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Die
Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements
nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 sowie ein Halbleiterbauelement,
welches mit einem derartigen Verfahren hergestellt wurde.
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Halbleiterbauelemente,
insbesondere Membransensoren sowie Verfahren zur Herstellung von Membransensoren
auf der Basis von Halbleiterträgern,
zum Beispiel von Siliziumwafern sind bereits bekannt. Dabei werden
beispielsweise auf den Halbleiterträger flächige poröse Membranbereiche als Trägerschicht
für Sensorstrukturen
angeordnet und unter der Membran eine Kavität zur insbesonderen thermischen
Isolation der Membran erzeugt.
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Die
zur Zeit auf dem Markt befindlichen Membransensoren sind zumeist
als Dünnschichtmembransensoren
realisiert. Hierzu werden Schichtsysteme in Dicken zwischen einigen
10 nm und einigen μm
auf einem Trägersubstrat
abgeschieden und danach das Trägersubstrat
in vorgegebenen Bereichen entfernt, um freitragende Membranbereiche
zu erhalten. Im Membranzentrum können
dann Sensorstrukturelemente angeordnet werden.
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Eine
weitere Möglichkeit
zur Freilegung der Membran ist die Oberflächenmikromechanik (OMM), bei
welcher im allgemeinen eine Opferschicht verwendet wird, die vor
der Membranabscheidung auf der Vorderseite eines Trägersubstrats
aufgebracht wird. Die Opferschicht wird später von der Vorderseite des
Sensors durch "Löseöffnungen" in der Membran entfernt,
wodurch eine freitragende Struktur entsteht. Diese oberflächenmikromechanischen
Verfahren sind aufgrund der Notwendigkeit von separaten Opferschichten
vergleichsweise aufwändig.
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Aus
der deutschen Patentanmeldung
DE 100 32 579 A1 ist ein Verfahren zur Herstellung
eines Halbleiterbauelements sowie eines nach dem Verfahren hergestellten
Halbleiterbauelements bekannt, bei welchem für insbesondere einen Membransensor eine
Schicht aus porösiziertem
Halbleiterträgermaterial über einer
Kavität
angeordnet ist. Zur Herstellung der Kavität werden dabei mittels entsprechender Ätzparameter
zwei Schichten unterschiedlicher Porosität hergestellt. Während die
erste Schicht eine geringere Porosität aufweist und sich bei einem
folgenden ersten Temperschritt schließt, nimmt die Porosität der zweiten
Schicht während
des Temperschritts derart zu, dass eine Kavität bzw. Kaverne gebildet wird.
Auf der sich so aus der ersten porösen Schicht gebildeten ersten
Membranschicht wird in einem zweiten Prozessschritt bei einer höheren Tempertemperatur eine
verhältnismäßig dicke
Epitaxieschicht als zweite Membranschicht aufgewachsen.
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In
Erweiterung der
DE
100 32 579 A1 kann auch vorgesehen sein, während des
ersten Temperschritts eine dünne
Epitaxieschicht aufzuwachsen, um sicherzustellen, dass sich die
poröse
erste Schicht, die als Startschicht für das Epitaxiewachstum der
dicken Epitaxieschicht dient, vollständig schließt. Bevorzugt wird dabei eine
geringere Wachstumsrate bei einer niedrigeren Temperatur im Vergleich
zu der anschließenden
Abscheidung der dicken Epitaxieschicht gewählt.
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Durch
die so geschilderten Maßnahmen kann
der Aufbau eines OMM-Halbleiterbauelements erheblich vereinfacht
werden, da eine zusätzlich
aufgebrachte Opferschicht nicht erforderlich ist und zudem die Membran
selbst bzw. ein wesentlicher Teil der Membran aus Halbleiterträgermaterial
erzeugt wird.
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Es
hat sich jedoch in Versuchen herausgestellt, dass eine wenigstens
teilweise poröse
Membran bereits während
der Herstellung Schaden nehmen kann bzw. sich auch im Anwendungsfall
eine Beschädigung
unter herkömmlichen
Einsatzbedingungen nicht immer sicher vermeiden lässt. Zur
Vermeidung einer Membranschädigung
bei der Herstellung oder bei regelmäßig auftretenden Anwendungsfällen wird
in der
DE 101 38 759
A1 ein Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements
mit einem Halbleiterträger
vorgeschlagen, bei dem der Halbleiterträger im Bereich der porösen Membranschicht eine
zum Bereich der späteren
Kavität
unterschiedliche Dotierung erhält.
Nach der Dotierung wird das Halbleitermaterial der Membranschicht
porösiziert und
das Halbleitermaterial unter dem porösizierten Halbleitermaterial
zur Bereitstellung einer Kavität
wenigstens teilweise entfernt bzw. umgelagert.
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Aus
der
DE 100 30 352
A1 ist ein mikromechanisches Bauelement bekannt, welches
einen Tragkörper
aus Silizium und eine bereichsweise freitragende, mit dem Tragkörper verbundene
Membran aufweist. Zur Stützung
ist die Membran bereichsweise oberflächlich mit wenigstens einem
Stabilisierungselement versehen. Zur Bildung der bereichsweise freitragenden
Membran ist vorgesehen, das Silizium in einem ersten Bereich zu
porösizieren
und nach Abscheidung der Membranschicht selektiv durch eine Ätzöffnung zu
entfernen.
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Vorteile der
Erfindung
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Die
Erfindung beschreibt ein Herstellungsverfahren eines insbesondere
mikromechanischen Halbleiterbauelement sowie ein mit diesem Verfahren
hergestelltes Halbleiterbauelement. Zur Herstellung des Halbleiterbauelements
ist vorgesehen, dass auf einem Halbleiterträger ein strukturiertes Stabilisierungselement
mit wenigstens einer Öffnung
erzeugt wird. Die Öffnung
ist dabei so angebracht, dass sie den Zugang zu einem mit einer
ersten Dotierung aufweisenden ersten Bereich im Halbleiterträger erlaubt.
Weiterhin ist ein selektives Herauslösen wenigstens eines Teils
des mit der ersten Dotierung versehenen Halbleitermaterials aus
dem ersten Bereich des Halbleiterträger vorgesehen. Darüber hinaus wird
mittels einer ersten Epitaxieschicht, die auf das Stabilisierungselement
aufgebracht wird, eine Membran oberhalb des ersten Bereichs erzeugt.
Wenigstens ein Teil des ersten Bereichs dient in einem weiteren
Verfahrensschritt dazu, eine Kaverne unterhalb des Stabilisierungselement
zu erzeugen. Der Kern der Erfindung besteht nun darin, das strukturierte Stabilisierungselement
mittels einer zweiten Epitaxieschicht, die auf dem Halbleiterträger aufgebracht wird,
zu erzeugen.
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Durch
ein Aufwachsen der ersten Epitaxieschicht auf das Stabilisierungselement
kann vorteilhafterweise die Membran stabiler hergestellt werden,
da zum einen das Stabilisierungselement die erste Epitaxieschicht
stützt
und zum anderen ein einheitliches Aufwachsen der ersten Epitaxieschicht
auf dem Stabilisierungselement ohne Kristallfehler möglich ist.
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In
einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Epitaxiebedingungen
derart gewählt
werden, dass die erste Epitaxieschicht ausgehend von wenigstens
einem Teil des Stabilisierungselements die wenigstens eine Öffnung über dem
ersten Bereich in lateraler und/oder vertikaler Richtung verschließt. Vorteilhafterweise
werden die Epitaxiebedingungen derart gewählt, dass das epitaktische Wachstum
lediglich auf dem Stabilisierungselement und nicht auf dem ersten
Bereich erfolgt. Dies kann unter anderen auch dadurch erreicht werden,
dass der erste Bereich gesondert passiviert wird. Im Rahmen dieses
Epitaxievorgangs kann vorgesehen sein, dass das Stabilisierungselement
weitestgehend abgedeckt wird.
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Die
Kaverne des Halbleiterbauelements kann in einem weiteren Verfahrensschritt
durch einen thermisch induzierten Umlagerungsvorgang des Halbleitermaterials
des ersten Bereichs erzeugt werden. Dabei kann insbesondere vorgesehen
sein, dass diese Umlagerung nach dem epitaktischen Aufwachsen der
ersten Epitaxieschicht und somit nach Erzeugung der Membran durchgeführt wird.
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In
einer besonderen Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass
das Stabilisierungselement aus der zweiten Epitaxieschicht gebildet
wird. Dabei wird die zweite Epitaxieschicht derart mit Öffnungen
versehen, dass durch diese Öffnungen
das dotierte Halbleitermaterial des ersten Bereichs herausgelöst werden
kann. Eine Möglichkeit,
diese Öffnungen
herzustellen besteht darin, die zweite Epitaxieschicht wenigstens
stellenweise durch eine Lichtquelle zu belichten und die so belichteten
Stellen der zweiten Epitaxieschicht herauszulösen. Dabei kann insbesondere
vorgesehen sein, dass das Entfernen des belichteten Materials der
zweiten Epitaxieschicht und das selektive Herauslösen des
mit der ersten Dotierungen versehenen Halbleitermaterials aus dem ersten
Bereich im gleichen Verfahrensschritt erfolgt.
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Neben
dieser Ausgestaltung der Erfindung kann jedoch auch vorgesehen sein,
dass die beleuchteten Stellen auf dem Halbleiterträger bzw.
auf der zweiten Epitaxieschicht, während eines Ätzvorgangs
gerade nicht angegriffen werden. Somit würden die beleuchteten Bereiche
als Stege beispielsweise über
einem porös
geätzten
ersten Bereich stehen bleiben.
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Die
auf die Oberfläche
des Halbleiterträgers aufgebrachte
zweite Epitaxieschicht kann beispielsweise durch eine zusätzlich aufgebrachte
Passivierungsschicht lokal strukturiert werden. Dabei kann vorgesehen
sein, dass die so strukturierte zweite Epitaxieschicht über dem
ersten Bereich einen zusammenhängenden
zweiten Bereich bildet. Dieser zweite Bereich kann beispielsweise
in Form eines Gitters und/oder von miteinander verbundenen Stegen
ausgebildet sein.
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In
einer Weiterbildung der Erfindung wird auf den Halbleiterträger eine
SiC-Schicht epitaktisch aufgebracht und anschließend strukturiert. Wird diese strukturierte
SiC-Schicht nicht
weiterbehandelt, so kann in einem weiteren Epitaxieschritt die erste
Epitaxieschicht polykristallin auf der SiC-Schicht aufwachsen. Dagegen
kann bei einer thermischen Behandlung der strukturierten SiC-Schicht
erreicht werden, dass die zweite Epitaxieschicht monokristallin aufwächst.
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Vorteilhafterweise
weist das Stabilisierungselement wenigstens einen Steg und/oder
ein Gitter oberhalb der Kaverne auf. Optional kann das Stabilisierungselement
auch eine Einfassung am Rand der Kaverne aufweisen. Bei der Gestaltung
des Stabilisierungselements oberhalb der Kaverne kann vorgesehen
sein, dass die Dicke des Stabilisierungselements variiert. Darüber hinaus
kann vorgesehen sein, dass die Einfassung im Vergleich zu dem Gitter und/oder
zu dem wenigstens einen Steg eine größere Dicke aufweist.
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Besonders
vorteilhaft ist durch das Herstellungsverfahren die Einstellung
der Steifigkeit der Membran über
die Positionierung der Öffnungen
auf dem Stabilisierungselement und/oder die Gestaltung der Stege
durch die Variation verschiedener Herstellungsparameter. Als Herstellungsparameter
können dabei
die Parameter während
des epitaktischen Wachstums, die geometrische Anordnung der Öffnungen
und/oder die lateralen bzw. vertikalen Ausdehnungen der Stege angesehen
werden. So sind Stege mit dreieckigem Querschnitt bzw. mit unterschiedlichen
vertikalen und/oder lateralen Ausdehnungen herstellbar.
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Das
Gitter bzw. der wenigstens eine Steg im Oberflächenbereich des Halbleiterträgers kann
durch eine Kombination wenigstens zweier Implantationsschritte erreicht
werden. Dabei kann in einem zweiten Bereich des Halbleiterträgers eine
von der ersten Dotierungen des ersten Bereichs unterscheidbare zweite
Dotierung erzeugt werden. Dieser zweite Bereich kann dann in einem
späteren
Verfahrensschritt zum Stabilisierungselement bzw. zum Gitter und/oder
zu einem Steg weitergebildet werden. Dies kann beispielsweise dadurch
geschehen, dass während
der nachfolgenden selektiven Herauslösung lediglich das Halbleitermaterial
aus dem ersten Bereich herausgelöst
wird, das Material des zweiten Bereichs jedoch auf bzw. im Halbleiterträger verbleibt.
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In
einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass über dem
ersten Bereich im Halbleiterträger,
die eine ersten Dotierung aufweist, ein dritter Bereich erzeugt
wird, der ebenfalls die erste Dotierung aufweist. Dabei ist vorgesehen,
dass die Dotierung des dritten Bereichs eine im Vergleich zur Dotierung
des ersten Bereichs höhere
Dotierungskonzentration aufweist. Weiterhin ist vorgesehen, dass oberhalb
des ersten und des dritten Bereichs die zweite Epitaxieschicht mit
einer von der ersten Dotierung unterscheidbaren zweiten Dotierung
erzeugt wird. Durch eine Strukturierung der zweiten Epitaxieschicht
kann in einem weiteren Verfahrensschritt erreicht werden, dass ein
Zugang durch die Epitaxieschicht auf den dritten und schließlich auf
den ersten Bereich ermöglicht
wird. Vorteilhafterweise wird anschließend ein Ätzverfahren zum Herauslösen des Halbleitermaterial
verwendet, welches selektiv lediglich das Halbleitermaterial mit
der ersten Dotierung herauslöst,
das Material mit der zweiten Dotierung jedoch nicht angreift. Durch
die Wahl der höheren
Dotierungskonzentration in Verbindung mit einem entsprechenden Ätzverfahren
kann erreicht werden, dass aus dem dritten Bereich mehr Halbleitermaterial herausgelöst wird
als aus dem ersten Bereich. Durch ein derartiges Verfahren kann
bei dem so hergestellten Stabilisierungselement eine nahezu plane
Unterseite erzeugt werden.
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In
einer anderen Ausführung
der Erfindung wird die Oberfläche
des Halbleiterträgers über wenigstens
einem Teil des ersten Bereichs mit der ersten Dotierung strukturiert.
Anschließend
wird eine zweite Epitaxieschicht mit einer zweiten Dotierung auf
der Oberfläche
des strukturierten Halbleiterträgers
erzeugt und ebenfalls strukturiert. Dabei ist vorgesehen, dass die
strukturierte zweite Epitaxieschicht das Stabilisierungselement bildet.
Im folgenden wird das Halbleitermaterial aus dem ersten Bereich
selektiv herausgelöst
und auf den so strukturierten ersten und zweiten Bereich die erste
Epitaxieschicht abgeschieden.
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Vorteilhafterweise
ist vorgesehen, dass die erste und die zweite Dotierung unterschiedliche
Dotierungen aufweisen. So kann vorgesehen sein, dass der erste Bereich
eine p-Dotierung und der zweite Bereich, die Einfassung bzw. das
Gitter und/oder der wenigstens eine Steg, eine n-Dotierung aufweist.
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Besonders
vorteilhaft ist eine Ausgestaltung der Erfindung, bei der sowohl
die erste Epitaxieschicht, als auch das Stabilisierungselement, bspw.
das Gitter oder der wenigstens eine Steg monokristallin ausgebildet
sind. Daneben kann jedoch auch vorgesehen sein, dass die erste Epitaxieschicht und
das Stabilisierungselement polykristallin ausgebildet sind.
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Weitere
Vorteile ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen bzw.
aus den abhängigen
Patentansprüchen.
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Zeichnungen
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In
der 1 wird ein Verfahren zur Herstellung
einer mikromechanischen Membran gezeigt, wie er aus dem Stand der
Technik bekannt ist. 2 zeigt dagegen
ein Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung. Eine spezielle Behandlung der Oberfläche zur
Verhinderung der Ablagerung von Epitaxiematerial wird in 3 gezeigt. In 4 wird
ein weiteres Ausführungsbeispiel
zur erfindungsgemäßen Erzeugung
einer Membran gezeigt. Die 5a bis 5d zeigen
verschiedene mögliche
Ausgestaltungen der Stege, auf denen die Membran abgeschieden wird.
In den 6 bis 17 sind
verschiedene Ausführungsbeispiele
zur Erzeugung von Stegen bzw. Gittern über einer Kaverne dargestellt.
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Ausführungsbeispiel
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Wie
eingangs bereits geschildert, sind aus dem Stand der Technik verschiedene
mikromechanische Verfahren zur Herstellung einer Membran bekannt.
So kann beispielsweise mit Hilfe einer porösen Doppelschicht in einem
Halbleiterträger 100,
wie sie in 1a anhand einer niedrigporösen Schicht 110 und
einer darunter liegenden hochporösen
Schicht 120 dargestellt ist, eine für das Wachstum der Epitaxieschicht 140 geeignete
Starschicht 160 sowie eine Kaverne 150 gebildet
werden (siehe 1b). Die Umbildung findet dabei
durch einen ersten Temperschritt (bei ca. 900 bis 1000°C) statt,
bei dem sich die Halbleiteratome der niedrigporösen Schicht 110 derart
verlagern, dass sich im Idealfall die Oberfläche schließt. Im gleichen oder in einem
folgenden Temperschritt kann dann die Kaverne 150 ebenfalls
durch Umlagerung der Halbleiteratome aus der hochporösen Schicht 120 gebildet
werden. Dies geschieht dadurch, dass sich unter dem Einfluss des
Temperschritts die Poren vergrößern und
schlussendlich zu einer „Riesenpore" vereinigen, die
dann die Kaverne darstellt. Zur Herstellung der Membran kann nun
auf die Startschicht 160 eine Epitaxieschicht 140 aufgebracht
werden, die die Eigenschaften der Membran bestimmen. In der Realität gibt es
bei der Herstellung einer solchen Membran aber immer wieder Poren, die
sich nicht verschlossen haben, da das Angebot an Silizium nicht
ausreicht. Teilweise lagern sich auch mehrere kleine Poren zu einer
großen
Pore zusammen, so dass Poren mit Durchmessern von bis zu 0,5 μm entstehen.
Auf diesen unverschlossenen Stellen in der Startschicht kann die
Epitaxieschicht, die die spätere
Membran bildet, nicht monokristallin aufwachsen, da die Kristallstruktur
der Unterlage fehlerhaft ist. Es bilden sich daher Kristallfehler
in der Epitaxieschicht aus (z.B. durch Stapelfehler). Auf der Oberseite
der Membran werden im weiteren Prozessablauf beispielsweise piezoresistive
Widerstände erzeugt,
die für
die Funktion eines Drucksensors benötigt werden. Diese Widerstände können durch Kristallfehler
in der Epitaxieschicht während
der Lebensdauer des Sensors degradieren und zu einer Drift des Sensorsignals
führen.
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Abhilfe
kann bei der Erzeugung einer monokristallinen Epitaxieschicht das
Aufbringen einer ersten dünnen
Epitaxieschicht (dünner
als 1 μm,
bevorzugt 200–600
nm) bringen, bei der sofort zu Beginn, während oder am Ende der ersten
Temperung zusätzliches
Halbleitermaterial angeboten wird, um die Starschicht vollständig zu
schließen.
Vorzugsweise wird dabei das gleiche Halbleitermaterial aufgebracht,
welches bereits in der Schicht 110 vorhanden ist und/oder
in der Epitaxieschicht 140 verwendet wird. Besteht der
Halbleiterträger 100 beispielsweise aus
Silizium, so wird mit einem derartigen Verfahren den angebotenen
Silizium-Atomen
ausreichend Zeit gelassen, sich entsprechend dem Siliziumkristall
der Unterlage anzuordnen. Vorteilhafterweise wird bei dem Aufwachsen
der dünnen
Epitaxieschicht eine geringere Temperatur und eine geringere Wachstumsgeschwindigkeit
im Vergleich zu der späteren
dicken Epitaxieschicht gewählt.
So beträgt
beispielsweise die Temperatur bei dem Aufbringen der dünnen Epitaxieschicht
in einem besonderen Ausführungsbeispiel
ca. 900 bis 1000°C,
wohingegen die Wachstumsgeschwindigkeit kleiner als 0,5 μm/min gewählt wird.
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Nach
dem Aufwachsen dieser dünnen
Epitaxieschicht und einer eventuellen Fortführung der Temperung wird das
Substrat einer höheren
Temperatur ausgesetzt (bevorzugt 1100 bis 1200° C), um dann dort eine zweite,
dicke Epitaxieschicht 140 (einige μm) aufzuwachsen. Vor dem Wachstum
der zweiten Epitaxieschicht kann auch noch bei der höheren Temperatur
eine weitere Temperung erfolgen, um mögliche Kristallfehler in der
verschlossenen Startschicht auszuheilen. Die zweite Epitaxieschicht bildet
auf Grund ihrer relativ großen
Dicke – im
Vergleich zur Start- und ersten Epitaxieschicht – die eigentliche Membran.
Diese kann dann beispielsweise für
einen Drucksensor oder nach einer weiteren Strukturierung auch für einen
Beschleunigungssensor genutzt werden.
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Wird
eine einkristalline, mikromechanische Membran auf eine poröse Startschicht
aufgebracht, so bestehen verschiedene Schwachpunkte, die die Erzeugung
bzw. die Lebensdauer der Membran nachteilig beeinflussen können. So
kann beispielsweise die poröse
Startschicht Risse bekommen, die sich auf der darauf abgeschiedenen
Epitaxieschicht fortpflanzen. Weiterhin können Übergänge von der beispielsweise
p+-dotierten Startschicht 160 zu einer Einrahmung 170 der
Startschicht auftreten. Dabei wird beim Überlapp beider Dotierungen
die p+-Dotierung auf eine p-Dotierung reduziert (1d).
Eine geringere p-Dotierung bewirkt aber auch eine höhere Porosität. Dieser
Effekt wird auch bei der Erzeugung der Doppelschicht nach 1a verwendet,
bei der die niedrigporöse
Schicht 110 beispielsweise eine p+-Dotierung und die hochporöse Schicht 120 eine geringere
p-Dotierung aufweist. Somit ist die niedrigporöse Schicht über einen hochporösen und
damit fragilen Bereich mit dem Rand verbunden. Hier können unter
anderem während
der Herstellung Risse auftreten.
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Zur
erfindungsgemäßen Herstellung
einer monokristallinen Membran wird gemäß dem vorgeschlagenen Verfahren
auf einem Halbleiterträger 200 ein
erster Bereich 220 und ein zweiter Bereich 210 mit
unterschiedlichen Dotierungen erzeugt, wobei der erste Bereich 220 auch
aus der Substratdotierung bestehen kann. Im folgenden Ausführungsbeispiel
soll davon ausgegangen werden, dass der Halbleiterträger 200 eine
p-Dotierung, der erste Bereich 220 eine p- bzw. p+-Dotierung
und der zweite Bereich 210 bzw. 230 eine n- bzw.
n+-Dotierung aufweist. In einem besonderen Ausführungsbeispiel ist dabei der
Teil des zweiten Bereichs, der in 2a mit 210 bezeichnet
ist, als eine Art Steg oder Gitter auf der Oberfläche des
Halbleiterträgers
ausgebildet, wohingegen der Teil des zweiten Bereichs, der in 2a als 230 bezeichnet
wird, als Einrahmung des ersten Bereichs 220 ausgebildet
ist. In einer weiteren Ausführungsform
der Erfindung kann vorgesehen sein, dass die Einrahmen 230 und
der Teil 210 des ersten Bereichs unterschiedliche Dotierungen,
z.B. n+ bzw. n0 aufweisen
kann.
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Durch
einen entsprechenden Ätzprozess, beispielsweise
durch eine Anodisierung bzw. Elektropolitur wird der erste Bereich 220 porös geätzt. Dabei kann
es sich wie bereits beschrieben, bei dem ersten Bereich 220 sowohl
um einen Teil des unbehandelten Halbleiterträgers 200 als auch
um einen zusätzlich dotierten
Bereich handeln. Letzteres hat den Vorteil, dass eine schärfere Abgrenzung
bei der Erzeugung des porösen
Bereichs 220 möglich
ist. Während
der erste Bereich 220 beispielsweise bis in eine Tiefe
von 5 bis 20 μm
ausgehend von der Oberfläche
des Halbleiterträgers 200 porös geätzt wird,
wird der zweite Bereich 210 durch den Ätzprozess im wesentlichen nicht
verändert.
Bei einer entsprechenden Wahl der lateralen Ausdehnung der zweiten
Bereiche 210 auf der Oberfläche des Halbleiterträgers 200 kann
auch unterhalb der zweiten Bereiche 210 der erste Bereich 220 poröses geätzt werden.
Zur weiteren Bearbeitung ist in einem besonderen Ausführungsbeispiel vorgesehen,
dass der erste Bereich 220 eine hohe Porösität aufweist.
Denkbar sind hierbei Porengrößen von
1 nm bis einigen μm
Durchmesser. Alternativ kann eine hohe Porösität dadurch erreicht werden, dass
sehr viele kleine Poren (∼ 5
nm) oder wenige sehr große
Poren (einige bis mehrere 100 nm) erzeugt werden. Das Resultat ist
ebenso wie bei der Erzeugung von großen Poren derart, dass viel
Silizium herausgeätzt
wird. Besteht der Halbleiterträger 200 aus
Silizium, so ist auf der Oberfläche
des unbehandelten Halbleiterträgers
eine (natürliche)
Oxidschicht zu finden. In einem folgenden Prozessschritt wird deshalb
eine Reduktion der (natürlichen)
Oxidschicht auf der Siliziumoberfläche dadurch erreicht, dass eine
kurze Temperung des Halbleiterträgers
bzw. des Siliziumsträgers
unter einer Wasserstoffatmosphäre durchgeführt wird.
Alternativ kann hier ein „HF-Last"-Verfahren oder ein
HF-GPÄ-Verfahren
mit anschließender
Niedertemperaturepitaxie eingesetzt werden, um den gleichen Effekt
zu erreichen.
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Anschließend wird
der Halbleiterträger
auf Wachstumstemperatur (1000 bis 1200°C) aufgeheizt, bevor mit dem
Auftrag einer monokristallinen Epitaxieschicht 240 begonnen
wird. Die Epitaxieschicht wächst
hauptsächlich
auf den zweiten Bereichen 210 und 230 auf. In
einem besonderen Ausführungsbeispiel
sind die Bereiche 210 als monokristalline Stege ausgebildet,
um ein Aufwachsen des Epitaxiematerials zu fördern. Das Wachstum erfolgt dabei
nicht nur vertikal d.h. senkrecht zur Oberfläche, sondern auch lateral,
so dass die Bereiche zwischen den einzelnen Stegen 210 durch
eine monokristalline Schicht verschlossen werden. 2b zeigt
die Membran nach dem Aufwachsen der Epitaxieschicht 240. Das
hochporöse
Silizium hat sich während
des Aufwachsvorgangs unter dem Einfluss der Wachstumstemperatur
oder während
eines weiteren Tempervorgangs zu einer großen Kaverne 250 umgelagert.
Auf der Membranunterseite der 2b sieht
man die Form, die sich durch das Zuwachsen der freien Bereiche zwischen
den Stegen ergibt. Durch weiteres Tempern kann diese Form flach
verschmelzen.
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Das
hochporöse
Silizium zwischen den monokristallinen Stegen 210 ist hier
vorteilhaft, da dadurch verhindert wird, dass das Silizium innerhalb des
Kavernenbereichs aufwächst.
Wäre die
Kaverne völlig
frei, dann könnte – abhängig von
den Wachstumsbedingungen – vom
Start des Epitaxiewachstums an, auf den Kavernenwänden Silizium
aufwachsen. Durch die anfängliche
poröse
Oberfläche
zwischen den Stegen 210, die sich im Laufe des Epitaxievorgangs
umlagert, wird jedoch verhindert, dass Silizium zwischen den Stegen 210 aufwächst bzw. ein
nennenswerter Eintrag des Epitaxiematerials in die Kaverne 250 erfolgt.
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Selbstverständlich kann
die in der vorliegenden Erfindung beschriebene Erzeugung einer Epitaxieschicht
mit darunter liegender Kaverne mittels einer Porösizierung auch bei der Verwendung
anderer Materialien bzw. Halbleitermaterialien durchgeführt werden
und ist nicht auf die Verwendung von Silizium begrenzt. Voraussetzung
dabei ist jedoch, dass diese anderen Materialien bzw. Halbleitermaterialien
ebenfalls porösiziert
werden können.
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In
einem weiteren Ausführungsbeispiel
wird der Bereich zwischen und unterhalb der Stege nicht porös geätzt, sondern
komplett herausgelöst.
Dies kann beispielsweise durch eine Elektropolitur erfolgen, d.
h. die Porösität wird durch
Variation der Ätzparameter
(z.B. Erhöhung
des Stroms, Reduktion der HF-Konzentration) so stark erhöht, dass
sie 100 Prozent erreicht. Nun können
die Stege wie oben beschrieben, zugewachsen werden, wobei die Gefahr besteht,
dass innerhalb der Kaverne ebenfalls Silizium aufwächst. Um
das zu verhindern kann die Innenseite der Kaverne mit einer Schicht
geschützt
werden, die das Aufwachsen von Silizium verhindert.
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Ein
derartiger Schutz könnte
beispielsweise durch das Aufbringen einer Siliziumnitridschicht
(SiN) 360 auf die Oberfläche der zweiten Bereiche 310 erreicht
werden. Anschließend
können
durch eine Elektropolitur die als Stege ausgebildeten zweiten Bereiche 310,
die untereinander und mit der Einrahmung 330 verbunden
sind, durch das Entfernen des ersten Bereichs freigestellt werden
(siehe Querschnitt durch den Halbleiterträger in 3a). Auf
den freiliegenden Bereichen der zukünftigen Kaverne 350 wird
beispielsweise durch thermische Oxidation ein Oxid 370 erzeugt.
Anschließend
kann z. B. durch heiße
Phosphorsäure
das Nitrid 360 selektiv zum Oxid 370 abgelöst werden.
Durch diese Vorbereitung kann eine selektive Epitaxie erreicht werden,
d. h. das Epitaxiematerial (z.B. Silizium) wächst nur auf den Bereichen
auf, die nicht durch Oxid 370 geschützt sind. Dadurch wird verhindert,
dass in der Kaverne 350 Silizium aufwächst.
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Eine
weitere Möglichkeit
das Aufwachsen von Silizium selektiv zu verhindern besteht darin,
vor dem Aufbringen der Siliziumnitridschicht (SiN) 360 eine
dünne (< 60 nm) Siliziumoxidschicht
(SiO) auf die Bereiche aufzubringen, die nicht elektropoliert werden
sollen. Nach der Freistellung der Stege 310 durch einen
entsprechenden Ätzprozess,
z.B. durch eine Elektropolitur, kann ebenfalls wie in dem bereits geschilderten
Beispiel auf den freiliegenden Bereichen durch thermische Oxidation
ein Oxid erzeugt werden. Dabei ist jedoch zu beachten, dass dieses Oxid
dicker als das Oxid unter der SiN-Maske sein muss. Anschließend kann
das Nitrid selektiv zum Oxid abgelöst werden. Alternativ kann
auch ein Trockenätzprozess
durchgeführt
werden, bei dem das Oxid und das Nitrid gleiche Ätzraten aufweist. Durch eine
entsprechende Wahl der Ätzzeit
kann erreicht werden, dass nach dem Ablösen des Oxids, welches sich
unter dem SiN befand, noch eine ausreichend dicke Oxidschicht auf
den Kavernenwände
verbleibt. Abschließend
kann entsprechend dem vorstehenden Ausführungsbeispiel eine selektive
Epitaxie durchgeführt
werden.
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In
einem weiteren Ausführungsbeispiel,
bei dem der Halbleiterträger
beispielsweise aus Silizium besteht, wird das Silizium zwischen
und unter den Stegen porös
geätzt.
Anschließend
wird auf allen Siliziumoberflächen
(d. h. Waferoberfläche
sowie auf der Oberfläche
der Porenwände)
eine dünne
Schicht Oxid erzeugt, beispielsweise wenige nm dick. Dies kann beispielsweise
durch thermische Oxidation, durch Sauerstoffplasmabehandlung, durch
chemische Oxidation oder auch auf andere Art und Weise erfolgen.
Dieses Oxid verhindert, dass sich das poröse Silizium bei weiteren Hochtemperaturschritten, wie
sie bei der Epitaxie oder weiteren Ofenprozessen notwendig sind,
umlagert. Durch einen kurzen HF-Dip mit verdünnter Flusssäure (HF)
kann nun das Oxid auf der Waferoberfläche entfernt werden. Auf Grund
der Oberflächenspannung
dringt die Flusssäure
nicht in die Poren ein, so dass die Oxidschicht weiterhin auf den
Porenwänden
verbleibt. Eine entsprechende Beschreibung einer derartigen Vorbehandlung
zur Stabilisierung des porösen
Siliziums für ein
anschließendes
Epitaxiewachstum ist beispielsweise in dem Beitrag "Low-pressure vapor-phase epitaxy
of silicon on porous silicon",
Material Letters (1988) 94 von L. Vescan et al. zu finden. Anschließend kann
eine Epitaxieschicht aufgewachsen werden, wobei diese Schicht hauptsächlich auf
den monokristallinen Stegen aufwächst.
Durch laterales Wachstum wird die Oberfläche verschlossen. Nach der
Epitaxie kann ein Zugangsloch beispielsweise von der Vorderseite
durch die Epitaxieschicht oder auch von der Rückseite des Halbleiterträgers, geätzt werden
und das oxidierte poröse
Silizium selektiv durch das Zugangsloch herausgelöst werden.
Optional kann das Zugangsloch nach dem Herauslösen auch wieder verschlossen
werden, wobei zu beachten ist, dass der Druck, der beim Verschließen des Zugangslochs
herrscht, den Referenzdruck in der Kaverne definiert.
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Die
so hergestellte Membran kann beispielsweise für einen Drucksensor mit piezoresistiven
Widerständen
verwendet werden. Dazu kann eine Schaltung neben oder auf der Membran
integriert werden. Falls ein Zugangsloch von der Rückseite zum
selektiven Herauslösen
des Halbleitermaterials im zweiten Bereich erzeugt wurde, erhält man einen Rückseiten-
bzw. Differenzdrucksensor mit gegenüber dem Stand der Technik genau
definierter Membrandicke. Wird ein Zugangsloch von der Vorderseite erzeugt,
so muss dieses Loch für
die Drucksensor Anwendung wieder druckdicht verschlossen werden.
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Allgemein
kann in einem weiteren Ausführungsbeispiel
optional ein Schritt zum Glätten
der Oberfläche
durchgeführt
werden, falls nach dem Zuwachsen der Löcher die Oberfläche zu rau
ist. Eine mögliche
Methode mit der das Glätten
erreicht werden kann, stellt das chemischmechanisch Polieren (CMP)
dar.
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In
einem weiteren Ausführungsbeispiel
ist vorgesehen, die Membran in Form von Schwingerstrukturen zu strukturieren.
Mit derartigen Strukturen können
beispielsweise Beschleunigungssensoren und/oder Gierratensensoren
realisiert werden.
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Eine
Möglichkeit
zur Stabilisierung der Stege vor dem Aufwachsen der Epitaxieschicht
besteht darin, dass optional Stützen
unter den Stegen erzeugt werden, die bei nachfolgenden Hochtemperaturschritten
(Epitaxie oder Temperschritte (Oxidation, Diffusion) zur Erzeugung
integrierter Schaltungen) durch Umlagerung der Siliziumatome wegschmelzen.
Wie in 4a im Bereich 460 zu
erkennen ist, entstehen Säulen,
wenn die Stege 410 breiter sind als die halbe Ätztiefe
im ersten Bereich 420. Dann ist die isotrope Unterätzung bei
Anodisierung nicht ausreichend, um das Silizium unter den verbreiterten Stegen 410 zu
anodisieren bzw. herauszulösen.
Aus energetischen Gründen
(Minimierung der Oberflächenenergie)
lagert sich Silizium bei hohen Temperaturen (>1000°C)
um. Dabei "schmilzt" die Säule (Bereich 470)
und die feste Verbindung zwischen Substrat und Membran wird unterbrochen.
Somit ist die Membran frei beweglich, wie es die 4b zeigt.
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Statt
einzelner Stege kann der zweite Bereich oberhalb der Kaverne auch
in Form eines Gitters angeordnet sein, wobei sich poröse Bereiche 510 und
Stege 500 abwechseln. Beispielhaft hierzu sind in 5a bis 5f verschiedene
mögliche Ausführungsformen
dargestellt, wobei die aufgeführten
Beispiele nicht als abschließende
Darstellung verstanden werden soll. Dabei ist besonders bei den 5e und 5f eine
bessere Lackhaftung zu beobachten.
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Zur
Realisierung der Stege bzw. des Gitters, auf dem in einem späteren Verfahrensschritt
die monokristalline Membran abgeschieden wird, stehen unterschiedliche
Verfahren zur Verfügung.
So werden in einem Ausführungsbeispiel
die Stege bzw. das Gitter statt durch eine lokale n-Dotierung durch eine lokale
Amorphisierung des einkristallinen Si-Substrats erzeugt. Dabei wird,
wie in 6a dargestellt, der einkristalline
Halbleiterträger
aus Silizium 520 mit hochenergetischen Ionen 540,
z.B. Argon-Ionen beschossen. Durch diesen Beschuss und die Verwendung
einer Implantationsmaske 530, z.B. aus SiO2 wird
die einkristalline Struktur zerstört und es entstehen Bereiche 550 aus
amorphem Silizium. Das zurückbleibende
amorphe Si 550 wird in der folgenden Anodisierung in Flussäure nicht
angegriffen, so dass unterhalb den amorphen Bereichen 550 ein
Bereich 560 aus porösem
Si entsteht, welcher sich in einem nachfolgenden Tempervorgang zu
einer Kaverne umlagern kann. Somit entsteht ein amorphes Si-Gitter 550,
welches vor oder nach diesem nachfolgenden Tempervorgang durch einen
Epitaxievorgang überwachsen
werden kann. Entsprechend der amorphen Unterlage wird die epitaktische
Schicht 590 nicht einkristallin, sondern polykristallin,
im Gegensatz zur Schicht 570, die auf dem monokristallinen Bereich 520 aufwächst. Der Übergang
zwischen dem polykristallinen Bereich 590 und dem monokristallinen
Bereich 570 wird durch die Epitaxieparameter bestimmt.
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In
einer Varianten dieses Ausführungsbeispiels
kann vor dem Wachstum der Epitaxieschicht eine zusätzliche
Temperung durchgeführt
werden. Durch diese Temperung können
die amorphen Stege rekristallisieren und sich zu einem einkristallinen
Gitter umlagern. Durch diesen Rekristallisationsschritt ist die
Erzeugung einer monokristallinen Si-Epitaxie auf den Gitterstegen
möglich.
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Bei
einem weiteren Ausführungsbeispiel
zur Herstellung eines Si-Gitters auf porösem Silizium kann die Beleuchtungsselektivität des Anodisierungsprozesses
ausgenützt
werden. Dabei wird, wie in den 7a bis 7c dargestellt,
ein p-dotiertes Silizium-Substrat 700 während des Anodisierens beleuchtet
(710, 735), so dass Bereiche 705 entstehen, die
infolge der durch den inneren Fotoeffekt erzeugten Ladungsträger dem
Anodisierungsprozess entgegenwirken. Mit Hilfe einer geeigneten
Schattenmaske 715, einem Beugungsmuster 720 oder
einem holographischen Gitters (7c) kann
ein gitterförmiger
Bereich 705 des zu anodisierenden Substrats 700 beleuchtet
werden und so vor einer Porosifizierung geschützt werden. Da die Eindringtiefe
des Lichts abhängig
von der Wellenlänge
begrenzt ist, wird der so geschützte
Bereich schließlich
unterätzt. Der
anschließende
Epitaxievorgang bzw. die Erzeugung der Kaverne kann dann analog
zu dem bereits beschriebenen Verfahren durchgeführt werden.
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Zur
Erzeugung eines holographischen Gitters kann wie in 7c dargestellt
wird, ein Laserstrahl 735 auf einen Strahlteiler 730 geführt werden, wobei
die beiden Teilstrahlen an den Spiegeln 740 und 745 reflektiert
werden und auf der Substratoberfläche in den Bereiche 705 miteinander
wechselwirken.
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Als
Erweiterung zum letzten Ausführungsbeispiel
kann auch vorgesehen sein, zunächst
eine n-dotierte
Si-Epitaxieschicht 755 auf einem p-dotierten Si-Substrat 750 zu
erzeugen, wie es in 8a dargestellt ist. Anschließend wird
gemäß 8b in Anlehnung
an das vorherige Ausführungsbeispiel nach 7a bis 7c die
n-dotierte Si-Epitaxieschicht 755 mittels einer geeigneten
Beleuchtung 760 und einer Schattenmaske 770 (bspw.
aus Metall) beleuchtet. Das epitaktisch erzeugte n-Si wird dabei ohne
Beleuchtung nicht porös
geätzt,
da keine Defektelektronen vorhanden sind. Durch die mittels der Maske 770 erzeugte
lokale Beleuchtung werden die notwendigen Ladungsträger im n-dotierten
Bereich erzeugt, so dass an diesen Stellen 780 die n-dotierte Epitaxieschicht
lokal porös
geätzt
werden kann. Erreicht der Ätzvorgang
das darunter liegende p-dotierte Substrat 750, erfolgt
eine ganzflächige
Unterätzung.
Mittels dieser Unterätzung
kann das Substrat 750 im Bereich 765 porös geätzt werden,
da im p-dotierten Bereich keine Beleuchtung notwendig ist. Neben
einer Schattenmaske 770 können selbstverständlich auch
Beugungsmuster und/oder holographische Gitter, wie in 7b und 7c dargestellt, verwendet
werden, um eine lokale Beleuchtung auf der Oberfläche der
Epitaxieschicht 755 zu erzeugen.
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Eine
weitere Möglichkeit,
ein Gitter auf porösem
Silizium zu erzeugen besteht in der Verwendung einer strukturierten
n-dotierten Si-Epitaxischicht. Zur Erzeugung dieser strukturierten
n-dotierten Si-Epitaxischicht 805 wird, wie in 9a gezeigt,
auf ein p-dotiertes Si-Substrat 800 eine n-dotierte Si-Epitaxieschicht 805 aufgebracht,
die in diesem Stadium noch unstrukturiert ist. Anschließend wird
eine Oxidmaske 810 aufgebracht, die beispielsweise durch
HF strukturiert werden kann. In einem weiteren Prozessschritt kann
dann die n-dotierte Si-Epitaxieschicht 805 mittels
Trenchgräben 815 über die
im Oxid 805 erzeugte Trenchmaske strukturiert werden. Da
der Trenchprozess nicht auf dem p-Si Substrat 800 stoppt,
muss die Erzeugung der Trenchgräben 815 zeitgesteuert
erfolgen. Ein leichtes Überätzen ins Substrat 800 ist
jedoch unkritisch. Die so erhaltene Struktur aus Oxid 810,
n-dotierter Epitaxie 805 und p-dotiertem Substrat 800 wird
anschließend
durch Anodisierung in HF porös
geätzt,
wie in 9b dargestellt. Das Oxid 810 und
die n-dotierte Epitaxieschicht 805 werden dabei nicht angegriffen,
wohingegen das p-dotierte Si-Substrat 800 porös geätzt wird.
Vor der nachfolgenden epitaktischen Abscheidung der Membran wird
das Oxid 810 entfernt, so dass die Membran auf den n-dotierten
Gitterstegen aufwachsen kann.
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In
einem weiteren Ausführungsbeispiel
kann, wie in den 10a bis 10c dargestellt
wird, ein Gitter auf porösem
Silizium 845 hergestellt werden, indem eine n-dotierte
Si-Epitaxischicht 840 selektiv auf eine strukturierte SiO2- oder Si3N4-Maske 835 aufgewachsen wird. Dabei
wirkt die SiO2- oder Si3N4-Maske 835 derart passivierend,
dass das einkristalline Silizium 840 nur auf dem freigelegten Si-Substrat 830,
also zwischen den Oxid- bzw. Nitridbereichen 835 aufwachsen
kann, wie es in 10b dargestellt ist. Anschließend kann,
wie bereits mehrfach beschrieben und in 10c dargestellt,
ein poröser
Bereich 845 im Substrat 830 erzeugt werden, der
in einem nachfolgenden Tempervorgang zu einer Kaverne umgebildet
werden kann.
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Ein
weiteres Ausführungsbeispiel
verwendet unterschiedliche Porösitäten im Gitter-
und im Kavernenbereich. Durch eine derartige Anpassung der Porösitäten in den
genannten Bereichen ist eine Optimierung der Umlagerung des porösen Siliziums
in eine Kaverne bzw. des Wachstums der epitaktischen Silizium-Membran
möglich.
So kann vorgesehen sein, im Kavernenbereich eine höhere oder
eine niedrigere Porösität als im
Bereich der Löcher
zu erzeugen. Neben einer scharfen Trennung der unterschiedlichen
Porösitätsbereiche
ist auch ein Porösitäts-Gradient
denkbar.
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In
der Startphase der Epitaxie zur Bildung der Membran ist jedoch darauf
zu achten, dass die Kavernenschicht eine ausreichend stabile Grundlage bildet,
so dass eine zu hohe Porösität in der
Kavernenschicht nachteilig wäre.
Daneben wäre
es wünschenswert,
auch in den Löchern
im Gitterbereich eine hohe Porösität zu erzeugen,
da dadurch die Bildung der Löcher
zu Beginn des Wachstums der Epitaxie schneller erfolgt. Durch eine
entsprechende Wahl einer (hohen) Porösität im Gitterbereich kann somit
verhindert werden, dass das Wachstum auf dem umgelagerten Silizium
in den Gitterlöchern
beginnt. Würde
nämlich
zumindest ein Teil des Epitaxiewachstum auf dem Silizium zwischen
den Gitterstegen während
der Umlagerung beginnen, so könnten dadurch
Kristallfehler entstehen, die sich in der Membranschicht weiterpflanzen
würden,
bspw. als Stapelfehler.
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Zur
Optimierung der mechanischen Eigenschaften der epitaktischen Si-Membran
kann die Gitter- und die Lochgeometrie lokal variiert werden, wie es
beispielhaft in den 11a und 11b dargestellt
ist. Durch eine derartige lokale Variation kann eine verbesserte
Randeinspannung der Membran 855 an das Substrat 850 erreicht
werden. Denkbar ist in diesem Fall das Weglassen von Gitterlöchern 860 in
einem regelmäßig Muster,
beispielsweise am Membranrand, wie es in 11a dargestellt
wird. In diesem speziellen Beispiel wird auf jedes zweite Gitterloch
am äußersten
Rand der Lochgeometrie verzichtet, so dass beispielsweise an der
Stelle 865 kein Gitterloch 860 zu finden ist.
Daneben kann jedoch auch vorgesehen sein, dass die äußerste Lochreihe im
Vergleich zu den weiter innen liegenden Löchern einen geringeren Durchmesser
aufweisen. Ebenso ist denkbar, die Gitterstege am Rand der Membran
zu verbreitern. Darüber
hinaus ist jedoch auch möglich, das
(Loch-)Gitter nur über
einem Teil des Membrangebietes anzuordnen, so dass eine freistehende Membran
entsteht, wie es in 11b dargestellt ist. Dabei umschließt das Substrat 850 den Ätzbereich, der
wiederum von Bereichen 875 mit Gitterlöchern 860 und Bereichen 870 ohne
Gitterlöchern 860 abgedeckt
wird. Auf den so strukturierten Bereichen 870 und 875 kann
dann die Membran epitaktisch abgeschieden werden.
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Die
mechanischen Eigenschaften der Membran können ebenfalls durch entsprechend
angepasste Geometrien der Gitterstege und Löcher variiert werden, so z.B.
die Resonanzfrequenz und/oder die Steifigkeit. Eine Möglichkeit
zur Erhöhung
der Steifigkeit ist das Weglassen von Löchern in der Mitte der Membran.
Ein sicheres Unterätzen
der Löcher muss
allerdings sichergestellt sein. Dies ergibt eine Grenze für die maximale
Anzahl von Löchern,
die weggelassen werden können.
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Werden
auf die Membran elektrisch aktive Elemente aufgebracht, kann es
ebenfalls sinnvoll sein, lokal die Gitter- und Lochgeometrie anzupassen.
Zum Beispiel können
piezoresistive Widerstände,
z.B. für
einen Drucksensor, in einen Bereich gelegt werden, der durch eine
besonders defektfreie Epitaxie ausgezeichnet ist (Vermeidung von
Leckströmen
und Nebenschlüssen
durch sog. Diffusionpipes). Dies kann dadurch erreicht werden, dass
in diesen Bereichen besonders wenige Gitterlöcher vorhanden sind, die epitaktisch überwachsen
werden müssen
und/oder eine besonders angepasste Gitter und Lochgeometrie verwendet
wird, die besonders gut überwachsen
wird.
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Selbstverständlich kann
auch vorgesehen sein, mehrere verschiedene Gittergeometrien und -profile übereinander
zu legen und sie so zu kombinieren. 12a zeigt
beispielsweise die gleichzeitige Verwendung von zwei unterschiedlich
rechteckigen Geometrien. Auf ein erstes monokristallines Gitter 885 mit
schmalen Stegen, welches die porösen
Bereiche 880 aufweist, wird ein zweites monokristallines
Gitter 890 bzw. 895 mit breiteren bzw. dickeren Stegen überlagert.
Eine derartige Kombination kann sowohl eine zusätzliche lokale Membranversteifung als
auch eine verstärkte
Einfassung der Membran im Substrat 850 ermöglichen.
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Ein
schematischer Querschnitt durch einen Membranbereich mit unterschiedlichen
Gittergeometrien ist in 12b dargestellt.
Dabei ist deutlich zu erkennen, dass die Stege 885 und 890 unterschiedliche
laterale Ausdehnungen aufweisen. Die Überlagerung verschiedener Geometrien
zu einem Gitter kann darüber
hinaus auch durch unterschiedliche Implantationen erreicht werden.
Ebenso sind hierbei Variationen der Stegprofile des Gitters möglich, wie anhand
des Querschnitts in 12c gezeigt wird. In diesem
Beispiel wurden zwei unterschiedliche Stege 885 und 895 durch
unterschiedliche Implantationsenergien und damit unterschiedlicher
Eindringtiefe erzeugt.
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Neben
der Anordnung der Löcher
im Membranbereich können
wie bereits erwähnt
auch die Querschnittsprofile des Gitters auf die Anforderungen der
zu erzeugenden Membranen abgestimmt werden. Im einfachsten Fall
werden, wie in den 13a und 13b dargestellt,
Implantationsgebiete 905 (z.B. n-dotierte Bereiche in einem
p-dotierten Substrat) zur Bildung eines Gitters 920 in
das Substrat 900 eingebracht. Dabei werden zur gezielten
Strukturierung der Implantationsgebiete 910 Masken 910 aus
Fotolack oder Si-Oxid verwendet, die mittels eines Implantationsverfahren 915 bestrahlt
werden. In diesem Implantationsverfahren kann die Energie bzw. die
im Implantationsverfahren 915 verwendeten Teilchen auf
das Substrat abgestimmt werden. Nachdem die Maske 910 entfernt
ist, kann um die Implantationsgebiete 905 das Substrat 900 porösiziert
werden, so dass Stege 920 im porösen Gebiet 925 entstehen.
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Durch
eine geeignete Wahl der Struktur der Maske 910 (z.B. einer
Grautonmaske aus Fotolack oder Si-Oxid) in Verbindung mit einem
entsprechenden Implantationsverfahren 915, kann das Gitterprofil in
unterschiedlicher Art und Weise beeinflusst werden, wie es in 13c und 13d gezeigt
wird. Die in diesen Figuren dargestellte dreieckige Querschnittsform
der Implantationsgebiete 905 hat Vorteile bezüglich der
Umlagerung von porösem
Silizium und der anschließenden
Epitaxie. Durch den kleineren Lochdurchmesser an der Substratoberseite schließen sich
die Löcher
hier schneller. Darüber
hinaus ist der Bereich, der durch die Epitaxie überwachsen werden muss kleiner.
Dies führt
zu weniger Kristallfehlern in der die Membran bildenden Epitaxieschicht.
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Neben
einer einfachen Implantation ist auch eine mehrfache Implantation
mit unterschiedlichen Masken und/oder Implantationsenergien denkbar. Ein
mögliches
Resultat einer zweifachen Implantation mit einer Steigerung der
Implantationsenergie im zweiten Implantationsschritt (13f) ist in den 13e bis 13g dargestellt. Dabei ergibt sich mit der 13g ein ähnliches
Gitterprofil wie bereits bei einer Maskierung des Substrats gemäß der 13c.
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Allgemein
können
durch mehrfache Implantationen mit geeigneten Maskierungen und variierenden
Implantationsenergien nahezu beliebige Gitterquerschnittsprofile
erzeugt werden.
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Eine
weitere Möglichkeit
zur Herstellung eines Gitters auf bzw. in einem porös geätzten Bereich ist
in den 14a und 14b dargestellt.
Dabei wird eine SiC-Schicht 960 mittels CVD (Silan & Propan) auf einem
p-dotierten Si-Substrat 950 abgeschieden und mittels einer
Oxidmaske 970 strukturiert, bspw. nass (in KOH, KClO3, o.ä.)
oder trocken (z.B. SF6). Mittels der durch
die Strukturierung der SiC-Schicht 965 entstandenen Löcher 975 zwischen dem
Gitter 965 kann das p-dotierte Silizium durch eine Anodisierung
selektiv zum SiC im Bereich 980 porös geätzt werden. Die Ursache dieser
selektiven Ätzung
besteht darin, dass SiC mit 2,4 eV (indirekt) bzw. 5,3 eV (direkt)
eine deutlich höhere
Bandlücke als
Si aufweist. Nach der Herstellung des Gitters 965 aus SiC
kann vorgesehen sein, die SiC-Schicht 960 bis auf das Gitter 965 und
einen Rahmen 990, der das Gitter 965 einfasst,
von der Oberfläche
des Halbleiterträgers
zu entfernen. Anschließend
kann auf den Halbleiterträger 950 bzw.
auf das Gitter 965 epitaktisch Silizium aufgebracht werden,
um eine Membran zu bilden. Dabei wächst auf dem Rand des Halbleiterträgers 950 eine
monokristalline Si-Schicht 955 und auf dem SiC 965 und 990 eine
polykristalline Si-Schicht 995 auf. Der Übergang
zwischen der monokristallinen Schicht 955 und der polykristallinen Schicht 995 wird
durch die Epitaxieparametern bestimmt. So hängt der Winkel 999 maßgeblich
von diesen Parametern ab. Der poröse Bereich kann vor oder nach
dem Epitaxievorgang durch einen Temperschritt in einen Kavernenbereich
umgewandelt werden.
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In
einem weiteren Ausführungsbeispiel
kann die Gitter- und Membranherstellung mit einer zusätzlichen
p
+-Dotierung erreicht werden. Diese zusätzliche
p
+-Dotierung kann beispielsweise das Verfahren, welches
in der
DE 101 38 759
A1 beschrieben wird, erweitern und optimieren. Wie in der
15a dargestellt, wird auf einem p-dotierten Halbleitersubstrat
1000,
beispielsweise einem Si-Substrat, eine Schicht
1010 mit
einer zusätzlichen
p
+-Dotierung erzeugt, bevor der Halbleiterträger
1000 und
die Schicht
1010 mit einer n-dotierten Epitaxieschicht
1020 abgedeckt wird.
Mittels einer Oxidmaske
1030 kann anschließend die
n-dotierte Epitaxieschicht
1020 strukturiert werden,
beispielsweise durch einen Trenchprozeß. Im Rahmen der Strukturierung
ist vorgesehen, dass in der Epitaxieschicht
1020 Löcher bzw.
Gräben
1060 entstehen,
durch die ein Anodisierungsprozess zur Erzeugung einer (nano-) porösen p-dotierten
Schicht
1040 im Halbleitersubstrat
1000 durchgeführt werden kann.
Da die p
+-dotierte Schicht
1010 weniger
anfällig
gegenüber
diesem Anodisierungsprozess ist, entsteht in diesem Bereich eine
im Vergleich zur Schicht
1040 geringer poröse Schicht
1050 mit
Mesoporen, die über
der Schicht mit Nanoporen liegt. Bei einer anschließenden Temperung
lagert sich das Material in der nanoporösen Schicht
1040 in
eine Kaverne um, wohingegen sich das Material in der mesoporösen Schicht
1050 zu
einer geschlossenen Schicht umlagert. Die Bildung der geschlossenen
Schicht unterstützt
sowohl den Verschluss und das Überwachsen
der Gitterlöcher
1060 während der
nachfolgenden Epitaxie als auch die mechanische Stabilität des Gitters
während
der Temperung vor der Epitaxie.
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Ein
weiterer Vorteil der Verwendung einer zusätzlichen p+-Dotierung
ergibt sich aus einer besseren Anpassung der Anodisierung bei der
Gitterherstellung. Ohne die p+-Dotierung
wird das p-dotierte Substrat unterhalb des Gitters 1070 in
Form eines Schnabels 1080 unterätzt, wie es in 15d dargestellt ist. Durch die zusätzliche
p+-Dotierung 1010 kann dieser Schnabel
vermindert bzw. verhindert werden, so dass sich eine wesentlich
rundere Form an der Unterseite der Gitterstege 1075 ausbildet,
wie in 15d gezeigt wird.
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Als
besonders vorteilhaft hat sich erwiesen, wenn neben dem Halbleitersubstrat 1000 aus
p-dotiertem Silizium
auch die p+-dotierte Schicht 1010 und die
n-dotierte Schicht 1020 aus Silizium besteht. Grundsätzlich ist
jedoch auch die Verwendung von anderen Halbleitermaterialien denkbar.
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Ein
weiteres Ausführungsbeispiel
zur Herstellung eines Gitters und/oder einer Membran auf einem Halbleiterträger betrifft
die Erzeugung von p+-dotierten Bereichen
in einer n-dotierten Schicht. Dabei wird zunächst auf einem p-dotierten
Substrat 1100 eine flächige
n-dotierte (monokristalline) Schicht 1110 aufgebracht.
Denkbar ist hierbei, dass die n-dotierte Schicht 1110 mittels
Implantation in das p-Substrat 1100 eingebracht oder mittels
Belegung oder dünner
Epitaxie aufgebracht wird. Anschließend werden in die n-dotierte
Schicht 1100 p+-dotierte Bereiche 1120 eingebracht.
Vorteilhafterweise erfolgt dieses Einbringen durch einen Implantationsvorgang,
bei dem die p+-Dotierung ausreichend stark sein
muss, um die n-dotierte Schicht 1110 lokal umzudotieren.
Neben einem Implantationsvorgang können jedoch auch andere Verfahren
verwendet werden, die innerhalb der n-dotierten Schicht 1110 p+-dotierte Bereiche 1120 erzeugen.
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Die
so hergestellte und in 16b dargestellte
Struktur kann anschließend
anodisiert werden, wobei die n-dotierte Schicht 1110 nicht
angegriffen wird und monokristallin auf dem Substrat 1100 verbleibt.
Die lokale p+-Dotierung 1140 wird
dagegen porös
geätzt.
Wird die Anodisierung ausreichend lange durchgeführt, wird wie in 16 c dargestellt neben den p+-dotierten Bereichen 1040 auch
der Bereich 1130 porös
geätzt,
der sich im p-Substrat 1100 unterhalb des p+-dotierten
Bereichs 1040 befindet. Man erhält somit durch die n-dotierten
Bereiche oberhalb des porös
geätzten
Bereichs 1130 Gitterstege aus n-dotiertem Material, zwischen
denen sich porös
geätztes
p+-dotiertes Material befindet.
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In
einem weiteren Ausführungsbeispiel (17a bis 17d)
zur Herstellung eines monokristallinen Gitters auf porösem Halbleitermaterial kann
zunächst
ein p-dotiertes Substrat 1200 mittels einer ersten Strukturierung
strukturiert werden. Dabei definiert diese erste Strukturierung
im wesentlichen den späteren
Membranbereich. Vorteilhafterweise wird die erste Strukturierung
derart gewählt,
dass sie die halbe Periode der späteren Gitterkonstanten, d.h. des
Abstands der Löcher 1210 voneinander
aufweist. Auf das so strukturierte p-dotierte Substrat 1200 wird eine
n-dotierte Epitaxieschicht 1220 aufgebracht. Selbstverständlich kann
auch vorgesehen sein, dass die n-dotierte Schicht 1220 durch
einen Diffusionsvorgang direkt in dem Substrat 1200 erzeugt
wird. Anschließend
wird ein Teil der n-dotierten Schicht 1220 durch einen
physikalischen Ätzschritt
entfernt, so dass eine Verringerung der Gitterkonstanten erreicht
wird, wie es beispielhaft in 17c dargestellt ist.
Bei einer entsprechend gewählten
Dicke der Schicht 1220 kann somit eine Halbierung der Gitterkonstanten
erreicht werden. Durch die Verringerung der Gitterkonstanten erhält man eine
wesentlich feinere Struktur der Gitterstege bzw. der Löcher 1210 auf
der Oberfläche
des Substrats 1200, so dass die Löcher 1210 einfacher überwachsen
werden können. Es
folgt eine Anodisierung, die wiederum die n-Dotierung nicht angreift,
jedoch die p-Dotierung des Substrats porös ätzt und schließlich einen
Bereich 1230 bildet, der die n-dotierten Gitterstege unterätzt (17d). Wie bereits mehrfach erwähnt, wird als letzter Schritt
zur Herstellung der Membran eine Temperung und/oder eine Epitaxie
durchgeführt.
Die Temperung lagert das poröse
Halbleitermaterial im Bereich 1230 um und verschließt die Löcher zwischen
den Gitterstegen. Mit der Epitaxie wird hingegen die eigentliche
Membran gebildet.
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Durch
die spezielle Art und Weise in der das n-dotierte Gitter in diesem
Ausführungsbeispiel
hergestellt wird, können
nur solche Geometrien verwendet werden, die nach dem physikalischen Ätzen zusammenhängende Gitterstege
ausbilden, z.B. eine schachbrettartige Geometrie (5e)
oder ein stabförmiges
Gitter (5f).
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Bevorzugt
wird Silizium als Halbleitermaterial für die vorstehenden Herstellungsverfahren
zur Erzeugung eines Gitters über
einer porösen
Schicht verwendet. Es soll jedoch festgestellt werden, dass statt
Silizium auch andere Materialien bzw. Halbleitermaterialien in dem
Herstellungsverfahren verwendet werden können, die porös ätzbar sind,
beispielsweise durch ein elektrochemisches Verfahren.