DE102004035784B8 - Vorrichtung zur Erfassung einer physikalischen Größe unter Verwendung eines kapazitiven Sensors, Airbagsystem hiermit, sowie Verfahren zum Testen der Vorrichtung - Google Patents
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Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003279960A JP4207154B2 (ja) | 2003-07-25 | 2003-07-25 | スティッキング検査機能を有する静電容量式センサ装置及び検査方法並びにエアバッグシステム |
JP2003-279960 | 2003-07-25 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102004035784A1 DE102004035784A1 (de) | 2005-02-17 |
DE102004035784B4 DE102004035784B4 (de) | 2012-10-18 |
DE102004035784B8 true DE102004035784B8 (de) | 2012-12-27 |
Family
ID=34074764
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102004035784A Expired - Fee Related DE102004035784B8 (de) | 2003-07-25 | 2004-07-23 | Vorrichtung zur Erfassung einer physikalischen Größe unter Verwendung eines kapazitiven Sensors, Airbagsystem hiermit, sowie Verfahren zum Testen der Vorrichtung |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7168320B2 (de) |
JP (1) | JP4207154B2 (de) |
DE (1) | DE102004035784B8 (de) |
Families Citing this family (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20040031167A1 (en) * | 2002-06-13 | 2004-02-19 | Stein Nathan D. | Single wafer method and apparatus for drying semiconductor substrates using an inert gas air-knife |
US20080234140A1 (en) * | 2005-03-17 | 2008-09-25 | A. Kuoni | Method and Device for Applying a Plurality of Microdroplets on a Substrate |
JP2007178420A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-07-12 | Denso Corp | 容量式物理量センサおよびその診断方法 |
US7924029B2 (en) * | 2005-12-22 | 2011-04-12 | Synaptics Incorporated | Half-bridge for capacitive sensing |
JP4765708B2 (ja) * | 2006-03-23 | 2011-09-07 | 株式会社デンソー | 容量式物理量センサ |
JP2008216118A (ja) * | 2007-03-06 | 2008-09-18 | Denso Corp | 力学量センサ |
JP5105949B2 (ja) * | 2007-04-27 | 2012-12-26 | キヤノン株式会社 | センサ |
JP2009097932A (ja) * | 2007-10-15 | 2009-05-07 | Freescale Semiconductor Inc | 容量型検出装置 |
US7987069B2 (en) * | 2007-11-12 | 2011-07-26 | Bee Cave, Llc | Monitoring patient support exiting and initiating response |
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-
2003
- 2003-07-25 JP JP2003279960A patent/JP4207154B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-07-22 US US10/895,978 patent/US7168320B2/en active Active
- 2004-07-23 DE DE102004035784A patent/DE102004035784B8/de not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102004035784A1 (de) | 2005-02-17 |
JP4207154B2 (ja) | 2009-01-14 |
US7168320B2 (en) | 2007-01-30 |
US20050016273A1 (en) | 2005-01-27 |
DE102004035784B4 (de) | 2012-10-18 |
JP2005043309A (ja) | 2005-02-17 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R018 | Grant decision by examination section/examining division | ||
R020 | Patent grant now final |
Effective date: 20130119 |
|
R084 | Declaration of willingness to licence | ||
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |