DE1019397B - Elektronen- oder Ionenmikroskop - Google Patents

Elektronen- oder Ionenmikroskop

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DE1019397B
DE1019397B DEH5680D DEH0005680D DE1019397B DE 1019397 B DE1019397 B DE 1019397B DE H5680 D DEH5680 D DE H5680D DE H0005680 D DEH0005680 D DE H0005680D DE 1019397 B DE1019397 B DE 1019397B
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Germany
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electron
ion microscope
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ion
stereoscopic
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Application number
DEH5680D
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English (en)
Inventor
Dr Heinrich Herbst
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HEINRICH HERBST DR
Original Assignee
HEINRICH HERBST DR
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Publication date
Application filed by HEINRICH HERBST DR filed Critical HEINRICH HERBST DR
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    • H01J37/02—Details
    • H01J37/22—Optical, image processing or photographic arrangements associated with the tube
    • H01J37/224—Luminescent screens or photographic plates for imaging; Apparatus specially adapted therefor, e. g. cameras, TV-cameras, photographic equipment or exposure control; Optical subsystems specially adapted therefor, e. g. microscopes for observing image on luminescent screen
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    • H01J37/261—Details
    • H01J37/265—Controlling the tube; circuit arrangements adapted to a particular application not otherwise provided, e.g. bright-field-dark-field illumination
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    • H01J2237/26—Electron or ion microscopes
    • H01J2237/2611—Stereoscopic measurements and/or imaging

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
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Description

DEUTSCHES
Die Erfindung betrifft ein Elektronen- oder Ionenmikroskop, welches erfindungsgemäß für wahlweise binokulare, stereoskopische und nicht stereoskopische Beobachtung sowohl für Hellfeld- als auch für Dunkelfeldbeleuchtung eingerichtet ist. Vorteilhaft wird die Strahlenteilung des einzigen vom Objekt kommenden Elektronen- bzw. Ionenstrahlbündels für die binokulare, stereoskopische Beobachtung bzw. die Erzeugung stereoskopischer Bilder mittels eines oder mehrerer elektrostatischer Felder vorgenommen.
Das vom Objekt kommende einzige Elektronenoder Ionenstrahlbündel kann vorteilhaft vor oder nach Passieren des elektromagnetischen oder elektrostatischen oder kombinierten Objektivs durch ein zwischen entsprechend gepolten Ablenkplatten erzeugtes elektrostatisches Feld durch kurzzeitig abwechselndes Umpolen der Ablenkplatten zur Erzeugung von zwei stereoskopischen Leuchtschirmbildern für beidäugige Beobachtung in zwei getrennten Hilfselektronen- oder Ionenmikroskopen dienen, die in einem Winkel zueinander angeordnet sind, wobei das Objekt sowohl mit Hellfeld- als auch mit Dunkelfeldstrahlen oder beiden gleichzeitig beleuchtet werden kann. Die beiden stereoskopischen Leuchtschirmbilder können durch ein lichtoptisches System, z. B. ein binokulares Prismenfernrohr oder Mikroskop, betrachtbar angeordnet sein.
Ferner kann bei ausgeschaltetem elektrostatischem Ablenkfeld eine gewöhnliche Beobachtung in einem mittleren Tubus stattfinden, der ein übliches oder ein mehrlinsiges Vergrößerungssystem mit Leuchtschirm enthält. An Stelle der elektrostatischen Ablenkung kann ferner vorteilhaft ein Elektronenstrahlen reflektierender Winkelspiegel treten. Vorteilhaft wird in die beiden abgelenkten Strahlenbüschel je eine Halbkreisblende eingeschaltet.
In der Zeichnung ist die Erfindung an einem Ausführungsbeispiel schematisch erläutert, und zwar zeigt die Abbildung einen Schnitt durch ein Elektronenmikroskop für wahlweise binokulare, stereoskopische und nicht stereoskopische Betrachtung.
In der Zeichnung stellt Teil 1 die Kathode, Teil 2 den Wehneltzylinder und Teil 3 die Anode dar. Teile 4 und 5 sind Kondensorlinsen, von denen die Linse 5 vorzugsweise eine kürzere Brennweite hat als die Linse 4. Das Objekt 6 wird entweder mit dem von der Kathode kommenden Hellfeldbüschel 7 oder dem Dunkelfeld-Kathodenstrahlbüschel 8 beleuchtet, und zwar können sowohl divergente, konvergente oder parallele Strahlenbüschel verwendet werden. Die Hellfeld- und Dunkelfeldbüschel können dabei auch verschiedene Wellenlänge haben. Das von dem Objekt kommende Strahlenbündel 9 wird von dem ein- oder mehrlinsigen Objektiv 10 verarbeitet und liefert Elektronen- oder Ionenmikroskop
Anmelder:
Dr. Heinrich. Herbst,
Jena, Magnus-Poser-Str. 9
Dr. Heinrich Herbst, Jena,
ist als Erfinder genannt worden
normalerweise über die Projektionslinse 11 ein Bild auf dem Leuchtschirm oder Photoplatte 12.
Für die binokulare Beobachtung wird das vom Objektiv kommende Strahlenbündel 13 mittels der beiden Ablenkplatten 14,15, die von einer Gleichstromquelle 16 über einen rotierenden Umschalter in kurzen Zeitabständen,, z. B. alle 1Z20 Sekunden, umgepolt werden, als Bündel 18 und 19 abwechselnd einem linken ein- oder mehrlinsigen Projektionssystem 20 und Leuchtschirm 21 oder einem rechten ein- oder mehrlinsigen Vergrößerungssystem 22 mit dem Leuchtschirm 23 zugeleitet. Durch das binokulare lichtoptische Prismenfernrohr oder Mikroskop 24 sind die beiden nacheinander entstehenden Leuchtschirmbilder gleichzeitig betrachtbar, weil infolge des Nachleuchtens der Leuchtfarbe das eine Bild noch vorhanden ist, wenn das andere projiziert wird. In den Strahlenbüscheln 18 und 19 können vorteilhaft halbkreisförmige Blenden 25 und 26 angeordnet werden. Die Teile 27, 28, 29 stellen Blenden dar.

Claims (9)

Patentansprüche
1. Elektronen- oder Ionenmikroskop, dadurch gekennzeichnet, daß es für wahlweise binokulare stereO'Skopische und nicht stereoskopische Beobachtung sowohl für Hellfeld- als auch für Dunkelfeldbeleuchtung eingerichtet ist.
2. Elektronen- oder Ionenmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlenteilung des einzigen vom Objekt kommenden Elektronen- bzw. Ionenstrahlbündels für die binokulare stereoskopische Beobachtung bzw. die Erzeugung stereoskopische Bilder mittels eines oder mehrerer elektrostatischer Felder geschieht.
3. Elektronen- oder Ionenmikroskop nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das vom Objekt kommende einzige Elektronen- oder
709' T60/256
Ionenstrahlbündel vor oder nach Passieren des elektromagnetischen oder elektrostatischen oder kombinierten Objektivs durch ein zwischen entsprechend gepolten Ablenkplatten erzeugtes elektrostatisches Feld durch kurzzeitig abwechselndes Umpolen der Ablenkplatten zur Erzeugung von zwei stereoskopischen Leuchtschirmbildern für beidäugige Beobachtung in zwei getrennten Hilfselektronen- oder Ionenmikroskopen dient, die in einem Winkel zueinander angeordnet sind, und bei dem das Objekt sowohl mit Hellfeld- als auch mit Dunkelfeldstrahlen oder beiden gleichzeitig zu beleuchten ist.
4. Elektronen- oder Ionenmikroskop nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden stereoskopischen Leuchtschirmbilder durch ein lichtoptisches System, z. B. durch ein binokulares Prismenfernrohr oder Mikroskop, betrachtbar angeordnet sind.
5. Elektronen- oder Ionenmikroskop nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß bei ausgeschaltetem elektrostatischem Ablenkfeld eine gewöhnliche Beobachtung in einem mittleren Tubus stattfindet, der ein übliches ein- oder mehrlinsiges Vergrößerungssystem mit Leuchtschirm enthält.
6. Elektronen- oder Ionenmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß an Stelle der elektrostatischen Ablenkung ein Elektronenstrahlen reflektierender Winkelspiegel tritt.
7. Elektronen- oder Ionenmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in die beiden abgelenkten Strahlenbüschel je eine Halbkreisblende eingeschaltet ist.
8. Elektronen- oder Ionenmikroskop nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das fest angeordnete Objekt mit verschieden gerichteten, sowohl divergenten, konvergenten oder parallelen Hellfeldoder Dunkelfeldstrahlbüscheln anstrahlbar ist, die auch verschiedene Wellenlänge haben können und die in der Achsrichtung oder schräg zur Achsrichtung verlaufen.
9. Elektronen- oder Ionenmikroskop nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß hinter dem Objektiv für die wechselweise abgelenkten Strahlenbüschel Blenden vorgesehen sind.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
©7W7W25B 11.57
DEH5680D 1943-12-04 1943-12-04 Elektronen- oder Ionenmikroskop Pending DE1019397B (de)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2016753A1 (de) * 1969-04-08 1970-10-15 Nihon Denshi K.K., Akishima, Tokio Vorrichtung zur Einstellung und Änderung des Objektblickfeldes bei Elektronenmikroskopen oder dergleichen

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2016753A1 (de) * 1969-04-08 1970-10-15 Nihon Denshi K.K., Akishima, Tokio Vorrichtung zur Einstellung und Änderung des Objektblickfeldes bei Elektronenmikroskopen oder dergleichen

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