JP2006106712A - 顕微鏡対物レンズ及び顕微鏡対物レンズの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 製作時間が減少され得て、既にフィットされたレンズが後からもできるだけ簡単に修正可能或いは調整可能であるような顕微鏡対物レンズを提示する。またその製造方法も提示する。
【解決手段】 少なくとも４個のレンズと対物レンズスリーブとを備えた顕微鏡対物レンズであって、レンズ（７、８、１７）が保持リング（４、５）内に嵌め込まれていて、対物レンズスリーブが、嵌め込まれたレンズ（７、８、１７）を備えた保持リング（４、５）を受容する、前記顕微鏡対物レンズにおいて、対物レンズスリーブ（２、３）が少なくとも２個の部分スリーブ（２、３）を有すること、及び、各部分スリーブ（２、３）が少なくとも２個の保持リング（４、５）を受容すること。
【選択図】 図１

Description

本発明は、少なくとも４個のレンズと、対物レンズスリーブとを備えた顕微鏡対物レンズに関する。レンズは保持リング内に嵌め込まれている。対物レンズスリーブは、嵌め込まれたレンズを備えた保持リングを受容する。更に本発明は顕微鏡対物レンズの製造方法に関する。

冒頭に掲げた形式の顕微鏡対物レンズは以前より従来技術から知られている。顕微鏡対物レンズを製作するには保持リング内に嵌め込まれている個々のレンズが対物レンズスリーブ内に取り入れられ、この際、フィットされ、それによりそれらのレンズが互いにセンタリングされ、予め規定可能な或いは所望の間隔にもたらされ得る。フィットとしては、保持リングの外側の円筒面と対物レンズスリーブの内側の円筒面とが、全対物レンズの光学的な長期安定性を保証するために正確に合致するように加工されることとして特に理解され得る。この際、正確に合致する加工はほぼ３μｍから５μｍまでのサイズオーダー内に位置する精度領域内で行われ得る。この際、レンズ欠陥は適切な設定技術により修正され、それにより全システムはできるだけ少ない収差を有する。対物レンズの修正のためには、通常、例えばスライド要素の形式の修正要素が設けられている。

しかし像欠陥（イメージデフェクト）がスライド要素を用いて修正され得ないことも起こり得る。そのような場合には既に取り付けられた保持リングがレンズと共に対物レンズスリーブから取り除かれなくてはならない。この際、殆ど全顕微鏡対物レンズが再び分解されなくてはならないということが必須であり得る。その後、適切な保持リングの表面において、例えば、幾らか材料が取り除かれる或いは旋削され得て、その結果、隣接する保持リングのレンズに対するこの保持リングのレンズの間隔が減少される。

多数のレンズを備えた顕微鏡対物レンズでは全てのレンズ或いはレンズグループのアクセス可能性がもはや簡単には提供されてなく、これは、光学系・計算により、それに含まれる光学系にとって僅かな許容差が予め規定されている場合に特にそうである。既にフィットされたレンズの取り出し及び指向付けには特に時間がかかり、また光学コンポーネントにおいて粗悪品を必然的に伴うことが多い。従って、複数のレンズを有する高品質の顕微鏡対物レンズの取り付けには特に時間がかかり、それにより高い生産コストと結び付いている。それに加え、その取り付けは、顕微鏡対物レンズを取り付ける者の器用さと根気を特に要求する。

独国特許発明第１９８０４４７０Ｃ１号明細書 独国特許出願公開第１９９３１９４９Ａ１号明細書 欧州特許第０４９１２８９Ｂ１号明細書 欧州特許出願公開第１１５０１５３Ａ１号明細書

従って本発明の基礎を成す課題は、製作時間が減少され得て、既にフィットされたレンズが後からもできるだけ簡単に修正可能或いは調整可能であるような、冒頭に掲げた形式の顕微鏡対物レンズ及び顕微鏡対物レンズの製造方法を提示及び構成することである。

冒頭に掲げた形式をもった本発明に従う顕微鏡対物レンズは前記の課題を請求項１に記載した特徴により解決する。それによるとそのような顕微鏡対物レンズは、対物レンズスリーブが少なくとも２個の部分スリーブを有すること、及び、各部分スリーブが少なくとも２個の保持リングを受容することにより特徴付けられている。

本発明に従い、先ず、特に少なくとも２個の部分スリーブを設けることにより像欠陥からの解放が多大に軽減され得て、その理由は、既に取り付けられた全ての保持リングが対物レンズスリーブ或いは顕微鏡対物レンズから取り外される必要がないためである。更に、一方の部分スリーブ内にまとめられている個々の保持リングだけがレンズと共に取り外され得て、この際、他方の部分スリーブ内にまとめられている保持リングはレンズと共に他方の部分スリーブから取り除かれる必要はない。顕微鏡対物レンズのこのモジュール状の構造形式は、つまり、場合によっては１個のモジュールだけを分解すればよいということを可能にする。他のスリーブ内の、欠陥なく既に取り付けられている他のモジュール、つまりはレンズを備えた保持リングは、変更されないままである。それ故、修正時には、不変の部分スリーブを嵌め込むために必要な製作時間が特に有利にも節約され得る。その結果、少なくとも２個の部分スリーブを設けることは顕微鏡対物レンズの設定或いは取り付け時の多大な容易化を可能とする。

基本的には依然として一体部品の対物レンズスリーブが設けられ得て、この対物レンズスリーブ内には少なくとも２個の部分スリーブが取り入れられ得て、それらの部分スリーブ内には各々個々の保持リングが取り入れられる。それに対して選択的に少なくとも２個の部分スリーブだけを設けることも可能で、これらの部分スリーブは、取り付けられた状態で対物レンズスリーブを構成し、或いは、対物レンズスリーブの機能を満たす。極めて一般的には、少なくとも２個の部分スリーブを設けることにより、取り付け時、また特に像欠陥の修正時に、自由度の数の追加が提供されていて、それにより特に有利には、時間の節約、及びそれと関連してコストの減少が達成可能である。場合により実施すべき顕微鏡対物レンズの修理に関しても、本発明に従う顕微鏡対物レンズの構造形式は長所をもたらしてくれる。つまり例えば顕微鏡対物レンズがフロントレンズにおいて損傷を有する場合、フロントレンズを受容している部分スリーブだけが顕微鏡対物レンズから取り外されればよい。そしてこの部分スリーブの損傷されているレンズだけが取り外されて取り替えられ、それにより特に有利にはより短時間でより低コストで修理が実施され得る。

有利な実施形態では、少なくとも２個の部分スリーブの互いの空間的な配置構成を変更することのできる少なくとも１個の手段が設けられている。つまり例えば第１部分スリーブが雄ネジを有し得て、この雄ネジ上にはこの第１部分スリーブに隣接する第２部分スリーブが雌ネジを用いて螺設可能である。合目的にはそれらのネジ山が小さなピッチを有していて、それにより２個の部分スリーブを互いに捩るだけでそれらの軸方向の間隔が変更可能である。２個の部分スリーブの所望の間隔或いは所望の相対位置決めが確定された場合、それらの手段は従来の手段で捩れに対して保護され得て、例えば一方の部分スリーブ内に無頭ネジを設けることによってであり、この無頭ネジは締め付けられた状態で他方の部分スリーブと接触することになる。更に、少なくとも２個の保持リングの互いの空間的な配置構成を変更することのできる少なくとも１個の手段が設けられ得る。この際、それらの手段は特許文献１からの構成要素を有し得て、その開示内容はこの関連において完全にここに取り込まれる。軸方向としてはこの関連において顕微鏡対物レンズの光学軸線の方向と理解され、半径方向としてはそれに対して垂直の方向と理解される。

特に有利には部分スリーブが互いに分離可能であるように形成されている。それにより部分スリーブを適切に形成することで顕微鏡対物レンズの予め規定可能な領域がアクセス可能（接近・到達可能）である。このことは、一方では顕微鏡対物レンズの製作時の取り付けに該当し、他方では場合による修理の場合に該当する。

予め規定可能な領域とは顕微鏡対物レンズの設定間隔（セッティングディスタンス）であり得る。この意味における設定間隔とは、光学系デザインにより定義されている許容差範囲内で顕微鏡対物レンズの予め規定可能な２つのレンズ面による間隔を調節するために特に用いられる。この設定間隔は少なくとも１つの光学的品質特性又は光学的性質に関するものである。

光学的品質特性としては顕微鏡対物レンズの像欠陥が問題になり、特に、球面収差、非点収差、コマ収差、歪み、及び／又は、色収差である。場合により修正時に互いに依存するこれらの模範的な像欠陥は顕微鏡対物レンズの生産時に理想的には全てに関して除去されなくてはならないので、場合により複数の光学的品質特性のために光学系デザインにより設定間隔が予め規定される。

光学的性質としては定義された光の波長において顕微鏡対物レンズの定義された作動距離内の焦点が特に問題となる。このことは例えば検査顕微鏡用の同焦点顕微鏡対物レンズにおいて（検査用の）波長２４８ｎｍと（自動焦点モジュール用の）波長９０３ｎｍという両方の波長であり得る。

顕微鏡対物レンズの設定間隔の変更により、像欠陥が修正可能である、又は、顕微鏡対物レンズの光学的性質が調節可能である。このことは例えば、隣接する２個の保持リング及び／又は隣接する２個の部分スリーブの表面或いはコンタクト面を加工することにより行われる。更には、部分スリーブに接触することになる保持リングのコンタクト面が加工されること、又は、保持リングに接触することになる部分スリーブのコンタクト面が加工されることも想定可能である。加工の形式としては、例えば、旋削、又は、一般的に切削加工が意図され得る。

顕微鏡対物レンズが光学的な長期安定性を有するために、保持リングは実質的に部分スリーブ内に正確に合致して受容可能である。部分スリーブ内に受容されていて隣接する２個の保持リングは互いに直接的に接触することになる。この関連で正確に合致するとは、マイクロメートル領域内に位置する精度を伴う、部分スリーブの内径に対する保持リングの外径の適合を意味する。

本発明に従う顕微鏡対物レンズは間隔スリーブをも有して得て、この間隔スリーブの方は実質的に部分スリーブ内に正確に合致して受容可能である。このような間隔スリーブは、特に、顕微鏡対物レンズがレンズ又はその他の光学コンポーネント（例えば、フィルタ、絞りなど）を伴わない領域を有するべきで、間隔スリーブに隣接する光学コンポーネントの予め規定可能な間隔が調節されるべき場合に設けられ得る。

完成された顕微鏡対物レンズにおける１つの又は複数の像欠陥が少なくとも予め規定可能な限界内で修正可能であるため、及び／又は、例えば様々なカバーグラス厚或いはイミッション媒体に適合するための修正可能性が可能であるために、特に有利には部分スリーブが顕微鏡対物レンズの外から調整可能なセンタリング要素及び／又はスライド要素を有する。このセンタリング要素及び／又はスライド要素は、例えば特許文献１の意味における回転可能に支持されているローレットリングを使い、反復可能に調整可能であり得る。これに対して選択的にそれらは生産時に１度だけ無頭ネジを使って調節可能であり得る。

特に有利には部分スリーブが可逆に組み付け可能に形成されている。このような構造形式では、特に有利には、完成された顕微鏡対物レンズが、例えば修理の場合、後から簡単に且つ迅速にその個々のモジュール構成部品に分解され得る。隣接する２個の部分スリーブをできるだけ高精度で相対的に配置構成することを可能にするために、隣接する２個の部分スリーブは、特に有利には、少なくとも部分的に互いに相補的に形成されている。そのために２個の部分スリーブ間には少なくとも１つの軸方向及び／又は半径方向の正確に合致する接触面が設けられ得る。つまり例えば第１部分スリーブの端部は第１外径をもって形成されている。第２部分スリーブの端部は第１外径と比較してより大きな外径を有し、第１部分スリーブの第１外径に実質的に対応する内径を有する。それによりこれらの２個の部分スリーブは組み付けられた状態で半径方向において相補的に接触することになる。軸方向において第２部分スリーブの端部側の表面は第１部分スリーブのフランジ又はより大きな外半径を有する突出部に接触することになり得る。

特に有利には顕微鏡対物レンズの具体的な実施形態が３個の部分スリーブを有する。顕微鏡対物レンズのフロントレンズを受容する部分スリーブと第２部分スリーブとの間には、光の第１波長において顕微鏡対物レンズの定義された作動距離内の焦点のための第１設定間隔が設けられている。この光の第１波長は９０３ｎｍであり得て、特許文献２の意味における自動焦点のために用いられ得る。第２部分スリーブと第３部分スリーブとの間には、光の他の波長において顕微鏡対物レンズの定義された作動距離内の焦点のための第２設定間隔が設けられている。この際、ＤＵＶ（Deep-Ultra-Violett）領域内に位置する波長２４８ｎｍに係るものであり得る。そのような顕微鏡対物レンズは特に有利には半導体産業用のウェーハ検査時に使用され、この際、そのようなウォーターイミッション顕微鏡対物レンズは１.２０の開口数を有し、従って特に高い光学解像力を有する。それ故、本発明に従う顕微鏡対物レンズは特に検査顕微鏡における使用に適している。しかし本発明に従う顕微鏡対物レンズは光学顕微鏡にも使用され得て、この光学顕微鏡は高い３次元光学解像力を有し、例えば特許文献３及び特許文献４の意味における２重共焦点形走査顕微鏡である。

特に有利には各々２個の部分スリーブが連結リング（ユニオンリング）を用いてそれらの空間的な配置構成に関して互いに固定可能である。それに対応し、部分スリーブには突出部及び／又は雄ネジが備えられている。連結リングは対応的に形成されている少なくとも１つの雌ネジを有する。

方法の観点において先に掲げた課題は特許請求項１６に記載した特徴により解決される。それによると、請求項１〜１４のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズの製造方法において、各部分スリーブ内にこの部分スリーブに割り当てられている保持リングが取り付けられること、及び、全顕微鏡対物レンズを組み立てるために個々の部分スリーブが組み付けられることにより特徴付けられている。既に示唆したように、本発明に従う顕微鏡対物レンズのモジュール式の構造形式は、個々のモジュール、つまりは保持リングを備えた部分スリーブの取り付けを可能にし、この際、まだ存在する像欠陥の修正は個々のモジュールを全顕微鏡対物レンズに組み合わせた後に比較的簡単に且つ迅速に実施され得て、この際、顕微鏡対物レンズの１つの又は複数の他のモジュールを分解する必要はない。

つまり、例えば像欠陥の修正のため又は顕微鏡対物レンズの光学的性質の調節のために、一方の部分スリーブの、他方の部分スリーブに対する間隔、及び／又は、第１部分スリーブの一方の保持リングの、第２部分スリーブの他方の保持リングに対する間隔が変更され得る。それ故、個々の保持リングは部分スリーブから取り外される必要はなく、それによりこの種類の修正が特に簡単に行われ得る。

顕微鏡対物レンズの設定間隔が変更されるべき場合、特に有利には保持リング及び／又は部分スリーブの表面が加工され得る。そのためには特に保持リング或いは部分スリーブのコンタクト面が問題になる。表面自体の加工即ち変更は例えば旋盤において切削により行われる。

本発明のセオリを好ましい形式で更に構成する及び他に構成するという様々な可能性が存在する。そのためには、一方では特許請求項１に基づくものであり他方では図面に基づく本発明の有利な実施形態の以下の説明が参照とされる。図面に基づく本発明の有利な実施形態の説明と関連し、本発明のセオリの更なる構成及び他の構成も説明される。

図１に示されている顕微鏡対物レンズ１は非図示の検査顕微鏡内で使用するために設けられている。顕微鏡対物レンズ１は、本発明に従い、２個の部分スリーブ、即ち第１部分スリーブ２と第２部分スリーブ３とを含んでいる。２個の部分スリーブ２、３の各々は多数の保持リングを有している。第１部分スリーブ２は４個の保持リング４を受容し、第２部分スリーブ３は１２個の保持リング５と前捩込リング６とを受容する。４個の保持リング４に嵌め込まれている各々のレンズは符号７で示されていて、１２個の保持リング５に嵌め込まれている各々のレンズは符号８で示されている。

部分スリーブ２は半径方向で領域９において内側から部分スリーブ３に接している。部分スリーブ２の上端領域１０は部分スリーブ３における下側の保持リング５のための支台を形成する。

部分スリーブ２は連結リング１１を用いて部分スリーブ３に固定されていて、この際、連結リング１１は上側領域で雌ネジを有し、この雌ネジは部分スリーブ３の雄ネジ１２と係合する。連結リング１１は、部分スリーブ３に対する捩れに対し、保護ラックを使って保護され得て、この保護ラックは穴１３内に取り入れられ得る。

第１部分スリーブ２と第２部分スリーブ３との間には設定間隔１４が設けられていて、この設定間隔は、予め規定可能な９０３ｎｍという光の波長において顕微鏡対物レンズ１の定義された作動距離内で焦点を調節するために用いられる。この設定間隔１４が変更されなくてはならない場合、部分スリーブ２の上端１０と接触することになる最も下側の保持リング５の下側コンタクト面において旋削により幾らか材料が取り去られる、又は、この個所において極めて薄い間隔リングが取り入れられる。しかし部分スリーブ２の上端１０における上側コンタクト面においても幾らか材料が取り去られ得る。

符号１５は、顕微鏡対物レンズを通過する光の外側の周縁光線を示している。

本発明に従う顕微鏡対物レンズ１の組み立ては、通常、次のように行われる：

保持リング４が相前後して下から部分スリーブ２内に取り入れられることにより、部分スリーブ２を有する第１モジュールが取り付けられる。連結リング１６を用い、４個の保持リング４が部分スリーブ２内で固定され、この際、連結リング１６において内側で上側に配置されている表面はフロントレンズ１７の保持リング４用の支台を形成する。連結リング１６は雌ネジを有し、この雌ネジは部分スリーブ２の雄ネジ１８と係合する。

下側の６個の保持リング５が下から部分スリーブ３内に嵌め入れられる。上側の６個の保持リング５は上から部分スリーブ３内に嵌め入れられ、これらは、部分スリーブ３内に螺入される前捩込リング６により軸方向で上に向かって接触することになる。これで、保持リング５を備えた部分スリーブ３が部分スリーブ２上に装着され得る。図面では非図示の顕微鏡においてフロントレンズ１７と顕微鏡対物レンズ１のストッパ面１９との間の間隔が変更されるべき場合には、ストッパ面１９においてだけ幾らか材料が取り去られ得る。

まとめとして今一度特に強調されるべきこととして、図面に示されている顕微鏡対物レンズ１がモジュール式で構成されていて、このことは設定間隔１４に対するアクセス性を特に有利に迅速に且つ簡単に可能にするということがある。そのためには、つまり、連結リング１１だけが弛緩される或いは取り除かれなくてはならない。このことは、場合により意図すべき顕微鏡対物レンズ１の修理にとって特に有利であり、その理由は、損傷されているモジュールだけが取り外されて交換されるためである。

最後に特に指摘すべきこととして、前述の実施形態は請求されているセオリを説明するためだけに用いられ、そのセオリがこの実施形態に制限されるものではないということがある。

本発明に従う実施形態を示す図であり、そこでは左部分に対物レンズの外観図が示され、右部分に対物レンズの断面図が示されている。

符号の説明

１ 顕微鏡対物レンズ
２ 第１部分スリーブ
３ 第２部分スリーブ
４ 保持リング
５ 保持リング
６ 前捩込リング
７ レンズ
８ レンズ
９ 領域
１０ 上端領域
１１ 連結リング
１２ 雄ネジ
１３ 穴
１４ 設定間隔
１５ 周縁光線
１６ 連結リング
１７ フロントレンズ
１８ 雄ネジ
１９ ストッパ面

Claims (18)

1. 少なくとも４個のレンズと、対物レンズスリーブとを備えた顕微鏡対物レンズであって、レンズ（７、８、１７）が保持リング（４、５）内に嵌め込まれていて、対物レンズスリーブが、嵌め込まれたレンズ（７、８、１７）を備えた保持リング（４、５）を受容する、前記顕微鏡対物レンズにおいて、対物レンズスリーブ（２、３）が少なくとも２個の部分スリーブ（２、３）を有すること、及び、各部分スリーブ（２、３）が少なくとも２個の保持リング（４、５）を受容することを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
2. 少なくとも２個の部分スリーブ（２、３）の互いの空間的な配置構成を変更することのできる少なくとも１個の手段が設けられている、及び／又は、少なくとも２個の保持リング（４、５）の互いの空間的な配置構成を変更することのできる少なくとも１個の手段が設けられていることを特徴とする、請求項１に記載の顕微鏡対物レンズ。
3. 部分スリーブ（２、３）が互いに分離可能であるように形成されていて、それにより顕微鏡対物レンズ（１）の予め規定可能な領域がアクセス可能であることを特徴とする、請求項１又は２に記載の顕微鏡対物レンズ。
4. 予め規定可能な領域が顕微鏡対物レンズ（１）の設定間隔（１４）であり、この設定間隔が、光学系デザインにより予め規定可能な許容差範囲内で顕微鏡対物レンズ（１）の予め規定可能な２つのレンズ面による間隔を調節するために特に用いられ、この設定間隔が少なくとも１つの光学的品質特性又は光学的性質に関していることを特徴とする、請求項３に記載の顕微鏡対物レンズ。
5. 光学的品質特性が顕微鏡対物レンズ（１）の像欠陥であり、特に球面収差及び／又は色収差であることを特徴とする、請求項４に記載の顕微鏡対物レンズ。
6. 光学的性質が、好ましくは２４８ｎｍ又は９０３ｎｍである予め規定可能な光の波長において顕微鏡対物レンズ（１）の定義された作動距離内の焦点であることを特徴とする、請求項４又は５に記載の顕微鏡対物レンズ。
7. 顕微鏡対物レンズ（１）の設定間隔（１４）の変更により、像欠陥が修正可能である、又は、顕微鏡対物レンズ（１）の光学的性質が調節可能であることを特徴とする、請求項４〜６のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。
8. 顕微鏡対物レンズ（１）の各レンズ（７、８、１７）が、各々、保持リング（４、５）内に嵌め込まれていることを特徴とする、請求項１〜７のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。
9. 保持リング（４、５）が実質的に部分スリーブ（２、３）内に正確に合致して受容可能である、及び／又は、部分スリーブ内に受容されていて隣接する２個の保持リング（４、５）が互いに直接的に接触することを特徴とする、請求項１〜８のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。
10. 間隔スリーブが実質的に部分スリーブ内に正確に合致して受容可能であることを特徴とする、請求項１〜８のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。
11. 部分スリーブが顕微鏡対物レンズ（１）の外から調整可能なセンタリング要素及び／又はスライド要素を有することを特徴とする、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。
12. 部分スリーブ（２、３）が、可逆に組み付け可能である、及び／又は、少なくとも部分的に互いに相補的に形成されていることを特徴とする、請求項１〜１１のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。
13. ３個の部分スリーブ（２、３）が設けられていること、顕微鏡対物レンズ（１）のフロントレンズ（１７）を受容する部分スリーブ（２）と第２部分スリーブ（３）との間には、好ましくは９０３ｎｍの光の波長において顕微鏡対物レンズ（１）の定義された作動距離内の焦点のための第１設定間隔（１４）が設けられていること、及び、第２部分スリーブ（３）と第３部分スリーブとの間には、好ましくは２４８ｎｍの光の他の波長において顕微鏡対物レンズ（１）の定義された作動距離内の焦点のための第２設定間隔が設けられていることを特徴とする、請求項１〜１２のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。
14. ２個の部分スリーブ（２、３）が連結リング（１１）を用いてそれらの空間的な配置構成に関して互いに固定可能であることを特徴とする、請求項１〜１３のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。
15. 顕微鏡、特に検査顕微鏡において使用されていることを特徴とする、請求項１〜１４のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。
16. 請求項１〜１４のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズの製造方法において、各部分スリーブ（２、３）内にこの部分スリーブ（２、３）に割り当てられている保持リング（４、５）が取り付けられること、及び、全顕微鏡対物レンズ（１）を組み立てるために個々の部分スリーブ（２、３）が組み付けられることを特徴とする方法。
17. 像欠陥の修正のため又は顕微鏡対物レンズ（１）の光学的性質の調節のために、一方の部分スリーブ（２、３）の、他方の部分スリーブ（２、３）に対する間隔、及び／又は、一方の保持リング（４、５）の、他方の保持リング（４、５）に対する間隔が変更されることを特徴とする、請求項１６に記載の方法。
18. 設定間隔（１４）を変更するために、保持リング（４、５）及び／又は部分スリーブ（２、３）の表面、特にコンタクト面が好ましくは切削によって加工されることを特徴とする、請求項１６又は１７に記載の方法。

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