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Die
Erfindung betrifft ein Verfahren zum Einstellen einer Lesespannung
zum Auslesen von Daten aus einem nichtflüchtigen Speicher sowie eine
Halbleiterschaltungsanordnung, die einen nichtflüchtigen Halbleiterspeicher
umfasst, dessen Lesespannung einstellbar ist.
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Um
die Speicherkapazität
von nichtflüchtigen
Speichern mit einer Vielzahl von Speicherzellen zu erhöhen, kann
zum einen anstatt eines Bits, das lediglich einen von zwei Zuständen repräsentiert, eine
Ziffer gespeichert werden, die einen von mehr als zwei Zuständen, beispielsweise
vier oder acht, repräsentiert.
Es sei bemerkt, dass ein Bit ein Spezialfall einer Ziffer ist. Der
Wert der Ziffer wird durch den Wert einer Kenngröße, beispielsweise eine Schwellspannung,
repräsentiert.
Solche Speicherzellen werden auch als Multilevel-Speicherzellen
bezeichnet. Es kann auch die Anzahl der Bits erhöht werden, die in jeder Speicherzelle
speicherbar sind. Jedes Bit wird in diesem Fall durch eine Kenngröße repräsentiert.
Solche Speicherzellen werden auch als Multi-Bit-Speicherzellen bezeichnet. Es ist denkbar,
diese Ansätze
zu kombinieren, indem in einer Speicherzelle mehrere Ziffern speicherbar
sind.
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Eine
Möglichkeit,
um mehr als ein Bit in einer Speicherzelle zu speichern, sind so
genannte Nitrid-Festwert-Speicherzellen,
die auch als "Nitride Programmable
Read-Only-Memory
Cells" oder kurz "NROM"-Speicherzellen bezeichnet
werden. Eine NROM-Speicherzelle ist üblicherweise als Multi-Bit- Speicherzelle zum
Speichern zweier Bits ausgebildet. Solch eine NROM-Speicherzelle
ist in dem Dokument
US 6,011,725 beschrieben.
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Die
NROM-Speicherzelle umfasst einen Transistorkörper mit einer dotierten Wanne
in einem Substrat, wobei die Wanne ein erstes und ein zweites Dotiergebiet
umfasst. Eine Kanalregion befindet sich zwischen den Dotiergebieten.
Oberhalb der Kanalregion ist eine Gate-Elektrode angeordnet, die
durch eine dielektrische Schicht, angeordnet zwischen der Kanalregion
und der Gate-Elektrode, isoliert ist.
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Die
dielektrische Schicht umfasst eine erste Oxidschicht, eine Nitridschicht,
beispielsweise Siliziumnitrid umfassend, und eine zweite Oxidschicht. Die
Nitridschicht dient als Ladungsfängerschicht,
die zwischen den isolierenden Oxidschichten angeordnet ist, um die
Diffusion von Ladungsträgern
in diesen Richtungen zu unterbinden. Alternative Materialien zur
Ausbildung der Ladungsfängerschicht
sind möglich.
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Zwei
verschiedene Bits werden in verschiedenen Bereichen der Nitridschicht
gespeichert. Eine erste Bitregion ist benachbart zum ersten Dotiergebiet,
und eine zweite Bitregion ist benachbart zum zweiten Dotiergebiet.
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Die
Bits werden mittels so genannter heißer Elektronen programmiert.
Zum Löschen
des Bits werden so genannte heiße
Löcher
verwendet, die in die Bitregion eingebracht werden und die dort
befindlichen Elektronen kompensieren.
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Abhängig von
der Ladungsmenge, die in die erste oder die zweite Bitregion eingebracht
wird, ändert
sich eine erste Schwellspannung, die das erste Bit repräsentiert,
beziehungs weise eine zweite Schwellspannung, die das zweite Bit
repräsentiert.
In Abhängigkeit
der Schwellspannung repräsentiert
das erste oder zweite Bit entweder eine logische "1" oder eine logische "0".
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Das
erste Bit wird gelesen, indem eine Spannung zwischen dem ersten
und dem zweiten Dotiergebiet angelegt wird. Üblicherweise wird ein Lesepotenzial
von ungefähr
1,5 V an das zweite Dotiergebiet gelegt, während das erste Dotiergebiet
geerdet wird, um das erste Bit zu lesen. An die Gate-Elektrode wird eine
Lesespannung bezogen auf ein Bezugspotenzial angelegt. Ladungen
nahe dem ersten Dotiergebiet verhindern oder reduzieren den Stromfluss.
In diesem Fall liegt die erste Schwellspannung oberhalb der Lesespannung.
Das erste Bit repräsentiert
in diesem Fall die logische "0". Der Strom fließt, wenn
keine Ladung oder nur sehr wenige Ladungsträger in der ersten Bitregion
gefangen sind. In diesem Fall liegt die erste Schwellspannung unterhalb
der Lesespannung. Das erste Bit repräsentiert eine logische "1". Das Lesen des zweiten Bits wird durchgeführt, indem
die entsprechenden Lesepotenziale an das erste Dotiergebiet und
die Gate-Elektrode angelegt werden, während das zweite Dotiergebiet
geerdet wird.
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Ein
Halbleiterspeicher umfasst üblicherweise eine
Vielzahl von Speicherzellen, die als Speicherzellenfeld mit Zeilen
und Spalten matrixförmig
angeordnet sind. Die Speicherzellen sind an Wortleitungen und Bitleitungen
gekoppelt. Eine Wortleitung aus einer Vielzahl von Wortleitungen
verbindet die Gate-Elektroden
der Speicherzellen, die in einer, selben Zeile angeordnet sind.
Eine Bitleitung bildet die dotierten Gebiete für die Speicherzellen entlang zweier
benachbarter Spalten auf jeder Seite der Bitleitung aus. Somit ist
jede Speicherzelle an eine Wortleitung und zwei Bitleitungen gekoppelt
und durch die Auswahl dieser Wortleitung und dieser Bitleitungen
identifizierbar.
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Beim
Programmieren und Löschen
der Speicherzellen werden die Schwellspannungen der Speicherzellen
durch Anlegen der Programmier- beziehungsweise Löschpotenziale verändert. Ein
Potenzial, das an eine der Wortleitungen angelegt wird, liegt an
allen Gate-Elektroden der Speicherzelle dieser Zeile an. Auch wenn
die Speicherzellen durch gleiche Potenziale und gleiche Art des
Anlegens der Potenziale, beispielsweise pulsweise, programmiert
beziehungsweise gelöscht
werden, so variieren doch die Verteilungen der Schwellspannungen
der programmierten und gelöschten
Zellen innerhalb eines jeweiligen Häufungsbereichs. Der Verteilung
der Schwellspannungen eines Speicherzellenfeldes mit programmierten
und gelöschten
Speicherzellen hat zwei Häufungsbereiche,
von denen der eine logisch "1" und der andere logisch "0" repräsentiert.
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Um
die Zustände "0" und "1" unterscheiden zu
können,
ist die Lesespannung so einzustellen, dass sie zwischen den beiden
Häufungsbereichen liegt.
Schwellspannungen oberhalb der Lesespannung werden als logisch "0" interpretiert, und Schwellspannungen
unterhalb der Lesespannung werden als logisch "1" interpretiert.
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Mit
zunehmendem Alter der Speicherzellen oder zunehmender Anzahl bereits
durchgeführter Lösch- und
Programmierzyklen verschieben sich die Häufungsbereiche. Meist erfolgt
diese Verschiebung zu niedrigeren Schwellspannungen hin oder die
Häufungsbereiche
rücken
näher zusammen.
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Es
stellt sich daher die Aufgabe, ein Verfahren zur Einstellung der
Lesespannung vorzusehen, das auch bei verschobenen Häufungsbereichen
deren Unterscheidbarkeit gewährleistet.
Des Weiteren ist eine Halbleiterschaltungsanordnung mit einer derart
einstellbaren Lesespannung vorzusehen.
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Die
Aufgabe wird durch ein Verfahren und eine Vorrichtung mit den Merkmalen
der nebengeordneten Patentansprüche
gelöst.
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Das
Verfahren dient zum Einstellen einer Lesespannung, mit der Daten
aus einem nicht-flüchtigen
Speicher mit Speicherzellen ausgelesen werden, wobei in jeder Speicherzelle
zumindest eine Ziffer mit einem Zustand aus einer ersten und einer
zweiten Zustandsmenge speicherbar ist, und wobei die erste Zustandsmenge
zumindest einen ersten Zustand umfasst und die zweite Zustandsmenge
zumindest einen zweiten Zustand umfasst, und wobei Gruppen von Ziffern
jeweils einem Speicherbereich aus einer Vielzahl von Speicherbereichen
im Speicher zugeordnet sind. Das Verfahren umfasst folgende Schritte:
Speichern
von logischen Zuständen
aus der ersten Zustandsmenge in einer bestimmten Anzahl von Ziffern
in der Vielzahl von Speicherbereichen; Lesen der Speicherbereiche
nacheinander, wobei das Lesen eines der Speicherbereiche mehrere
Ausleseschritte zum Auslesen von Zustandsinformation umfasst, wobei
seinerseits die Lesespannung bei jedem Ausleseschritt variiert wird
und die ausgelesene Zustandsinformation nach jedem Ausleseschritt
bereitgestellt wird; Bereitstellen einer auf der bestimmten Anzahl
von Ziffern basierenden Kontrollinformation; Vergleichen der bereitgestellten
Zustandsinformationen mit der Kontrollinformation; Bestimmen der
einzustellenden Lesespannung oder eines einzustellenden Lesespannungsbereichs
anhand der Vergleichsergebnisse und Verwenden der einzustellenden
Lesespannung oder einer Lesespannung innerhalb des einzustellenden
Lesespannungsbereichs in einem Normalbetrieb des Speichers zum Auslesen
der Daten aus den Speicherzellen.
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Vorteil
des Verfahrens ist, dass das mehrfache Auslesen eines Speicherbereichs
mit jeweils schrittweise veränderter
Lesespannung beim Lesen der Speicherbereiche zeit- und energieeffizienter
ist, als zunächst
mit einer Lesespannung alle Speicherbereiche nacheinander auszulesen,
dann die Lesespannung zu variieren und dann erneut alle Speicherbereiche
auszulesen. Dieses beruht darauf, dass bei jedem Ausleseschritt
lediglich die an die Wortleitungen angelegte Lesespannung, bezogen auf
ein Bezugspotenzial, variiert werden muss.
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Jeder
Speicherbereich wird während
des Leseschritts mit verschiedenen Lesespannungen ausgelesen. Abhängig davon
ob die Ziffern im Speicherbereich durch Schwellspannungen oberhalb
oder unterhalb der Lesespannung repräsentiert werden, wird deren
Zustand als zur ersten oder zweiten Zustandsmenge gehörig eingestuft.
Dieses sei für
den Fall einer NROM-Speicherzelle
verdeutlicht: Schwellspannungen oberhalb der Lesespannung werden
als logisch "0" interpretiert, die
anderen als logisch "1". Auch die umgekehrte
Zuordnung ist denkbar. Somit ändert
sich mit veränderter
Lesespannung die Anzahl der detektierten "0" im
Speicherbereich beziehungsweise der Ziffern, deren Zustand als zur
ersten Zustandsmenge gehörig
interpretiert wird.
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Wenn
mehr als zwei Zustände
durch eine Ziffer repräsentiert
werden können,
sind mehrere Lesespannungen einzustellen. Zum Einstellen einer der Lesespannungen
werden die Zustandsmengen jeweils dahingehend angepasst, dass eine
der Zustandsmengen Zustände
umfasst, deren Kenngrößen oberhalb
der einzustellenden Lesespannung liegen sollen.
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In
einer vorteilhaften Weiterentwicklung werden Ziffern in einem Kontrollspeicherbereich
gespeichert. Die Zustände
der Ziffern repräsentieren
als Kontrollinformation die Anzahl gespeicherter Zustände, die
von einer der Zustandsmengen umfasst werden. Durch diese Kontrollinformation
kann die einzustellende Lesespannung bestimmt werden. Dabei wird
die ausgelesene Kontrollinformation mit der ausgelesenen Anzahl
der Zustände
innerhalb der Zustandsmenge aus den Speicherbereichen verglichen.
Das Ergebnis lässt
auf die einzustellende Lesespannung schließen, bei der die größte Übereinstimmung
zwischen der Kontrollinformation und der ausgelesenen Anzahl auftritt.
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Vorteilhafterweise
wird die Lesespannung für die
Speicherbereiche ebenso wie die Lesespannung für die Kontrollspeicherbereiche
ausgehend von einem Startwert jeweils schrittweise verändert, sodass gleiche
Lesespannungen für
alle Bereiche geprüft werden.
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Dabei
treten bei einer Lesespannung, die innerhalb eines der Häufungsbereiche
liegt, Auslesefehler sowohl im Kontrollspeicherbereich als auch
in den Speicherbereichen auf. Jedoch heben sich die Fehler für den Kontrollspeicherbereich
und für
die Speicherbereiche nicht auf, sondern sind gegenläufig. Die
Differenz zwischen der ausgelesenen Anzahl und der Kontrollinformation
wird mitzunehmender Anpassung der Lesespannung geringer und ist
im besten Fall gleich Null.
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Durch
gleichzeitiges Lesen der Speicherzellen in einem Speicherbereich
oder im Kontrollspeicherbereich wird die Geschwindigkeit des Auslesevorgangs
erhöht.
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Eine
Halbleiterschaltungsanordnung mit einstellbarer Lesespannung umfasst
einem nichtflüchtigen
Halbleiterspeicher mit Speicherzellen, wobei in jeder Speicherzelle
zumindest eine Ziffer mit einem Zustand aus einer ersten und einer
zweiten Zustandsmenge speicherbar ist, und wobei die erste Zustandsmenge
zumindest einen ersten Zustand umfasst und die zweite Zustandsmenge
zumindest einen zweiten Zustand umfasst, und wobei Gruppen von Ziffern
jeweils einem Speicherbereich aus einer Vielzahl von Speicherbereichen
im Speicher zugeordnet sind. Die Halbleiterschaltungsanordnung umfasst
ferner einen Wortleitungsdecoder, der mit dem Halbleiterspeicher
gekoppelt ist und der ausgebildet ist, auf die Speicherbereiche
zuzugreifen, eine Vielzahl von Leseverstärkern, die mit dem Halbleiterspeicher
gekoppelt sind und die ausgebildet sind, die Speicherzellen, deren
Ziffern einem der Speicherbereiche zugeordnet sind, auszulesen,
eine Lesespannungssteuereinheit, die mit der Vielzahl von Leseverstärkern verbunden
ist und die ausgebildet ist, eine veränderbare Lesespannung zum Auslesen
bereitzustellen, eine Steuerungseinrichtung, die an den Wortleitungsdecoder
und die Lesesteuerungseinheit gekoppelt ist und ausgebildet ist,
diese derart anzusteuern, dass auf die Speicherbereiche nacheinander derart
zugegriffen wird, dass beim Zugriff auf einen der Speicherbereiche
dieser mehrfach mit jeweils veränderter
Lesespannung ausgelesen wird, und ein Detektionsmittel, das an die
Vielzahl von Leseverstärkern
gekoppelt ist, und das ausgebildet ist, Zustandsinformationen der
Ziffern, die im ausgelesenen Speicherbereich gespeichert sind, bereitzustellen.
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Vorteil
dieser Anordnung ist, dass zum Einstellen der Lesespannung zunächst jeder
der Speicherbereiche mit verschiedenen Lesespannungen ausgelesen
wird, was mit einer Zeitersparnis einhergeht.
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Vorteilhafterweise
ist eine Auswertungseinrichtung vorgesehen, mittels der aus den
verschiedenen Lesespannungen die einzustellende Lesespannung oder
ein einzustellender Lesespannungsbereich ausgewertet werden.
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Das
Detektionsmittel stellt als Zustandsinformation bereit, ob die Ziffern
im ausgelesenen Speicherbereich der ersten Zustandsmenge zuordenbar
sind. Anhand dieser Information kann durch einen Vergleich mit der
Kontrollinformation auf die Richtigkeit der ausgelesenen Information
geschlossen werden. Vorteilhafterweise umfasst das Detektionsmittel
einen Zähler,
um die Anzahl der ausgelesenen, der ersten Zustandsmenge zuordenbaren
Ziffern zu bestimmen. Diese Information kann mit der Anzahl der
ursprünglich
gespeicherten, der ersten Zustandsmenge zuordenbaren Ziffern verglichen werden.
Hierzu ist vorteilhafterweise eine Vergleichsvorrichtung vorgesehen.
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Die
Kontrollinformation kann in einer vorteilhaften Ausgestaltung durch
einen Kontrollspeicherbereich bereitgestellt werden.
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Vorteilhafterweise
umfasst die Halbleiterschaltungsanordnung ein Speichermittel, um
die Zustandsinformation, den jeweiligen Lesespannungen zugeordnet,
zu speichern. Durch Auswertung dieser Zustandsinformation wird die
einzustellende Lesespannung bestimmt.
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In
einer einfachen Ausführung
ist dieses Speichermittel derart ausgestaltet, dass als Zustandsinformationen
die Anzahl der Zustände,
die der. ersten Zustandsmenge zuordenbar sind, für jeden Speicherbereich und
für jede
Lesespannung gespeichert werden.
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Ein
Addierer ermöglicht
es, die Gesamtanzahl der ausgelesenen Anzahlen für alle Speicherbereiche bei
einer Lesespannung zu ermitteln.
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In
einem vorteilhaftem Ausführungsbeispiel werden
die mit den verschiedenen Lesespannungen (VLn) ausgelesenen Zustandsinformationen
einem externen Controller bereitgestellt, um innerhalb des ermittelten
Lesespannungsbereichs die eigentliche, einzustellende Lesespannung
zu ermitteln. Die Zustandsinformationen umfassen in diesem Fall
die mit den verschiedenen Lesespannungen detektierten Daten. Diese
Daten können
alle gespeicherten Datensätze
umfassen, die mit den verschiedenen Lesespannungen innerhalb des
Lesespannungsbereichs ausgelesen worden sind. Der externe Controller
ist ausgebildet, durch mathematische Verfahren die optimale Lesespannung
innerhalb des Lesespannungsbereichs zu bestimmen, bei der die Fehlerwahrscheinlichkeit
am geringsten ist.
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Vorteilhafterweise
umfassen die Speicherbereiche NROM-Speicherzellen, in denen jeweils zwei Bits
speicherbar sind, was mit einer Platz sparenden Ausführung der
Speicherbereiche einhergeht.
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Weitere
vorteilhafte Ausgestaltungen ergeben sich aus den nebengeordneten
Patentansprüchen.
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Nachfolgend
wird die Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnung anhand von
Ausführungsbeispielen
erklärt.
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Es
zeigen:
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1 ein
Ausführungsbeispiel
einer NROM-Speicherzelle,
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2 ein
Histogramm der Schwellspannungsverteilung einer Vielzahl von Bits,
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3 ein
Histogramm der Schwellspannungsverteilung einer Vielzahl von Ziffern,
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4 ein
erstes Ausführungsbeispiel
einer Schaltungsanordnung,
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5 ein
zweites Ausführungsbeispiel
der Schaltungsanordnung,
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6 ein
Ablaufdiagramm des Verfahrens und
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7 eine
Tabelle.
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1 zeigt
ein Ausführungsbeispiel
einer NROM-Zelle. In einem Substrat 250 ist eine dotierte Wanne 255 eingebracht,
die ein erstes Dotiergebiet 201 und ein zweites Dotiergebiet 202 umfasst.
Zwischen dem ersten und dem zweiten Dotiergebiet 201, 202 befindet
sich eine Kanalregion 254. Oberhalb der Kanalregion 254 ist
eine Gate-Elektrode 400 angeordnet, die durch eine dielektrische
Oxid-Nitrid-Oxid-Schicht 251, 252, 253 von
der Kanalregion 254 isoliert ist. Die Nitridschicht 252 dient
als Ladungsfängerschicht.
In verschiedenen Bereichen der Ladungsfängerschicht 254 sind
ein erstes Bit 101 und ein zweites Bit 102 speicherbar.
Diese Bits 101, 102 sind in 1 durch
Ellipsen angedeutet.
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Speicher
umfassen eine Vielzahl von Speicherzellen. Die Speicherzellen können als
oben beschriebene NROM-Speicherzellen ausgebildet sein. Es ist aber
auch denkbar, andere Multi-Bit-Speicherzellen
vorzusehen oder Speicherzellen, die beispiels weise jeweils lediglich
ein Bit speichern können
oder als Multi-Level-Speicherzellen ausgebildet sind.
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Die
Zustände,
die in den Speicherzellen gespeichert sind, werden durch veränderbare
Kenngrößen repräsentiert. Üblicherweise
ist die Kenngröße die Schwellspannung.
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In 2 ist
ein Histogramm der Schwellspannungen einer Vielzahl von Speicherzellen
dargestellt. Die Achsenbeschriftung VT gibt die Schwellspannung
an. Die Achsenbeschriftung b gibt die Anzahl der Bits an. Jeder
Balken repräsentiert
die Anzahl von Bits, deren Schwellspannung sich innerhalb eines
Bereichs befindet, dessen Grenzen durch den Ort und die Breite des
Balkens angezeigt wird. Die Verteilung zeigt zwei Häufungsbereiche
B0 und B1, die jeweils einem der beiden logischen Zustände eines
Bits, "0" beziehungsweise "1", entsprechen. Zwischen den Häufungsbereichen
B0, B1 befindet sich ein Fenster W, in dem keine Schwellwertspannungen VT
liegen.
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Im
Fall von NROM-Speicherzellen sind die Bits, die durch eine größere Schwellspannung
VT repräsentiert
werden, der "0" zugeordnet. Die
Bits, die durch eine geringere Schwellspannung VT repräsentiert
werden, entsprechen der "1".
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Beim
Auslesen mit einer Lesespannung werden die Bits, deren Schwellspannung
VT oberhalb der Lesespannung ist, dem einen logischen Zustand, hier "0", zugeordnet, und die Bits, deren Schwellspannung
unterhalb der Lesespannung ist, dem anderen logischen Zustand, hier "1", zugeordnet. Zum fehlerfreien Auslesen
muss die Lesespannung innerhalb des Fensters W liegen.
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Der
durch falsch justierte Lesespannung entstehende Fehler sei im Folgenden
verdeutlicht. Beim Auslesen mit einer ersten Lesespannung VL1, die
innerhalb eines Häufungsbereichs
B0 liegt, werden nur die Bits als "0" interpretiert,
deren Schwellspannungen VT oberhalb der ersten Lesespannung VL1
liegen. Schwellspannungen innerhalb des die "0" repräsentierenden
Häufungsbereichs
B0, die unterhalb der Lesespannung VL1 liegen, werden fehlerhafterweise
als "1" interpretiert. Der
gleiche Effekt, allerdings in verringertem Umfang, tritt auf, wenn
mit einer zweiten Lesespannung VL2 ausgelesen wird, die unterhalb
der ersten Lesespannung VL1, innerhalb des Häufungsbereichs B0 liegt.
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Ein
fehlerfreies Auslesen ist nur dann möglich, wenn die Lesespannung
VL innerhalb eines Fensters W zwischen beiden Häufungsbereichen B0, B1 liegt.
Dieses ist für
eine dritte Lesespannung VL3 der Fall.
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Wenn
die Lesespannung schrittweise, zum Beispiel zunächst von der ersten Lesespannung
VL1 auf die zweite Lesespannung VL2 reduziert wird, reduziert sich
der Auslesefehler mit jedem Schritt.
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Um
den Fehler beim Einstellen der Lesespannung bewerten zu können, wird
die Anzahl der als "0" interpretierten
Bits mit dem tatsächlichen
Wert der als "0" gespeicherten Bits
verglichen. Wenn diese Werte übereinstimmen,
ist, die Lesespannung richtig eingestellt.
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Wenn
diese Anzahl in einem Kontrollspeicherbereich des Speichers gespeichert
ist, tritt beim Einstellen der einzustellenden Lesespannung das
Problem auf, dass auch für
den Kontroll speicherbereich zum fehlerfreien Auslesen die einzustellende Lesespannung
zu ermitteln ist.
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Wenn
im Kontrollspeicherbereich Bits mit dem logischen Wert "0" fehlerhafterweise als Bits mit dem
logischen Wert "1" ausgelesen werden,
so wird ein höherer
Wert als der tatsächliche
als Anzahl, die im Kontrollspeicherbereich gespeichert ist, ausgelesen.
Die Anzahl der Nullen, die beim Auslesen von Speicherbereichen gezählt wird,
wird jedoch auf Grund desselben Effekts niedriger als die tatsächliche
Anzahl ermittelt. Somit sind die Einzelfehler gegenläufig und
können
sich nicht aufheben. Der Gesamtfehler als Differenz zwischen der
Anzahl, repräsentiert
durch die Kontrollinformation, und der ermittelten Anzahl aus den
Speicherbereichen reduziert sich jedoch, wenn die Lesespannung in
Richtung des Fensters W verschoben wird.
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Wenn
das Fenster W sehr schmal ist oder die Häufungsbereiche überlappen,
ist es denkbar, dass der Fehler nicht verschwindet. In diesen Fällen wird
die einzustellende Lesespannung anhand des minimalen Fehlers bestimmt.
Dieses geschieht, indem die ausgelesenen Zustandsinformationen bei verschiedenen
Lesespannungen mit der Kontrollinformation verglichen werden.
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In
oben genannten Fällen
kann es von Vorteil sein, wenn alle ausgelesenen Zustände, also
die Gesamtheit der ausgelesenen Bits und nicht nur deren Anzahl
von ermittelten "0" oder "1", zur externen Auswertung bereitstellt
werden. Anhand dieser Informationen kann mittels mathematischer
Methoden eine einzustellende Lesespannung berechnet werden, bei der
der Auslesefehler minimal ist.
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Zur
Wahl geeigneter Lesespannungen, mit denen zur Bestimmung der eigentlichen,
einzustellenden Lesespannung ausgelesen wird, bieten sich verschiedene
Vorgehensweisen an. Zum einen kann mit einem vorgegeben Satz an
Lesespannungen, einem Scannen gleich, ausgelesen werden. Sämtliche Zustandsinformationen
werden für
eine spätere
Auswertung abgespeichert.
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Es
ist auch denkbar, von einem Startwert aus die Lesespannung sukzessiv
zu reduzieren, bis der Fehler zwischen dem abgespeicherten Wert
und der ermittelten Anzahl beim Auslesen unterhalb eines vorgegeben
Wertes ist. Die bei den folgenden, weiter sukzessiv reduzierten
Lesespannungen ermittelten Zustandsinformationen werden zur späteren Auswertung
abgespeichert.
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Ein ähnliches
Verfahren kann auch für
Ziffern angewendet werden, mit denen mehr als ein Zustand gespeichert
werden kann.
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3 zeigt
ein Histogramm der Zustandsverteilung einer Vielzahl von Ziffern.
Die Achsenbeschriftung VT gibt die Schwellspannung an. Die Achsenbeschriftung
b gibt die Anzahl der Bits an. Jeder Balken repräsentiert die Anzahl von Bits,
deren Schwellspannung sich innerhalb eines Bereichs befindet, dessen
Grenzen durch den Ort und die Breite des Balkens angezeigt wird.
Jeder von vier Häufungsbereichen
B0, B1, B2, B3 repräsentiert
einen Zifferzustand "0", "1", "2", "3". Zur Unterscheidung der vier Zustände sind
drei verschiedene Lesespannungen erforderlich, die jeweils zwischen
zwei Häufungsbereichen
B0, B1 beziehungsweise B1, B2 beziehungsweise B2, B3 zu justieren
sind, sodass sie sich in einem der Fenster W1, W2, W3 befinden.
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Zum
späteren
Auslesen der Zustände
ist es erforderlich, festzustellen, in welchem Intervall, zwischen
zwei Lesespannungen, die Schwellspannung liegt. Es ist somit nicht
nur zu prüfen,
ob eine Schwellspannung VT oberhalb einer Lesespannung, sondern
auch unterhalb einer anderen liegt. Dieses gilt nicht für die äußeren Häufungsbereiche
B0, B3, deren Schwellspannungen VT größer beziehungsweise kleiner
als alle einzustellenden Lesespannungen sind.
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Zur
Einstellung der Lesespannungen ist es jedoch nur erforderlich zu
prüfen,
ob eine bestimmte Anzahl von Zuständen oberhalb und unterhalb
der Lesespannung liegt. Die genaue Bestimmung des Zustandes der
Ziffer ist hierbei nicht erforderlich.
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Dieses
sei im Folgenden anhand der Einstellung der Lesespannung zwischen
den Zuständen "1" und "2" verdeutlicht.
Dazu wird mit verschiedenen Lesespannungen VL1, VL2, VL3 ausgelesen.
Beim Auslesen mit den Lesespannungen VL1, VL2, VL3 kann lediglich
unterschieden werden, ob die Schwellspannungen VT, die die Zustände der
Ziffern repräsentieren,
oberhalb der entsprechenden Lesespannung VL1, VL2, VL3 liegen oder
unterhalb. Bei fehlerfreiem Auslesen gehören erstere zu einer ersten
Zustandsmenge mit den Zuständen "0" und "1",
letztere gehören
zu einer zweiten Zustandsmenge mit den Zuständen "2" und "3". Bei jedem Ausleseschritt mit einer
der Lesespannungen VL1, VL2, VL3 wird bestimmt, wie viele der Ziffern
als zur ersten Zustandsmenge beziehungsweise zur zweiten Zustandsmenge
gehörig
ausgelesen werden.
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Wenn
die Lesespannung so gewählt
ist, dass sie innerhalb des Häufungsbereichs
B1 ist, der die "1" repräsentiert,
werden einige dieser Schwellspannungen fehlerhafterweise als zur zweiten
Zustandsmenge gehörend
ausgelesen. Dieses ist in 3 bei den
Lesespannungen VL1 und VL2 der Fall.
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Die
Bestimmung der einzustellenden Lesespannung erfolgt durch einen
Vergleich der Anzahl der Zustände,
die als zur ersten Zustandsmenge gehörend ausgelesen worden sind,
mit der Anzahl der Zustände,
die tatsächlich
zur ersten Zustandsmenge gehören.
Diese Anzahl kann in einem Kontrollspeicherbereich abgelegt sein.
Fehler beim Auslesen dieses Kontrollspeichers verringern sich, wenn
die Lesespannung in Richtung des entsprechenden Fensters verringert
wird, wie oben bereits für
Bits beschrieben.
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Bei
Ziffern sind für
jede einzustellende Lesespannung ein Zähler beziehungsweise ein Kontrollspeicherbereich
vorzusehen. Die erste Zustandsmenge umfasst die Zustände mit
einer Schwellspannung oberhalb der einzustellenden Lesespannung, die
zweite Zustandsmenge die Zustände
mit einer Schwellspannung unterhalb.
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4 zeigt
ein Ausführungsbeispiel
einer Schaltungsanordnung mit justierbarer Lesespannung. Die Schaltungsanordnung
umfasst einen Speicher SP mit einer Vielzahl von Speicherzellen.
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Der
Speicher SP umfasst mehrere Speicherbereiche SP1, SP2, SP3, SP4,
SP5. Im Speicher SP speicherbare Ziffern sind einem der Speicherbereiche
SP1, SP2, SP3, SP4, SP5 zugeordnet. Ferner umfasst der Speicher
SP noch einen Kontrollspeicherbereich K, indem ebenfalls Ziffern
speicherbar sind. Es sei bemerkt, dass im Folgenden auch, wenn von "Ziffern" die Rede ist, die
entsprechenden Ausführungen
auch für
Ziffern mit zwei möglichen
Zuständen,
also "Bits", gelten.
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Eine
denkbare Organisation solch eines Speichers kann so genannte Seiten
mit einer Vielzahl von so genannten Worten umfassen. Der Kontrollspeicherbereich
K umfasst ein, vorzugsweise das erste Wort auf der Seite, und die
Speicherbereiche SP1, SP2, SP3, SP4, SP5 umfassen jeweils die übrigen Worte
auf der Seite. Die den Worten zugeordneten Speicherzellen sind an
eine Wortleitung gekoppelt.
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Der
Speicher SP ist mit einem Wortleitungsdecoder 2 gekoppelt.
Der Wortleitungsdecoder 2 ist ausgebildet, die Speicherbereiche
SP1, SP2, SP3, SP4, SP5 zum Lesen zu identifizieren und auszuwählen.
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Des
Weiteren ist der Speicher SP mit einer Vielzahl von Leseverstärkern 3 gekoppelt.
Die Leseverstärker 3 lesen
die Ziffern eines Speicherbereichs SP1, SP2, SP3, SP4, SP5 parallel
aus. Dieses wird dadurch erreicht, dass jeder Speicherzelle des Speicherbereichs
SP1, SP2, SP3, SP4, SP5 ein Leseverstärker 3 zugewiesen
ist. Über
die Leseverstärker 3 wird
eine, über
die Wortleitungen anlegbare, Lesespannung bereitgestellt.
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Die
Lesespannung wird durch eine Lesespannungssteuereinheit 4,
die an die Leseverstärker 3 gekoppelt
ist, eingestellt.
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An
die Lesespannungssteuereinheit 4 und den Wortleitungsdecoder 2 ist
eine Steuereinrichtung 1 gekoppelt, die ausgebildet ist,
auf die Ziffern beziehungsweise die entsprechenden Speicherzellen
der Speicherbereiche SP1, SP2, SP3, SP4, SP5 zuzugreifen.
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Die
Lesespannungssteuereinheit 4 umfasst einen Zähler 5,
der an eine Auswertungseinrichtung 9 mit einem Speicher 6 sowie
einer Vergleichseinrichtung 7 gekoppelt ist.
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Zum
Auslesen einer Zustandsinformation in einem Normalbetrieb wird an
die Speicherzellen des ausgewählten
Wortes die eingestellte Lesespannung angelegt. Anhand eines fließenden oder
nicht fließenden
Stromes wird angezeigt, ob die Schwellspannungen der entsprechenden
Speicherzellen oberhalb oder unterhalb der Lesespannung liegen.
Daraus lässt
sich auf den Zustand der Speicherzellen und der gespeicherten Ziffern
schließen.
Wenn die Schwellspannung ein Bit repräsentiert, lässt sich direkt auf den Zustand
schließen.
Wenn die Ziffer einen von mehr als zwei Zuständen repräsentiert, ist jeder mögliche Zustand
einem Schwellspannungsbereich zugeordnet. Zur Bestimmung, in welchen
dieser Bereich der Schwellspannungswert liegt, sind mehrere Vergleichsschritte
erforderlich. Kann die Ziffer beispielsweise einen von vier Zuständen annehmen, sind
drei Lesespannungen erforderlich.
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Im
Folgenden wird auf die Einstellung einer Lesespannung eingegangen.
Weitere einzustellende Lesespannungen sind in entsprechender Weise
zu justieren. Hierzu werden die Speicherbereiche SP1, SP2, SP3,
SP4, SP5 nacheinander mit variierter Lesespannung gelesen.
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Das
Lesen umfasst für
jeden Speicherbereich SP1, SP2, SP3, SP4, SP5 mehrere Ausleseschritte,
bei denen jeweils die Lesespannung variiert wird. Nachdem ein Speicherbereich
mit mehreren Lesespannungswerten ausgelesen worden ist, wird einer
der anderen Speicherbereiche auf die gleiche Weise ausgelesen. Das
Vorgehen wird für
jeden der Speicherbereiche SP1, SP2, SP3, SP4, SP5 wiederholt, bis
alle Speicherbereiche SP1, SP2, SP3, SP4, SP5 derart gelesen worden
sind.
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Die
mit jedem Ausleseschritt ausgelesenen Zustände werden von der Lesespannungssteuereinheit 4 mittels
des Zählers 5 gezählt, sodass
die Anzahl der Ziffern im Speicherbereich ermittelt wird, die von
Schwellspannungen oberhalb der Lesespannung repräsentiert werden. Alternativ
kann der Zähler 5 auch
die Anzahl der Ziffern im Speicherbereich ermitteln, die von Schwellspannungen
unterhalb der Lesespannung repräsentiert
werden.
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Diese
Werte werden in einer Speichereinrichtung, beispielsweise ein flüchtiger
Speicher 6 oder ein Register, derart gespeichert, dass
die Werte sich der Lesespannung zuordnen lassen, bei denen ausgelesen
worden ist. Vorteilhafterweise erfolgt die Speicherung tabellarisch.
Um die einzustellende Lesespannung zu bestimmen, sind die Ergebnisse
der einzelnen Speicherbereiche bei derselben Lesespannung durch
einen Addierer 10 zu summieren.
-
Durch
einen Vergleich der ermittelten Werte durch den Zähler ermittelten
Werte mit der tatsächlichen
Anzahl der Schwellspannungen, die oberhalb der Lesespannung liegen
sollten, lässt
sich die einzustellende Lesespannung bestimmen, bei der der Unterschied
verschwindet oder am kleinsten ist. Hierzu ist die Vergleichseinrichtung 7 vorgesehen.
-
Die
tatsächliche
Anzahl kann im Kontrollspeicherbereich K gespeichert sein. Wenn
der Kontrollspeicherbereich K auf gleiche Weise, das heißt mit denselben
Lesespannungen wie die übrigen Speicherbereiche
SP1, SP2, SP3, SP4, SP5 ausgelesen wird, treten auch hier Auslesefehler
auf. Die Differenz die ses Fehlers und des Fehlers beim Auslesen
der Speicherbereiche verschwindet jedoch bei korrekter Justierung
der Auslesespannung, sodass diese in einem Fenster zwischen den
Häufungsbereichen
liegt.
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Alternativ
ist es bei Bits möglich,
den Startwert, von dem ausgehend die Lesespannungen für die Ausleseschritte
modifiziert werden, basierend auf redundanter Information im Kontrollspeicher
zu bestimmen. Hierbei wird neben der Anzahl von logischen "0", die in den Speicherbereichen SP1,
SP2, SP3, SP4, SP5 gespeichert sind, auch das hierzu Inverse abgespeichert,
sodass die Anzahl von logischen "0" und "1" im Kontrollspeicherbereich gleich ist.
Zunächst
wird dann der Kontrollspeicher mit variierter Lesespannung ausgelesen
bis die Anzahl ausgelesener "0" und "1" gleich ist. Die entsprechende Lesespannung
dient als Startwert für
das eigentliche Verfahren zur Einstellung der Lesespannung.
-
5 zeigt
eine alternative Ausgestaltung der Halbleiterschaltungsanordnung.
Gleiche Bezugszeichen geben gleiche Anordnungsteile an. Zur Vermeidung
von Wiederholungen erfolgt keine mehrfache Beschreibung übereinstimmender
Anordnungen.
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In
dieser Ausgestaltung wird die optimale Lesespannung nicht durch
die Lesespannungssteuereinrichtung 4 bestimmt. Die Lesespannungssteuereinrichtung 4 stellt
die durch die Leseverstärker 3 ausgelesenen
Zustandsinformationen lediglich mittels eines Detektionsmittels 8 zur
weiteren Auswertung bereit. Die eigentliche Auswertung erfolgt beispielsweise
durch eine Auswertungseinrichtung 9 in der Steuereinrichtung 1 oder
eine externe Einrichtung. Durch die Bereitstellung entfällt der
vom Zähler durchgeführte Kompressionsschritt.
Vielmehr werden Zustandsinformationen für sämtliche Ziffern in den Speicherbereichen,
jeweils ausgelesen bei einer Vielzahl von Lesespannungen, bereitgestellt.
Aufgrund dieser Datenmenge kann eine aufwändigere und genauere Auswertung
erfolgen.
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In 6 ist
der Ablauf des Lesens der Speicherbereiche verdeutlicht.
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Der
Speicher umfasst M Speicherbereiche SPm, die jeweils mit N verschiedenen
Lesespannungen VLn ausgelesen werden. Bei Beginn 501, 503 wird
im Schritt 505 der erste Speicherbereich SP1 mit der ersten
Lesespannung VL1 ausgelesen. Die ausgelesen Zustandsinformation,
die im Schritt 507 bereitgestellt werden, können die
ausgelesenen Zustände
selbst oder deren aufbereitete Form umfassen. Bei letzteren kann
beispielsweise die Anzahl von ausgelesen "0" in
diesem Speicherbereich SP1 bei dieser Lesespannung VL1 ermittelt
werden und in einer Tabelle gespeichert werden.
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Wenn
noch nicht alle zu untersuchenden Lesespannungen VLn angelegt worden
sind, wie in den Blöcken 509, 511 verdeutlicht,
wird mit der nächsten Lesespannung,
nun VL2, der Speicherbereich SP1 ausgelesen und die Zustandsinformationen
bereitgestellt. Dieses wird wiederholt bis mit allen Lesespannungen
VL1 bis VLN der Speicherbereich SP1 ausgelesen worden ist.
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Zur
Zeitersparnis wird das Anpassen der Lesespannung derart durchgeführt, dass
zunächst
ein Speicherbereich SP1 mit verschiedenen Lesespannungen VLn ausgelesen
wird. Für
diese Schritte ist es nicht notwendig, die an den Bitleitungen anliegenden
Lesespannungen zu verändern.
Lediglich die an die Wortleitung angelegte Lesespannung VLn wird variiert.
Dieses geschieht durch entsprechende Ansteuerung mittels der Lesespannungssteuereinrichtung 4.
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Im
folgenden Schritt wird, wenn noch nicht alle Speicherbereiche SPm
ausgelesen worden sind, wie in den Blöcken 513, 515 veranschaulicht,
der nächste
Speicherbereich, hier SP2, mit den Lesespannungen VL1 bis VLN ausgelesen.
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Diese
Schritte 503, 505, 507, 509, 511, 513, 515,
insbesondere die Auslese- und Bereitstellungsschritte 505, 507,
werden wiederholt, bis alle Speicherbereich SP1 bis SPM gelesen
worden sind.
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Im
abschließenden
Schritt 517 wird die einzustellende Lesespannung oder der
einzustellende Lesespannungsbereich bestimmt.
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7 zeigt
eine Tabelle, die es ermöglicht, die
einzustellende Lesespannung zu bestimmen. In den Spalten sind die
Werte, beispielsweise die ausgelesen Anzahlen von "0", bei einer, selben Lesespannung VLn
für die
verschiedenen Speicherbereiche SP1, SP2, SP3, SP4, SP5 eingetragen.
Es sind beispielhaft nur fünf
Speicherbereiche SP1, SP2, SP3, SP4, SP5 dargestellt. Üblicherweise
ist die Anzahl der ausgelesenen Speicherbereiche größer. In der
Tabelle sind beispielhaft fünf
Lesespannungen VL1, VL2, VL3, VL4, VL5 dargestellt. In den Zeilen sind
die Werte für
einen, selben Speicherbereich SPm bei den verschiedenen Lesespannungen
VL1, VL2, VL3, VL4, VL5 dargestellt. Der Eintrag E14 gibt beispielsweise
die An- zahl "0" im ersten Speicherbereich
SP1 bei der vierten Lesespannung VL4 an.
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Bei
den verschiedenen Lesespannungen VL1, VL2, VL3, VL4, VL5 wird auch
die im Kontrollspeicherbereich K gespeicherte Anzahl als Kontrollinformation
K1, K2, K3, K4, K5 ausgelesen.
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Die
ausgelesenen Anzahlen K1, K2, K3, K4, K5 können in Abhängigkeit der Lesespannung VL1, VL1,
VL2, VL3, VL4, VL5 variieren. Sie werden in eine Zeile der Tabelle
eingetragen.
-
Zur
Ermittlung der einzustellende Lesespannung werden die Einträge der Spalten
addiert, beispielsweise E11 bis E15, und die Ergebnisse E1, E2, E3,
E4, E5 mit der Anzahl tatsächlich
gespeicherter "0" oder der aus dem
Kontrollspeicherbereich K ausgelesen Anzahl, hier K1, bei der jeweiligen
Lesespannung, hier VL1, verglichen. Der Eintrag oder die Einträge mit der
besten Übereinstimmung
zeigen die einzustellende Lesespannung beziehungsweise den einzustellende
Lesespannungsbereich an.
-
- 1
- Steuerungseinrichtung
- 2
- Wortleitungsdecoder
- 3
- Leseverstärker
- 4
- Lesespannungssteuereinheit
- 5
- Zähler
- 6
- Speichermittel
- 7
- Auswertungseinrichtung
- 8
- Detektionsmittel
- 9
- Auswertungseinrichtung
- 10
- Addierer
- 201,
202
- Dotiergebiete
- 250
- Substrat
- 254
- Kanalregion
- 255
- Wanne
- 251,
252, 253
- ONO-Schicht
- 400
- Gate-Elektrode
- 101,
102
- erstes,
zweites Bit
- b
- Anzahl
der Bits
- VT
- Schwellspannung
- VL1,
VL2, VL3
- Lesespannung
- W,
W1, W2, W3
- Fenster
- B0,
B1, B2, B3
- Häufungsbereiche
- SP
- Halbleiterspeicher
- SP1,
SP2, SP3, SP4, SP5
- Speicherbereiche
- K
- Kontrollspeicherbereich