DE102004048062A1 - Mikroskopobjektiv und Verfahren zum Herstellen eines Mikroskopobjektivs - Google Patents

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Mikroskopobjektiv (1) mit mindestens vier Linsen (7, 8, 17) und einer Objektivhülse. Eine Linse (7, 8, 17) ist in einem Fassungsring (4, 5) gefasst. Die Objektivhülse nimmt Fassungsringe (4, 5) mit gefassten Linsen (7, 8, 17) auf. Zum Verringern der Herstellungszeit und zum auch nachträglichen sowie möglichst einfachen Korrigieren bzw. Justieren bereits verpasster Linsen (7, 8, 17) ist ein erfindungsgemäßes Mikroskopobjektiv (1) dadurch gekennzeichnet, dass die Objektivhülse mindestens zwei Teilhülsen (2, 3) aufweist und dass jede Teilhülse (2, 3) mindestens zwei Fassungsringe (4, 5) aufnimmt. Des Weiteren betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zum Herstellen eines Mikroskopobjektivs.

Description

• Die vorliegende Erfindung betrifft ein Mikroskopobjektiv mit mindestens vier Linsen und einer Objektivhülse. Eine Linse ist in einem Fassungsring gefasst. Die Objektivhülse nimmt Fassungsringe mit gefassten Linsen auf. Des Weiteren betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zum Herstellen eines Mikroskopobjektivs.
• Mikroskopobjektive der eingangs genannten Art sind seit langem aus dem Stand der Technik bekannt. Zur Fertigung der Mikroskopobjektive werden die einzelnen, in den Fassungsringen gefassten Linsen in die Objektivhülse eingebracht und hierbei verpasst, wodurch sie zueinander zentriert und auf einen vorgebbaren bzw. gewünschten Abstand gebracht werden können. Unter Verpassen ist insbesondere zu verstehen, dass die äußere Zylinderfläche des Fassungsrings und die innere Zylinderfläche der Objektivhülse passgenau bearbeitet wird, um eine optische Langzeitstabilität des gesamten Objektivs zu garantieren. Die passgenaue Bearbeitung kann sich hierbei in einem Genauigkeitsbereich abspielen, welcher in der Größenordnung von ca. 3 bis 5 μm liegt. Dabei werden Linsenfehler durch geeignete Setztechnik auskorrigiert, so dass das Gesamtsystem möglichst geringe Aberrationen aufweist. In der Regel sind Korrekturglieder, beispielsweise in Form eines Schiebeglieds, für das Auskorrigieren des Objektivs vorgesehen.
• Es kann jedoch auch vorkommen, dass ein Abbildungsfehler nicht mit Hilfe eines Schiebeglieds korrigiert werden kann. In einem solchen Fall müssen bereits montierte Fassungsringe samt Linsen aus der Objektivhülse entfernt werden. Hierbei kann es erforderlich sein, dass nahezu das gesamte Mikroskopobjektiv wieder zerlegt werden muss. An einer Oberfläche eines geeigneten Fassungsrings kann dann beispielsweise etwas Material entfernt bzw. abgedreht werden, so dass der Abstand der Linse dieses Fassungsrings zu der Linse des benachbarten Fassungsrings verringert wird.
• Bei Mikroskopobjektiven mit vielen Linsen ist eine Zugänglichkeit aller Linsen bzw. Linsengruppen nicht mehr ohne weiteres gegeben, insbesondere dann, wenn von der Optik-Rechnung enge Toleranzen für die darin enthaltene Optik vorgegeben sind. Insbesondere das Entfernen und Ausrichten bereits verpasster Linsen ist zeitaufwendig und bringt einen großen Ausschuss an optischen Komponenten mit sich. Daher ist die Montage eines mehrere Linsen aufweisenden Mikroskopobjektivs hoher Qualität ganz besonders zeitaufwendig und daher mit hohen Produktionskosten verbunden. Sie erfordert darüber hinaus in ganz besonderem Maße Geschicklichkeit und Geduld desjenigen, der das Mikroskopobjektiv montiert.
• Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Mikroskopobjektiv und ein Verfahren zum Herstellen eines Mikroskopobjektivs der eingangs genannten Art anzugeben und weiterzubilden, bei welchem die Fertigungszeit verringert werden kann und bei welchem bereits verpasste Linsen auch nachträglich möglichst einfach korrigierbar bzw. justierbar sind.
• Das erfindungsgemäße Mikroskopobjektiv der gattungsbildenden Art löst die voranstehende Aufgabe durch die Merkmale des Patentanspruchs 1. Danach ist ein solches Mikroskopobjektiv dadurch gekennzeichnet, dass die Objektivhülse mindestens zwei Teilhülsen aufweist, und dass jede Teilhülse mindestens zwei Fassungsringe aufnimmt.
• Erfindungsgemäß ist zunächst erkannt worden, dass insbesondere durch das Vorsehen mindestens zweier Teilhülsen ein Aussetzen von Abbildungsfehlern ganz erheblich erleichtert werden kann, da nicht alle bereits montierten Fassungsringe aus der Objektivhülse bzw. dem Mikroskopobjektiv ausgebaut werden müssen. Es können vielmehr lediglich einzelne in einer Teilhülse zusammengefasste Fassungsringe samt Linsen ausgebaut werden, wobei die in einer anderen Teilhülse zusammengefassten Fassungsringe samt Linsen nicht aus der anderen Teilhülse entfernt werden müssen. Diese modulartige Bauweise des Mikroskopobjektivs ermöglicht nämlich, dass unter Umständen lediglich ein Modul zerlegt werden muss. Ein bereits fehlerfrei montiertes anderes Modul bzw. Fassungsringe mit Linsen in einer anderen Teilhülse kann bzw. können unverändert bleiben. Insoweit kann bei einer Korrektur die zum Fassen einer unveränderten Teilhülse erforderliche Fertigungszeit in ganz besonders vorteilhafter Weise eingespart werden. Im Ergebnis ermöglicht das Vorsehen mindestens zweier Teilhülsen eine ganz erhebliche Vereinfachung bei dem Setzen bzw. bei der Montage des Mikroskopobjektivs.
• Grundsätzlich könnte nach wie vor eine einteilige Objektivhülse vorgesehen sein, in welche mindestens zwei Teilhülsen einbringbar sind und in welche ihrerseits jeweils einzelne Fassungsringe eingebracht werden. Alternativ hierzu könnten auch lediglich mindestens zwei Teilhülsen vorgesehen sein, welche im montierten Zustand eine Objektivhülse bilden bzw. welche die Funktion einer Objekthülse erfüllen. Ganz allgemein ist durch das Vorsehen mindestens zweier Teilhülsen eine zusätzliche Zahl von Freiheitsgraden bei der Montage und insbesondere bei der Korrektur von Abbildungsfehlern gegeben, so dass hierdurch in ganz besonders vorteilhafter Weise eine Zeitersparnis und hiermit verbunden eine Reduzierung der Kosten erzielbar ist. Auch bezüglich einer eventuell durchzuführenden Reparatur eines Mikroskopobjektivs bringt die erfindungsgemäße Bauweise des Mikroskopobjektivs Vorteile mit sich. Falls nämlich beispielsweise ein Mikroskopobjektiv einen Schaden an der Frontlinse hat, ist lediglich die Teilhülse aus dem Mikroskopobjektiv auszubauen, welche die Frontlinse aufnimmt. Sodann sind lediglich die beschädigten Linsen dieser Teilhülse auszubauen und zu ersetzen, so dass in ganz besonders vorteilhafter Weise eine Reparatur in kürzerer Zeit und kostengünstiger durchgeführt werden kann.
• In einer bevorzugten Ausführungsform ist mindestens ein Mittel vorgesehen, mit welchem die räumliche Anordnung mindestens zweier Teilhülsen zueinander veränderbar ist. So könnte beispielsweise eine erste Teilhülse ein Außengewinde aufweisen, auf welches eine zu dieser ersten Teilhülse benachbarte zweite Teilhülse mit einem Innengewinde aufschraubbar ist. Zweckmäßigerweise werden die Gewinde eine geringe Steigung aufweisen, so dass allein durch das Verdrehen der zwei Teilhülsen zueinander deren Abstand in axialer Richtung veränderbar ist. Falls nun der gewünschte Abstand bzw. die gewünschte Relativpositionierung der zwei Teilhülsen hergestellt ist, könnten diese Mittel mit herkömmlichen Mitteln gegen ein Verdrehen gesichert werden, beispielsweise durch das Vorsehen einer Madenschraube in einer Teilhülse, welche im angezogenen Zustand an der anderen Teilhülse zur Anlage kommt. Weiterhin könnte mindestens ein Mittel vorgesehen sein, mit welchem die räumliche Anordnung mindestens zweier Fassungsringe zueinander veränderbar ist. Hierbei könnten die Mittel konstruktive Elemente aus der DE 198 04 470 C1 aufweisen, deren Offenbarungsgehalt in diesem Zusammenhang vollständig hier einbezogen wird. Unter einer axialer Richtung ist in diesem Zusammenhang die Richtung der optischen Achse des Mikroskopobjektivs zu verstehen, unter einer radialen Richtung ist eine Richtung senkrecht hierzu zu verstehen.
• Ganz besonders bevorzugt sind die Teilhülsen derart ausgebildet, dass sie voneinander trennbar sind. Hierdurch ist bei einer entsprechenden Ausbildung der Teilhülsen ein vorgebbarer Bereich des Mikroskopobjektivs zugänglich. Dies trifft einerseits für die Montage bei der Fertigung des Mikroskopobjektivs und andererseits bei einer eventuellen Reparatur zu.
• Der vorgebbare Bereich könnte ein Setzabstand des Mikroskopobjektivs sein. Ein Setzabstand in diesem Sinn dient insbesondere zum Einstellen des Abstands zweier vorgebbarer Linsenflächen des Mikroskopobjektivs in einem vom Optikdesign definierten Toleranzbereich. Er bezieht sich auf mindestens ein optisches Qualitätsmerkmal oder eine optische Eigenschaft.
• Als ein optisches Qualitätsmerkmal kommt ein Abbildungsfehler des Mikroskopobjektivs in Frage, insbesondere die sphärische Aberration, der Astigmatismus, das Koma, die Verzeichnung und/oder die chromatische Aberration. Da diese klassischen Abbildungsfehler bei der Produktion eines Mikroskopobjektivs Idealerweise allesamt zu minimieren sind, diese jedoch bei einer Korrektur unter Umständen voneinander abhängen, werden gegebenenfalls für mehrere optische Qualitätsmerkmale von dem Optikdesign Setzabstände vorgegeben.
• Als eine optische Eigenschaft kommt insbesondere der Fokus in einem definierten Arbeitsabstand des Mikroskopobjektivs bei einer definierten Wellenlänge des Lichts in Frage. Dies könnte beispielsweise bei einem parfokalen Mikroskopobjektiv für die Inspektionsmikroskopie die beiden Wellenlängen 248 nm (für die Inspektion) und 903 nm (für ein Autofokus-Modul) sein.
• Durch eine Veränderung des Setzabstands des Mikroskopobjektivs ist ein Abbildungsfehler korrigierbar oder eine optische Eigenschaft des Mikroskopobjektivs einstellbar. Dies könnte beispielsweise durch die Bearbeitung einer Oberfläche bzw. einer Kontaktfläche zweier benachbarter Fassungsringe und/oder zweier benachbarter Teilhülsen erfolgen. Auch ist es denkbar, dass eine Kontaktfläche eines Fassungsrings bearbeitet wird, welcher zu Anlage an einer Teilhülse kommt, oder, dass eine Kontaktfläche einer Teilhülse bearbeitet wird, welche zu Anlage an einem Fassungsring kommt. Als Form der Bearbeitung könnte beispielsweise das Drehen oder ganz allgemein eine spanende Bearbeitung vorgesehen sein.
• Damit das Mikroskopobjektiv eine optische Langzeitstabilität aufweist, ist ein Fassungsring im Wesentlichen passgenau in einer Teilhülse aufnehmbar. Zwei benachbarte und in einer Teilhülse aufgenommene Fassungsringe könnten unmittelbar aneinander zur Anlage kommen. Passgenau in diesem Zusammenhang kann eine Anpassung eines Außendurchmessers eines Fassungsrings an einen Innendurchmesser einer Teilhülse mit einer Genauigkeit bedeuten, welche im Mikrometerbereich liegt.
• Das erfindungsgemäße Mikroskopobjektiv könnte auch eine Abstandshülse aufweisen, welche ihrerseits im Wesentlichen passgenau in einer Teilhülse aufnehmbar ist. Eine solche Abstandshülse wird insbesondere dann vorzusehen sein, wenn das Mikroskopobjektiv einen Bereich ohne Linsen oder sonstiger optischer Komponenten (z.B. Filter, Blenden) aufweisen soll und ein vorgebbarer Abstand der zu der Abstandshülse benachbarten optischen Komponenten eingestellt werden soll.
• Damit ein oder mehrere Abbildungsfehler eines fertiggestellten Mikroskopobjektivs zumindest innerhalb vorgebbarer Grenzen korrigierbar sind und/oder beispielsweise eine Korrekturmöglichkeit zur Anpassung an unterschiedliche Deckglasdicken bzw. Immissionsmedien möglich ist, weist besonders bevorzugt eine Teilhülse ein von außerhalb des Mikroskopobjektivs justierbares Zentrier- und/oder Schiebeglied auf. Dieses Zentrier- bzw. Schiebeglied könnte beispielsweise mit Hilfe eines verdrehbar gelagerten Rändelrings im Sinne der DE 198 04 470 C1 wiederholbar verstellbar sein. Alternativ hierzu könnte es mit Hilfe einer Madenschraube einmalig bei der Produktion einstellbar sein.
• Ganz besonders bevorzugt sind die Teilhülsen reversibel zusammensetzbar ausgebildet. In einer solchen Bauweise kann in ganz besonders vorteilhafter Weise das fertiggestellte Mikroskopobjektiv nachträglich – beispielsweise in einem Reparaturfall – einfach und schnell in seine einzelnen Modulbestandteile zerlegt werden. Damit eine relative Anordnung zweier benachbarter Teilhülsen mit einer möglichst hohen Genauigkeit möglich ist, sind zwei benachbarte Teilhülsen ganz besonders bevorzugt zumindest teilweise komplementär zueinander ausgebildet. Hierzu könnte mindestens eine axiale und/oder radiale passgenaue Anlagefläche zwischen den zwei Teilhülsen vorgesehen sein. So ist beispielsweise ein Ende einer ersten Teilhülse mit einem ersten Außendurchmesser ausgebildet. Ein Ende einer zweiten Teilhülse weist einen – verglichen zu dem ersten Außendurchmesser – größeren Außendurchmesser und einen im Wesentlichen dem ersten Außendurchmesser der ersten Teilhülse entsprechenden Innendurchmesser auf. Hierdurch kommen diese zwei Teilhülsen im zusammengesetzten Zustand in radialer Richtung komplementär zur Anlage. In axialer Richtung könnte eine endseitige Oberfläche der zweiten Teilhülse an einem Flansch oder an einem einen größeren Außenradius aufweisenden Vorsprung der ersten Teilhülse zur Anlage kommen.
• Ganz besonders bevorzugt weist eine konkrete Ausführungsform eines Mikroskopobjektivs drei Teilhülsen auf. Zwischen einer die Frontlinse des Mikroskopobjektivs aufnehmenden Teilhülse und einer zweiten Teilhülse ist ein erster Setzabstand für den Fokus in einem definierten Arbeitsabstand des Mikroskopobjektivs bei einer ersten Wellenlänge des Lichts vorgesehen. Diese erste Wellenlänge des Lichts könnte 903 nm sein und könnte zur Autofokussierung im Sinn der DE 199 31 949 A1 dienen. Zwischen der zweiten und einer dritte Teilhülse ist ein zweiter Setzabstand für den Fokus in einem definierten Arbeitsabstand des Mikroskopobjektivs bei einer anderen Wellenlänge des Lichts vorgesehen. Hierbei könnte es sich um die im DUV-Bereich liegende Wellenlänge 248 nm (DUV = Deep-Ultra-Violett) handeln. Ein solches Mikroskopobjektiv wird besonders bevorzugt bei der Waferinspektion für die Halbleiterindustrie eingesetzt, wobei ein solches Wasserimmissionsmikroskopobjektiv eine Numerische Apertur von 1,20 und somit ein besonders hohes optisches Auflösungsvermögen aufweist. Insoweit ist das erfindungsgemäße Mikroskopobjektiv ganz besonders für eine Verwendung in einem Inspektionsmikroskop geeignet. Es kann jedoch auch an einem Lichtmikroskop eingesetzt werden, welches ein hohes dreidimensionales optisches Auflösungsvermögen aufweist, beispielsweise ein doppelkonfokales Rastermikroskop im Sinn der EP 0 491 289 B1 bzw. der EP 1 150 153 A1 .
• Ganz besonders bevorzugt sind jeweils zwei Teilhülsen mit einem Überwurfring in ihrer räumlichen Anordnung zueinander fixierbar. Dementsprechend sind die Teilhülsen mit Vorsprüngen und/oder Außengewinden versehen. Der Überwurfring weist mindestens ein entsprechend ausgebildetes Innengewinde auf.
• In verfahrensmäßiger Hinsicht wird die eingangs genannte Aufgabe durch die Merkmale des Patentanspruchs 16 gelöst. Demnach ist ein Verfahren zum Herstellen eines Mikroskopobjektivs nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass in jede Teilhülse die dieser Teilhülse zugeordneten Fassungsringe montiert werden und dass zum Zusammenbau des gesamten Mikroskopobjektivs die einzelnen Teilhülsen zusammengesetzt werden. Wie bereits angedeutet, ermöglicht die modulare Bauweise des erfindungsgemäßen Mikroskopobjektivs eine Montage der einzelnen Module bzw. der Teilhülsen mit Fassungsringen, wobei eine Korrektur eines noch vorhandenen Abbildungsfehlers nach dem Zusammenfügen der einzelnen Module zu dem gesamten Mikroskopobjektiv relativ einfach und schnell durchgeführt werden kann, ohne dabei das oder die anderen Module des Mikroskopobjektivs zerlegen zu müssen.
• So könnte beispielsweise zur Korrektur eines Abbildungsfehlers oder zum Einstellen einer optischen Eigenschaft des Mikroskopobjektivs der Abstand einer Teilhülse gegenüber einer anderen Teilhülse und/oder der Abstand eines Fassungsrings einer ersten Teilhülse gegenüber einem anderen Fassungsring einer zweiten Teilhülse verändert werden. Insoweit müssen die einzelnen Fassungsringe nicht aus den Teilhülsen ausgebaut werden, so dass diese Art der Korrektur ganz besonders einfach vorgenommen werden kann.
• Falls nun ein Setzabstand des Mikroskopobjektivs zu verändern ist, könnte ganz besonders bevorzugt eine Oberfläche eines Fassungsrings und/oder einer Teilhülse bearbeitet werden. Hierfür kommt insbesondere eine Kontaktfläche eines Fassungsrings bzw. einer Teilhülse in Frage. Die Bearbeitung bzw. Veränderung der Oberfläche selbst könnte spanend erfolgen, beispielsweise an einer Drehbank.
• Es gibt nun verschiedene Möglichkeiten, die Lehre der vorliegenden Erfindung in vorteilhafter Weise auszugestalten und weiterzubilden. Dazu ist einerseits auf die dem Patentanspruch 1 nachgeordneten und andererseits auf die nachfolgende Erläuterung des bevorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung anhand der Zeichnung zu verweisen. In Verbindung mit der Erläuterung des bevorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung anhand der Zeichnung werden auch bevorzugte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Lehre erläutert. In der Zeichnung zeigt die einzige
• Fig. eine schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiels, bei welchem der linke Teil die äußere Ansicht eines Objektivs und der rechte Teil eine Schnittansicht des Objektivs zeigt.
• Das in der Figur gezeigte Mikroskopobjektiv 1 ist für den Einsatz in einem in der Figur nicht gezeigten Inspektionsmikroskop vorgesehen. Das Mikroskopobjektiv 1 umfasst in erfindungsgemäßer Weise zwei Teilhülsen, nämlich eine erste Teilhülse 2 und eine zweite Teilhülse 3. Jede der zwei Teilhülsen 2, 3 nimmt eine Vielzahl von Fassungsringen auf. Die erste Teilhülse 2 nimmt vier Fassungsringe 4 auf, die Teilhülse 3 nimmt zwölf Fassungsringe 5 und einen Vorschraubring 6 auf. Die jeweils von den vier Fassungsringen 4 gefassten Linsen sind mit dem Bezugszeichen 7, die jeweils von den zwölf Fassungsringen 5 gefassten Linsen sind mit Bezugszeichen 8 gekennzeichnet.
• Die Teilhülse 2 liegt in radialer Richtung von innen in einem Bereich 9 an der Teilhülse 3 an. Der obere Endbereich 10 der Teilhülse 2 bildet eine Auflage für den unteren Fassungsring 5 aus der Teilhülse 3.
• Die Teilhülse 2 wird an der Teilhülse 3 mit dem Überwurfring 11 fixiert, wobei der Überwurfring 11 in einem oberen Bereich ein Innengewinde aufweist, welches in das Außengewinde 12 der Teilhülse 3 in Eingriff kommt. Der Überwurfring 11 kann gegen ein Verdrehen zur Teilhülse 3 mit Hilfe eines Sicherungslacks gesichert werden, welcher in die Bohrung 13 einbringbar ist.
• Zwischen der ersten Teilhülse 2 und der zweiten Teilhülse 3 ist ein Setzabstand 14 vorgesehen, welcher zum Einstellen des Fokus in einem definierten Arbeitsabstand des Mikroskopobjektivs 1 bei einer vorgebbaren Wellenlänge des Lichts von 903 nm dient. Falls dieser Setzabstand 14 zu verändern ist, wird an der unteren Kontaktfläche des untersten Fassungsrings 5 – welcher mit dem oberen Ende 10 der Teilhülse 2 zur Anlage kommt – durch Abdrehen etwas Material abgenommen oder es wird an dieser Stelle ein sehr dünner Distanzring eingebracht. Es könnte jedoch auch an der oberen Kontaktfläche am oberen Ende 10 der Teilhülse 2 etwas Material abgenommen werden.
• Das Bezugszeichen 15 kennzeichnet den äußeren Randstrahl des durch das Mikroskopobjektiv durchtretenden Lichts.
• Der Zusammenbau des erfindungsgemäßen Mikroskopobjektivs 1 erfolgt üblicherweise wie folgt:
  Das erste Modul, welches die Teilhülse 2 aufweist, wird montiert, indem die Fassungsringe 4 nacheinander von unten in die Teilhülse 2 eingebracht werden. Mit dem Überwurfring 16 werden die vier Fassungsringe 4 in der Teilhülse 2 fixiert, wobei die innere oben angeordnete Oberfläche des Überwurfrings 16 das Auflager für den Fassungsring 4 der Frontlinse 17 bildet. Der Überwurfring 16 weist ein Innengewinde auf, welches mit dem Außengewinde 18 der Teilhülse 2 zum Eingriff kommt.
• Die unteren sechs Fassungsringe 5 werden von unten in die Teilhülse 3 eingesetzt. Von oben werden die oberen sechs Fassungsringe 5 in die Teilhülse 3 eingesetzt, welche durch den in der Teilhülse 3 eingeschraubten Vorschraubring 6 in axialer Richtung nach oben zur Anlage kommen. Nunmehr kann die Teilhülse 3 mit den Fassungsringen 5 auf die Teilhülse 2 aufgesetzt werden. Falls der Abstand zwischen der Frontlinse 17 und der Anschlagfläche 19 des Mikroskopobjektivs 1 an dem in der Figur nicht gezeigten Mikroskop verändert werden soll, kann lediglich an der Anschlagfläche 19 etwas Material abgenommen werden.
• Zusammenfassend sei noch einmal ganz besonders hervorgehoben, das dass in der Figur gezeigte Mikroskopobjektiv 1 modular aufgebaut ist, was eine Zugänglichkeit zu dem Setzabstand 14 in ganz besonders vorteilhafter Weise schnell und einfach ermöglicht. Hierzu ist nämlich lediglich der Überwurfring 11 zu lösen bzw. zu entfernen. Dies ist insbesondere für eine eventuell vorzusehende Reparatur des Mikroskopobjektivs 1 ganz besonders vorteilhaft, weil lediglich das Modul auszubauen und auszutauschen ist, welches nämlich beschädigt ist.
• Abschließend sei ganz besonders darauf hingewiesen, dass das voranstehend erörterte Ausführungsbeispiel lediglich zur Beschreibung der beanspruchten Lehre dient, diese jedoch nicht auf das Ausführungsbeispiel einschränken.

1

Mikroskopobjektiv

2

erste Teilhülse

3

zweite Teilhülse

4

Fassungsringe in (2)

5

Fassungsringe in (3)

6

Vorschraubring

7

jeweils von einem Fassungsring (4) gefasste Linse

8

jeweils von einem Fassungsring (5) gefasste Linse

9

Anlagebereich zwischen (2) und (3)

10

oberer Endbereich von (2), auf welchem der unterste (5)

aufliegt

11

Überwurfring

12

Außengewinde der Teilhülse (3)

13

Bohrung in (11)

14

Setzabstand

15

äußerer Randstrahl

16

Überwurfring

17

Frontlinse

18

Außengewinde der Teilhülse (2)

19

Anschlagfläche von (3) am Mikroskop

Claims (18)

1. Mikroskopobjektiv mit mindestens vier Linsen und einer Objektivhülse, wobei eine Linse (7, 8, 17) in einem Fassungsring (4, 5) gefasst ist und wobei die Objektivhülse Fassungsringe (4, 5) mit gefassten Linsen (7, 8, 17) aufnimmt, dadurch gekennzeichnet, dass die Objektivhülse (2, 3) mindestens zwei Teilhülsen (2, 3) aufweist, und dass jede Teilhülse (2, 3) mindestens zwei Fassungsringe (4, 5) aufnimmt.
2. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Mittel vorgesehen ist, mit welchem die räumliche Anordnung mindestens zweier Teilhülsen (2, 3) zueinander veränderbar ist und/oder mit welchem die räumliche Anordnung mindestens zweier Fassungsringe (4, 5) zueinander veränderbar ist.
3. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Teilhülsen (2, 3) derart ausgebildet sind, dass sie voneinander trennbar sind, wodurch ein vorgebbarer Bereich des Mikroskopobjektivs (1) zugänglich ist.
4. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der vorgebbare Bereich ein Setzabstand (14) des Mikroskopobjektivs (1) ist, welcher insbesondere zum Einstellen des Abstands zweier vorgebbarer Linsenflächen des Mikroskopobjektivs (1) in einem vom Optikdesign vorgebbaren Toleranzbereich dient und welcher sich auf mindestens ein optisches Qualitätsmerkmal oder eine optische Eigenschaft bezieht.
5. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das optische Qualitätsmerkmal ein Abbildungsfehler des Mikroskopobjektivs (1) ist, insbesondere die sphärische Aberration und/oder die chromatische Aberration.
6. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass die optische Eigenschaft der Fokus in einem definierten Arbeitsabstand des Mikroskopobjektivs (1) bei einer vorgebbaren Wellenlänge des Lichts ist, vorzugsweise bei 248 nm oder bei 903 nm.
7. Mikroskopobjektiv nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass durch eine Veränderung des Setzabstands (14) des Mikroskopobjektivs (1) ein Abbildungsfehler korrigierbar oder eine optische Eigenschaft des Mikroskopobjektivs (1) einstellbar ist.
8. Mikroskopobjektiv nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass jede Linse (7, 8, 17) des Mikroskopobjektivs (1) jeweils in einem Fassungsring (4, 5) gefasst ist.
9. Mikroskopobjektiv nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass ein Fassungsring (4, 5) im Wesentlichen passgenau in einer Teilhülse (2, 3) aufnehmbar ist und/oder dass zwei benachbarte und in einer Teilhülse (2, 3) aufgenommene Fassungsringe (4, 5) unmittelbar aneinander zur Anlage kommen.
10. Mikroskopobjektiv nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass eine Abstandshülse im Wesentlichen passgenau in einer Teilhülse aufnehmbar ist.
11. Mikroskopobjektiv nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass eine Teilhülse ein von außerhalb des Mikroskopobjektivs (1) justierbares Zentrier- und/oder Schiebeglied aufweist.
12. Mikroskopobjektiv nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Teilhülsen (2, 3) reversibel zusammensetzbar sind und/oder zumindest teilweise komplementär zueinander ausgebildet sind.
13. Mikroskopobjektiv nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass drei Teilhülsen (2, 3) vorgesehen sind, dass zwischen einer die Frontlinse (17) des Mikroskopobjektivs (1) aufnehmenden Teilhülse (2) und einer zweiten Teilhülse (3) ein erster Setzabstand (14) für den Fokus in einem definierten Arbeitsabstand des Mikroskopobjektivs (1) bei einer Wellenlänge des Lichts – vorzugsweise von 903 nm – vorgesehen ist, und dass zwischen der zweiten Teilhülse (3) und einer dritte Teilhülse ein zweiter Setzabstand für den Fokus in einem definierten Arbeitsabstand des Mikroskopobjektivs (1) bei einer anderen Wellenlänge des Lichts – vorzugsweise von 248 nm – vorgesehen ist.
14. Mikroskopobjektiv nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass zwei Teilhülsen (2, 3) mit einem Überwurfring (11) in ihrer räumlichen Anordnung zueinander fixierbar sind.
15. Mikroskopobjektiv nach einem der Ansprüche 1 bis 14, gekennzeichnet durch eine Verwendung an einem Mikroskop, insbesondere an einem Inspektionsmikroskop.
16. Verfahren zum Herstellen eines Mikroskopobjektivs nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass in jede Teilhülse (2, 3) die dieser Teilhülse (2, 3) zugeordneten Fassungsringe (4, 5) montiert werden und dass zum Zusammenbau des gesamten Mikroskopobjektivs (1) die einzelnen Teilhülsen (2, 3) zusammengesetzt werden.
17. Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass zur Korrektur eines Abbildungsfehlers oder zum Einstellen einer optischen Eigenschaft des Mikroskopobjektivs (1) der Abstand einer Teilhülse (2, 3) gegenüber einer anderen Teilhülse (2, 3) und/oder der Abstand eines Fassungsrings (4, 5) gegenüber einem anderen Fassungsring (4, 5) verändert wird.
18. Verfahren nach Anspruch 16 oder 17, dadurch gekennzeichnet, dass zur Veränderung des Setzabstands (14) eine Oberfläche – insbesondere eine Kontaktfläche – eines Fassungsrings (4, 5) und/oder einer Teilhülse (2, 3) bearbeitet wird bzw. werden, vorzugsweise spanend.