JP2008089996A - レンズユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のレンズユニット(1)は、気体間隙を介して近接配置され、その気体間隙へ有効径の略等しい屈折面を向けた1対のレンズ部材(G3,G4)と、前記1対のレンズ部材の一方である第1レンズ部材(G4)を保持する第1保持枠(B4)と、前記1対のレンズ部材の他方である第2レンズ部材(G3)を保持する第2保持枠(B3)とを備え、前記第1レンズ部材(G3)の外径φ1は、前記2レンズ部材(B4)の外径φ2に対しφ1>φ2の関係を満たし、前記第1保持枠(B4)による前記第1レンズ部材(G4)の保持位置は、前記第2保持枠(B3)による前記第2レンズ部材(G3)の保持位置よりも外周側であることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
前記第2レンズ部材は、前記気体間隙に凸の屈折面を向けたレンズ部材であることが望ましい。
また、前記第1レンズ部材のうち前記第2レンズ部材より外周側に位置する周縁部の光軸方向の厚さd1は、前記第1レンズ部材の有効径内の形状を延長してできる仮想周縁部の光軸方向の厚さd2に対しd1≦d2の関係を満たすことが望ましい。
また、前記第1レンズ部材及び前記第2レンズ部材によって構成される光学系の使用波長には、波長400nm以下の光が含まれることが望ましい。
また、前記1対のレンズ部材を含むレンズ群には、複数波長に対する色消し機能の少なくとも一部が付与されることが望ましい。
顕微鏡対物レンズの使用波長には400nm以下の紫外波長が含まれる。使用波長は例えば770nmと248nmの2波長であり、顕微鏡対物レンズの光学設計ではこれら2波長に対し色消しが図られる。また、顕微鏡対物レンズの倍率MはM≧50、開口数NAはNA≧0.75、レンズ全長LはL≒60mmである。
また、第5バレルB5と第6バレルB6も、親子構造をしている。第5バレルB5は第6バレルB6の子バレルであって、親である第6バレルB6を介して第6バレルB6と共に他のバレル及び鏡筒1に対し位置決めされる。これによって、エアギャップ層を挟んで配置すべき第5レンズG5と第6レンズG6との位置決め精度は相対的に高くなる。
第3レンズG3と第4レンズG4とのうち、エアギャップ層を挟む2つの屈折面はその有効径が略等しいが(図1参照)、図2に示すとおり、エアギャップ層に凹面を向けたレンズ(第4レンズG4)の外径φ4は、エアギャップ層に凸面を向けたレンズ(第3レンズG3)の外径φ3より大きく確保されており、φ4>φ3の関係を満たす。これにより、第4バレルB4による第4レンズG4の保持位置Eを、第3バレルB3による第3レンズG3の保持位置Dよりも外周側とし、両者を径方向に分離することができる。
図3は、図1に示した第5レンズG5及び第6レンズG6とその周辺を抽出した図である。但し、バレル及びレンズは光軸の周りに回転対称な形状をしているので、図3では部分的に図示を省略した。
図4は、図1に示した第7レンズG7及び第8レンズG8及び第9レンズG9とその周辺を抽出した図である。但し、バレル及びレンズは光軸の周りに回転対称な形状をしているので、図4では部分的に図示を省略した。
また、以上の第8レンズG8と第7レンズG7との関係は、第8レンズG8と第9レンズG9との間にも同様に当てはまる(なぜなら、第9レンズG9の外径φ9は、第7レンズG7の外径φ7と略等しい)。したがって、本実施形態では、第8レンズG8及び第9レンズの全体と同等の厚さの空間に、第8バレルB8と第9バレルB9の主要部が収まる。
第10レンズG10と第11レンズG11とのうち、エアギャップ層を挟む2つの屈折面はその有効径が等しいが(図1参照)、図5に示すとおり、エアギャップ層に凹面を向けたレンズ(第10レンズG10)の外径φ10は、エアギャップ層に凸面を向けたレンズ(第11レンズG11)の外径φ11より大きく確保されており、φ10>φ11の関係を満たす。これにより、第10バレルB10による第10レンズG10の保持位置Eを、第11バレルB11による第11レンズG11の保持位置Dよりも外周側とし、両者を径方向に分離することができる。
図6は、図1に示した第12レンズG12及び第13レンズG13とその周辺を抽出した図である。但し、バレル及びレンズは光軸の周りに回転対称な形状をしているので、図6では部分的に図示を省略した。
以上、本実施形態の顕微鏡対物レンズは、エアギャップ層に凹面を向けたレンズの外径を拡大し、そのレンズの保持代を外周側へ変位させたので、各レンズのバレルを小さなスペースに収めることが可能となり、高倍率化(M≧50)、高開口数化(NA≧0.75)、複数波長に対する色消しを図ったにも拘わらず、顕微鏡対物レンズの全長が抑えられる(L≒60mm)。また、親子バレルの接合には、接着剤による接合、ビス止め、押さえ環などの方法が適用できるが、本実施形態では接着剤を用いた。
また、本実施形態の顕微鏡対物レンズには、親子バレル構造が適用されたが、親子バレル構造を仮に適用しなかったとしても、全長をコンパクトに抑えることができる。
Claims (7)
- 気体間隙を介して近接配置され、その気体間隙へ有効径の略等しい屈折面を向けた1対のレンズ部材と、
前記1対のレンズ部材の一方である第1レンズ部材を保持する第1保持枠と、
前記1対のレンズ部材の他方である第2レンズ部材を保持する第2保持枠とを備え、
前記第1レンズ部材の外径φ1は、
前記2レンズ部材の外径φ2に対しφ1>φ2の関係を満たし、
前記第1保持枠による前記第1レンズ部材の保持位置は、
前記第2保持枠による前記第2レンズ部材の保持位置よりも外周側である
ことを特徴とするレンズユニット。 - 請求項1に記載のレンズユニットにおいて、
前記第1レンズ部材は、
前記気体間隙に凹の屈折面を向けたレンズ部材であり、
前記第2レンズ部材は、
前記気体間隙に凸の屈折面を向けたレンズ部材である
ことを特徴とするレンズユニット。 - 請求項2に記載のレンズユニットにおいて、
前記第1レンズ部材のうち前記第2レンズ部材より外周側に位置する周縁部の光軸方向の厚さd1は、
前記第1レンズ部材の有効径内の形状を延長してできる仮想周縁部の光軸方向の厚さd2に対しd1≦d2の関係を満たす
ことを特徴とするレンズユニット。 - 請求項1〜請求項3の何れか一項に記載のレンズユニットにおいて、
前記1対のレンズ部材を含む光学系は、
物体の拡大像を形成する顕微鏡対物レンズである
ことを特徴とするレンズユニット。 - 請求項1〜請求項4の何れか一項に記載のレンズユニットにおいて、
前記第1レンズ部材及び前記第2レンズ部材によって構成される光学系の使用波長には、
波長400nm以下の光が含まれる
ことを特徴とするレンズユニット。 - 請求項1〜請求項5の何れか一項に記載のレンズユニットにおいて、
前記1対のレンズ部材を含むレンズ群には、
複数波長に対する色消し機能の少なくとも一部が付与される
ことを特徴とするレンズユニット。 - 請求項6に記載のレンズユニットにおいて、
前記1対のレンズ部材の前記気体間隙は、
前記レンズ群に前記色消し機能の少なくとも一部を付与するための微小距離に設定される
ことを特徴とするレンズユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006270945A JP2008089996A (ja) | 2006-10-02 | 2006-10-02 | レンズユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006270945A JP2008089996A (ja) | 2006-10-02 | 2006-10-02 | レンズユニット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008089996A true JP2008089996A (ja) | 2008-04-17 |
Family
ID=39374205
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006270945A Pending JP2008089996A (ja) | 2006-10-02 | 2006-10-02 | レンズユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008089996A (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002311332A (ja) * | 2001-04-06 | 2002-10-23 | Leica Microsystems Semiconductor Gmbh | 検査用顕微鏡およびそのための対物レンズ |
JP2003021774A (ja) * | 2001-07-10 | 2003-01-24 | Olympus Optical Co Ltd | 対物レンズの組立方法 |
JP2003090945A (ja) * | 2001-07-10 | 2003-03-28 | Olympus Optical Co Ltd | レンズ保持装置および顕微鏡用対物レンズ |
JP2004219608A (ja) * | 2003-01-14 | 2004-08-05 | Kurobane Nikon:Kk | 対物レンズ及びこの対物レンズを備える顕微鏡 |
JP2006106712A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-20 | Leica Microsystems Cms Gmbh | 顕微鏡対物レンズ及び顕微鏡対物レンズの製造方法 |
-
2006
- 2006-10-02 JP JP2006270945A patent/JP2008089996A/ja active Pending
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