DE102005001902A1 - Verfahren zur Herstellung einer sublithographischen Kontaktstruktur in einer Speicherzelle - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer sublithographischen Kontaktstruktur in einer Speicherzelle, gekennzeichnet durch die Schritte: Bereitstellen eines Halbleiterwafers mit Anschlusskontakt; Abscheiden einer ersten Isolatorschicht wenigstens über dem elektrischen Anschlusskontakt; Ausbilden einer Grabenstruktur in der ersten Isolationsschicht; Abscheiden einer ersten Schicht aus einem Spacermaterial und anisotropes Rückätzen der Spacermaterialschicht in einer zur Waferoberfläche im Wesentlichen senkrechten Richtung bis zum Boden der Grabenstruktur, wobei an gegenüberliegenden Wänden verbliebenes Spacerschichtmaterial eine sublithographische Abmessung aufweist; Ätzen der Isolatorschicht unter Verwendung des Spacermaterials als Ätzmaske; Ausbilden einer ersten Kontaktelektrode, Widerstandswechselmaterialzone und zweiten Kontaktelektrode. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Herstellung sublithographischer Kontaktstrukturen in einer Speicherzelle, gekennzeichnet durch die Schritte: Bereitstellen eines Halbleiterwafers mit wenigstens zwei Anschlusskontakten; Abscheiden einer Isolatorschicht; Ausbilden einer Ätzmaske; Ätzen des Dielektrikums bis zu den ersten Anschlusskontakten; Ausbildung einer ersten Kontaktelektrode; Widerstandswechselmaterialzone und zweiten Kontaktelektrode; Abscheiden einer Schicht aus einem Spacermaterial und anisotropes Rückätzen der Spacermaterialschicht in einer zur Waferoberfläche im Wesentlichen senkrechten ...

Description

  • Die vorliegende Erfindung liegt auf dem technischen Gebiet der Halbleiterbauelemente und betrifft insbesondere ein Verfahren zur Herstellung einer sublithographischen Kontaktstruktur in einer Speicherzelle.
  • Phasenwechselmaterialien werden in der Fachwelt als Basismaterial für eine neue, vielversprechende Art nichtflüchtiger Speicherzellen angesehen. Phasenwechselmaterialien können durch Erwärmen in unterschiedliche Phasenzustände gebracht werden, die sich in ihren optischen Eigenschaften (insbesondere Reflektivität) und elektrischen Eigenschaften (insbesondere elektrischer Widerstand) voneinander unterscheiden. Den verschiedenen Phasenzuständen können verschiedene logische Werte zugeordnet werden, so dass in Speicherzellen auf Basis von Phasenwechselmaterialien durch Wärmezufuhr Informationen gespeichert und unter Ausnutzung der optischen oder elektrischen Eigenschaften wieder ausgelesen werden können.
  • Als Phasenwechselmaterialien kommen insbesondere Chalgonide in Betracht, d. h. Legierungen, die wenigstens ein Element aus der VI. Hauptgruppe (Chalkogene) des Periodensystems der Elemente enthalten. In Bezug auf die elektrischen Eigenschaften zeichnen sich Chalkogenide insbesondere dadurch in vorteilhafter Weise aus, dass sich deren elektrischer Widerstand um mehrere Größenordnungen ändert, wenn eine Änderung des Phasenzustands zwischen der amorphen Phase und der kristallinen Phase induziert wird.
  • In Speicherzellen auf Basis von Phasenwechselmaterialien (im Weiteren Phasenwechselspeicherzellen oder PC-Speicherzellen genannt) ist es praktisch, wenn ein Phasenwechsel durch einen elektrischen Heizpuls (Joulesche Wärme) induziert wird. Befindet sich das Phasenwechselmaterial der Speicherzelle in einem hochohmagen amorphen Zustand, so kann dieses in einen niederohmigen kristallinen Zustand überführt werden, wenn ein Heizpuls das Material über dessen Kristallisationstemperatur aufheizt und dabei kristallisieren lässt. Dieser Vorgang wird gemeinhin als "Schreiben" (oder "Programmieren"; der Speicherzelle bezeichnet. Der umgekehrte Vorgang, bei welchem das Phasenwechselmaterial der Speicherzelle von dem niederohmigen kristallinen Zustand in den hochohmagen amorphen Zustand überführt wird, wird dadurch realisiert, dass das Phasenwechselmaterial über den Schmelzpunkt hinaus aufgeheizt wird und anschließend durch ein schnelles Abkühlen in den amorphen Zustand abgeschreckt wird Dies wird gemeinhin "Löschen" der Speicherzelle bezeichnet.
  • Ein typischer Aufbau einer PC-Speicherzelle vom Bodenkontakt-Typ ist schematisch in den 1A und 1B gezeigt. Demnach ist eine Schicht aus einem polykristallinen Chalkogenid 1 zwischen einer Bodenelektrode 2 und einer Deckelektrode 3 angeordnet. Die Bodenelektrode 2 ist als eine Heizelektrode ausgeführt, welche einen höheren elektrischen Widerstand hat als wie die Chalkogenid-Schicht 1. Fließt ein hinreichend großer Strom durch die Boden- bzw. Heizelektrode 2, so bewirkt die in der Heizelektrode 2 erzeugte Joulesche Wärme einen Phasenübergang in der dieser angrenzenden Chalkogenid-Schicht 1, nämlich in dem programmierbaren, das heißt schreib- und löschbaren Volumen 4. Übersteigt die Temperatur in dem programmierbaren Volumen 4 die Schmelztemperatur des Chalkogenids und lässt man das programmierbare Volumen 4 hinreichend schnell abkühlen, so wird ein Übergang von dem kristallinen Zustand in den amorphen Zustand induziert (siehe 1B). Umgekehrt gilt: Übersteigt die Temperatur des programmierbaren Volumens 4 die Kristallisationstemperatur des Chalkogenids, so wird ein Phasenübergang vom amorphen Zustand in den kristallinen Zustand induziert (siehe 1A).
  • Wie weiter oben bereits ausgeführt wurde, kann der Phasenzustand einer Speicherzelle u. a. elektrisch ausgelesen werden, wobei eine Lesespannung an die Speicherzelle angelegt wird. Um zu gewährleisten, dass durch die Lesespannung keine unabsichtliche Umprogrammierung der Speicherzelle bewirkt wird, muss der sich aus der Lesespannung ergebende Strom Iread durch die Speicherzelle deutlich kleiner sein als der Programmierstrom Iset bzw. Löschstrom Ireset. Dabei gilt der folgende Zusammenhang Iread << Iset < Ireset.
  • Ein wesentlicher Nachteil derartiger PC-Speicherzellen liegt nun darin, dass für den Schreibvorgang und insbesondere für den Löschvorgang relativ hohe Ströme aufgebracht werden müssen, um das Phasenwechselmedium über die Kristallisationstemperatur bzw. die Schmelztemperatur hinaus aufzuheizen.
  • Zur Lösung dieses Problems wurde bislang in erster Linie versucht, mittels einer Reduktion der Kontaktfläche zwischen den Elektroden und dem Phasenwechselmaterial das zu programmierende Volumen zu verkleinern, da sich die zum Schreiben und Löschen notwendigen Ströme im Allgemeinen mit dem zu programmierenden Volumen skalieren. Diesem Unterfangen sind jedoch durch die photolithographisch erreichbaren minimalen Abmessungen Grenzen gesetzt. Mit den zur Zeit verfügbaren, optisch (UV)-lithographischen Techniken kann, wie dem Fachmann bekannt ist, eine minimale lithographische Abmessung (F) von lediglich ca. 50 nm erreicht wird. Für eine Reduktion des Maximalstroms zum Schreiben oder Löschen der Speicherzellen wären jedoch weitaus geringere minimale Abmessungen wünschenswert.
    •
  • Demnach besteht eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung darin, ein Verfahren zur Herstellung einer sublithographischen Kontaktstruktur anzugeben, durch welches eine Speicherzelle realisiert werden kann, die mit vergleichsweise geringen elektrischen Strömen zwischen zwei Zuständen mit einem voneinander verschiedenen elektrischen Widerstand geschaltet werden kann. Im Hinblick auf eine Massenfertigung derartiger Speicherbausteine soll ein derartiges Verfahren einfach und kostengünstig durchgeführt werden können.
  • Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren zur Herstellung einer sublithographischen Kontaktstruktur in einer Speicherzelle gemäß den unabhängigen Ansprüchen gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind durch die Merkmale der Unteransprüche angegeben.
  • Nach einem ersten Aspekt schlägt die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung einer sublithographischen Kontaktstruktur einer Widerstandswechselmaterial-Speicherzelle, die ein Widerstandswechselmaterial und an das Widerstandswechselmaterial angrenzende erste und zweite Kontaktelektroden aufweist, mit den folgenden Schritten vor:
    Zu Beginn wird ein durch herkömmliche, dem Fachmann bekannte Schritte einer front-end-of-line (FEOL)-Prozessierung fertig gestellter Halbleiterwafer bereitgestellt. Der Halbleiterwafer weist dabei wenigstens einen mit einer aktiven Struktur (z. B. Transistor, insbesondere MOS-Feldeffekttransistor) verbundenen elektrischen Anschlusskontakt (z. B. "Plug") auf einer seiner beiden gegenüberliegenden, zueinander parallelen Oberflächen auf. Dieser Anschlusskontakt kann in herkömmlicher Weise beispielsweise aus W, TiW, TiSiN, TaSiN oder TiAlN gefertigt sein. Im Weiteren ist unter "der Waferoberfläche", stets jene Oberfläche des Halbleiterwafers gemeint, welche mit dem Anschlusskontakt versehen ist.
  • Anschließend wird eine erste Isolatorschicht aus einem ersten isolierenden, dielektrischen Material auf der Waferoberfläche wenigstens über dem Anschlusskontakt abgeschieden. Obgleich weitere isolierende Schichten in dem Halbleiterbauelement vorhanden sein können, ist hier mit dem Ausdruck "erste Isolatorschicht" stets jene Schicht aus einem isolierenden, dielektrischen Material gemeint, welche auf dem Halbleiterwafer wenigstens über dessen elektrischen Anschlusskontakt abgeschieden ist. Die Isolatorschicht kann beispielsweise aus SiO2 oder SiN bestehen.
  • Daraufhin wird in der ersten Isolatorschicht eine Grabenstruktur ausgebildet, welche mit einem zur Waferoberfläche vorzugsweise im Wesentlichen parallelen Boden und zur Waferoberfläche im Wesentlichen senkrechten Wänden ausgestattet ist. Die Grabenstruktur ist hierbei wenigstens teilweise über dem elektrischen Anschlusskontakt positioniert.
  • Das Formen der Grabenstrukur kann in einer ersten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens so erfolgen, dass zunächst eine Ätzstoppschicht, z. B. bestehend aus SiN, auf der ersten Isolatorschicht abgeschieden wird, welche anschließend durch Anwendung herkömmlicher Belich tungstechnik zur Ausbildung einer Ätzmaske strukturiert wird. Anschließend wird die erste Isolatorschicht mithilfe der Ätzmaske zur Ausbildung einer Grabenstruktur teilweise geätzt.
  • Alternativ hierzu kann die Grabenstruktur in einer zweiten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens in der Weise geformt werden, dass zunächst eine Ätzstoppschicht auf der ersten Isolatorschicht abgeschieden wird, welche zur Ausbildung einer Ätzmaske in herkömmlicher Weise strukturiert wird. Dann wird die erste Isolatorschicht bis zum Anschlusskontakt mithilfe der Ätzmaske zur Ausbildung eines Durchgangslochs geätzt, wobei daraufhin eine zweite Isolatorschicht aus einem zweiten dielekrischen Material, welches von dem ersten dielektrischen Material verschieden ist, wenigstens über dem Durchgangsloch abgeschieden und in dem Durchgangsloch zur Ausbildung einer Grabenstruktur teilweise rückgeätzt wird. Die zweite Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens hat gegenüber seiner ersten Ausführungsform den besonderen Vorteil, dass die Eigenschaften des zweiten Dielektrikums in gewünschter Weise, und zwar unabhängig von den Eigenschaften des ersten Dielektrikums, gewählt werden können. Erfindungsgemäß ist es beispielsweise bevorzugt, die Wärmeleitfähigkeit des zweiten dielektrischen Materials geringer zu wählen als die Wärmeleitfähigkeit des ersten dielektrischen Materials, so dass in besonders vorteilhafter Weise die innerhalb des zweiten Dielektrikums ausgebildete sublithographische Kontaktstruktur mit einer die Wärmeableitung hemmenden Umgebung versehen werden kann. Diese Maßnahme trägt merklich dazu bei, die Verlustleistung zu verringern und den Maximalstromverbrauch zu senken.
  • Unabhängig davon, welche der obigen Ausführungsformen durchgeführt wurden, wird in dem erfindungsgemäßen Verfahren daraufhin eine erste Schicht aus einem Spacermaterial wenigstens über der Grabenstruktur abgeschieden. Das Spacermaterial ist hierbei so zu wählen, dass es eine Funktion als Ätzstoppschicht erfüllen kann. Demnach kann das Spacermaterial beispielsweise aus SiN bestehen. Die Schicht aus dem Spacermaterial wird anschließend bis zum Boden der Grabenstruktur in einer zur Waferoberfläche im Wesentlichen senkrechten Richtung anisotrop rückgeätzt, wobei durch das anisotrope Rückätzen der Spacermaterialschicht erreicht wird, dass Spacerschichtmaterial an den Wänden der Grabenstruktur verbleibt, wie weiter unten näher erläutert ist. Die Dicke bzw. laterale Abmessung, d. h. Abmessung des Spacerschichtmaterials in einer zur Waferoberfläche parallelen Richtung, ist dabei so gewählt, dass in einem Bereich zwischen dem sich an einander gegenüberliegenden Wänden befindenden Spacerschichtmaterial in wenigstens einer zur Waferoberfläche parallelen Richtung eine erste sublithographische Abmessung ausgebildet ist. Mit anderen Worten, es gibt wenigstens einen Abstand zwischen dem Spacerschichtmaterial an einander gegenüberliegenden Wänden der Grabenstruktur, welcher eine sublithographische Abmessung aufweist.
  • Als weiterer Schritt wird die Isolatorschicht wenigstens im Bereich zwischen dem an einander gegenüberliegenden Wänden befindlichen Spacerschichtmaterial bis zum Anschlusskontakt zur Ausbildung eines Durchgangslochs geätzt, wobei das Spacermaterial als eine Ätzmaske verwendet wird. Dann wird eine Schicht aus einem elektrisch leitenden Material wenigstens über dem Durchgangsloch abgeschieden und in dem Durchgangsloch teilweise rückgeätzt, um hierdurch eine erste Kontaktelekrode zu formen. Die erste Kontaktelektrode ist dabei vorzuzgsweise in Form einer Heizelektrode ausgestaltet, d. h. besteht aus einem elektrisch leitenden Material, das einen höheren elektrischen Widerstand hat als das damit in einem elektrischen Kontakt befindliche Widerstandswechselmaterial.
  • Zur Herstellung der sublithographischen Kontaktstruktur wird in dem erfindungsgemäßen Verfahren weiterhin eine Schicht aus einem Widerstandswechselmaterial wenigstens über der Grabenstruktur abgeschieden und im Durchgangsloch zur Ausbildung einer Widerstandswechselmaterialzone teilweise rückgeätzt. Anschließend wird eine Schicht aus einem elektrisch leitenden Material wenigstens auf dem Widerstandswechselmaterial zur Ausbildung einer zweiten Elektrode abgeschieden. Üblicherweise wird zudem die Schicht aus einem elektrisch leitenden Material außerhalb der Grabenstruktur entfernt, was beispielsweise durch chemisch-mechanisches Polieren erfolgen kann.
  • Durch das erfindungsgemäße Verfahren kann eine sublithographische Kontaktstruktur in einer Widerstandswechselmaterial-Speicherzelle hergestellt werden, indem durch das Verwenden des Spacermaterials an den Grabenstrukturwänden als Ätzmaske ein Durchgangsloch mit wenigstens einer sublithographischen Abmessung in einer zur Waferoberfläche parallelen Richtung geformt wird, in welchem dann die sublithographische Kontaktstruktur durch Abscheiden und Rückätzen der verschiedenen Schichten in Stapelform ausgebildet wird. Auf diese Weise wird eine Kontaktfläche zwischen der ersten Kontaktelektrode und dem Widerstandswechselmaterial und eine Kontaktfläche zwischen der zweiten Kontaktelektrode und dem Widerstandswechselmaterial mit wenigstens einer sublithographischen Abmessung in einer zur Waferoberfläche parallelen Richtung hergestellt.
  • Gemäß einer besonders vorteilhaften Variante der beiden obigen Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Verfahrens wird nach dem Abscheiden der Schicht aus einem elektrisch leitenden Material und dem teilweisen Rückätzen dieser Schicht im Durchgangsloch zur Ausbildung der ersten Kontaktelektrode eine Schicht aus einem Widerstandswechselmaterial wenigstens über dem Durchgangsloch abgeschieden und anschließend sowohl das Widerstandswechselmaterial zur Ausbildung einer Widerstandswechselmaterialzone als auch das Spacerschichtmaterial in der Grabenstruktur bis zur Höhe des Durchgangslochs, beispielsweise durch Ätzen, entfernt. Der Ausdruck "Höhe des Durchgangslochs" bezieht sich dabei auf eine von der Waferoberfläche am weitesten entfernte, zur Waferoberfläche parallele Schnittebene des Durchgangslochs. Anschließend wird eine zweite Schicht aus einem Spacermaterial, das als eine Ätzmaske dienen soll und demnach beispielsweise aus SiN bestehen kann, wenigstens über der Grabenstruktur abgeschieden und in der Grabenstruktur bis zur Höhe des Durchgangslochs in einer zur Waferoberfläche im Wesentlichen senkrechten Richtung anisotrop rückgeätzt, wobei Spacerschichtmaterial an den Wänden der Grabenstruktur verbleibt, das einen Bereich zwischen dem an einander gegenüberliegenden Wänden befindlichen Spacerschichtmaterial formt, der in wenigstens einer zur Waferoberfläche parallelen Richtung eine zweite sublithographische Abmessung ausgebildet. Hierbei ist die zweite sublithographische Abmessung von der ersten sublithographischen Abmessung in vorteilhafter Weise verschieden, was in einfacher Weise dadurch erreicht werden kann, dass die Schichtdicke der zweiten abgeschiedenen Spacermaterialschicht verschieden von der Schichtdicke der ersten abgeschiedenen Spacermaterialschicht gewählt wird. Weiterhin wird eine Schicht aus einem elektrisch leitenden Material auf dem Widerstandswechselmaterial zur Ausbildung einer zweiten Kontakt elektrode auf der Grabenstruktur abgeschieden, welches für gewöhnlich außerhalb der Grabenstruktur beispielsweise durch chemisch-mechanisches Polieren entfernt wird. Das Abscheiden und Rückätzen einer zweiten Spacermaterialschicht hat den vorteilhaften Effekt, dass die Größe der Kontaktfläche zwischen der zweiten Kontaktelektrode und dem Widerstandswechselmaterial unabhängig von der Größe der Kontaktfläche zwischen der ersten Kontaktelektrode und dem Widerstandswechselmaterial ausgebildet werden kann und somit in gewünschter Weise unterschiedlichen Bedürfnissen angepasst werden kann. So kann die zweite sublithographische Abmessung beispielsweise und bevorzugt kleiner als die erste sublithographische Abmessung sein, so dass die Kontaktfläche zwischen der zweiten Kontaktelektrode und dem Widerstandswechselmaterial kleiner ist als die Kontaktfläche zwischen der ersten Kontaktelektrode und dem Widerstandswechselmaterial.
  • Gemäß einer weiteren, besonders vorteilhaften Variante der obigen zweiten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens wird nach dem Abscheiden der Schicht aus einem elektrisch leitenden Material auf dem Widerstandswechselmaterial zur Ausbildung der zweiten Kontaktelektrode zunächst das elektrisch leitende Material bis zur Höhe des Durchgangslochs teilweise rückgeätzt. Anschließend erfolgt in einer zur Waferoberfläche im Wesentlichen parallelen Richtung ein teilweises, isotropes Rückätzen (z. B. nass-chemisches Ätzen) des Spacermaterials an den Wänden der Grabenstruktur zur Vergrößerung des Abstands zwischen dem an gegenüberliegenden Wänden befindlichen Spacermaterial in einer zur Waferoberfläche parallelen Richtung. Mit anderen Worten, durch das teilweise, isotrope Rückätzen erfolgt eine teilweise Entfernung des Spacerschichtmaterials von den Grabenstrukturwänden, wodurch der Bereich zwischen dem an gegenüberliegenden Wänden der Gra benstruktur befindlichen Spacerschichtmaterial vergrößert wird, wodurch die Oberfläche des zweiten Dielektrikums in der Grabenstruktur von oben teilweise frei gelegt wird. Anschließend wird ein selektives isotropes Ätzen des zweiten dielektrischen Materials durchgeführt, was beispielsweise nasschemisch erfolgen kann. Der Ätzangriff erfolgt hierbei an der teilweise freigelegten Oberfläche des zweiten dielektrischen Materials, wobei vorteilhaft und vorzugsweise das zweite dielektrische Material vollständig entfernt wird. Mit anderen Worten, durch das selektive Entfernen des zweiten dielektrischen Materials wird die aus einem Schichtenstapel aufgebaute sublithographische Kontaktstruktur freigelegt, wobei ein Spalt zwischen dem Schichtenstapel der sublithographischen Kontaktstruktur, insbesondere der zweiten Kontaktelektrode, und dem Spacermaterial entsteht. Dann erfolgt eine konforme Abscheidung einer dritten Isolatorschicht aus einem dritten dielektrischen Material wenigstens im Bereich der Grabenstruktur, was dazu führt, dass der Bereich seitlich des Schichtenstapels der sublithographischen Kontaktstruktur mit dem dritten dielektrischen Material gefüllt wird, solange bis der Spalt zwischen dem Schichtenstapel der sublithographischen Kontaktstruktur und dem Spacermaterial zugewachsen ist. Ist der Spalt zugewachsen, wächst fortan das abgeschiedene dritte dielektrische Material nur noch oberhalb des Schichtenstapels auf. Schließlich wird noch eine elektrisch leitende Verbindung zur zweiten Kontaktelektrode in der dritten Isolatorschicht ausgebildet. Da bei dieser Variante der zweiten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens das ursprüngliche Volumen des zweiten dielektrischen Materials, welches teilweise oder vollständig weggeätzt wurde, nicht mehr vollständig mit dem dritten dielektrischen Material gefüllt wird, so dass ein umschlossener Hohlraum entsteht, kann in äußerst vorteilhafter Weise eine ausgezeichnete Wärme isolation der sublithographischen Kontaktstruktur aufgrund der Hohlraumstruktur hergestellt werden. Auf diese Weise kann die Verlustleistung der Speicherzelle deutlich verringert und der Maximalstrom zum Schalten und Löschen der Speicherzelle in gewünschter Weise gesenkt werden.
  • Erfindungsgemäß kann es weiterhin von Vorteil sein, wenn die Grabenstruktur in wenigstens einer Richtung wenigstens eine photolithographisch erreichbare minimale Abmessung aufweist.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt schlägt die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung sublithographischer Kontaktstrukturen in Speicherzellen in einem Haloleiterbauelement vor, bei welchem zunächst ein front-end-of-line (FEOL) fertig prozessierten Halbleiterwafer mit wenigstens zwei, jeweils mit einer aktiven Struktur verbundenen, elektrischen Anschlusskontakten auf einer seiner beiden gegenüberliegenden Oberflächen bereit gestellt wird. Daraufhin wird eine Isolatorschicht aus einem dielektrischen Material auf dem Halbleiter-Wafer wenigstens teilweise über den Anschlusskontakten abgeschieden, gefolgt von einem Ausbilden einer Ätzmaske auf der Isolatorschicht und einem Ätzen des Dielektrikums bis zu den ersten Anschlusskontakten zur Ausbildung eines Durchgangslochs. Dann wird eine Schicht aus einem elektrisch leitenden Material abgeschieden und teilweise rückgeätzt um eine erste Kontaktelektrode auszubilden. Weiterhin wird eine Schicht aus einem Widerstandswechselmaterial abgeschieden und in dem Durchgangsloch teilweise rückgeätzt. Als nächstes wird eine Schicht aus einem elektrisch leitenden Material abgeschieden und im Durchgangsloch zur Ausbildung einer zweiten Kontaktelektrode teilweise rückgeätzt. Dann wird eine Schicht aus einem Spacermaterial abgeschieden, welche als Ätzmaske dienen soll und demnach beispielsweise aus SiN bestehen kann, und anschließend im Durchgangsloch anisotrop bis zur Höhe der zweiten Kontaktelektrode rückgeätzt, wobei Spacerschichtmaterial an den Wänden des Durchgangslochs verbleibt und das Spacerschichtmaterial in wenigstens einer zur Waferoberfläche parallelen Richtung eine sublithographische Abmessung aufweist. Der Ausdruck "Höhe der zweiten Kontaktelektrode" bezieht sich auf eine zur Waferoberfläche parallele, von der Waferoberfläche am weitesten entfernte Schnittebene der zweiten Kontaktelektrode. Anschließend werden die zweite Kontaktelektrode, die Widerstandswechselmaterialzone und die erste Kontakelektrode (Stapel aus den beiden Kontaktelektroden und dem Widerstandwechselmaterial) bis zu den Anschlusskontakten geätzt, wobei das Spacerschichtmaterial als eine Ätzmaske verwendet wird.
  • Durch das vorgeschlagene erfindungsgemäße Verfahren können in vorteilhafter Weise gleichzeitig mehrere sublithographische Kontaktstrukturen ausgebildet werden, indem das Spacerschichtmaterial mit wenigstens einer sublithographischen Abmessung in einer zur Waferoberfläche parallelen Richtung als eine Ätzmaske dient und die Schichtenfolge unterhalb des Spacerschichtmaterials die sublithographische Kontaktstruktur ergibt. Dabei kann es von Vorteil sein, wenn das Durchgangsloch in wenigstens einer Richtung wenigstens eine photolithographisch erreichbare minimale Abmessung aufweist.
  • Erfindungsgemäß meint der Ausdruck "sublithographische Abmessung", wie er hier verwendet wird, eine lineare Abmessung, die kleiner ist als die mit den optisch (UV)-lithographischen Methoden erreichbare Abmessung, welche derzeit circa 50 nm beträgt. Dieser Ausdruck soll jedoch in allgemeiner Weise alle linearen Abmessungen umfassen, die kleiner sind als die erreichbare minimale Merkmals größe (minimum feature size, gewöhnlich abgekürzt mit "F"), welche durch die verwendete Technik hergestellt werden kann.
  • Als Widerstandswechselmaterial im Sinne der vorliegenden Erfindung ist jedes Material zu verstehen, das geeignet ist, in Antwort auf ausgewählte (bestimmbare) Energiepulse, beispielsweise elektrische Heizpulse, wenigstens zwei Zustände mit voneinander verschiedenen Widerstandswerten einzunehmen. Die wenigstens zwei Zustände mit einem unterschiedlichen elektrischen Widerstand können dabei verschiedenen strukturellen Phasenzuständen, wie einem amorphen Phasenzustand oder einem kristallinen Phasenzustand, zugeordnet werden, so dass ein Schalten zischen den Zuständen mit einem unterschiedlichen elektrischen Widerstand mit einer Änderung des Phasenzustands einhergeht. Grundsätzlich ist es jedoch auch möglich, dass die wenigstens zwei Zustände mit einem unterschiedlichen elektrischen Widerstand innerhalb eines einzigen Phasenzustands unterschieden werden können. Typische Materialien, die als Widerstandswechselmaterial zur Verwendung in dem erfindungsgemäßen Verfahren geeignet und bevorzugt sind, sind Phasenwechselmaterialien, wie insbesondere Chalkogenid-Legierungen.
  • Die erste Kontaktelektrode und/oder die zweite Kontaktelektrode der Speicherzelle können generell aus einem dem Fachmann bekannten, geeigneten Elektrodenmaterial gefertigt sein, welches beispielsweise W, TiN, Ta, TaN, TiW, TiSiN, TaSiN, TiON und TiAIN ist. Die Isolatorschicht ist vorteilhaft aus einem isolierenden, dielektrischen Material, beispielsweise SiO2, SiN oder ein sogenanntes low-K Material (Material mit niedriger Dielektrizitätskonstante), gefertigt ist.
  • Die Erfindung wird nun anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert, wobei Bezug auf die beigefügten Zeichnungen genommen wird. Gleiche bzw. gleichwirkende Elemente sind in den Zeichnungen mit den gleichen Bezugszeichen versehen.
    •
  • 1A und 1B zeigen in schematisches Weise herkömmliche Widerstandswechsel-Speicherzellen;
  • 2A bis 2E veranschaulichen in schematischer Weise eine erste Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung einer sublithographischen Kontaktstruktur;
  • 3A bis 3C veranschaulichen in schematischer Weise ein anisotropes Ätzverfahren;
  • 4A bis 2E veranschaulichen in schematischer Weise eine zweite Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung einer sublithographischen Kontaktstruktur;
  • 5 veranschaulicht in schematischer Weise eine Variante zur zweiten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens der 4A bis 4E;
  • 6A bis 6F veranschaulichen in schematischer Weise eine weitere Variante zur zweiten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens der 4A bis 4E;
  • 7A bis 7E veranschaulichen in schematischer Weise eine Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens zur gleichzeitigen Herstellung mehrerer sublithographischer Kontaktstrukturen;
  • 8A und 8B veranschaulichen in schematischer Weise eine Aufsicht in dem erfindungsgemäßen Verfahren der 7A bis 7E.
  • Die 1A und 1B, worin zwei im Stand der Technik bekannte PC-Speicherzellen dargestellt sind, wurden bereits eingangs beschrieben, so dass hier auf eine weitere Beschreibung verzichtet werden kann.
  • Zunächst sei die Figurenfolge 2A bis 2E betrachtet, worin in schematischer Weise eine erste Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung einer sublithographischen Kontaktstruktur veranschaulicht ist.
  • Zunächst wird eine erste Isolatorschicht 6 aus einem ersten isolierenden, dielektrischen Material, beispielsweise SiO2, auf der Oberfläche eines nicht näher dargestellten Halbleiterwafers wenigstens über einem Anschlusskontakt 5, der mit einer aktiven Struktur des Halbleiterwafers verbunden ist, abgeschieden. Dann wird auf der ersten Isolatorschicht 6 eine Ätzstoppschicht 7 aus beispielsweise SiN abgeschieden (2A). In der ersten Isolatorschicht 6 über dem Anschlusskontakt 5 wird daraufhin eine Grabenstruktur 8 ausgebildet, welche mit einem zur Waferoberfläche im Wesentlichen parallelen Boden 9 und zur Waferoberfläche im Wesentlichen senkrechten Wänden 10 ausgestattet ist. Die Grabenstruktur wird dabei durch eine gewöhnliche Strukturierung der Ätzstoppschicht 7 zur Ausbildung einer Ätzmaske 42 und einem isotropen Ätzen der ersten dielektrischen Schicht 6 hergestellt. Dann wird eine nicht näher dargestellte erste Schicht aus einem Spacermaterial wenigstens über der Grabenstruktur abgeschieden. Das Spacermaterial besteht beispielsweise aus SiN. Die Schicht aus dem Spacermaterial wird anschließend bis zum Boden der Grabenstruktur in einer zur Waferoberfläche senkrechten Richtung Y anisotrop rückgeätzt, wobei Spacerschichtmaterial 11 an den Wänden der Grabenstruktur verbleibt. Die laterale Abmessung des Spacerschichtmaterials in einer zur Waferoberfläche parallelen Richtung X ist dabei so gewählt, dass in einem Bereich zwischen dem sich an einander gegenüberliegenden Wänden befindenden Spacerschichtmaterial in wenigstens einer zur Waferoberfläche parallelen Richtung X eine erste sublithographische Abmessung SL ausgebildet ist (2B). Dann wird die erste Isolatorschicht 6 unter Verwendung des Spacerschichtmaterials 11 bis zum Anschlusskontakt 5 zur Ausbildung eines Durchgangslochs 12 geätzt, welches seinerseits wenigstens eine sublithographische Abmessung SL in wenigstens einer Richtung X aufweist (2C). Daraufhin wird eine nicht näher dargestellte Schicht aus einem elektrisch leitenden Material wenigstens über dem Durchgangsloch abgeschieden und in dem Durchgangsloch teilweise rückgeätzt, um hierdurch eine erste Kontaktelektrode 13 zu formen. Das Material der ersten Kontaktelektrode 13 ist dabei so gewählt, dass diese als Heizelektrode wirkt. Dann wird eine nicht näher dargestellte Schicht aus einem Widerstandswechselmaterial wenigstens über der Grabenstruktur abgeschieden und im Durchgangsloch teilweise rückgeätzt, so dass oberhalb der Heizelektrode 13 eine Widerstandswechselmaterialzone 14 verbleibt. Anschließend wird eine nicht näher dargestellte Schicht aus einem elektrisch leitenden Material wenigstens auf dem Widerstandswechselmaterial zur Ausbildung einer zweiten Kontaktelektrode 15 abgeschieden und außerhalb der Grabensruktur 8 durch chemisch-mechanisches Polieren entfernt (2D). Schließlich wird ein weiterer Anschlusskontakt 16 auf der zweiten Kontaktelektrode 15 geformt (2E).
  • Unter Bezugnahme auf die Figurenfolge 3A bis 3C erfolgt nun eine schematische Beschreibung des in dem erfindungsgemäßen Verfahren eingesetzten anisotropen Ätzverfahrens. 3A zeigt die Situation, in der eine Schicht 17 aus einem Spacermaterial konform über einer Stufe 18 abgeschieden ist. Erfolgt eine anisotrope Ätzung, beispielsweise durch RIE (reactive ion etching), dargestellt durch die von oben nach unten weisenden Pfeile 19 (3B), so erfolgt über der Stufe ein gleichmäßiger Materialabtrag in einer Richtung Y, was dazu führt, dass Spacermaterial 20 an der Stufe verbleibt (3C). Die laterale Abmessung in Richtung X des an den Grabenstrukturwänden beim anisotropen Rückätzen verbleibenden Spacerschichtmaterials 20 kann dabei über die Dicke D der abgeschiedenen Schicht 17 aus Spacermaterial eingestellt werden. Dabei gilt im Allgemeinen, dass je dicker diese Schicht 17 ist, desto größer ist die laterale Abmessung in Richtung X des an den Grabenstrukturwänden verbleibenden Spacerschichtmaterials 20. In Bezug auf das erfindungsgemäße Verfahren bedeutet dies, dass mit einer dickeren Spacermaterialschicht bei einem ansonsten unveränderten anisotropen Rückätzen eine kleinere sublithographische Abmessung zwischen dem an einander gegenüberliegenden Grabenstrukturwänden verbleibenden Spacerschichtmaterial realisiert werden kann.
  • Es sei nun Bezug auf die Figurenfolge 4A bis 4E genommen, worin in schematischer Weise eine zweite Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung einer sublithographischen Kontaktstruktur veranschaulicht ist.
  • Bei der zweiten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens wird zunächst eine erste Isolatorschicht 6 aus einem ersten isolierenden, dielektrischen Material, bei spielsweise SiO2, auf der Oberfläche eines nicht näher dargestellten Halbleiterwafers wenigstens über einem Anschlusskontakt 5, der mit einer aktiven Struktur des Halbleiterwafers verbunden ist, abgeschieden. Dann wird auf der ersten Isolatorschicht 6 eine Ätzstoppschicht 7 aus beispielsweise SiN abgeschieden, welche in bekannter Weise zur Ausbildung einer Ätzmaske 42 strukturiert wird. In der ersten Isolatorschicht 6 über dem Anschlusskontakt 5 wird daraufhin ein Durchgangsloch 21 geätzt (4A). Dann wird eine zweite Isolatorschicht 22 aus einem zweiten dielekrischen Material, welches von dem ersten dielektrischen Material verschieden ist, wenigstens über dem Durchgangsloch abgeschieden (4B) und in dem Durchgangsloch 21 zur Ausbildung einer Grabenstruktur teilweise rückgeätzt. Dann wird eine nicht näher dargestellte erste Schicht aus einem Spacermaterial, beispielsweise SiN, wenigstens über der Grabenstruktur abgeschieden und anschließend bis zum Boden der Grabenstruktur anisotrop in einer zur Waferoberfläche senkrechten Richtung Y rückgeätzt, wobei Spacerschichtmaterial 11 an den Wänden der Grabenstruktur verbleibt. Die laterale Abmessung des Spacerschichtmaterials in einer zur Waferoberfläche parallelen Richtung X ist dabei so gewählt, dass in einem Bereich zwischen dem sich an einander gegenüberliegenden Wänden befindenden Spacerschichtmaterial in wenigstens einer zur Waferoberfläche parallelen Richtung X eine erste sublithographische Abmessung SL ausgebildet ist ( 4C). Dann wird die zweite Isolatorschicht 22 unter Verwendung des Spacerschichtmaterials 11 bis zum Anschlusskontakt 5 zur Ausbildung eines Durchgangslochs 23 geätzt, welches seinerseits wenigstens eine sublithographische Abmessung SL in wenigstens einer Richtung X aufweist (4D). Daraufhin wird eine nicht näher dargestellte Schicht aus einem elektrisch leitenden Material wenigstens über dem Durchgangsloch abgeschieden und in dem Durchgangsloch teilweise rückgeätzt, um hierdurch eine erste Kontaktelektrode 13 zu formen. Das Material der ersten Kontaktelektrode 13 ist dabei so gewählt, dass diese als Heizelektrode wirkt. Dann wird eine nicht näher dargestellte Schicht aus einem Widerstandswechselmaterial wenigstens über der Grabenstruktur abgeschieden und im Durchgangsloch teilweise rückgeätzt, so dass oberhalb der Heizelektrode 13 eine Widerstandswechselmaterialzone 14 verbleibt. Anschließend wird eine nicht näher dargestellte Schicht aus einem elektrisch leitenden Material wenigstens auf dem Widerstandswechselmaterial zur Ausbildung einer zweiten Kontaktelektrode 15 abgeschieden und außerhalb der Grabensruktur 8 durch chemisch-mechanisches Polieren entfernt (4E).
  • Nun wird Bezug auf 5 genommen, worin in schematischer Weise eine Variante zur zweiten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens der Figurenfolge 4A bis 4E veranschaulicht ist. Um unnötige Wiederholungen zu vermeiden, werden lediglich die Unterschiede zu dem dort gezeigten Verfahren erläutert und ansonsten wird hierauf Bezug genommen. Dabei wird nach dem Abscheiden der Schicht aus einem elektrisch leitenden Material und dem teilweisen Rückätzen dieser Schicht im Durchgangsloch zur Ausbildung der ersten Kontaktelektrode 13 und nachdem die Schicht aus einem Widerstandswechselmaterial 14 wenigstens über dem Durchgangsloch abgeschieden ist (siehe 4E) sowohl das Widerstandswechselmaterial 14 als auch das nicht dargestellte Spacerschichtmaterial in der Grabenstruktur bis zur Höhe des Durchgangslochs beispielsweise durch Ätzen entfernt. Anschließend wird eine nicht näher dargestellte zweite Schicht aus einem Spacermaterial, das als eine Ätzmaske dienen soll und demnach beispielsweise aus SiN bestehen kann, wenigstens über der Grabenstruktur abgeschieden und in der Grabenstruktur bis zur Höhe des Durchgangslochs in einer zur Waferoberfläche senkrechten Richtung Y anisotrop rückgeätzt, wobei Spacerschichtmaterial 24 an den Wänden der Grabenstruktur verbleibt. Dabei umgrenzt das an einander gegenüberliegenden Wänden befindliche Spacerschichtmaterial einen Bereich, der in wenigstens einer zur Waferoberfläche parallelen Richtung X eine zweite sublithographische Abmessung ausbildet, die in vorteilhafter Weise verschieden ist von der ersten sublithographischen Abmessung, was in einfacher Weise dadurch erreicht werden kann, dass die Schichtdicke der zweiten abgeschiedenen Spacermaterialschicht verschieden von der Schichtdicke der ersten abgeschiedenen Spacermaterialschicht ist. Anschließend wird eine zweite Kontaktelektrode 15 ausgebildet.
  • Nun wird Bezug auf die Figurenfolge 6A bis 6F genommen, worin in schematischer Weise eine weitere Variante zur zweiten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens der Figurenfolge 4A bis 4E veranschaulicht ist. Um unnötige Wiederholungen zu vermeiden, werden lediglich die Unterschiede zu dem dort gezeigten Verfahren erläutert und ansonsten wird hierauf Bezug genommen. Dabei wird, ausgehend von einer in 4D gezeigten Verfahrensstufe, welche in 6A gezeigt ist, nach dem Ausbilden der Kontaktstruktur, bestehend aus erster Kontaktelektrode 13, Widerstandswechselmaterial 14 und zweiter Kontaktelektrode 15, zunächst das elektrisch leitende Material auf dem Widerstandswechselmaterial zur Ausbildung der zweiten Kontaktelektrode 15 bis zur Höhe des Durchgangslochs teilweise rückgeätzt (6B). Anschließend erfolgt ein teilweises, isotropes Rückätzen (Pfeile 24) des Spacermaterials 11 an den Wänden der Grabenstruktur zur Vergrößerung des Abstands zwischen dem an gegenüberliegenden Wänden befindlichen Spacermaterial in einer zur Waferoberfläche parallelen Richtung X (6C), wobei eine Oberfläche 25 des zweiten Dielektrikums 22 in der Grabenstruktur von oben teilweise frei gelegt wird. Anschließend wird ein selektives isotropes Ätzen des zweiten dielektrischen Materials in einer zur Waferoberfläche senkrechten Richtung Y durchgeführt, was beispielsweise nasschemisch erfolgen kann. Der Ätzangriff erfolgt hierbei an der teilweise freigelegten Oberfläche 25 des zweiten dielektrischen Materials 22, wobei das zweite dielektrische Material 22 unter Ausbildung eines Hohlraums 27 vollständig entfernt wird. Hierdurch wird die aus einem Schichtenstapel aufgebaute sublithographische Kontaktstruktur freigelegt, wobei ein Spalt 26 zwischen dem Schichtenstapel der sublithographischen Kontaktstruktur, insbesondere der zweiten Kontaktelektrode 15, und dem Spacermaterial 11 entsteht (6D). Dann erfolgt eine konforme Abscheidung einer dritten Isolatorschicht 28 aus einem dritten dielektrischen Material wenigstens im Bereich der Grabenstruktur, was dazu führt, dass der Bereich seitlich des Schichtenstapels der sublithographischen Kontaktstruktur mit dem dritten dielektrischen Material gefüllt wird, solange bis der Spalt 26 zwischen der zweiten Kontaktelektrode 15 und dem Spacermaterial 11 zugewachsen ist, wobei ein Hohlraum 27 verbleibt. Dann wird ein elektrischer Anschlusskontakt 29 zur elektrischen Kontaktierung der zweiten Kontaktelektrode 15 in herkömmlicher Weise ausgebildet.
  • Es sei nun Bezug auf die Figurenfolge 7A bis 7E, sowie die 8A und 8B genommen, worin in schematischer Weise eine Ausführungsform gemäß dem zweiten Aspekt des erfindungsgemäßen Verfahrens zur gleichzeitigen Herstellung mehrerer sublithographischer Kontaktstrukturen veranschaulicht ist.
  • Demnach wird zunächst ein nicht näher dargestellter, front-end-of-line (FEOL) fertig prozessierten Halbleiterwafer mit wenigstens zwei, jeweils mit einer aktiven Struktur verbundenen, elektrischen Anschlusskontakten 30, 31 auf einer seiner beiden gegenüberliegenden Oberflächen bereit gestellt. Daraufhin wird eine Isolatorschicht 32 aus einem dielektrischen Material auf dem Halbleiter-Wafer wenigstens teilweise über den Anschlusskontakten 30, 31 abgeschieden, gefolgt von dem Abscheiden einer Ätzstoppschicht 33 (7A). Die Ätzstoppschicht 33 wird anschließend in gewöhnlicher Weise zu einer Ätzmaske 43 strukturiert. Unter Verwendung dieser Ätzmaske 43 wird das Dielektrikum 32 anschließend bis zu den ersten Anschlusskontakten 30, 31 zur Ausbildung eines Durchgangslochs 37 geätzt (7B). Dann wird eine Schicht aus einem elektrisch leitenden Material abgeschieden und teilweise rückgeätzt um eine erste Kontaktelektrode 34 auszubilden. Weiterhin wird eine Schicht aus einem Widerstandswechselmaterial abgeschieden und in dem Durchgangsloch teilweise rückgeätzt um eine Widerstandswechselmaterialzone 35 auszubilden. Als nächstes wird eine Schicht aus einem elektrisch leitenden Material abgeschieden und im Durchgangsloch zur Ausbildung einer zweiten Kontaktelektrode 36 teilweise rückgeätzt. Durch obige Schritte wird eine Stapelstruktur 42, bestehend aus dem Widerstandswechselmaterial 35 und den beiden Kontaktelektroden 34, 36, erzeugt. Dann wird eine Schicht aus einem Spacermaterial abgeschieden, welche als Ätzmaske dienen soll und demnach beispielsweise aus SiN bestehen kann, und anschließend im Durchgangsloch in einer zur Waferoberfläche im Wesentlichen senkrechten Richtung Y anisotrop bis zur Höhe der zweiten Kontaktelektrode 36 rückgeätzt, wobei Spacerschichtmaterial 38 an den Wänden des Durchgangslochs 37 verbleibt und das Spacerschichtmaterial 38 in wenigstens einer zur Waferoberfläche parallelen Richtung X eine sublithographische Abmessung SL aufweist. Anschließend wird die Stapelstruktur 42, bestehend aus dem Widerstandswechselmaterial 35 und den beiden Kontaktelektroden 34, 36, bis zu den Anschlusskontakten 30, 31 zur Ausbildung eines Durchgangslochs 39 und Separierung der sublithographischen Kontaktstrukturen 40 geätzt, wobei das Spacerschichtmaterial 38 als eine Ätzmaske verwendet wird. In der Aufsicht der 8A und 8B ist zu erkennen, wie durch die durch das Spacermaterial gebildete Ätzmase 41 die Stapelstruktur 42 zu zwei sublithographischen Kontaktstrukturen 40 separiert wird.
  • Lediglich der Vollständigkeit halber sei erwähnt, dass nach der Herstellung der sublithographischen Kontaktstruktur gemäß den Verfahren der Erfindung herkömmliche Prozessschritte einer back-end-of-line-Prozessierung zur Erzeugung weiterer Strukturen, wie Isolatorschichten und Metallverdrahtungsebenen, durchgeführt werden können.
    • 1
    Chalcogenid
    2
    Bodenelektrode
    3
    Deckelekrode
    4
    Programmierbare Volumen
    5
    Anschlusskontakt
    6
    Erste Isolatorschicht
    7
    Ätzstoppschicht
    8
    Grabenstruktur
    9
    Boden
    10
    Wand
    11
    Spacermaterial
    12
    Durchgangsloch
    13
    Erste Kontaktelektrode
    14
    Widerstandswechselmaterialzone
    15
    Zweite Kontaktelektrode
    16
    Anschlusskontakt
    17
    Spacermaterialschicht
    18
    Stufe
    19
    Pfeile
    20
    Spacermaterial
    21
    Durchgangsloch
    22
    Zweite Isolatorschicht
    23
    Durchgangsloch
    24
    Spacermaterial
    25
    Oberfläche
    26
    Spalt
    27
    Hohlraum
    28
    Dritte Isolatorschicht
    29
    Anschlusskontakt
    30
    Anschlusskontakt
    31
    Anschlusskontakt
    32
    Isolatorschicht
    33
    Ätzstoppschicht
    34
    Erste Kontaktelektrode
    35
    Widerstandswechselmaterialzone
    36
    Zweite Kontaktelektrode
    37
    Durchgangsloch
    38
    Spacermaterial
    39
    Durchgangsloch
    40
    Sublithographische Kontaktstruktur
    41
    Ätzmaske
    42
    Stapelstruktur
    43
    Ätzmaske

Claims (16)

  1. Verfahren zur Herstellung einer sublithographischen Kontaktstruktur in einer Speicherzelle in einem Halbleiterbauelement, dadurch gekennzeichnet, dass es die folgenden Schritte umfasst: – Bereitstellen eines front-end-of-line (FEOL) fertig prozessierten Halbleiterwafers mit wenigstens einem mit einer aktiven Struktur verbundenen elektrischen Anschlusskontakt (5) auf einer seiner beiden gegenüberliegenden Oberflächen; – Abscheiden einer ersten Isolatorschicht (16) aus einem ersten dielektrischen Material auf dem Halbleiterwafer wenigstens über dem elektrischen Anschlusskontakt (5); – Ausbilden einer Grabenstruktur (8) mit einem Boden (9) und zur Waferoberfläche im Wesentlichen senkrechten Wänden (10) in der ersten Isolatorschicht (6) wenigstens teilweise über dem elektrischen Anschlusskontakt (5); – Abscheiden einer ersten Schicht aus einem Spacermaterial wenigstens über der Grabenstruktur (8) und anisotropes Rückätzen der Spacermaterialschicht in einer zur Waferoberfläche im Wesentlichen senkrechten Richtung bis zum Boden (9) der Grabenstruktur (8), derart, dass Spacerschichtmaterial (11) an den Wänden (10) der Grabenstruktur (8) verbleibt, wobei im Bereich zwischen dem an einander gegenüberliegenden Wänden befindlichen Spacerschichtmaterial in wenigstens einer zur Waferoberfläche parallelen Richtung (X) eine erste sublithographische Abmessung (SL) ausgebildet ist; – Ätzen der Isolatorschicht (6; 22) im Bereich zwischen dem an einander gegenüberliegenden Wänden befindlichen Spacerschichtmaterial (11) bis zum Anschlusskontakt (5) zur Ausbildung eines Durchgangslochs (12; 23), wobei das Spacermaterial (11) als eine Ätzmaske verwendet wird; – Abscheiden einer Schicht aus einem elektrisch leitenden Material wenigstens über dem Durchgangsloch (12; 23) und teilweises Rückätzen der Schicht aus dem elektrisch leitenden Material in dem Durchgangsloch zur Ausbildung einer ersten Kontaktelektrode (13); – Abscheiden einer Schicht aus einem Widerstandswechselmaterial über dem Durchgangsloch und teilweises Rückätzen des Widerstandswechselmaterials in dem Durchgangsloch (12; 23) zur Ausbildung einer Widerstandswechselmaterialzone (14); – Abscheiden einer Schicht aus einem elektrisch leitenden Material auf der Widerstandswechselmaterialzone (14) zur Ausbildung einer zweiten Kontaktelektrode (15).
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Grabenstruktur durch folgende Schritte geformt wird: – Abscheiden einer Ätzstoppschicht (7) auf der ersten Isolatorschicht (6); – Strukturieren der Ätzstoppschicht (7) zur Ausbildung einer Ätzmaske (42); – teilweises Ätzen der ersten Isolatorschicht (6) mithilfe der Ätzmaske (42) zur Ausbildung einer Grabenstruktur (8).
  3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Grabenstruktur durch folgende Schritte geformt wird: – Abscheiden einer Ätzstoppschicht (7) auf der ersten Isolatorschicht (6); – Strukturieren der Ätzstoppschicht (7) zur Ausbildung einer Ätzmaske (42); – Ätzen der ersten Isolatorschicht (6) bis zum Anschlusskontakt (5) mithilfe der Ätzmaske (42) zur Ausbildung eines Durchgangslochs (21); – Abscheiden einer zweiten Isolatorschicht (22) aus einem zweiten dielekrischen Material, welches von dem ersten dielektrischen Material der ersten Isolatorschicht (6) verschieden ist, und teilweises Rückätzen der zweiten Isolatorschicht in dem Durchgangsloch (21 zur Ausbildung einer Grabenstruktur (8).
  4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Wärmeleitfähigkeit des zweiten dielektrischen Materials geringer ist als die Wärmeleitfähigkeit des ersten dielektrischen Materials.
  5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass es nach dem Schritt: – Abscheiden einer Schicht aus einem elektrisch leitenden Material wenigstens über dem Durchgangsloch und teilweises Rückätzen der Schicht aus dem elektrisch leitenden Material in dem Durchgangsloch zur Ausbildung einer ersten Kontaktelektrode (13), die folgenden Schritte umfasst: – Abscheiden einer Schicht aus einem Widerstandswechselmaterial über dem Durchgangsloch und teilweises Rückätzen des Widerstandswechselmaterials zur Ausbildung einer Widerstandswechselmaterialzone (14) und Rückätzen des Spacerschichtmaterials (11) in der Grabenstruktur (8) bis zur Höhe des Durchgangslochs (12; 23); – Abscheiden einer zweiten Schicht aus einem Spacermaterial wenigstens über der Grabenstruktur (8) und anisotropes Rückätzen der Spacermaterialschicht in einer zur Waferoberfläche im Wesentlichen senkrechten Richtung bis zur Höhe des Durchgangslochs, derart, dass Spacerschichtmaterial (24) an den Wänden der Grabenstruktur (8) verbleibt, wobei im Bereich zwischen dem an einander gegenüberliegenden Wänden befindlichen Spacerschichtmaterial in wenigstens einer zur Waferoberfläche parallelen Richtung (X) eine zweite sublithographische Abmessung ausgebildet ist, welche von der ersten sublithographischen Abmessung verschieden ist; – Abscheiden einer Schicht aus einem elektrisch leitenden Material auf dem Widerstandswechselmaterial zur Ausbildung einer zweiten Kontaktelektrode (15).
  6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite sublithographische Abmessung kleiner ist als die erste sublithographische Abmessung.
  7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass es nach dem Schritt: – Abscheiden einer Schicht aus einem elektrisch leitenden Material auf dem Widerstandswechselmaterial zur Ausbildung einer zweiten Kontaktelektrode (15), die folgenden Schritte umfasst: – teilweises Rückätzen des elektrisch leitenden Materials auf dem Widerstandswechselmaterial zur Ausbildung der zweiten Elektrode bis zur Höhe des Durchgangslochs (23); – teilweises isotropes Rückätzen des Spacermaterials (11) an den Wänden der Grabenstruktur (8) in einer zur Waferoberfläche im Wesentlichen parallen Richtung (X) zur Vergrößerung des Abstands zwischen dem an gegenüberliegenden Wänden befindlichen Spacermaterial in einer zur Waferoberfläche parallelen Richtung (X); – selektives isotropes Ätzen des zweiten dielektrischen Materials (22) in einer zur Waferoberfläche im Wesentlichen senkrechten Richtung (Y); – konforme Abscheidung einer dritten Isolatorschicht (28) aus einem dritten dielektrischen Material wenigstens im Bereich der Grabenstruktur (8); – Ausbilden einer elektrischen leitender Verbindung (29) zur zweiten Kontaktelektrode (15) in der dritten Isolatorschicht (28).
  8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Grabenstruktur in wenigstens einer Richtung (X) wenigstens eine photolithographisch erreichbare minimale Abmessung (F) aufweist.
  9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die sublithographische Abmessung weniger als 50 nm beträgt.
  10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Widerstandswechselmaterial ein Phasenwechselmaterial ist.
  11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Phasenwechselmaterial eine wenigstens ein Chalcogen enthaltende Legierung ist.
  12. Verfahren zur Herstellung sublithographischer Kontaktstrukturen in Speicherzellen in einem Halbleiterbauelement dadurch gekennzeichnet, dass es die folgenden Schritte umfasst: – Bereitstellen eines front-end-of-line (FEOL) fertig prozessierten Halbleiterwafers mit wenigstens zwei jeweils mit einer aktiven Struktur verbundenen elektrischen Anschlusskontakten (30, 31) auf einer seiner beiden gegenüberliegenden Oberflächen; – Abscheiden einer Isolatorschicht (32) aus einem dielektrischen Material auf dem Halbleiterwafer wenigstens teilweise über den Anschlusskontakten (30, 31); – Ausbilden einer Ätzmaske (43) auf der Isolatorschicht (32); – Ätzen des Dielektrikums (32) bis zu den ersten Anschlusskontakten (30, 31) zur Ausbildung eines Durchgangslochs (37); – Abscheiden einer Schicht aus einem elektrisch leitenden Material und teilweises Rückätzen der Schicht aus einem elektrisch leitenden Material zur Ausbildung einer ersten Kontaktelektrode (34); – Abscheiden einer Schicht aus einem Widerstandswechselmaterial und teilweises Rückätzen des Widerstandswechselmaterials in dem Durchgangsloch zur Ausbildung einer Widerstandswechselmaterialzone (35); – Abscheiden einer Schicht aus einem elektrisch leitenden Material und teilweises Rückätzen des elektrisch leitenden Materials im Durchgangsloch zur Ausbildung einer zweiten Kontaktelektrode (36); – Abscheiden einer Schicht aus einem Spacermaterial und anisotropes Rückätzen der Spacermaterialschicht in einer zur Waferoberfläche im Wesentlichen senkrechten Richtung (Y) in dem Durchgangsloch (37) bis zur Höhe der zweiten Kontaktelektrode (36), derart, dass Spacerschichtmaterial (38) an den Wänden des Durchgangslochs verbleibt und das Spacerschichtmaterial in wenigstens einer zur Waferoberfläche parallelen Richtung (X) eine sublithographische Abmessung (SL) aufweist; – Ätzen der zweiten Kontaktelektrode (35), der Widerstandswechselmaterialzone (35) und der ersten Kontaktelektrode (34) bis zu den Anschlusskontakten (30, 31), wobei das Spacerschichtmaterial (38) als eine Ätzmaske verwendet wird.
  13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Durchgangsloch (37) in wenigstens einer Richtung (X) wenigstens eine photolithographisch erreichbare minimale Abmessung (F) aufweist.
  14. Verfahren nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, dass die sublithographische Abmessung weniger als 50 nm beträgt.
  15. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Widerstandswechselmaterial ein Phasenwechselmaterial ist.
  16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass das Phasenwechselmaterial eine wenigstens ein Chalcogen enthaltende Legierung ist.
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