwischen der Innenfläche des ersten Wärmeabstrahlteils und der zweiten Seite des Halbleiterchips nach dem Verbinden des Halbleiterchips zusammen mit dem Verbindungsanschluss mit dem ersten Wärmeabstrahlteil ist. - Bei dem obigen Verfahren ist es nicht notwendig, die Wärmeabstrahlteile bereitzustellen, die plastisch verformt werden. Die Wärmeabstrahlteile verformen oder verwerfen sich somit nicht, so dass die Abweichung von der Flachheit der Wärmeabstrahlteile verringert wird. Unter Verwendung der Rückstellkraft in den aufgehängten Anschlüssen wird weiterhin die Parallelität der Wärmeabstrahlteile verbessert, so dass die Abweichung von der Flachheit der Wärmeabstrahlteile verringert wird. Unter Verwendung der Rückstellkraft in den aufgehängten Anschlüssen wird weiterhin die Parallelität der Wärmeabstrahlteile verbessert, so dass die Dimensionsgenauigkeit der Wärmeabstrahloberflächen der Wärmeabstrahlteile verbessert werden. Das Bondieren oder Verbinden des Halbleiterchips zusammen mit dem Verbindungsanschluss mit dem ersten Wärmeabstrahlteil kann alternativ das Verbinden des ersten aufgehenden Anschlusses mit dem ersten Wärmeabstrahlteil enthalten. Das Bondieren oder Verbinden der zweiten Seite des Halbleiterchips des zweiten Wärmeabstrahlteils umfasst das Verbinden des zweiten aufgehenden Anschlusses mit dem zweiten Wärmeabstrahlteil und der Leiterrahmen wird aus einem Material gemacht, das einen Erweichungspunkt hat, der über der Temperatur liegt, mit der der erste aufgehängte Anschluss mit dem ersten Wärmeabstrahlteil verbunden wird und einer Temperatur liegt, bei der der zweite aufgehängte Anschluss mit dem zweiten Abstrahlteil verbunden wird. Somit wird der Leiterrahmen nicht erweicht, wenn die aufgehängten Anschlüsse mit den Wärmeabstrahlteilen verbunden werden. Die mechanische Festigkeit des Leiterrahmens wird hierdurch verbessert. Wenn folglich der Leiterrahmen mit dem zweiten Wärmeabstrahlteil verbunden wird, kann die Reaktions- oder Rückstellkraft der aufgehängten Anschlüsse verbessert werden.
- Alternativ kann das Bondieren oder Verbinden des Halbleiterchips zusammen mit dem Verbindungsanschluss mit dem ersten Wärmeabstrahlteil das Verbinden des ersten aufgehängten Anschlusses mit dem ersten Abstrahlteil enthalten. Das Verbinden der zweiten Seite des Halbleiterchips und der inneren Oberfläche des zweiten Wärmeabstrahlteils umfasst das Verbinden des zweiten aufgehängten Anschlusses mit dem zweiten Wärmeabstrahlteil. Das erste Wärmeabstrahlteil ist aus einem Material gemacht, das einen ersten Erweichungspunkt hat und das zweite Wärmeab strahlteil ist aus einem Material gemacht, das einen zweiten Erweichungspunkt hat, wobei die ersten und zweiten Erweichungspunkte niedriger als eine Temperatur sind, bei der der erste aufgehängte Anschluss mit dem ersten Wärmeabstrahlteil verbunden wird und bei der der zweite aufgehängte Anschluss mit dem zweiten Wärmeabstrahlteil verbunden wird.
- Alternativ kann das Verfahren weiterhin aufweisen: ein Versiegeln des Halbleiterchips mit einem Harzverguss derart, dass die Wärmeabstrahloberfläche des ersten Wärmeabstrahlteils, die Wärmeabstrahloberfläche des zweiten Wärmeabstrahlteils und ein Teil des Verbindungsanschlusses aus dem Harzverguss frei vorliegen, nachdem die zweite Seite des Halbleiterchips und die innere Oberfläche des zweiten Wärmeabstrahlteils verbunden wurden, sowie das Entfernen eines Teils des Leiterrahmens, der nicht der Teil des Verbindungsanschlusses ist, nachdem der Halbleiterchip mit dem Harzverguss versiegelt wurde, wobei der Teil des Leiterrahmens von dem Harzverguss freiliegt oder vorsteht. Weiterhin kann der Leiterrahmen eine Öffnung zur Aufnahme des Halbleiterchips enthalten. Die Anordnung des Halbleitchips auf dem ersten Wärmeabstrahlteil enthält die Anordnung des Leiterrahmens auf dem ersten Wärmeabstrahlteil derart, dass der Halbleiterchip in der Öffnung des Leiterrahmens liegt. Das Verbinden des Halbleiterchips zusammen mit dem Verbindungsanschluss mit dem ersten Wärmeabstrahlteil enthält weiterhin das Verbinden des Verbindungsanschlusses mit dem Halbleiterchip mittels eines Drahts. Das Verbinden der zweiten Seite des Halbleiterchips und der innern Oberfläche des zweiten Wärmeabstrahlteils enthält weiterhin das Verbinden des Anschlusses mit dem zweiten Wärmeabstrahlteil. Weiterhin kann der Leiterrahmen einen Verbindungsstab enthalten, um die ersten und zweiten aufgehängten Anschlüsse und den Verbindungsanschluss untereinander zu verbinden wobei beim Entfernen eines Teils des Leiterrahmens, der nicht Teil des Verbindungsanschlusses ist, der Verbindungsstab vom Leiterrahmen entfernt wird, so dass die ersten und zweiten aufgehängten Anschlüsse und der Verbindungsanschluss in der Halbleitervorrichtung verbleiben. Weiterhin, nachdem der Verbindungsstab vom Leiterrahmen entfernt wurde, können die ersten und zweiten aufgehängten Anschlüsse und der andere Teil des Verbindungsanschlusses unabhängig voneinander in dem Harzverguss angeordnet werden und die ersten und zweiten aufgehängten Anschlüsse können vom Halbleiterchip und dem Verbindungsanschluss isoliert werden.
- Gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung weist eine Halbleitervorrichtung auf: einen Halbleiterchip; erste und zweite Wärmeabstrahlteile zum Einschließen des Halbleiterchips zwischen sich und zum Abstrahlen von Wärme, die vom Halbleiterchip erzeugt wird, wobei die ersten und zweiten Wärmeabstrahlteile elektrisch mit dem Halbleiterchip verbunden sind; einen Verbindungsanschluss, der mit jedem Wärmeabstrahlteil verbunden ist und elektrisch mit einem externen Schaltkreis verbunden ist, wobei der Verbindungsanschluss zu den ersten und zweiten Wärmeabstrahlteilen einen unterschiedlichen Gegenstand darstellt; und einen Harzverguss zum Versiegeln der ersten und zweiten Wärmeabstrahlteile und des Verbindungsanschlusses.
- Da bei der obigen Vorrichtung der Verbindungsanschluss ein unterschiedlicher Körper oder Gegenstand gegenüber den ersten und zweiten Wärmeabstrahlteilen ist, können die Wärmeabstrahlteile hergestellt oder vorbereitet werden, ohne das ein plastisches Verformungsverfahren durchgeführt werden muss. Die Dimensionsgenauigkeit und die Abweichung von der Flachheit der Wärmeabstrahlteile werden verbessert. Eine Dimensionsgenauigkeit und Positioniergenauigkeit eines jeden Elementes in der Vorrichtung wird damit ebenfalls verbessert.
- Die Halbleitervorrichtung kann weiterhin erste und zweite aufgehängte Anschlüsse zur Aufrechterhaltung einer Lagebeziehung zwischen den ersten und zweiten Wärmeabstrahlteilen aufweisen. Der erste aufgehängte Anschluss liegt an der inneren Oberfläche des ersten Wärmeabstrahlteils und der zweite aufgehängte Anschluss liegt an der inneren Oberfläche des zweiten Wärmeabstrahlteils. Weiterhin kann jeder aufgehängte Anschluss durch den Harzverguss versiegelt sein und jeder aufgehängte Anschluss kann ein Ende haben, das ein abgeschnittenes Verbindungsstabende an einem Rand des Harzvergusses ist. Weiterhin kann jeder aufgehängte Anschluss aus einem Material mit einem Erweichungspunkt sein, der höher als eine Verbindungstemperatur eines jeden Wärmeabstrahlteils mit dem Halbleiterchip ist, als eine Verbindungstemperatur eines jeden Wärmeabstrahlteils mit dem aufgehängten Anschluss ist oder eine Verbindungstemperatur eines jeden Wärmeabstrahlteils mit dem Verbindungsanschluss ist. Weiterhin kann jedes Wärmeabstrahlteil einen Erweichungspunkt haben, der unter einer Verbindungstemperatur des Wärmeabstrahlteils mit dem aufgehängten Anschluss ist. Weiterhin kann der zweite aufgehängte Anschluss eine Befestigungsoberfläche haben, die die innere Oberfläche des zweiten Abstrahlteils kontaktiert und der Halbleiterchip kann eine erste Seite haben, die die innere Oberfläche des ersten Wärmeabstrahlteils kontaktiert und eine zweite Seite haben, die die innere Oberfläche des zweiten Wärmeabstrahlteils kontaktiert. Eine Distanz zwischen der inneren Oberfläche des ersten Wärmeabstrahlteils und der Befestigungsoberfläche des zweiten aufgehängten Anschlusses ist größer als eine Distanz zwischen der inneren Oberfläche des ersten Wärmeabstrahlteils und der zweiten Seite des Halbleiterchips. Weiterhin kann der erste aufgehängte Anschluss einen Biegeabschnitt enthalten, der in Richtung der inneren Oberfläche des ersten Wärmeabstrahlteils gebogen ist. Der zweite aufgehängte Anschluss enthält einen Biegeabschnitt, der in Richtung der inneren Oberfläche des zweiten Wärmeabstrahlteils gebogen ist. Der Biegeabschnitt des ersten aufgehängten Anschlusses schafft eine Federfunktion für einen Druckkontakt mit dem ersten Wärmeabstrahlteil. Der Biegeabschnitt des zweiten aufgehängten Anschlusses schafft eine Federfunktion für einen Druckkontakt mit dem zweiten Wärmeabstrahlteil. Weiterhin können die ersten und zweiten aufgehenden Anschlüsse in dem Harzverguss versiegelt sein. Der erste aufgehängte Anschluss hat ein Ende, das das erste Wärmeabstrahlteil kontaktiert, sowie ein entgegengesetztes Ende. Das entgegengesetzte Ende des ersten aufgehängten Anschlusses ist das abzuschneidende Ende des Verbindungsstabs. Der zweite aufgehängte Anschluss hat ein Ende, das das zweite Wärmeabschaltteil kontaktiert und ein gegenüberliegendes Ende. Dieses gegenüberliegende Ende des zweiten aufgehängten Anschlusses ist ebenfalls das abzuschneidende Ende des Verbindungsstabs.
- Die Erfindung wurde unter Bezugnahme auf bevorzugte Ausführungsformen hiervon beschrieben; es versteht sich, dass die Erfindung nicht auf diese bevorzugten Ausführungsformen und Konstruktionen beschränkt ist. Die Erfindung soll vielmehr verschiedene Abwandlungen und äquivalente Anordnungen mit umfassen. Weiterhin wurden verschiedene Kombinationen und Ausgestaltungen beschrieben, welche momentan als bevorzugt erachtet werden; andere Kombinationen oder Ausgestaltungen, welche mehr, weniger oder nur ein einzelnes der offenbarten Elemente enthalten, liegen ebenfalls im Rahmen der vorliegenden Erfindung, wie er durch die nachfolgenden Ansprüche und deren Äquivalente definiert ist.
Claims (38)
- Ein Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung, die einen Halbleiterchip (
21 ,22 ), erste und zweite Wärmeabstrahlteile (11 ,12 ) und einen Verbindungsanschluss (50 ,61 ,62 ) hat, wobei die ersten und zweiten Wärmeabstrahlteile (11 ,12 ) den Halbleiterchip (21 ,22 ) derart zwischen sich einschließen, dass die ersten und zweiten Wärmeabstrahlteile (11 ,12 ) in den Halbleiterchips (21 ,22 ) erzeugte Wärme abstrahlen und wobei der Verbindungsanschluss (50 ,61 ,62 ) den Halbleiterchip (21 ,22 ) und die ersten und zweiten Wärmeabschaltteile (11 ,12 ) miteinander und mit einem externen Schaltkreis elektrisch verbindet, wobei das Verfahren aufweist: Bereitstellen eines plattenförmigen Leiterrahmens (70 ) mit ersten und zweiten aufgehängten Anschlüssen (71 bis76 ,77a bis77f ) und dem Verbindungsanschluss (50 ,61 ,62 ); Biegen des ersten aufgehängten Anschlusses (71 ,72 ,76 ,77a ,77d ) zu einer ersten Seite des Leiterrahmens (70 ) hin und Biegen des zweiten aufgehängten Anschlusses (73 bis75 ,77b bis77c ,77e bis77f ) zu einer zweiten Seite des Leiterrahmens (70 ) hin, so dass eine Distanz zwischen den ersten und zweiten aufgehängten Anschlüssen (71 bis76 ,77a bis77f ) in einer Richtung senkrecht zum Leiterrahmen (70 ) auf eine bestimmte Distanz festgelegt wird; Bereitstellen des ersten Wärmeabstrahlteils (11 ), so dass dieses zur ersten Seite des Leiterrahmens (70 ) weist und Bereitstellen des zweiten Wärmeabstrahlteils (12 ), so dass dieses zur zweiten Seite des Leiterrahmens (70 ) weist, wobei jedes der ersten und zweiten Wärmeabstrahlteile (11 ,12 ) unabhängig von dem Leiterrahmen (70 ) bereitgestellt wird; Anordnen des Halbleiterchips (21 ,22 ) an dem ersten Wärmeabstrahlteil (11 ), um eine erste Seite des Halbleiterchips (21 ,22 ) und eine Innenfläche des ersten Wärmeabstrahlteils (11 ) zu kontaktieren, Druckkontaktieren des ersten aufgehängten Anschlusses (71 ,72 ,76 ,77a ,77d ) mit dem ersten Wärmeabstrahlteil (11 ) und Verbinden des Halbleiterchips (21 ,22 ) zusammen mit dem Verbindungsanschluss (50 ,61 ,62 ) mit dem ersten Wärmeabstrahlteil (11 ); und Bereitstellen einer Zusammenbauschablone (100 ) mit einer Basis (110 ) und einer Abdeckung (130 ), Anordnen des ersten Wärmeabstrahlteils (11 ) an der Basis (110 ) nach dem Verbinden des Halbleiterchips (21 ,22 ) zusammen mit dem Verbindungsanschluss (50 ,61 ,62 ) mit dem ersten Wärmeabstrahlteil (11 ), Anordnen des zweiten Wärmeabstrahlteils (12 ) an dem zweiten aufgehängten Anschluss (73 bis75 ,77b bis77c ,77e bis77f ), um eine Innenfläche des zweiten Wärmeabstrahlteils (12 ) und eine Befestigungsfläche des zweiten aufgehängten Anschlusses (73 bis75 ,77b bis77c ,77e bis77f ) in Kontakt zu bringen, Drücken des zweiten Wärmeabstrahlteils (12 ) mit der Abdeckung (130 ) in Richtung der Basis (110 ) derart, das eine Wärmeabstrahlfläche des zweiten Wärmeabstrahlteils parallel zu einer Wärmeabstrahlfläche des ersten Wärmeabstrahlteils (11 ) ist, und Verbinden einer zweiten Seite des Halbleiterchips (21 ,22 ) und der Innenfläche des zweiten Wärmeabstrahlteils (12 ) in einem Zustand, wo der zweite aufgehängte Anschluss (73 bis75 ,77b bis77c ,77e bis77f ) in Druckkontakt mit dem zweiten Wärmeabstrahlteil (12 ) durch eine Rückstellkraft einer Federfunktion des zweiten aufgehängten Anschlusses (73 bis75 ,77b bis77c ,77e bis77f ) ist, wobei eine Distanz zwischen der Innenfläche des ersten Wärmeabstrahlteils (11 ) und der Befestigungsfläche des zweiten aufgehängten Anschlusses (73 bis75 ,77b bis77c ,77e bis77f ) größer als eine Distanz zwischen der Innenfläche des ersten Wärmeabstrahlteils (11 ) und der zweiten Seite des Halbleiterchips (21 ,22 ) nach dem Verbinden des Halbleiterchips (21 ,22 ) zusammen mit dem Verbindungsanschluss (50 ,61 ,62 ) mit dem ersten Wärmeabstrahlteil (11 ) ist. - Das Verfahren nach Anspruch 1, bei dem die Zusammenbauschablone (
100 ) weiterhin eine Mehrzahl von Stützen (120 ) enthält, die von einer Oberfläche der Basis (110 ) aus gleiche Höhe haben; und das Verbinden der zweiten Seite des Halbleiterchips (21 ,22 ) und der Innenfläche des zweiten Wärmeabstrahlteils (12 ) das Druckkontaktieren der Abdeckung (130 ) mit den Trägern (120 ) derart umfasst, dass die Basis (110 ) und die Abdeckung (130 ) die ersten und zweiten Wärmeabstrahlteile (11 ,12 ) und den Leiterrahmen (70 ) zwischen sich einschließen. - Das Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, bei dem das Biegen der ersten und zweiten aufgehängten Anschlüsse (
71 bis76 ) das Ausbilden einer Seitenwand (73a ) am ersten oder zweiten aufgehängten Anschluss (71 bis76 ) umfasst, und die Seitenwand (73a ) das erste oder zweite Wärmeabstrahlteil (11 ,12 ) kontaktiert, um das erste oder zweite Wärmeabstrahlteil (11 ,12 ) bei der Anordnung des Halbleiterchips (21 ,22 ) auf dem ersten Wärmeabstrahlteil (11 ) oder beim Anordnen des zweiten Wärmeabstrahlteils (12 ) an dem zweiten aufgehängten Anschluss (73 bis75 ) zu positionieren. - Das Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem das Biegen der ersten und zweiten aufgehängten Anschlüsse (
71 bis76 ) das Ausbilden eines Vorsprungs an den ersten oder zweiten aufgehängten Anschluss (71 bis76 ) aufweist, wobei der Vorsprung (73b ) an einem oberen Abschnitt des ersten oder zweiten aufgehängten Anschlusses (71 bis76 ) angeordnet ist und der Vorsprung (73b das erste oder zweite Wärmeabstrahlteil (11 ,12 ) bei der Anordnung des Halbleiterchips (21 ,22 ) an dem ersten Wärmeabstrahlteil (11 ) oder bei der Anordnung des zweiten Wärmeabstrahlteils (12 an dem zweiten aufgehängten Anschluss (73 bis75 ) kontaktiert. - Das Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei dem das Befestigen des Halbleiterchips (
21 ,22 ) zusammen mit dem Verbindungsanschluss (50 ,61 ,62 ) an dem ersten Wärmeabstrahlteil (11 ) das Verbinden des ersten aufgehängten Anschlusses (71 ,72 ,76 ,77a ,77d ) mit dem ersten Wärmeabstrahlteil (11 ) enthält; das Verbinden der zweiten Seite des Halbleiterchips (21 ,22 ) und der Innenfläche des zweiten Wärmeabstrahlteils (12 ) das Verbinden des zweiten aufgehängten Anschlusses (73 bis75 ,77b bis77c ,77e bis77f ) mit dem zweiten Wärmeabstrahlteil (12 ) enthält; und der Leiterrahmen (70 ) aus einem Material aus einem Erweichungspunkt ist, der höher als eine Temperatur bei der Verbindung des ersten aufgehängten Anschlusses (71 ,72 ,76 ,77a ,77d ) mit dem ersten Wärmeabstrahlteil (11 ) ist und eine Temperatur bei der Verbindung des zweiten aufgehängten Anschlusses (73 bis75 ,77b bis77c ,77e bis77f ) mit dem zweiten Wärmeabstrahlteil (12 ) ist. - Das Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei dem das Verbinden des Halbleiterchips (
21 ,22 ) zusammen mit dem Verbindungsanschluss (50 ,61 ,62 ) mit dem ersten Wärmeabstrahlteil (11 ) das Verbinden des ersten aufgehängten Anschlusses (71 ,72 ,76 ,77a ,77d ) mit dem ersten Wärmeabstrahlteil11 enthält; das Verbinden der zweiten Seite des Halbleiterchips (21 ,22 ) und der Innenfläche des zweiten Wärmeabstandteils (12 ) das Verbinden des zweiten aufgehängten Anschlusses (73 bis75 ,77b bis77c ,77e bis77f ) mit dem zweiten Wärmeabstrahlteil (12 ) enthält; das erste Wärmeabstrahlteil (11 ) aus einem Material mit einem ersten Erweichungspunkt ist und das zweite Wärmeabstrahlteil (12 ) aus einem Material mit einem zweiten Erweichungspunkt ist; und die ersten und zweiten Erweichungspunkte niedriger als eine Temperatur bei der Verbindung des ersten aufgehängten Anschlusses (71 ,72 ,76 ,77a ,77d ) mit dem ersten Wärmeabstrahlteil (11 ) ist und eine Temperatur bei der Verbindung des zweiten aufgehängten Anschlusses (73 bis75 ,77b bis77c ,77e bis77f ) mit dem zweiten Wärmeabstrahlteil (12 ) ist. - Das Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, bei dem der erste aufgehängte Anschluss (
71 ,72 ,76 ,77a ,77d ) eine Mehrzahl von ersten aufgehängten Anschlussabschnitten (71 ,72 ,76 ,77a ,77d ) enthält; und das Verbinden des Halbleiterchips (21 ,22 ) zusammen mit dem Verbindungsanschluss (50 ,61 ,62 ) mit dem ersten Wärmeabstrahlteil (11 ) ein Verbinden eines Teils oder aller erster aufgehängter Abschnitte (71 ,72 ,76 ,77a ,77d ) mit dem ersten Wärmeabstrahlteil (11 ) enthält. - Das Verfahren nach Anspruch 7, bei dem beim Verbinden des Teils oder aller erster aufgehängter Anschlussabschnitte (
71 ,72 ,76 ,77a ,77d ) mit dem ersten Wärmeabstrahlteil (11 ) der Teil oder alle ersten aufgehängten Anschlussabschnitte (71 ,72 ,76 ,77a ,77d ) mit dem ersten Wärmeabstrahlteil (11 ) mittels eines Bondierteils (81 ) verbunden werden. - Das Verfahren nach Anspruch 8, bei dem der Halbleiterchip (
21 ,22 ) mit dem ersten Wärmeabstrahlteil (11 ) mittels des Bondierteils (80 ,81 ) verbunden wird. - Das Verfahren nach Anspruch 8 oder 9, bei dem das Bondierteil (
81 ) einen Schmelzpunkt hat, der gleich oder niedriger als ein Schmelzpunkt eines anderen Bondierteils (80 ) zwischen dem Halbleiterchip (21 ,22 ) und dem ersten Wärmeabstrahlteil (11 ) ist. - Das Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, bei dem der zweite aufgehängte Anschluss (
73 bis75 ,77b bis77c ,77e bis77f ) eine Mehrzahl von zweiten aufgehängten Anschlussabschnitten (73 bis75 ,77b bis77c ,77e bis77f ) enthält; und das Verbinden der zweiten Seite des Halbleiterchips (21 ,22 ) und des zweiten Wärmeabstrahlteils (12 ) das Verbinden eines Teils oder aller zweiter aufgehängter Anschlussabschnitte (73 bis75 ,77b bis77c ,77e bis77f ) mit dem zweiten Wärmeabstrahlteil (12 ) enthält. - Das Verfahren nach Anspruch 11, bei dem beim Verbinden des Teils oder aller zweiter aufgehängter Anschlussabschnitte (
73 bis75 ,77b bis77c ,77e bis77f ) mit dem zweiten Wärmeabstrahlteil (12 ) der Teil oder alle der zweiten aufgehängten Anschlussabschnitte (73 bis75 ,77b bis77c ,77e bis77f ) mit dem zweiten Wärmeabstrahlteil (12 ) mit einem Bondierteil (81 ) verbunden werden. - Das Verfahren nach Anspruch 12, bei dem der Halbleiterchip (
21 ,22 ) mit dem zweiten Wärmeabstrahlteil (12 ) mit dem Bondierteil (80 ,81 ) verbunden wird. - Das Verfahren nach Anspruch 12 oder 13, bei dem das Bondierteil (
81 ) einen Schmelzpunkt hat, der gleich oder niedriger als ein Schmelzpunkt eines anderen Bondierteils (80 ) zwischen dem Halbleiterchip (21 ,22 ) und dem zweites Wärmeabstrahlteil (12 ) ist. - Das Verfahren nach einem der Ansprüche 14, weiterhin mit: Versiegeln des Halbleiterchips (
21 ,22 ) mit einem Harzverguss (90 ) derart, dass die Wärmeabstrahloberfläche des ersten Wärmeabstrahlteils (11 ), die Wärmeabstrahloberfläche des zweiten Wärmeabstrahlteils (12 ) und ein Teil des Verbindungsanschlusses (50 ,61 ,62 ) von dem Harzverguss (90 ) nach dem Verbinden der zweiten Seite des Halbleiterchips (21 ,22 ) und der Innenfläche des zweiten Wärmeabstandteils (12 ) frei liegen; und Entfernen eines Teils des Leiterrahmens (70 ), der nicht Teil des Verbindungsanschlusses (50 ,61 ,62 ) ist, nachdem der Halbleiterchip (21 ,22 ) mit dem Harzverguss (90 ) versiegelt wurde, wobei der Teil des Leiterrahmens (70 ) von dem Harzverguss (90 ) vorsteht. - Das Verfahren nach Anspruch 15, bei dem der Leiterrahmen (
70 ) weiterhin eine Öffnung zur Aufnahme des Halbleiterchips (21 ,22 ) aufweist; das Anordnen des Halbleiterchips (21 ,22 ) an dem ersten Wärmeabstrahlteil (11 ) das Anordnen des Leiterrahmens (70 ) an dem ersten Wärmeabstrahlteil (11 ) derart aufweist, dass der Halbleiterchip (21 ,22 ) in der Öffnung des Leiterrahmens (70 ) angeordnet wird, das Verbinden des Halbleiterchips (21 ,22 ) zusammen mit dem Verbindungsanschluss (50 ,61 ,62 ) mit dem ersten Wärmeabstrahlteil (11 ) das Verbinden des Verbindungsanschlusses (50 ,61 ,62 ) mit dem Halbleiterchip (21 ,22 ) mittels eines Drahts (40 ) enthält); und das Verbinden der zweiten Seite des Halbleiterchips (21 ,22 ) und der Innenfläche des zweiten Wärmeabstandteils (12 ) weiterhin das Verbinden des Verbindungsanschlusses (50 ,61 ,62 ) mit dem zweiten Wärmeabstrahlteil (12 ) enthält. - Das Verfahren nach Anspruch 16, bei dem der Leiterrahmen (
70 ) weiterhin einen Verbindungsstab zur Verbindung zwischen den ersten und zweiten aufgehängten Anschlüssen (71 bis76 ,77a bis77f ) und dem Verbindungsanschluss (50 ,61 ,62 ) aufweist; und beim Entfernen eines Teils des Leiterrahmens (70 ), der nicht Teil des Verbindungsanschlusses (50 ,61 ,62 ) ist, der Verbindungsstab vom Leiterrahmen (70 ) so entfernt wird, dass die ersten und zweiten aufgehängten Anschlüsse (71 bis76 ,77a bis77f ) und der Verbindungsanschluss (50 ,61 ,62 ) in der Halbleitervorrichtung verbleiben. - Das Verfahren nach Anspruch 17, bei dem nachdem der Verbindungsstab vom Leiterrahmen (
70 ) entfernt worden ist, die ersten und zweiten aufgehängten Anschlüsse (71 bis76 ,77a bis77f ) und ein anderer Teil des Verbindungsanschlusses (50 ,61 ,62 ) voneinander unabhängig in dem Harzverguss (90 ) angeordnet sind; die ersten und zweiten aufgehängten Anschlüsse (71 bis76 ,77a bis77f ) und ein anderer Teil des Verbindungsanschlusses (50 ,61 ,62 ) voneinander unabhängig in dem Harzverguss (90 ) angeordnet sind; und die ersten und zweiten aufgehängten Anschlüsse (71 bis76 ,77a bis77f ) von dem Halbleiterchip (21 ,22 ) und dem Verbindungsanschluss (50 ,61 ,62 ) isoliert sind. - Das Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 18, bei dem das erste Wärmeabstrahlteil (
11 ) ein Paar von Metallplatten (11a ,11c ) und eine isolierende Platte (11b ) enthält, die zwischen den Metallplatten (11a ,11c ) eingeschlossen ist; und das zweite Wärmeabstrahlteil (12 ) ein Paar von Metallplatten (12a ,12c ) und eine isolierende Platte (12b ) enthält, die zwischen den Metallplatten (12a ,12c ) eingeschlossen ist. - Eine Halbleitervorrichtung, aufweisend: einen Halbleiterchip (
21 ,22 ); erste und zweite Wärmeabstrahlteile (11 ,12 ) zum Einschließen des Halbleiterchips (21 ,22 ) zwischen sich und zum Abstrahlen von Wärme, die vom Halbleiterchip (21 ,22 ) erzeugt wird, wobei die ersten und zweiten Wärmeabstrahlteile (11 ,12 ) elektrisch mit dem Halbleiterchip (21 ,22 ) verbunden sind; einen Verbindungsanschluss (50 ,61 ,62 ) der mit jedem Wärmeabstrahlteil (11 ,12 ) verbunden ist und elektrisch mit einem externen Schaltkreis verbunden ist, wobei der Verbindungsanschluss (50 ,61 ,62 ) zu den ersten und zweiten Wärmeabstrahlteilen (11 ,12 ) einen unterschiedlichen Gegenstand darstellt; und einen Harzverguss (90 ) zum Versiegeln der ersten und zweiten Wärmeabstrahlteile (11 ,12 ) und des Verbindungsanschlusses (50 ,61 ,62 ). - Die Halbleitervorrichtung nach Anspruch 20, bei der der Verbindungsanschluss (
50 ,61 ,62 ) mit einer Innenfläche des ersten Wärmeabstrahlteils (11 ) verbunden ist und mit einer Innenfläche des zweiten Wärmeabstrahlteils (12 ) verbunden ist; und die Innenfläche des ersten Wärmeabstrahlteils (11 ) zur Innenfläche des zweiten Wärmeabstrahlteils (12 ) weist. - Die Halbleitervorrichtung nach Anspruch 20 oder 21, weiterhin aufweisend: erste und zweite aufgehängte Anschlüsse (
71 bis76 ,77a bis77f ) zur Beibehaltung einer Lagebeziehung zwischen den ersten und zweiten Wärmeabstrahlteilen (11 ,12 ), wobei der erste aufgehängte Anschluss (71 ,72 ,76 ,77a ,77d ) an der Innenfläche des ersten Wärmeabstrahlteils (11 ) angeordnet ist, und der zweite aufgehängte Anschluss (73 bis75 ,77b bis77c ,77e bis77f ) an der Innenfläche des zweiten Wärmeabstrahlteils12 angeordnet ist. - Die Halbleitervorrichtung nach Anspruch 22, bei der jeder aufgehängte Anschluss (
71 bis76 ) eine Seitenwand (73a ) aufweist, wobei die Seitenwand (73a ) des ersten aufgehängten Anschlusses (71 ,72 ,76 ) das erste Wärmeabstandteil (11 ) das erste Wärmeabstrahlteil (11 ) zur Positionierung des ersten Wärmeabstrahlteils (11 ) kontaktiert, und die Seitenwand (73a ) des zweiten aufgehängten Anschlusses (73 bis75 ) das zweite Wärmeabstrahlteil (12 ) zur Positionierung des zweiten Wärmeabstrahlteils (12 ) kontaktiert. - Die Halbleitervorrichtung nach Anspruch 22 oder 23, bei der jeder aufgehängte Anschluss (
71 bis76 ) einen Vorsprung (73b ) aufweist, der an einem oberen Abschnitt des aufgehängten Anschlusses (71 bis76 ) angeordnet ist, wobei der Vorsprung (73b ) des ersten aufgehängten Anschlusses (71 ,72 ,76 ) die Innenfläche des ersten Wärmeabstrahlteils (11 ) kontaktiert, und der Vorsprung (73b ) des zweiten aufgehängten Anschlusses (73 bis75 ) die Innenfläche des zweiten Wärmeabstrahlteils (12 ) kontaktiert. - Die Halbleitervorrichtung nach einem der Ansprüche bis 24, bei der jeder aufgehängte Anschluss (
71 bis76 ,77a bis77e ) einen Biegeabschnitt (70a ) aufweist, wobei der Biegeabschnitt (70a ) des ersten aufgehängten Anschlusses (71 ,72 ,76 ,77a ,77d ) in Richtung der Innenfläche des ersten Wärmeabstrahlteils (11 ) gebogen ist, und der Biegeabschnitt (70a ) des zweiten aufgehängten Anschlusses (73 bis75 ,77b bis77c ,77e bis77f ) in Richtung der Innenfläche des zweiten Wärmeabstrahlteils (12 ) gebogen ist. - Die Halbleitervorrichtung nach einem der Ansprüche 22 bis 25, bei der jeder aufgehängte Anschluss (
77a bis77f ) einen geradlinigen Abschnitt aufweist, wobei der geradlinige Abschnitt des ersten aufgehängten Anschlusses (77a ,77d ) sich von einer Seite des ersten Wärmeabstrahlteils (11 ) zu einer entgegengesetzten Seite des ersten Wärmeabstrahlteils (11 ) erstreckt, der geradlinige Abschnitt des ersten aufgehängten Anschlusses (77a ,77b ) in Druckkontakt mit dem ersten Wärmeabstrahlteil (11 ) ist, der geradlinige Abschnitt des zweiten aufgehängten Anschlusses (77b –77c ,77e –77f ) sich von einer Seite des zweiten Wärmeabstrahlteils (12 ) zu einer entgegengesetzten Seite des zweiten Wärmeabstrahlteils (12 ) erstreckt, und der geradlinige Abschnitt des zweiten aufgehängten Anschlusses (77b –77c ,77e –77f ) in Druckkontakt mit dem zweiten Wärmeabstrahlteil (12 ) ist. - Die Halbleitervorrichtung nach einem der Ansprüche 22 bis 26, wobei der erste aufgehängte Anschluss (
71 ,72 ,76 ,77a ,77d ) mit dem ersten Wärmeabstrahlteil (11 ) mittels eines Bondierungsteils (83 ) verbunden ist, und der zweite aufgehängte Anschluss (73 –75 ,77b –77c ,77e –77f ) mit dem zweiten Wärmeabstrahlteil (12 ) mit dem Bondierungsteil (81 ) verbunden ist. - Die Halbleitervorrichtung nach einem der Ansprüche 22 bis 27, wobei jeder aufgehängte Anschluss (
71 –76 ,77a –77f ) mit dem Harzverguss (90 ) versiegelt ist, und jeder aufgehängte Anschluss (71 –76 ,77a –77f ) ein Ende hat, welches ein abgeschnittenes Ende eines Verbindungsstabs an einem Rand des Harzvergusses (90 ) ist. - Die Halbleitervorrichtung nach einem der Ansprüche 22 bis 28, wobei jeder aufgehängte Anschluss (
71 –76 ,77a –77f ) aus einem Material mit einem Erweichungspunkt ist, der höher als eine Verbindungstemperatur eines jeden Wärmeabstrahlteils (11 ,12 ) mit dem Halbleiterchip (21 ,22 ) ist, als eine Bondiertemperatur eines jeden Wärmeabstrahlteils (11 ,12 ) mit dem aufgehängten Anschluss (71 –76 ,77a –77f ) ist, oder eine Bondiertemperatur eines jeden Wärmeabstrahlteils (11 ,12 ) mit dem Verbindungsanschluss (50 ,61 ,62 ) ist. - Die Halbleitervorrichtung nach einem der Ansprüche 22 bis 29, wobei jedes Wärmeabstrahlteil (
11 ,12 ) einen Erweichungspunkt hat, der niedriger als eine Verbindungstemperatur des Wärmeabstrahlteils (11 ,12 ) mit dem aufgehängten Anschluss (71 –76 ,77a –77f ) ist. - Die Halbleitervorrichtung nach einem der Ansprüche 22 bis 30, wobei jedes Wärmeabstrahlteil (
11 ,12 ) aus reinem Kupfer ist. - Die Halbleitervorrichtung nach einem der Ansprüche 22 bis 31, wobei die aufgehängten Anschlüsse (
71 –76 ,77a –77f ) und der Verbindungsanschluss (50 ,61 ,62 ) aus einer Kupferlegierung sind. - Die Halbleitervorrichtung nach einem der Ansprüche 22 bis 32, bei der der zweite aufgehängte Anschluss (
73 –75 ,77b –77c ,77e –77f ) eine Befestigungsoberfläche hat, die die Innenfläche des zweiten Wärmeabstrahlteils (12 ) kontaktiert; der Halbleiterchip (21 ,22 ) eine erste Seite hat, die die Innenfläche des ersten Wärmeabstrahlteils (11 ) kontaktiert und eine zweite Seite hat, die die Innenfläche des zweiten Wärmeabstrahlteils (12 ) kontaktiert; und eine Distanz zwischen der Innenfläche des ersten Wärmeabstrahlteils (11 ) und der Befestigungsfläche des zweiten aufgehängten Anschlusses (73 –75 ,77b –77c ,77e –77f ) größer als eine Distanz zwischen der Innenfläche des ersten Wärmeabstrahlteils (11 ) und der zweiten Seite des Halbleiterchips (21 ,22 ) ist. - Die Halbleitervorrichtung nach Anspruch 33 bei der der erste aufgehängte Anschluss (
71 ,72 ,76 ,77a ,77d ) einen Biegeabschnitt (70a ) enthält, der in Richtung der Innenseite des ersten Wärmeabstrahlteils (11 ) gebogen ist; der zweite aufgehängte Anschluss (73 –75 ,77b –77c ,77e –77f ) einen Biegeabschnitt (70a ) aufweist, der in Richtung der Innenfläche des zweiten Wärmeabstrahlteils (12 ) gebogen ist; der Biegeabschnitt (70a ) der ersten aufgehängten Anschlusses (71 ,72 ,76 ,77a ,77d ) eine Federfunktion für einen Druckkontakt mit dem ersten Wärmeabstrahlteil (11 ) liefert; und der Biegeabschnitt (70a ) des zweiten aufgehängten Anschlusses (73 –75 ,77b –77c ,77e –77f ) eine Federfunktion für einen Druckkontakt mit dem zweiten Wärmeabstrahlteil (12 ) liefert. - Die Halbleitervorrichtung nach Anspruch 34, bei der die ersten und zweiten aufgehängten Anschlüsse (
71 –76 ,77a –77f ) in dem Harzverguss (90 ) versiegelt sind; der erste aufgehängte Anschluss (71 ,72 ,76 ,77a ,77d ) ein Ende hat, das das erste Wärmeabstrahlteil (11 ) kontaktiert und ein entgegengesetztes Ende hat; das entgegengesetzte Ende des ersten aufgehängten Anschlusses (71 ,72 ,76 ,77a ,77d ) ein abgeschnittenes Ende des Verbindungsstabes ist; der zweite aufgehängte Anschluss (73 –75 ,77b –77c ,77e –77f ) ein Ende in Kontakt mit dem zweiten Wärmeabstrahlteil (12 ) und ein entgegengesetztes Ende hat; und das entgegengesetzte Ende des zweiten aufgehängten Anschlusses (73 –75 ,77b –77c ,77e –77f ) das abgeschnittene Ende des Verbindungsstabes ist. - Die Halbleitervorrichtung nach einem der Ansprüche 20 bis 35, bei der jedes Wärmeabstrahlteil (
11 ,12 ) eine Metallplatte (11a ,11c ,12a ,12c ) und eine isolierende Platte (11b ,12b ) aufweist, die aufeinander gestapelt sind. - Die Halbleitervorrichtung nach einem der Ansprüche 20 bis 36, bei der jedes Wärmeabstrahlteil (
11 ,12 ) ein Paar von Metallplatten (11a ,11c ,12a ,12c ) und eine isolierende Platte (11b ,12b ) aufweist; und die isolierende Platte (11b ,12b ) zwischen den Metallplatten (11a ,11c ,12a ,12c ) eingeschlossen ist. - Die Halbleitervorrichtung nach Anspruch 27, bei der das erste Wärmeabstrahlteil (
11 ) mittels eines zweiten Bondierteils (80 ) mit dem Halbleiterchip (21 ,22 ) bondiert ist; und das zweite Bondierteil aus dem gleichen Material wie das erste Bondierteil zwischen dem ersten aufgehängten Anschluss (71 ,72 ,76 ,77a ,77d ) und dem ersten Wärmeabstrahlteil (11 ) ist.
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