DE102004011770A1

DE102004011770A1 - Mikroskop

Info

Publication number: DE102004011770A1
Application number: DE200410011770
Authority: DE
Inventors: Kyra Dr. Möllmann; Jürgen Dr. Hoffmann
Original assignee: Leica Microsystems Heidelberg GmbH; Leica Microsystems CMS GmbH
Current assignee: Leica Microsystems CMS GmbH
Priority date: 2004-03-09
Filing date: 2004-03-09
Publication date: 2005-10-13
Anticipated expiration: 2024-03-10
Also published as: DE102004011770B4

Abstract

Ein Rastermikroskop mit einer Strahlablenkeinrichtung, die einen ersten Beleuchtungslichtstrahl zum Abrastern einer Probe ablenkt und mit einer zweiten Strahlablenkeinrichtung, die einen zweiten Beleuchtungslichtstrahl ablenkt, ist offenbart. Das Rastermikroskop ist dadurch gekennzeichnet, dass sowohl die erste als auch die zweite Strahlablenkeinrichtung den zweiten Beleuchtungslichtstrahl ablenken. Vorzugsweise ist die zweite Strahlablenkeinrichtung gemeinsam mit einer zweiten Lichtquelle modular ankoppelbar.

Description

Die Erfindung ist ein Rastermikroskop mit einer Strahlablenkeinrichtung, die einen ersten Beleuchtungslichtstrahl zum Abrastern einer Probe ablenkt und mit einer zweiten Strahlablenkeinrichtung, die einen zweiten Beleuchtungslichtstrahl ablenkt.
Die Erfindung betrifft außerdem ein Modul zur Ankopplung an ein Rastermikroskop, das eine erste Strahlablenkeinrichtung beinhaltet.
In der Rastermikroskopie wird eine Probe mit einem Lichtstrahl beleuchtet, um das von der Probe ausgehende Reflexions- oder emittierte Fluoreszenzlicht zu beobachten. Der Fokus eines Beleuchtungslichtstrahles wird mit Hilfe einer steuerbaren Strahlablenkeinrichtung, im Allgemeinen durch Verkippen zweier Spiegel, in einer Objektebene bewegt, wobei die Ablenkachsen meist senkrecht aufeinander stehen, so dass ein Spiegel in x-, der andere in y-Richtung ablenkt. Die Verkippung der Spiegel wird beispielsweise mit Hilfe von Galvanometer-Stellelementen bewerkstelligt. Die Leistung des vom Objekt kommenden Lichts wird in Abhängigkeit von der Position des Abtaststrahls gemessen. Üblicherweise werden die Stellelemente mit Sensoren zur Ermittlung der aktuellen Spiegelstellung ausgerüstet.
Speziell in der konfokalen Rastermikroskopie wird ein Objekt mit dem Fokus eines Lichtstrahles in drei Dimensionen abgetastet. Ein konfokales Rastermikroskop beinhaltet im Allgemeinen eine Lichtquelle, eine Fokussieroptik, mit der das Licht der Quelle auf eine Lochblende – die sog. Anregungsblende – fokussiert wird, einen Strahlteiler, eine Strahlablenkeinrichtung zur Strahlsteuerung, eine Mikroskopoptik, eine Detektionsblende und die Detektoren zum Nachweis des Detektions- bzw. Fluoreszenzlichtes. Das Beleuchtungslicht wird dabei über den Strahlteiler eingekoppelt. Das vom Objekt kommende Fluoreszenz- oder Reflexionslicht gelangt über die Strahlablenkeinrichtung zurück zum Strahlteiler, passiert diesen, um anschließend auf die Detektionsblende fokussiert zu werden, hinter der sich die Detektoren befinden. Detektionslicht, das nicht direkt aus der Fokusregion im Objekt stammt, nimmt einen anderen Lichtweg und passiert die Detektionsblende nicht, so dass man nur Informationen aus der Fokusregion erhält, die durch sequentielles Abtasten des Objekts zu einem dreidimensionalen Bild führen. Meist wird ein dreidimensionales Bild durch schichtweise Bilddatenaufnahme erzielt, wobei die Bahn des Abtastlichtstrahles auf bzw. in dem Objekt idealerweise einen Mäander beschreibt. Um eine schichtweise Bilddatenaufnahme zu ermöglichen, wird der Probentisch oder das Objektiv nach dem Abtasten einer Schicht verschoben und so die nächste abzutastende Schicht in die Fokusebene des Objektivs gebracht.
In der Rastermikroskopie ist man häufig daran interessiert, eine Probe mit einem zusätzlichen Lichtstrahl zu beleuchten, beispielsweise um die Probe an bestimmten Stellen zu bleichen oder auf andere Weise zu manipulieren, während die Probe gleichzeitig mit einem Beleuchtungslichtstrahl abgerastert wird, um ein Abbild der Probe zu gewinnen.

Eine Vorrichtung zur Untersuchung und Manipulation von mikroskopischen Objekten ist aus DE 100 39 520 A1 bekannt. Die Vorrichtung beinhaltet zwei unabhängig voneinander arbeitende Strahlablenkvorrichtungen, von denen eine einen Beleuchtungslichtstrahl und die andere einen Manipulationslichtstrahl ablenkt. Der Beleuchtungslichtstrahl und der Manipulationslichtstrahl werden in einer Ausgestaltungsvariante der Vorrichtung mit Hilfe eines Strahlteilers vor dem Mikroskopobjektiv zusammengeführt. In einer anderen Ausgestaltungsvariante ist der Scanspiegel der Strahlablenkeinrichtung, die den Beleuchtungslichtstrahl ablenkt, für den Manipulationslichtstrahl transparent ausgebildet und dient zum Zusammenführen von Beleuchtungslichtstrahl und Manipulationslichtstrahl.

Aus US 6,094,300 A ist ein Laserscanning-Mikroskop mit einer ersten Scanvorrichtung zum Abscannen einer Probe mit einem Beleuchtungslichtstrahl und mit einer zweiten Scanvorrichtung zur Positionierung eines weiteren Beleuchtungslichtstrahls auf der Probe bekannt. Auch bei diesem Laserscanning-Mikroskop erfolgt das Zusammenführen des ersten und des zweiten abgelenkten Beleuchtungslichtstrahls mit Hilfe eines Strahlvereinigers. Dieses Laserscanning-Mikroskop hat den Nachteil, dass der Strahlvereiniger ein Strahlversatz verursacht und darüber hinaus Interferenzeffekte hervorruft, die zu sehr unschönen Bildabberationen und Bildartefakten führen. Diese Abberationen und Bildartefakte lassen sich weder bei der Bildaufnahme noch bei der Bildbearbeitung kompensieren, da der Strahlvereiniger konzeptbedingt in einem Bereich angeordnet ist, indem sich sowohl der Manipulationsstrahl als auch der Beleuchtungslichtstrahl permanent bewegen, so dass sich der Einfallswinkel auf den interferenzerzeugenden Strahlvereiniger ständig ändert. Bei dem Versuch, diesen Nachteil mit Hilfe eines besonders dünnen Strahlteilers (Pellicle-Strahlteiler), der als dünne Kunststoffmembran ausgebildet sein kann, zu vermeiden, erzeugt man andere Nachteile. Ein Pellicle-Strahlteiler ist nur für sichtbares Licht verwendbar, da er Absorptionsbanden im UV und Infrarot aufweist. Darüber hinaus ist der Pellicle-Strahlteiler aufgrund seiner geringen mechanischen Stabilität leicht beschädigbar und nur als Neutralstrahlteiler einsetzbar. Dies führt zwangsläufig dazu, dass ein großer Teil des Beleuchtungslichts und/oder des von der Probe ausgehendes Detektionslichts ungenutzt verloren geht.

Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Rastermikroskop anzugeben, das eine gleichzeitige und unabhängig voneinander stattfindende Beobachtung und Manipulation einer Probe erlaubt und dabei sowohl Bildartefakte und Bildabberationen und Verlust an Beleuchtungs- oder Detektionslichtleistung vermeidet.

Diese Aufgabe wird durch ein Rastermikroskop gelöst, das dadurch gekennzeichnet ist, dass sowohl die erste, als auch die zweite Strahlablenkeinrichtung den zweiten Beleuchtungslichtstrahl ablenken.

Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, ein Modul zur Ankopplung an ein eine Strahlablenkeinrichtung beinhaltendes Rastermikroskop anzugeben, das das Führen eines zweiten Beleuchtungslichtstrahls, beispielsweise zur Manipulation über die Probe ermöglicht, wobei der Abrastervorgang zur Bildgewinnung des Rastermikroskops unbeeinflusst bleibt, so dass durch die Ankopplung weder Bildartefakte noch nennenswerte Lichtleistungsverluste hervorgerufen werden.

Diese Aufgabe wird durch ein Modul gelöst, das dadurch gekennzeichnet ist, dass das Modul eine zweite Strahlablenkeinrichtung beinhaltet.

Die Erfindung hat den Vorteil, dass sowohl Bildartefakte als auch Lichtleistungsverluste effizient vermieden sind. Erfindungsgemäß ist der den abgelenkten zweiten Beleuchtungslichtstrahl und den noch nicht abgelenkten ersten Beleuchtungslichtstrahl zusammenführende Strahlteiler vor der ersten Strahlablenkeinrichtung angeordnet, wo der für die Bilderzeugung wichtige erste Beleuchtungslichtstrahl auf einer ortsfesten Strahlachse verläuft, so dass die oben geschilderten nicht kompensierbaren Interferenzen gar nicht auftreten.

Ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung liegt darin, dass zum Zusammenführen von erstem und zweitem Beleuchtungslichtstrahl ohne Lichtleistungsverlust beliebige, an die jeweiligen Experimentierbedingungen anpassbare Strahlvereiniger verwendbar sind, beispielsweise können Farbstrahlvereiniger oder dichroitische Strahlvereiniger verwendet werden, mit denen vorteilhafterweise sowohl sichtbares Licht als auch UV- oder Infrarotlicht für den ersten und/oder für den zweiten Beleuchtungslichtstrahl verwendet werden kann. Vorteilhafterweise kann der Strahlvereiniger robust und dick ausgeführt sein, was erfindungsgemäß allenfalls einen leicht kompensierbaren Strahlversatz des ersten Beleuchtungslichtstrahls hervorruft, jedoch keine nicht kompensierbaren Interferenzerscheinungen. Vorteilhafterweise ist auch die Verwendung eines individuell einstellbaren Akusto-optischen-Strahlteilers (AOBS) als Strahlzusammenführer möglich.

Erfindungsgemäß ist es möglich, einen oder mehrere interessierende Bereiche der Probe (ROI; region of interest) innerhalb des Bildfeldes mit dem zweiten Beleuchtungslichtstrahl zu beleuchten, während das gesamte Bildfeld zeitlich parallel zur Gewinnung eines Abbildes vorzugsweise konfokal abgerastert wird. Der bzw. die interessierenden Probenbereiche, die mit dem Licht des zweiten Beleuchtungslichtstrahls beaufschlagt werden, können aus einem oder aus mehreren Rasterpunkten bestehen. Es ist erfindungsgemäß möglich, den zweiten Beleuchtungslichtstrahl beispielsweise mit Hilfe einer variablen Optik derart aufzuweisen, dass simultan mehrere Rasterpunkte beleuchtet werden. Die variable Optik ist vorzugsweise im Strahlengang des zweiten Beleuchtungslichtstrahls vor dem Zusammenführen mit dem ersten Beleuchtungslichtstrahl vorgesehen, um Beeinflussungen des ersten Beleuchtungslichtstrahls zu vermeiden. Bei der variablen Optik kann es sich beispielsweise um eine Zoomoptik oder eine Strahlaufweitungsoptik handeln. Es ist auch möglich, ein mit Hilfe der beiden Strahlablenkeinrichtungen verschiebbares Beleuchtungsmuster zu projizieren.

In einer besonders bevorzugten Ausgestaltungsvariante sind die erste und die zweite Strahlablenkeinrichtung aufeinander synchronisiert. In einer besonderen Variante lenkt die zweite Strahlablenkeinrichtung den zweiten Beleuchtungslichtstrahl derart ab, dass die Ablenkung des zweiten Beleuchtungslichtstrahl durch die erste Strahlablenkeinrichtung zumindest weitgehend kompensiert ist. Auf diese Weise ist es möglich, einen relativ zur Probe ruhenden Beleuchtungsfleck des zweiten Beleuchtungslichtstrahls zu erzeugen, während der erste Lichtstrahl von der ersten Strahlablenkeinrichtung, beispielsweise mäanderförmig oder sinusförmig oder spiralförmig oder irregulär oder lissajou-förmig über die Probe geführt wird.

Vorzugsweise besteht die Ablenkbewegung der zweiten Strahlablenkeinrichtung aus einer ersten Komponente zur Kompensation der Ablenkung des zweiten Beleuchtungslichtstrahls durch die erste Strahlablenkung und aus einer weiteren Komponente zur gezielten Positionierung des zweiten Beleuchtungslichtstrahls relativ zur Probe. Auf diese Weise ist es erfindungsgemäß ermöglicht, den ersten und den zweiten Beleuchtungslichtstrahl unabhängig voneinander über bzw. durch die Probe zu lenken. Sowohl der erste als auch der zweite Beleuchtungslichtstrahl kann unabhängig vom jeweils anderen Beleuchtungslichtstrahl jede denkbare Scanbahn abfahren.

Das Rastermikroskop beinhaltet vorzugsweise eine Steuerung, die die erste und/oder die zweite Strahlablenkeinrichtung steuert und ggfs. aufeinander synchronisiert. In einer bevorzugten Variante handelt es sich um eine elektronische Steuerung.

Vorzugsweise ist der ersten Strahlablenkeinrichtung eine erste Lichtquelle zugeordnet, die den ersten Beleuchtungslichtstrahl erzeugt und der zweiten Strahlablenkeinrichtung eine zweite Lichtquelle zugeordnet, die den zweiten Beleuchtungslichtstrahl erzeugt. Es ist in einer anderen Variante vorgesehen, dass die erste Lichtquelle sowohl den ersten als auch den zweiten Beleuchtungslichtstrahl erzeugt. Hierbei wird das von der ersten Lichtquelle emittierte Primärlicht mit Hilfe eines Strahlteilers in den ersten und zweiten Beleuchtungslichtstrahl aufgespalten und anschließend den Strahlablenkeinrichtungen zugeführt. Die erste und/oder die zweite Lichtquelle kann aus mehreren, vorzugsweise als Laser ausgebildeten Einzellichtquellen bestehen.

In einer besonders bevorzugten Variante ist die zweite Lichtquelle, die den zweiten Beleuchtungslichtstrahl erzeugt, als Pulslaser ausgebildet. In dieser Variante wird die Probe mit dem zweiten Beleuchtungslichtstrahl rasterförmig abgescannt und über einen Zweiphotonen-Prozess zur Fluoreszenz angeregt. Das hierdurch erzeugte Fluoreszenzlicht wird mit einem Non-Descan-Detektor detektiert. Gleichzeitig kann die Probe mit dem ersten Beleuchtungslichtstrahl abgerastert werden, wobei das dabei entstehende Detektionslicht über die erste Strahlablenkeinrichtung zu einem Descan-Detektor gelangt.

In einer anderen bevorzugten Variante wird die zweite Strahlablenkeinrichtung lediglich als Beamcatcher verwendet, um den zweiten Beleuchtungslichtstrahl exakt auf den Strahlengang des ersten Beleuchtungslichtstrahls zu justieren. Nach der Justierung werden dann sowohl der erste als auch der zweite Beleuchtungslichtstrahl nur von der ersten Strahlablenkeinrichtung über bzw. durch die Probe geführt, während die zweite Strahlablenkeinrichtung in der einjustierten Stellung verbleibt. Es ist in dieser Variante auch ermöglicht, einen Strahlversatz zwischen dem ersten und dem zweiten Beleuchtungslichtstrahl zu erzeugen, so dass die beiden Beleuchtungslichtstrahlen zwar gemeinsam von der ersten Strahlablenkeinrichtung über bzw. durch die Probe geführt werden, jedoch zu einem Zeitpunkt unterschiedliche Lichtflecke in der Probe beleuchten, so das der eine Beleuchtungslichtstrahl in der Probe dem anderen Beleuchtungslichtstrahl vorauseilt.

In einer ganz besonders bevorzugten Ausgestaltungsvariante ist die zweite Strahlablenkeinrichtung als Modul ausgestaltet. Vorzugsweise beinhaltet das Modul auch die zweite Lichtquelle. Das Modul kann vorzugsweise in Bajonett- oder Anschlagtechnik an einen Einkoppelport des Rastermikroskops angekoppelt werden.

Der zweite Beleuchtungslichtstrahl kann als Manipulationslichtstrahl wirken und die Probe in den interessierenden Bereichen, die der Benutzer beispielsweise in einem Voransichtsbild markiert, manipulieren. Der Manipulationslichtstrahl kann beispielsweise zum Bleichen, zum Schneiden, zum Dissektieren, zum Anregen oder optischen Abregen der Probe verwendet werden.

In der Zeichnung ist der Erfindungsgegenstand schematisch dargestellt und wird anhand der Figuren nachfolgend beschrieben, wobei gleich wirkende Elemente mit denselben Bezugszeichen versehen sind. Dabei zeigt:
1 ein erfindungsgemäßes Rastermikroskop,
2 ein weiteres erfindungsgemäßes Rastermikroskop mit einem erfindungsgemäßen Modul und
3 mögliche Scanbahnen des ersten und zweiten Beleuchtungslichtstrahles in der Probe.
1 zeigt ein erfindungsgemäßes Rastermikroskop mit einer Strahlablenkeinrichtung 1, die einen kardanisch aufgehängten Scanspiegel 3 beinhaltet. Die Strahlablenkeinrichtung 1 lenkt einen ersten Beleuchtungslichtstrahl 5 durch eine Scanoptik 7 und eine Tubusoptik 9, sowie durch ein Mikroskopobjektiv 11 hindurch, über bzw. durch die Probe 13 und regt diese zur Fluoreszenz an. Das von der Probe ausgehende Fluoreszenz-Detektionslicht 15 gelangt durch das Mikroskopobjektiv 11, die Tubusoptik 9 sowie durch die Scanoptik 7 zurück zur Strahlablenkeinrichtung 1 und gelangt schließlich nach dem Passieren des Hauptstrahlteilers 16 zu dem Detektor 17, der als Photomultiplier 19 ausgestaltet ist. Im Detektor 17 werden elektrische in der Amplitude zur Leistung des Detektionslichts 15 proportionale Detektionssignale erzeugt und an eine Steuerung 20 übergeben. In der Steuerung 20 werden den Detektionssignalen die den jeweiligen Stellungen des Scanspiegels 3 entsprechenden erzeugten Positionssignale zugeordnet und gemeinsam als Bilddaten einem PC 21 übergeben, auf dessen Monitor 23 ein Abbild der Probe dargestellt wird. Der erste Beleuchtungslichtstrahl 5 wird von einer ersten Lichtquelle 25, die einen ersten Laser 27 und einen zweiten Laser 29 beinhaltet, erzeugt. Das von den Lasern emittierte Primärlicht wird mit einem Strahlvereiniger 31 zu dem ersten Beleuchtungslichtstrahl 5 vereinigt. Die Steuerung 20 steuert in Abhängigkeit von der Stellung des Scanspiegels 3 der Strahlablenkeinrichtung 1 eine zweite Strahlablenkeinrichtung 33, die einen zweiten kardanisch aufgehängten Scanspiegel 35 beinhaltet. Der kardanisch aufgehängte Scanspiegel 35 lenkt einen zweiten Beleuchtungslichtstrahl 37, der von einer zweiten Lichtquelle 39, die als Diodenlaser ausgestaltet ist, ab. Der von der Strahlablenkeinrichtung 33 abgelenkte zweite Beleuchtungslichtstrahl 37 wird mit Hilfe eines dichroitischen Strahlteilers 41 zur Strahlablenkeinrichtung 1 reflektiert. Die Steuerung 20 steuert die Ablenkbewegung der zweiten Strahlablenkeinrichtung derart, dass einerseits die Ablenkung des zweiten Beleuchtungslichtstrahls 37 durch die erste Strahlablenkeinrichtung 1 kompensiert ist und andererseits gezielt eine Positionierung des zweiten Beleuchtungslichtstrahls relativ zur Probe vorgenommen wird.
2 zeigt ein anderes erfindungsgemäßes Rastermikroskop. Das Rastermikroskop beinhaltet ein Modul 43, in dem die zweite Strahlablenkeinrichtung 33, die in dieser Ausführung aus den zwei Scanspiegeln 71 und 73, von denen der eine für eine Ablenkung in x- und der andere für eine Ablenkung in y-Richtung vorgesehen sind, besteht, angeordnet ist. Das Modul 43 beinhaltet außerdem Zoomoptik 45 zum Einstellen der Fleckgröße des zweiten Beleuchtungslichtstrahls 37 in der Probe 13. Das Modul 43 ist an einen Einkoppelport 47 des Rastermikroskops angekoppelt. Der Einkoppelport weist ein nicht gezeigtes Anschlussbajonett auf. Das Scanmodul 40 empfängt den zweiten Beleuchtungslichtstrahls 37 von einem Laser 49, der beispielsweise um die Wellenlänge des zweiten Beleuchtungslichtstrahls zu ändern, gegen weitere Laser 51 oder 53 austauschbar ist. Um eine variable Einkopplung zweiter Beleuchtungslichtstrahlen unterschiedlicher Wellenlänge zu ermöglichen, ist ein Strahlteilerschieber 55 vorgesehen, auf dem Strahlteiler 57, 59, 61 mit unterschiedlichen spektralen Eigenschaften angeordnet sind. Mit Hilfe des Strahlteilerschiebers können die verschiedenen Strahlteiler, 57, 59, 61 einfach im Strahlengang des Rastermikroskops positioniert werden. Die Strahlablenkeinrichtung 33 kann in diesem Fall zusätzlich als Beam-Catcher Verwendung finden. Bei einem Wechsel der Laser 49, 51 und 53 reicht es somit aus, den zweiten Beleuchtungslichtstrahl 37 grob durch die Öffnung mit Lichtkegel 75 in das Modul 43 einzufädeln. Über die Steuerung 20 werden die beiden Scanspiegel 71 und 73 der Strahlablenkeinrichtung 33 zunächst so angesteuert, dass der zweite Beleuchtungslichtstrahl 37 ideal im Scanmodul 40 verläuft. In der Regel wird man den zweiten Beleuchtungslichtstrahl 37 mit dem ersten Beleuchtungslichtstrahl 5 ab dem dichroitischen Strahlteiler 41 zur Deckung bringen. Andere Möglichkeiten, z.B. dass der zweite Beleuchtungslichtstrahl 37 parallel oder unter einem bestimmten Winkel zum ersten Beleuchtungslichtstrahl 5 verläuft, sind denkbar. Anschließend wird die Ablenkbewegung des zweiten Beleuchtungsstrahls 37, wie in 1 beschrieben, durch die Steuerung 20 bewirkt.
3 zeigt die erste Scanbahn 63, der der Fokus des ersten Beleuchtungslichtstrahls 5 in der gezeigten Bildfeldebene 65 folgt. In einem Voransichtsbild wurde ein interessierender Bereich 67 markiert, innerhalb dessen der Fokus des zweiten Beleuchtungslichtstrahls 37 die Probe 13 entlang der zweiten Scanbahn 69 manipuliert; in diesem Fall bleicht. Der Fokus des ersten Beleuchtungslichtstrahls 5, der der Scanbahn 63 folgt, regt die Probe zur Fluoreszenz an. Das Fluoreszenzlicht wird, wie bereits geschildert, detektiert und in elektrische Signale umgewandelt. Die zweite Scanbahn 69 ist hier nur schematisch dargestellt und nicht auf eine Mäanderform beschränkt. Im Prinzip kann der zweite Beleuchtungslichtstrahl 37 auf nur einer Stelle, sinusförmig, spiralförmig, irregulär oder lissajou-förmig über die Probe 13 geführt werden.
Die Erfindung wurde in Bezug auf eine besondere Ausführungsform beschrieben. Es ist jedoch selbstverständlich, dass Änderungen und Abwandlungen durchgeführt werden können, ohne dabei den Schutzbereich der nachstehenden Ansprüche zu verlassen.

1: Strahlablenkeinrichtung
3: Scanspiegel
5: erster Beleuchtungslichtstrahl
7: Scanoptik
9: Tubusoptik
11: Mikroskopobjektiv
13: Probe
15: Detektionslicht
16: Hauptstrahlteiler
17: Detektor
19: Photomultiplier
20: Steuerung
21: PC
23: Monitor
25: erste Lichtquelle
27: erster Laser
29: zweiter Laser
31: Strahlvereiniger
33: Strahlablenkeinrichtung
35: Scanspiegel
37: zweiter Beleuchtungslichtstrahl
39: zweite Lichtquelle
40: Scanmodul
41: dichroitischer Strahlteiler
43: Modul
45: Zoomoptik
47: Einkoppelport
49: Laser
51: weiterer Laser
53: weiterer Laser
55: Strahlteilerschieber
57: Strahlteiler
59: Strahlteiler
61: Strahlteiler
63: Scanbahn
65: Bildfeldebene
67: interessierender Bereich
69: zweite Scanbahn
71: Scanspiegel
73: Scanspiegel
75: Öffnung mit Lichtkegel

Claims

Rastermikroskop mit einer Strahlablenkeinrichtung, die einen ersten Beleuchtungslichtstrahl zum Abrastern einer Probe ablenkt, und mit einer zweiten Strahlablenkeinrichtung, die einen zweiten Beleuchtungslichtstrahl ablenkt, dadurch gekennzeichnet, dass sowohl die erste, als auch die zweite Strahlablenkeinrichtung den zweiten Beleuchtungslichtstrahl ablenken.
Rastermikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die erste und die zweite Strahlablenkeinrichtung aufeinander synchronisiert sind.
Rastermikroskop nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Strahlablenkeinrichtung den zweiten Beleuchtungslichtstrahl derart ablenkt, dass die Ablenkung des zweiten Beleuchtungslichtstrahls durch die erste Strahlablenkeinrichtung zumindest weitgehend kompensiert ist.
Rastermikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Ablenkbewegung der zweiten Strahlablenkeinrichtung aus einer ersten Komponente zur Kompensation der Ablenkung des zweiten Beleuchtungslichtstrahls durch die erste Strahlablenkeinrichtung und aus einer weiteren Komponente zur gezielten Positionierung des zweiten Beleuchtungslichtstrahls relativ zur Probe besteht.
Rastermikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass eine, vorzugsweise elektronische, Steuerung vorgesehen ist, die die erste und/oder die zweite Strahlablenkeinrichtung steuert.
Rastermikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass der ersten Stahlablenkeinrichtung eine erste Lichtquelle zugeordnet ist, die den ersten Beleuchtungslichtstrahl erzeugt.
Rastermikroskop nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Lichtquelle auch den zweiten Beleuchtungslichtstrahl erzeugt.
Rastermikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass eine zweite Lichtquelle vorgesehen ist, die den zweiten Beleuchtungslichtstrahl erzeugt.
Rastermikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Strahlablenkeinrichtung als Modul ausgestaltet ist.
Rastermikroskop nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Modul die zweite Lichtquelle beinhaltet.
Rastermikroskop nach einem der Ansprüche 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Rastermikroskop einen Einkoppelport aufweist, an den das Modul, vorzugsweise in Bajonett- oder Anschlagtechnik, ankoppelbar ist.
Rastermikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Beleuchtungslichtstrahl ein Manipulationslichtstrahl ist.
Rastermikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Rastermikroskop ein konfokales Rastermikroskop ist.
Modul zur Ankopplung an ein Rastermikroskop, das eine erste Strahlablenkeinrichtung beinhaltet, dadurch gekennzeichnet, dass das Modul eine zweite Strahlablenkeinrichtung beinhaltet.
Modul nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass eine, vorzugsweise elektronische, Steuerung vorgesehen ist, die die erste und die zweite Strahlablenkeinrichtung aufeinander synchronisiert.
Modul nach einem der Ansprüche 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Strahlablenkeinrichtung den zweiten Beleuchtungslichtstrahl derart ablenkt, dass die Ablenkung des zweiten Beleuchtungslichtstrahls durch die erste Strahlablenkeinrichtung zumindest weitgehend kompensiert ist.
Modul nach einem der Ansprüche 14 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Ablenkbewegung der zweiten Strahlablenkeinrichtung aus einer ersten Komponente zur Kompensation der Ablenkung des zweiten Beleuchtungslichtstrahls durch die erste Strahlablenkeinrichtung und aus einer weiteren Komponente zur gezielten Positionierung des zweiten Beleuchtungslichtstrahls relativ zur Probe besteht.
Modul nach einem der Ansprüche 14 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass das Modul eine Lichtquelle beinhaltet.
Modul nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtquelle einen Beleuchtungslichtstrahl und/oder einen Manipulationslichtstrahl erzeugt.
Modul nach einem der Ansprüche 14 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass das Modul an einen Einkoppelport des Rastermikroskops, vorzugsweise in Bajonett- oder Anschlagtechnik, ankoppelbar ist.