DE102004047820A1 - Rastermikroskop und rastermikroskopisches Verfahren - Google Patents
Rastermikroskop und rastermikroskopisches Verfahren Download PDFInfo
- Publication number
- DE102004047820A1 DE102004047820A1 DE102004047820A DE102004047820A DE102004047820A1 DE 102004047820 A1 DE102004047820 A1 DE 102004047820A1 DE 102004047820 A DE102004047820 A DE 102004047820A DE 102004047820 A DE102004047820 A DE 102004047820A DE 102004047820 A1 DE102004047820 A1 DE 102004047820A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- scanning microscope
- detection
- detection light
- detector
- switching means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
- G02B21/008—Details of detection or image processing, including general computer control
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
Ein Rastermikroskop mit einem ersten und zumindest einem weiteren Detektionskanal ist offenbart. Der erste Detektionskanal beinhaltet zumindest einen ersten Detektor und der weitere Detektionskanal beinhaltet zumindest einen weiteren Detektor zur Detektion von von einer Probe ausgehendem Detektionslicht. Es ist ein Umschaltmittel vorgesehen, das das Detektionslicht wahlweise in den ersten oder in den weiteren Detektionskanal lenkt.
Description
- Die Erfindung betrifft ein Rastermikroskop mit einem ersten und zumindest einem weiteren Detektionskanal, wobei der erste Detektionskanal zumindest einen ersten Detektor und der weitere Detektionskanal zumindest einen weiteren Detektor zur Detektion von von einer Probe ausgehendem Detektionslicht beinhaltet.
- Die Erfindung betrifft außerdem ein Verfahren zur rastermikroskopischen Untersuchung einer Probe.
- In der Rastermikroskopie wird eine Probe mit einem Lichtstrahl beleuchtet, um das von der Probe emittierte Reflexions- oder Fluoreszenzlicht zu beobachten. Der Fokus eines Beleuchtungslichtstrahles wird mit Hilfe einer steuerbaren Strahlablenkeinrichtung, im Allgemeinen durch Verkippen zweier Spiegel, in einer Objektebene bewegt, wobei die Ablenkachsen meist senkrecht aufeinander stehen, so dass ein Spiegel in x-, der andere in y-Richtung ablenkt. Die Verkippung der Spiegel wird beispielsweise mit Hilfe von Galvanometer-Stellelementen bewerkstelligt. Die Leistung des vom Objekt kommenden Lichtes wird in Abhängigkeit von der Position des Abtaststrahles gemessen. Üblicherweise werden die Stellelemente mit Sensoren zur Ermittlung der aktuellen Spiegelstellung ausgerüstet.
- Speziell in der konfokalen Rastermikroskopie wird ein Objekt mit dem Fokus eines Lichtstrahles in drei Dimensionen abgetastet.
- Ein konfokales Rastermikroskop umfasst im Allgemeinen eine Lichtquelle, eine Fokussieroptik, mit der das Licht der Quelle auf eine Lochblende – die sog. Anregungsblende – fokussiert wird, einen Strahlteiler, eine Strahlablenkeinrichtung zur Strahlsteuerung, eine Mikroskopoptik, eine Detektionsblende und die Detektoren zum Nachweis des Detektions- bzw. Fluoreszenzlichtes. Das Beleuchtungslicht wird oft über den Strahlteiler, der beispielsweise als Neutralstrahlteiler oder als dichroitischer Strahlteiler ausgeführt sein kann, eingekoppelt. Neutralstrahlteiler haben den Nachteil, dass je nach Teilungsverhältnis viel Anregungs- oder viel Detektionslicht verloren geht.
- Das vom Objekt kommende Fluoreszenz- oder Reflexionslicht gelangt über die Strahlablenkeinrichtung zurück zum Strahlteiler, passiert diesen, um anschließend auf die Detektionsblende fokussiert zu werden, hinter der sich die Detektoren befinden. Detektionslicht, das nicht direkt aus der Fokusregion stammt, nimmt einen anderen Lichtweg und passiert die Detektionsblende nicht, so dass man eine Punktinformation erhält, die durch sequentielles Abtasten des Objekts zu einem dreidimensionalen Bild führt. Meist wird ein dreidimensionales Bild durch schichtweise Bilddatennahme erzielt, wobei die Bahn des Abtastlichtstrahles auf bzw. in dem Objekt Idealerweise einen Mäander beschreibt. (Abtasten einer Zeile in x-Richtung bei konstanter y-Position, anschließend x-Abtastung anhalten und per y-Verstellung auf die nächste abzutastende Zeile schwenken und dann, bei konstanter y-Position, diese Zeile in negative x-Richtung abtasten u.s.w.). Um eine schichtweise Bilddatennahme zu ermöglichen, wird der Probentisch oder das Objektiv nach dem Abtasten einer Schicht verschoben und so die nächste abzutastende Schicht in die Fokusebene des Objektivs gebracht.
- Bei vielen Anwendungen werden Proben mit mehreren Markern, beispielsweise mehreren unterschiedlichen Fluoreszenzfarbstoffen präpariert. Diese Farbstoffe können sequentiell, beispielsweise mit Beleuchtungslichtstrahlen, die unterschiedliche Anregungswellenlängen aufweisen, angeregt werden. Auch eine simultane Anregung mit einem Beleuchtungslichtstrahl, der Licht mehrerer Anregungswellenlängen beinhaltet, ist üblich. Aus der Europäischen Patentanmeldung
EP 0 495 930 : „Konfokales Mikroskopsystem für Mehrfarbenfluoreszenz" ist beispielsweise eine Anordnung mit einem einzelnen mehrere Laserlinien emittierenden Laser bekannt. Derzeit sind in der Praxis solche Laser meist als Mischgaslaser, insbesondere als ArKr-Laser, ausgebildet. - Zur simultanen Detektion des von der Probe ausgehenden Detektionslichtes werden oft Multibanddetektoren eingesetzt. Aus der Offenlegungsschrift
DE 4330347 A1 ist eine Vorrichtung zur Selektion und Detektion mindestens zweier Spektralbereiche eines Lichtstrahls, mit einer Selektionseinrichtung und einer Detektionseinrichtung bekannt. Die Vorrichtung ist zur zuverlässigen gleichzeitigen Selektion und Detektion unterschiedlicher Spektralbereiche bei hoher Ausbeute und bei einfachster Konstruktion derart ausgestaltet, dass die Selektionseinrichtung Bauteil zur spektralen Aufspaltung des Lichtstrahls – beispielsweise ein Prisma oder ein Gitter – und Mittel einerseits zum Ausblenden eines ersten Spektralbereichs und andererseits zur Reflexion zumindest eines Teils des nicht ausgeblendeten Spektralbereichs und die Detektionseinrichtung einen im Strahlengang des ausgeblendeten ersten Spektralbereichs angeordneten ersten Detektor und einen im Strahlengang des reflektierten Spektralbereichs angeordneten zweiten Detektor umfasst. Als Mittel zum Ausblenden eines ersten Spektralbereichs und andererseits zur Reflexion zumindest eines Teils des nicht ausgeblendeten Spektralbereichs ist vorzugsweise eine Spaltblendenvorrichtung mit verspiegelten Blendenbacken vorgesehen. Die Vorrichtung ist insbesondere als Multibanddetektor in einem Rastermikroskop einsetzbar. - Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Rastermikroskop anzugeben, das auf flexible Weise – insbesondere auch während des Abrasterns einer Probe – die Verwendung der jeweils optimalen Detektorentypen zu ermöglicht.
- Diese Aufgabe wird durch ein Rastermikroskop gelöst, das dadurch gekennzeichnet ist, dass ein Umschaltmittel vorgesehen ist, das das Detektionslicht wahlweise in den ersten und/oder in den weiteren Detektionskanal lenkt.
- Es ist eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zu rastermikroskopischen Untersuchung einer Probe anzugeben, das eine weitgehend flexible und effiziente Detektion des von der Probe ausgehenden Detektionslichtes ermöglicht.
- Die weitere Aufgabe wird durch ein Verfahren gelöst, das durch die folgenden Schritte gekennzeichnet ist:
- • Erzeugen eines Übersichtsbildes einer Probe,
- • Bestimmen von zumindest einem Bereich innerhalb des Übersichtsbildes,
- • Beleuchten der Probe mit Beleuchtungslicht,
- • Detektieren von von der Probe ausgehendem Detektionslicht, wobei das aus dem Bereich stammende Detektionslicht in einen ersten Detektionskanal gelenkt wird und zumindest ein Teil des übrigen Detektionslichts in einen weiteren Detektionskanal gelenkt wird.
- Vorteilhafter Weise kann erfidungsgemäß sehr schnell – sogar innerhalb eines Bildes vorzugsweise sogar pixelgenau – zwischen unterschiedlichen Detektionskanälen hin und her geschaltet werden. Der Benutzer kann vorzugsweise zunächst ein Übersichtsbild generieren und in diesem markieren (beispielsweise mit einem Zeigegerät, wie einer Computermaus) für welche Bereiche der Probe welcher Detektionskanal verwendet werden soll. So ist es beispielsweise möglich, sehr schwach fluoreszierende Bereiche mit einer APD (Avalanche-Photodiode) zu detektieren, während man gleichzeitig für andere hellere Bereiche das gesamte Spektrum des Detektionslichtes (beispielsweise mit einem Spektrometer als Detektor) ermittelt. Wieder an einer anderen Stelle (anderer Bereich) kann beispielsweise mittels Fluoreszenz-Liftime-Messungen die Lebensdauer der Probenfarbstoffe ermittelt werden.
- In einer bevorzugten Ausführungsvariante umfasst das Rastermikroskop eine Scaneinrichtung, wobei das Umschaltmittel das Detektionslicht in Abhängigkeit von der jeweiligen Scanposition in den ersten oder in den weiteren Detektionskanal lenkt.
- Vorzugsweise ist mit dem Rastermikroskop eine Probe punktweise abtastbar, wobei das Umschaltmittel das von benachbarten Scanpunkten ausgehende Detektionslicht in unterschiedliche Detektionskanäle lenkt. In einer anderen Variante ist eine Probe linienweise abtastbar, wobei das Umschaltmittel das von benachbarten Scanlinien ausgehende Detektionslicht in unterschiedliche Detektionskanäle lenkt.
- In einer besonders bevorzugten Variante sind beliebige Bereiche (Punkte, Linien, Flächen, Volumen) vorzugsweise beliebig festlegbarer Begrenzung auswählbar und jedem ausgewählten Bereich ein oder mehrere Detektionskanäle zuordenbar.
- In einer besonderen Ausgestaltungsvariante ist eine einstellbare Strahlablenkeinrichtung vorgesehen. Das Umschaltmittel lenkt das Detektionslicht bei dieser Variante in Abhängigkeit von der Ablenkstellung der Strahlablenkeinrichtung in den ersten oder in den weiteren Detektionskanal.
- Vorzugsweise beinhaltet der erste Detektor und/oder der weitere Detektor einen Photomultiplier und/oder eine Photodiode und/oder eine CCD und/oder ein EMCCD und/oder eine Avalanche-Photodiode und/oder ein Spektrometer und/oder einen Multibanddetektor.
- Vorteilhafter Weise können der erste Detektor und der weitere Detektor zu unterschiedliche Detektortypen gehören.
- Das Umschaltmittel umfasst insbesondere zum schellen Umschalten zwischen den Detektionskanälen in einer bevorzugten Ausführungsform einen optischen Shutter. Bei diesem wird der Effekt der frustrierten Totalreflexion ausgenutzt. Ein beispielsweise ca. 0,5 Mikrometer breiter Spalt zwischen einem ersten optischen Körper und einem zweiten optischen Körper (vorzugsweise Glasprismen) kann mit Hilfe von Piezostellelementen geschlossen und geöffnet werden, wobei zwischen Totaler Reflexion an einer Grenzfläche und der damit verbundenen Einkopplung in einen Detektionskanal und der Transmission durch die Grenzfläche und der damit verbundenen Einkopplung in einen anderen Detektionskanal umgeschaltet werden kann. Durch Einstellung des Relativabstandes zwischen dem ersten und dem zweiten optischen Körper kann der Reflexionsgrad eingestellt werden. Hierdurch ist es ermöglicht, gleichzeitig einen vorgebbaren Anteil des Detektionslichtes in einen Detektionskanal und einen anderen Anteil in einen anderen Detektionskanal zu lenken. Zum Einstellen des Relativabstandes ist vorzugsweise ein Einstellmittel vorgesehen, das – wie bereits erwähnt – Piezostellelemente beinhalten kann. Das Einstellmittel kann beispielsweise auch einen Verschiebetisch, der vorzugsweise motorisch angetrieben ist, beinhalten.
- Der Effekt der frustrierten Totalreflexion ist nahezu wellenlängen- und polarisationsunabhängig, so dass ein Umschaltmittel, das auf dieser Basis arbeitet besonders vorteilhaft in einem Rastermikroskop verwendbar ist.
- Das Umschaltmittel beinhaltet in einer anderen Variante einen Klappspiegel und/oder einen Drehspiegel. In einer weiteren Ausgestaltungsform beinhaltet das Umschaltmittel ein akustooptisches Bauteil, insbesondere einen AOM.
- Vorzugsweise ist das Rastermikroskop als konfokales Rastermikroskop ausgebildet.
- In der Zeichnung ist der Erfindungsgegenstand schematisch dargestellt und wird anhand der Figuren nachfolgend beschrieben, wobei gleich wirkende Bauteile mit denselben Bezugszeichen versehen sind. Dabei zeigen:
-
1 Ein erfindungsgemäße Rastermikroskop, -
2 eine Detailansicht eines erfindungsgemäßen Rastermikroskops, -
3 eine Detailansicht eines erfindungsgemäßen Rastermikroskops, und -
4 eine weitere Detailansicht eines erfindungsgemäßen Rastermikroskops. -
1 zeigt ein erfindungsgemäße Rastermikroskop, das als konfokales Rastermikroskop ausgebildet ist. Das Rastermikroskop weist eine Beleuchtungslichtquelle1 auf, die als Mehrlinienlaser3 ausgeführt ist und die ein Beleuchtungslichtstrahlenbündel5 erzeugt. Das Beleuchtungslichtstrahlenbündel5 passiert die Beleuchtungslochblende7 und wird anschließend von einem Hauptstrahlteiler9 , der als dichroitischer Filter ausgebildet ist, zur Strahlablenkeinrichtung11 , die einen kardanisch aufgehängten Scanspiegel13 beinhaltet. Die Strahlablenkeinrichtung11 führt das Beleuchtungslichtstrahlenbündel5 durch die Scanoptik15 , die Tubusoptik17 , sowie durch das Objektiv19 über bzw. durch die Probe21 . Das Beleuchtungslichtstrahlenbündel5 ist in der Figur mit ausgezogenen Linien dargestellt. Das von der Probe ausgehende Detektionslicht23 (z.B. Reflexionslicht oder Fluoreszenzlicht...) gelangt auf demselben Lichtweg, nämlich durch das Objektiv19 , die Tubusoptik17 , sowie durch die Scanoptik15 zurück zur Strahlablenkeinrichtung11 , die das Detektionslicht23 zum Hauptstrahlteiler9 lenkt. Das Detektionslicht23 passiert den Hauptstrahlteiler9 und die folgende Detektionslochblende25 und gelangt anschließend zu einem Umschaltmittel27 , das das Detektionslicht23 wahlweise in einen ersten Detektionskanal29 und/oder in einen weiteren Detektionskanal31 lenkt. Das Detektionslicht23 ist in der Figur mit gestrichelten Linien dargestellt. Das Umschaltmittel27 wird von einer elektronischen Kontrolleinheit33 gesteuert und lenkt das Detektionslicht23 in Abhängigkeit von der Ablenkstellung der Strahlablenkeinrichtung11 , die ebenfalls von der Kontrolleinheit33 gesteuert ist, in den ersten Detektionskanal29 oder in den weiteren Detektionskanal31 . Der erste Detektionskanal29 beinhaltet einen ersten Detektor35 , der als Photomultiplier ausgeführt ist. Der weitere Detektionskanal31 beinhaltet einen weiteren Detektor37 , der als Avalanche-Photodiode ausgeführt ist. -
2 zeigt eine Detailansicht eines erfindungsgemäßen Rastermikroskops nämlich insbesondere eine Ausführungsvariante eines Umschaltmittels27 , das das Detektionslicht23 wahlweise in einen ersten Detektionskanal29 und/oder in einen weiteren Detektionskanal31 lenkt. Das hier gezeigte Umschaltmittel könnte beispielsweise Bestandteil des in1 gezeigten Rastermikroskops sein. Das Umschaltmittel27 weist einen ersten optischen Körper39 und einen zweiten optischen Körper41 auf, deren Relativabstand49 einstellbar ist. Der ersten optische Körper39 und der zweiten optische Körper41 sind jeweils als Glasprismen ausgebildet. Der erste optische Körper weist eine Granzfläche43 auf, an der das Detektionslicht totalreflektierbar ist. Zur Einstellung des Relativabstandes49 zwischen dem ersten optischen Körper39 und dem zweiten optischen Körper41 ist ein Einstellmittel45 vorgesehen, das ein Piezo-Element47 umfasst. Mit dem Piezo-Element47 kann der zweite optische Körper41 der Grenzfläche43 des ersten optischen Körpers angenähert werden. beträgt der Relativabstand49 ca. 0,5 μm, so dass das Detektionslicht23 an der Grenzfläche43 weitgehend vollständig totalreflektiert wird und in den weiteren Detektionskanal31 , der einen weiteren Detektor37 zur Detektion des Detektionslichts23 beinhaltet, gelangt. In der gezeigten Stellung empfängt der erste Detektor35 des ersten Detektionskanals29 kein Detektionslicht23 . -
3 zeigt die aus2 bekannte Detailansicht, jedoch mit auf Null verringertem Relativabstand49 . An der Grenzfläche43 wird in dieser Stellung nahezu kein Detektionslicht23 reflektiert, so dass das Detektionslicht23 nahezu vollständig den ersten optischen Körper39 sowie den zweiten optischen Körper41 passiert und in den ersten Detektionskanal29 der einen ersten Detektor35 zur Detektion des Detektionslichts23 beinhaltet, gelangt. - Fig. zeigt die aus
2 bekannte Detailansicht, jedoch mit einem Relativabstand49 , der so gewählt ist, dass ein Teil des Detektionslichts23 totalreflektiert wird und in den weiteren Detektionskanal31 gelenkt wird, während ein anderer Teil des Detektionslichts23 den ersten optischen Körper39 sowie den zweiten optischen Körper41 passiert und in den ersten Detektionskanal29 gelangt. Der Reflexionsgrad ist durch Variieren des Relativabstandes49 zwischen dem ersten und dem zweiten optischen Körper einstellbar. - Die Erfindung wurde in Bezug auf eine besondere Ausführungsform beschrieben. Es ist jedoch selbstverständlich, dass Änderungen und Abwandlungen durchgeführt werden können, ohne dabei den Schutzbereich der nachstehenden Ansprüche zu verlassen.
-
- 1
- Beleuchtungslichtquelle
- 3
- Mehrlinienlaser
- 5
- Beleuchtungslichtstrahlenbündel
- 7
- Beleuchtungslochblende
- 9
- Hauptstrahlteiler
- 11
- Strahlablenkeinrichtung
- 13
- Scanspiegel
- 15
- Scanoptik
- 17
- Tubusoptik
- 19
- Objektiv
- 21
- Probe
- 23
- Detektionslicht
- 25
- Detektionslochblende
- 27
- Umschaltmittel
- 29
- erster Detektionskanal
- 31
- weiterer Detektionskanal
- 33
- Kontrolleinheit
- 35
- erster Detektor
- 37
- weiterer Detektor
- 39
- erster optischer Körper
- 41
- weiterer optischer Körper
- 43
- Grenzfläche
- 45
- Einstellmittel
- 47
- Piezo-Element
- 49
- Relativabstand
Claims (41)
- Rastermikroskop mit einem ersten und zumindest einem weiteren Detektionskanal, wobei der erste Detektionskanal zumindest einen ersten Detektor und der weitere Detektionskanal zumindest einen weiteren Detektor zur Detektion von von einer Probe ausgehendem Detektionslicht beinhaltet, dadurch gekennzeichnet, dass ein Umschaltmittel vorgesehen ist, das das Detektionslicht wahlweise in den ersten und/oder in den weiteren Detektionskanal lenkt.
- Rastermikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Rastermikroskop eine Scaneinrichtung umfasst und dass das Umschaltmittel das Detektionslicht in Abhängigkeit von der jeweiligen Scanposition in den ersten oder in den weiteren Detektionskanal lenkt.
- Rastermikroskop nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass mit dem Rastermikroskop eine Probe punktweise abtastbar ist, und dass das Umschaltmittel das von benachbarten Scanpunkten ausgehende Detektionslicht in unterschiedliche Detektionskanäle lenkt.
- Rastermikroskop nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass mit dem Rastermikroskop eine Probe linienweise abtastbar ist, und dass das Umschaltmittel das von benachbarten Scanlinien ausgehende Detektionslicht in unterschiedliche Detektionskanäle lenkt.
- Rastermikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass eine einstellbare Strahlablenkeinrichtung vorgesehen ist und dass das Umschaltmittel das Detektionslicht in Abhängigkeit von der Ablenkstellung der Strahlablenkeinrichtung in den ersten oder in den weiteren Detektionskanal lenkt.
- Rastermikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das der erste Detektor und/oder der weitere Detektor einen Photomultiplier und/oder eine Photodiode und/oder eine CCD und/oder ein EMCCD und/oder eine Avalanche-Photodiode und/oder ein Spektrometer und/oder einen Multibanddetektor beinhaltet.
- Rastermikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das der erste Detektor und der weitere Detektor zu unterschiedliche Detektortypen gehören.
- Rastermikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass ein Mittel zur Erzeugung eines Übersichtsbildes vorgesehen ist.
- Rastermikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Umschaltmittel einen optischen Shutter umfasst.
- Rastermikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Umschaltmittel nach dem Prinzip der frustrierten Totalreflexion wirkt.
- Rastermikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Umschaltmittel einen ersten optischen Körper mit und einen zweiten optischen Körper aufweist, deren Relativabstand einstellbar ist.
- Rastermikroskop nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass der erste optische Körper eine Granzfläche aufweist an der das Detektionslicht totalreflektierbar ist.
- Rastermikroskop nach einem der Ansprüche 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass der erste optische Körper eine Granzfläche aufweist an der das Detektionslicht totalreflektierbar ist, wobei der Reflexionsgrad durch Variieren des Relativabstandes zwischen dem ersten und dem zweiten optischen Körper einstellbar ist.
- Rastermikroskop nach einem der Ansprüche 11 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass zur Einstellung des Relativabstandes ein Einstellmittel vorgesehen ist.
- Rastermikroskop nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Einstellmittel ein Piezo-Element umfasst.
- Rastermikroskop nach einem der Ansprüche 11 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass das der erste optische Körper und/oder der zweite optische Körper als Prisma ausgebildet ist.
- Rastermikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass das Umschaltmittel einen Klappspiegel und/oder einen Drehspiegel beinhaltet.
- Rastermikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass das Umschaltmittel ein akustooptisches Bauteil, insbesondere einen AOM, beinhaltet.
- Rastermikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass das Rastermikroskop ein konfokales Rastermikroskop ist.
- Rastermikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 19, gekennzeichnet durch die Verwendung bei Lebensdauermessungen von Probenfarbstoffen, insbesondere von Fluoreszenzfarbstoffen.
- Verfahren zur rastermikroskopischen Untersuchung einer Probe gekennzeichnet durch folgende Schritte: • Erzeugen eines Übersichtsbildes einer Probe, • Bestimmen von zumindest einem Bereich innerhalb des Übersichtsbildes, • Beleuchten der Probe mit Beleuchtungslicht, • Detektieren von von der Probe ausgehendem Detektionslicht, wobei das aus dem Bereich stammende Detektionslicht in einen ersten Detektionskanal gelenkt wird und zumindest ein Teil des übrigen Detektionslichts in einen weiteren Detektionskanal gelenkt wird.
- Verfahren nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Detektionskanal zumindest einen ersten Detektor und der weitere Detektionskanal zumindest einen weiteren Detektor zur Detektion von von einer Probe ausgehendem Detektionslicht beinhaltet.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 21 oder 22, dadurch gekennzeichnet, dass ein Umschaltmittel vorgesehen ist, das das Detektionslicht wahlweise in den ersten oder in den weiteren Detektionskanal lenkt.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 21 bis 23, dadurch gekennzeichnet, dass eine Scaneinrichtung vorgesehen ist und dass das Detektionslicht in Abhängigkeit von der jeweiligen Scanposition in den ersten oder in den weiteren Detektionskanal gelenkt wird.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 21 bis 24, dadurch gekennzeichnet, dass eine Probe punktweise abgerastert wird, und dass das von benachbarten Scanpunkten ausgehende Detektionslicht in unterschiedliche Detektionskanäle gelenkt wird.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 21 bis 24, dadurch gekennzeichnet, dass eine Probe linienweise abgerastert wird, und dass das von benachbarten Scanlinien ausgehende Detektionslicht in unterschiedliche Detektionskanäle gelenkt wird.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 21 bis 26, dadurch gekennzeichnet, dass eine einstellbare Strahlablenkeinrichtung vorgesehen ist und dass das Detektionslicht in Abhängigkeit von der Ablenkstellung der Strahlablenkeinrichtung in den ersten oder in den weiteren Detektionskanal gelenkt wird.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 21 bis 27, dadurch gekennzeichnet, dass das der erste Detektor und/oder der weitere Detektor einen Photomultiplier und/oder eine Photodiode und/oder eine CCD und/oder ein EMCCD und/oder eine Avalanche-Photodiode beinhaltet.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 21 bis 28, dadurch gekennzeichnet, dass das der erste Detektor und der weitere Detektor Detektoren unterschiedlichen Typs sind.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 21 bis 29, dadurch gekennzeichnet, dass das Umschaltmittel einen optischen Shutter umfasst.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 21 bis 30, dadurch gekennzeichnet, dass das Umschaltmittel nach dem Prinzip der frustrierten Totalreflexion wirkt.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 21 bis 31, dadurch gekennzeichnet, dass das Umschaltmittel einen ersten optischen Körper mit und einen zweiten optischen Körper aufweist, deren Relativabstand einstellbar ist.
- Verfahren nach Anspruch 32, dadurch gekennzeichnet, dass der erste optische Körper eine Granzfläche aufweist an der das Detektionslicht totalreflektierbar ist.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 32 oder 33, dadurch gekennzeichnet, dass der erste optische Körper eine Granzfläche aufweist an der das Detektionslicht totalreflektiert wird, wobei der Reflexionsgrad durch Variieren des Relativabstandes zwischen dem ersten und dem zweiten optischen Körper eingestellt wird.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 32 bis 34, dadurch gekennzeichnet, dass zur Einstellung des Relativabstandes ein Einstellmittel vorgesehen ist.
- Verfahren nach Anspruch 35, dadurch gekennzeichnet, dass das Einstellmittel ein Piezo-Element umfasst.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 32 bis 36, dadurch gekennzeichnet, dass das der erste optische Körper und/oder der zweite optische Körper als Prisma ausgebildet ist.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 23 bis 37, dadurch gekennzeichnet, dass das Umschaltmittel einen Klappspiegel und/oder einen Drehspiegel beinhaltet.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 23 bis 38, dadurch gekennzeichnet, dass das Umschaltmittel ein akustooptisches Bauteil, insbesondere einen AOM, beinhaltet.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 21 bis 39, gekennzeichnet durch die Ausführung mit einem konfokalen Rastermikroskop.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 21 bis 40, gekennzeichnet durch die Verwendung bei Lebensdauermessungen von Probenfarbstoffen, insbesondere von Fluoreszenzfarbstoffen.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102004047820A DE102004047820A1 (de) | 2004-09-29 | 2004-09-29 | Rastermikroskop und rastermikroskopisches Verfahren |
US11/236,245 US7485846B2 (en) | 2004-09-29 | 2005-09-27 | Scanning microscope and method for scanning microscope |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102004047820A DE102004047820A1 (de) | 2004-09-29 | 2004-09-29 | Rastermikroskop und rastermikroskopisches Verfahren |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102004047820A1 true DE102004047820A1 (de) | 2006-03-30 |
Family
ID=36011687
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102004047820A Ceased DE102004047820A1 (de) | 2004-09-29 | 2004-09-29 | Rastermikroskop und rastermikroskopisches Verfahren |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7485846B2 (de) |
DE (1) | DE102004047820A1 (de) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10371626B2 (en) * | 2016-08-17 | 2019-08-06 | Kla-Tencor Corporation | System and method for generating multi-channel tunable illumination from a broadband source |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3711791A (en) * | 1971-05-03 | 1973-01-16 | A Erickson | Frustrated total internal reflection laser q-switch |
US4461005A (en) * | 1980-10-27 | 1984-07-17 | Ward Ernest M | High peak power, high PRF laser system |
US5127730A (en) | 1990-08-10 | 1992-07-07 | Regents Of The University Of Minnesota | Multi-color laser scanning confocal imaging system |
US5377003A (en) * | 1992-03-06 | 1994-12-27 | The United States Of America As Represented By The Department Of Health And Human Services | Spectroscopic imaging device employing imaging quality spectral filters |
US5886784A (en) | 1993-09-08 | 1999-03-23 | Leica Lasertechink Gmbh | Device for the selection and detection of at least two spectral regions in a beam of light |
DE4330347C2 (de) | 1993-09-08 | 1998-04-09 | Leica Lasertechnik | Verwendung einer Vorrichtung zur Selektion und Detektion mindestens zweier Spektralbereiche eines Lichtstrahls |
US5932871A (en) * | 1995-11-08 | 1999-08-03 | Olympus Optical Co., Ltd. | Microscope having a confocal point and a non-confocal point, and a confocal point detect method applied thereto |
US5841139A (en) * | 1997-02-28 | 1998-11-24 | Bio-Rad Laboratories, Inc. | Optical instrument providing combined infrared and Ramen analysis of samples |
SG74025A1 (en) * | 1997-10-03 | 2000-07-18 | Inst Of Microelectronics | Combined infrared and visible light spectroscopic photoemission microscope |
US6253007B1 (en) * | 1998-07-08 | 2001-06-26 | Optical Switch Corporation | Method and apparatus for connecting optical fibers |
GB9825267D0 (en) * | 1998-11-19 | 1999-01-13 | Medical Res Council | Scanning confocal optical microscope system |
DE19944355B4 (de) * | 1999-09-16 | 2004-11-18 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Optische Anordnung |
US6433929B1 (en) * | 2000-06-12 | 2002-08-13 | Olympus Optical Co., Ltd. | Scanning optical microscope and method of acquiring image |
US6519382B1 (en) * | 2000-09-11 | 2003-02-11 | Optical Switch Corporation | Frustrated total internal reflection switch using waveguides and method of operation |
US6963398B2 (en) * | 2001-10-03 | 2005-11-08 | Olympus Optical Co., Ltd. | Laser scanning microscope |
DE10156506C1 (de) * | 2001-11-16 | 2003-05-22 | Leica Microsystems | Verfahren zur Erzeugung eines mehrfarbigen Bildes und Mikroskop |
DE10159721B4 (de) * | 2001-12-05 | 2004-07-22 | Bruker Optik Gmbh | Digitales FTIR-Spektrometer |
US7227113B2 (en) * | 2003-11-21 | 2007-06-05 | Olympus Corporation | Confocal laser scanning microscope |
-
2004
- 2004-09-29 DE DE102004047820A patent/DE102004047820A1/de not_active Ceased
-
2005
- 2005-09-27 US US11/236,245 patent/US7485846B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7485846B2 (en) | 2009-02-03 |
US20060065823A1 (en) | 2006-03-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1664888B1 (de) | Rastermikroskop mit evaneszenter beleuchtung | |
DE10043992B4 (de) | Verfahren zur Untersuchung einer Probe und konfokales Scan-Mikroskop | |
DE10340964A1 (de) | Lichtquelle mit einem mikrostrukturierten optischen Element | |
DE20216583U1 (de) | Mikroskop und Durchflusszytometer | |
DE10340965A1 (de) | Rastermikroskop | |
DE102004016253B4 (de) | Rastermikroskop und Verfahren zur rastermikroskopischen Untersuchung einer Probe | |
EP1678545B1 (de) | Mikroskop mit evaneszenter probenbeleuchtung | |
WO2007028725A1 (de) | Konfokalmikroskop und verfahren zur detektion mit einem konfokalmikroskop | |
DE10335466B4 (de) | Rastermikroskop | |
EP1651992B1 (de) | Rastermikroskop | |
DE10156695B4 (de) | Scanmikroskop, Verfahren zur Scanmikroskopie und Bandpassfilter | |
WO2005031429A1 (de) | Objektiv zur evaneszenten beleuchtung und mikroskop | |
DE10233549B4 (de) | Scanmikroskop mit Manipulationslichtstrahl und Verfahren zur Scanmikroskopie | |
EP3066511B1 (de) | Mikroskop für evaneszente beleuchtung und punktförmige rasterbeleuchtung | |
DE102004011770B4 (de) | Mikroskop | |
DE102004030669A1 (de) | Mikroskop | |
DE102004029733B4 (de) | Rastermikroskop und Verfahren zur Rastermikroskopie | |
DE10031458A1 (de) | Scan-Mikroskop mit einem Zirkulator | |
DE10228477A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Kalibrieren eines Spektraldetektors | |
DE19822869A1 (de) | Optisches Nahfeldmikroskop | |
DE102004047820A1 (de) | Rastermikroskop und rastermikroskopisches Verfahren | |
DE10247249A1 (de) | Scanmikroskop mit einem Spiegel zur Einkopplung eines Manipulationslichtstrahls | |
DE10231475A1 (de) | Scanmikroskop mit optischem Bauteil und optisches Bauteil | |
DE102004035340A1 (de) | Rastermikroskop | |
DE10333388B4 (de) | Verfahren zur Rastermikroskopie und Rastermikroskop |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R012 | Request for examination validly filed |
Effective date: 20110824 |
|
R002 | Refusal decision in examination/registration proceedings | ||
R003 | Refusal decision now final |