Um
den Korrosionsverlust eines keramischen Materials experimentell
bestimmen zu können, müssen gleichzeitig
die folgenden drei Bedingungen erfüllt sein. Das Material muss
auf einer hohen Temperatur von über
1000 °C
gehalten werden; das das Material umgebende atmosphärische Gas
muss Dampf enthalten; und das Material muss sich in einer Strömung des
atmosphärischen
Gases befinden. Es ist bekannt, dass das Ausmaß des Korrosionsverlustes eines
Materials mit der Temperatur des Materials, dem Partialdruck des
Dampfes im atmosphärischen Gas
und der Strömungsgeschwindigkeit
des Gases zunimmt.
Zum
Bestimmen des Korrosionsverlustes eines keramischen Materials und
zum quantitative Bewerten der Korrosionseigenschaften wird herkömmlich eine
Messvorrichtung vom Verbrennungsgas-Strömungstyp verwendet. Die Vorrichtung
wird zusammen mit einem Verbrennungsgasgenerator wie einem Brenner
oder einer Gasturbine verwendet, und das jeweilige Teststück wird
in die Strömung
des Verbrennungsgases eingebracht. Einige Arten von solchen Vorrichtun gen
zum Bestimmen des Korrosionsverlustes vom Verbrennungsgas-Strömungstyp ermöglichen
eine unabhängige
Kontrolle der Temperatur, der Gaszusammensetzung, der Strömungsgeschwindigkeit
des Gases und des Gasdrucks. Diese Messvorrichtungen haben jedoch
auch ihre Nachteile; z.B. ist die Sicherheit aufgrund der Verbrennung einer
großen
Menge an Brennstoff nicht immer besonders hoch; die Vorrichtungen
sind groß und
haben einen komplizierten Aufbau, was hohe Kosten und eine schwierige
Bedienung zur Folge hat; und auf dem Teststück werden Verunreinigungen
aus dem Verbrennungsgas (Oxide aus Metallen, die der hohen Temperatur
ausgesetzt sind, korrodiertes Material aus Leitungen usw.) abgeschieden.
Die Messgenauigkeit ist bei diesen Messvorrichtungen daher nicht
besonders hoch. Auch lässt
sich die Zusammensetzung des Gases nur innerhalb von engen Grenzen
verändern,
und die maximale Gastemperatur ist im allgemeinen auf etwa 1500 °C beschränkt.
Andere,
herkömmlich
verwendete Messvorrichtungen zum Messen des Korrosionsverlustes
beinhalten elektrische Öfen,
in die das Teststück
gesetzt wird. Der Ofen wird elektrisch auf eine hohe Temperatur
aufgeheizt. In den Ofen wird ein atmosphärisches Gas eingeleitet, das
Dampf und simuliertes Verbrennungsgas enthält. Im Vergleich mit einer Messvorrichtung
vom Verbrennungsgas-Strömungstyp
ist die Messvorrichtung mit einem elektrischen Ofen kleiner, kostet
weniger, ist leichter zu betreiben und bietet mehr Sicherheit. Außerdem kann die
Gaszusammensetzung über
einen größeren Bereich
variiert werden, und die Gastemperatur kann auf über 1700 °C angehoben werden, was von
Vorteil ist. Das atmosphärische
Gas mit der gewünschten Zusammensetzung
wird jedoch direkt in den Ofen eingeführt, in dem sich das Teststück befindet,
so dass bei einer erhöhten
Strömungsgeschwindigkeit die
Temperatur im Inneren des elektrischen Ofens abnimmt. Die Strömungsgeschwindigkeit
des Gases ist daher auf einige cm/s oder weniger beschränkt. Unter
solchen Strömungsbedingungen
kann ein Korrosionsverlust am Teststück nur sehr schwer bestimmt
werden, denn auch wenn eine Korrosion auftritt, ist das Ausmaß davon
sehr gering. Es ist deshalb schwierig, den Korrosionsverlust mit
einer Korrosionsverlust-Messvorrichtung mit einem elektrischen Ofen
quantitativ zu bewerten.
Bei
der Halbleiterherstellung werden Heizvorrichtungen verwendet, um
das einem Hochtemperaturofen zuzuführende Gas aufzuheizen und
Halbleiter entsprechend zu bearbeiten. Die Heizvorrichtungen werden
dabei an den Zuleitungen zum Zuführen
des Gases zum Ofen angeordnet. Solche Heizvorrichtungen sind zum
Beispiel in den japanischen Offenlegungsschriften 6-151414, 2001-345314, 2002-277054
usw. beschrieben. Da diese Heizvorrichtungen getrennt vom Hochtemperaturofen
vorgesehen sind, wird das aufgeheizte Gas dem Ofen durch eine Leitung
zugeführt,
die mit dem Ofen verbunden ist. Da bei der Halbleiterproduktion
das Gas auf etwa 1000 °C
aufgeheizt werden muss, sind das Heizrohr und die Leitung zum Zuführen des
Gases vom Heizrohr bzw. von der Heizvorrichtung zum Ofen oft aus
Quarzglas oder einem ähnlichen
Material.
Zum
Bestimmen des Korrosionsverlustes eines keramischen Materials und
zum quantitativen und effektiven Bewerten der Korrosionseigenschaften
des Materials sollte das atmosphärische
Gas auf etwa 1700 °C
aufgeheizt werden können.
Das Heizrohr und der Füllstoff
für die
Heizvorrichtung sowie die Leitung zum Zuführen des erhitzten Gases können daher
nicht aus Quarzglas gebildet werden, das sich bei etwa 1400 °C erweicht.
Ein transluzentes keramisches Material wie transluzentes polykristallines Aluminiumoxid
ist eine Alternative, dieses transluzente polykristalline Aluminiumoxid
ist jedoch sehr teuer. Als Material für Heizvorrichtungen und Zuleitungen
zum Zuführen
des erhitzten Gases wird daher ein nicht-transluzentes keramisches
Material wie Aluminiumoxid oder Zirkonoxid verwendet.
Wenn
ein Heizrohr und ein Füllstoff
aus einem nicht-transluzenten keramischen Material verwendet werden,
wird die vom Heizmedium erzeugte Wärme auf die Innenwand des Heizrohrs übertragen und
in Strahlung umgewandelt. Das atmosphärische Gas wird beim Durchlaufen
des bestrahlten Füllstoffs wirkungsvoll
aufgeheizt. Der Abschnitt, in dem das Gas wirkungsvoll aufgeheizt
wird, ist jedoch auf den Bereich in der Nähe der Innenwand des Heizrohrs beschränkt. Wenn
dem Heizrohr eine große
Menge an Gas zugeleitet wird, wird über die Querschnittsfläche, die
das Gas durchströmt,
eine breite Temperaturverteilung (d.h. ein großer Temperaturunterschied zwischen
einzelnen Bereichen) erhalten. Mit einem solchen Temperaturverteilungsprofil
ist jedoch die Zuverlässigkeit
der Messdaten eingeschränkt,
und die mittlere Gastemperatur am Auslass des Heizrohrs ist niedrig.
Um diesen Nachteil zu überwinden, muss
die Heizvorrichtung vergrößert werden,
was problematisch ist. Außerdem
wird es schwierig, den Messofen mit dem darin befindlichen Teststück mit der
Heizvorrichtung über
eine keramische Gasleitung zu verbinden, da die Verbindung zwischen
keramischen Teilen und das gasdichte Ausbilden dieser Verbindungen
einen großen
Aufwand erfordert.
Es
gibt daher bisher keine vernünftige
Lösung
zum Bestimmen des Korrosionsverlustes eines keramischen Materials
und zum quantitativen und effektiven Bewerten der Korrosionseigenschaften
eines solchen Materials mittels einer elektrischen Heizung.
Bisher
wurden daher die Korrosionseigenschaften von keramischen Materialien
und hitzebeständigen
metallischen Materialien nur mittels Korrosionsverlust-Messvorrichtungen
vom Verbrennungsgas-Strömungstyp
in Verbindung mit einem Verbrennungsgasgenerator bestimmt, mit den
oben angeführten
Nachteilen.
Ein
möglicher
Kandidat zum Lösen
der genannten Probleme ist eine Messvorrichtung für elektrische
Heizmaterialien. Die Temperatur zum Ausführen einer Korrosionsverlustmessung
liegt bei keramischen Materialien zwischen etwa 1000 °C und 1700 °C und für hitzebeständige metallische
Materialien zwischen etwa 800 °C
und 1200 °C.
In den Hochtemperaturabschnitten muss die Messvorrichtung daher keramische
Elemente enthalten. Mit einer Messvorrichtung für elektrische Heizmaterialien
kann daher keine große
Gasmenge wirkungsvoll und gleichmäßig auf etwa 1700 °C aufgeheizt
werden, wobei außerdem
das Abdichten der keramischen Elemente zum Verhindern von Gasverlusten
schwierig ist.
Aufgabe
der vorliegenden Erfindung ist es, eine Korrosionsverlust-Messvorrichtung
zu schaffen, mit der quantitativ die Korrosionseigenschaften von keramischen
Materialien und hitzebeständigen
metallischen Materialien (Legierungsmaterialien) bestimmt werden
können,
und die hinsichtlich der Sicherheit, der Kosten, des leichten Betreibens
und ihrer Größe ausgezeichnet
ist.
Erfindungsgemäß wird diese
Aufgabe mit der im Patentanspruch 1 beschriebenen Vorrichtung gelöst.
Die
Erfinder haben, um die Aufgabe zu lösen, ausführliche Studien durchgeführt und
dabei festgestellt, dass diese Aufgabe durch ein einteiliges Keramikrohr
mit einem Gasaufheizabschnitt und einem Teststückaufnahmeabschnitt für die Verwendung
in einem Heizofen gelöst
werden kann, wobei die Querschnittsfläche des Gasaufheizabschnitts,
die das zu erhitzende Gas durchströmt, größer ist als die Querschnittsfläche des
Teststückaufnahmeabschnitts,
in dem sich das Teststück
befindet. Die vorliegende Erfindung beruht auf diesen Feststellungen.
Die
vorliegende Erfindung umfasst somit eine Korrosionsverlust-Messvorrichtung,
bei der im Gebrauch einem Teststückaufnahmeabschnitt,
der für
die Aufnahme eines Teststücks
vorgesehen ist, kontinuierlich ein atmosphärisches Gas zugeführt wird,
wobei das atmosphärische
Gas eine bestimmte Zusammensetzung aufweist und auf eine vorgegebene
Temperatur aufgeheizt wurde, wobei
die Messvorrichtung einen
Gasaufheizabschnitt und den Teststückaufnahmeabschnitt umfasst,
sich
der Gasaufheizabschnitt und der Teststückaufnahmeabschnitt in einem
einteiligen Keramikrohr befinden, das für die Verwendung in einem Heizofen vorgesehen
ist, und wobei
die Querschnittsfläche des Gasaufheizabschnitts,
die das Gas durchströmt,
größer ist
als die Querschnittsfläche
des Teststückaufnahmeabschnitts.
Der
Gasaufheizabschnitt und der Teststückaufnahmeabschnitt bestehen
vorzugsweise in den Bereichen, in denen sie mit dem heißen atmosphärischen
Gas in Kontakt kommen, aus einem keramischen Material, das frei
ist von Komponenten und Elementen, die sich auch im Material des
Teststücks befinden
(Sauerstoff ausgenommen).
Im
Gebrauch kann bei der erfindungsgemäßen Korrosionsverlust-Messvorrichtung
ein atmosphärisches
Gas kontinuierlich in den Teststückaufnahmeabschnitt
eingeleitet werden, in dem ein Teststück untergebracht ist, wobei
das atmosphärische Gas
eine vorgegebene Zusammensetzung aufweist und auf eine vorgegebene
Temperatur aufgeheizt ist. Die Vorrichtung umfasst dazu den Gasaufheizabschnitt
und den Teststückaufnahmeabschnitt,
wobei sich sowohl der Gasaufheizabschnitt als auch der Teststückaufnahmeabschnitt
in einem einteiligen Keramikrohr befinden, das für die Verwendung in einem Heizofen
vorgesehen ist. Es wird daher kein Gasströmungsweg in einer Leitung für die Verbindung
des Gasaufheizabschnitts mit dem Teststückaufnahmeabschnitt benötigt, wodurch
keine Wärmeverluste
in der Leitung auftreten können
und keine Probleme mit Abdichtungen gegen Gasverluste entstehen
können.
Die
erfindungsgemäße Korrosionsverlust-Messvorrichtung
besteht vorzugsweise aus einem an beiden Enden geschlossenen Innenrohr
aus Keramik, das längs
der Mittelachse des Gasströmungsweges
im Gasaufheizabschnitt und parallel zur Richtung der Gasströmung derart
in einem Außenrohr
aus Keramik angeordnet ist, dass ein doppelwandiger rohrförmiger Gasaufheizabschnitt
entsteht. Der Raum zwischen dem Außenrohr und dem Innenrohr dient
als Gasströmungsweg;
in diesem Gasströmungsweg
befindet sich als Füllstoff
ein gasdurchlässiges
keramisches Wärmeübertragungsmittel,
das den Wärmeübergang
beschleunigt. Mit diesem Aufbau wird die Gasströmung auf den Bereich in der
Nähe der
Innenseite des äußeren Rohrs
beschränkt
oder ausgerichtet, in dem die Strahlung vom erhitzten äußeren Rohr
mittels des Wärmeübertragungsmittels
durch Wärmeleitung
wirkungsvoll auf das durchströmende
Gas übertragen
wird. Innerhalb des vom Gas durchströmten Querschnitts wird dadurch
eine gleichmäßige Temperaturverteilung
erhalten (d.h. die Temperaturunterschiede sind minimal). Zum Aufheizen
des doppelwandigen Keramikrohrs kann eine Heizvorrich tung entweder
außerhalb
des äußeren Rohrs
oder innerhalb des inneren Rohrs angeordnet werden. Alternativ können Heizvorrichtungen
sowohl außerhalb
des äußeren Rohrs
als auch innerhalb des inneren Rohrs angeordnet werden. Durch das
Innenrohr kann auch ein Heizmedium geleitet werden.
Bei
der erfindungsgemäßen Korrosionsverlust-Messvorrichtung
kann im Außenrohr
parallel zur Gasströmungsrichtung
im Gasströmungsweg
des Gasaufheizabschnitts eine Anzahl von Innenrohren aus Keramik
angeordnet sein, durch die ein Heizmedium geführt wird. Im Zwischenraum zwischen
dem Außenrohr
und den Innenrohren befindet sich das gasdurchlässige keramische Wärmeübertragungsmittel,
durch das das atmosphärische
Gas strömt
und sich dabei erhitzt. Außerhalb
des Außenrohrs und/oder
innerhalb wenigstens eines der Innenrohre können Heizvorrichtungen installiert
sein. Die Gleichmäßigkeit
der Temperaturverteilung innerhalb des vom Gas durchströmten Querschnitts
wird mit diesem Aufbau weiter erhöht.
Erfindungsgemäß ist die
Querschnittsfläche, die
das Gas im Gasaufheizabschnitt durchströmt, größer als die Querschnittsfläche des
Teststückaufnahmeabschnitts.
Es kann damit eine große
Gasmenge wirkungsvoll aufgeheizt werden, und die Strömungsgeschwindigkeit
im Teststückaufnahmeabschnitt
erhöht
sich, so dass am Teststück
ein nennenswerter Korrosionsverlust auftritt. Zwischen dem Auslass
des Gasaufheizabschnitts mit großem Querschnitt und dem Einlass
des Teststückaufnahmeabschnitts
mit kleinerem Querschnitt kann ein Strömungsbegrenzungsabschnitt vorgesehen
sein, in dem sich die Querschnittsfläche, durch die das Gas strömt, allmählich verringert.
Alternativ kann der Auslass des Gasaufheizabschnitts aus einer Wand
(Platte) mit einer Öffnung
darin bestehen, und der Einlass des Teststückaufnahmeabschnitts, der im
wesentlichen den gleichen Querschnitt wie die Öffnung aufweist, ist direkt
an die Öffnung
angesetzt. Wegen der gleichmäßigeren
Zuführung
des aufgeheizten Gases zum Teststückaufnahmeabschnitt ist ein
Aufbau mit dem genannten Strömungsbegrenzungsabschnitt vorzuziehen,
mit dem das Gas aus den Gasströmungswegen
im Gasaufheizabschnitt besser auf den Teststückaufnahmeabschnitt konzentriert
wird.
Bei
der erfindungsgemäßen Korrosionsverlust-Messvorrichtung
gibt es keine Beschränkung hinsichtlich
der Form und der Art des Teststückaufnahmeabschnitts,
der Form und der Art und anderer Eigenschaften des Teststücks, das
in den Teststückaufnahmeabschnitt
verbracht wird, und der Art des Festhaltens oder Anordnens des Teststücks, solange sich
das Teststück
nur in der Strömung
des aufgeheizten atmosphärischen
Gases befindet. Zum Beispiel kann das gesamte Teststück (mit
der Ausnahme eines Halteabschnitts) in die Gasströmung einge bracht
werden. Alternativ kann ein Teststück (in Zylinderform, Ringform,
Plattenform usw.) auf der gesamten oder einem Teil der Innenwand
des Gasströmungsweges
im Teststückaufnahmeabschnitt
angeordnet werden, so dass das Gas über eine Oberfläche des
Teststücks
strömt.
Zwei oder mehr Teststücke
aus verschiedenen Materialien können
gleichzeitig in den Teststückaufnahmeabschnitt
eingebracht werden. Die Art, wie das Teststück festgehalten wird, ist in
keiner Weise beschränkt.
Zum Beispiel können in
der Wand des Teststückaufnahmeabschnitts
Löcher
zum Einführen
des Teststücks
vorgesehen sein, die einander gegenüberliegen und in denen das
Teststück
gehalten wird. Das Teststück
kann auch durch Stifte in oder an der Wand des Teststückaufnahmeabschnitts
gehalten werden. In einem zylinderförmigen Teststückaufnahmeabschnitt
kann ein Abschnitt einen größeren Durchmesser
aufweisen, in den ein ringförmiges
Teststück
so eingesetzt wird, dass seine Oberfläche zur Oberfläche des übrigen Teststückaufnahmeabschnitts
bündig
ist.
Bei
der erfindungsgemäßen Korrosionsverlust-Messvorrichtung
ist vorzugsweise die Querschnittsfläche an der Abgabeseite des
Gasauslasses des Teststückaufnahmeabschnitts,
durch die das Gas beim Verlassen des Teststückaufnahmeabschnitts strömt, größer als
die Querschnittsfläche
des Teststückaufnahmeabschnitts;
und im Gasströmungsweg
ist an der Abgabeseite des Gasauslasses des Teststückaufnahmeabschnitts
ein keramischer Strahlenschild vorgesehen; und der Gasaufheizabschnitt,
der Teststückaufnahmeabschnitts
und der keramische Strahlenschild werden in einen Heizofen gebracht.
Durch das Vergrößern der
Querschnittsfläche,
die das Gas an der Abgabeseite des Gasauslasses des Teststückaufnahmeabschnitts
durchströmt, gegenüber dem
Querschnitt des Teststückaufnahmeabschnitts
verringert sich die Strömungsgeschwindigkeit
des Gases an der Abgabeseite des Gasauslasses des Teststückaufnahmeabschnitts,
wodurch der Druckverlust kleiner wird. Ein Anstieg des Drucks im
Gasströmungsweg
der Korrosionsverlust-Messvorrichtung wird damit verhindert. Das
dichte Verschließen
des Keramikrohrs wird dadurch erleichtert. Durch das Vorsehen des
keramischen Strahlenschilds im Gasströmungsweg an der Abgabeseite des
Gasauslasses des Teststückaufnahmeabschnitts wird
auch die Temperatur an der Gasauslassöffnung des Teststückaufnahmeabschnitts
hoch gehalten, so dass an dieser Stelle keine Abkühlung erfolgt.
Darüberhinaus
wird ein Temperaturabfall am Teststück durch Wärmeabstrahlung verhindert.
Die
erfindungsgemäße Korrosionsverlust-Messvorrichtung
umfasst ein Keramikrohr und außerdem
gegebenenfalls ein keramisches Wärmeübertragungsmittel
und einen keramischen Strahlenschild. Diese keramischen Elemente
kön nen
aus keramischen Oxiden bestehen, die relativ korrosionsbeständig sind
(z.B. aus ZrO2, HfO2 oder
einer Mischung davon), oder aus keramischen Oxidkomplexen, die ebenfalls
relativ korrosionsbeständig
sind (z.B. Y2SiO5,
Yb2Si2O7 oder
Lu2Si2O7).
Bevorzugt werden keramische Oxide wie ZrO2,
HfO2 oder eine Mischung davon verwendet
(Gesamtmenge an SiO2- und Al2O3-Verunreinigungen: Ein Prozent oder weniger).
Das Keramikrohr, das keramische Wärmeübertragungsmittel und der keramische
Strahlenschild können
in ihrer Gesamtheit aus einem keramischen Material bestehen. Alternativ
besteht zumindest der Oberflächenbereich
jedes Elements, der mit dem atmosphärischen Gas in Kontakt kommt,
aus einem keramischen Material. Insbesondere kann ein hitzefestes
Substrat verwendet werden, das mit dem keramischen Material beschichtet
ist. Es kann die ganze Oberfläche
des Substrats mit dem keramischen Material beschichtet sein oder
nur der Abschnitt, der mit dem atmosphärischen Gas in Kontakt kommt.
Durch die Verwendung von solchen keramischen Elementen wird ein
Korrosionsverlust der Elemente vermieden, die im Weg der Gasströmung liegen.
Bei
der erfindungsgemäßen Korrosionsverlust-Messvorrichtung
besteht der Abschnitt der Vorrichtung, der sich vom Gasaufheizabschnitt
zum Teststückaufnahmeabschnitt
erstreckt und der mit dem heißen
atmosphärischen
Gas in Kontakt kommt, vorzugsweise aus einem keramischen Material,
das frei von Komponenten ist, die auch im Teststück vorkommen (Sauerstoff ausgenommen).
Wenn das Teststück
zum Beispiel aus Al2O3 ist,
besteht der mit dem heißen
atmosphärischen
Gas in Kontakt kommende Bereich der Messvorrichtung aus einem keramischen
Oxid oder einem keramischen Komplex, das oder der kein Al enthält (z. B.
aus ZrO2 oder HfO2), während, wenn
das Teststück
aus ZrO2 ist, der entsprechende Bereich
aus einem Material besteht, das kein Zr enthält (z.B. aus Al2O3). Damit kann der Korrosionsverlust des
Teststücks
mit hoher Genauigkeit bestimmt werden, da auch dann, wenn die keramischen
Elemente der Messvorrichtung im Gasströmungsweg einer Korrosion durch
eine Reaktion mit dem Dampf im heißen Gas unterliegen, das Reaktionsprodukt
sich von dem Reaktionsprodukt unterscheidet, das am Teststück entsteht,
so dass die Messung des Korrosionsverlustes am Teststück davon
nicht beeinflusst wird.
Bei
der Messung des Korrosionsverlustes mit der erfindungsgemäßen Messvorrichtung
liegt die mittlere Temperatur des atmosphärischen Gases im Gasströmungsweg
der Vorrichtung vorzugsweise im Bereich von 1000 °C bis 1700 °C.