DE10148267A1

DE10148267A1 - Piezolinearantrieb mit einer Gruppe von Piezostapelaktoren sowie Verfahren zum Betreiben eines solchen Antriebes

Info

Publication number: DE10148267A1
Application number: DE10148267A
Authority: DE
Inventors: Harry Marth
Original assignee: Physik Instrumente PI GmbH and Co KG
Current assignee: Physik Instrumente PI GmbH and Co KG
Priority date: 2001-06-12
Filing date: 2001-09-28
Publication date: 2003-01-30
Anticipated expiration: 2021-09-29
Also published as: EP2209203A2; EP2209202A2; EP1267478B1; US20030085633A1; DE10148267B4; EP2209202B1; DE50214449D1; EP1267478A3; EP2209202A3; EP1267478A2; EP2209203B1; EP2209203A3; US6800984B2

Abstract

Die Erfindung betrifft einen Piezolinearantrieb mit einer Gruppe von Piezostapelaktoren, welche einen in einer Führung befindlichen Läufer antreiben. Erfindungsgemäß stellen die Aktoren eine auf einem gemeinsamen Substrat befindliche Hybridanordnung dar, wobei innerhalb eines Stapels, ausgehend vom Substrat, ein erstes Stapelfeld als longitudinal und ein zweites oder drittes Stapelteil als Scheraktor ausgebildet sowie letzteres mit einer verschleißfesten Endscheibe versehen ist, welche in Klemm- und/oder Scherkontakt mit dem Läufer steht. Mindestens zwei identische Aktoren befinden sich nebeneinander oder gegenüberliegend, um im Schrittbetrieb wechselseitige Klemm- und Vorschubbewegungen auszuführen.

Description

Die Erfindung betrifft einen Piezolinearantrieb mit einer Gruppe von Piezostapelaktoren, welche einen in einer Führung befindlichen Läufer antreiben sowie ein Verfahren zum Betreiben eines Piezolinearantriebes gemäß Oberbegriff des Patentanspruches 1, 5, 7, 9 oder 10.
Multilayer-Stapelaktoren aus piezokeramischen Materialien sind seit vielen Jahren Stand der Technik.
Bei piezoelektrischen Antrieben wird elektrische Energie in Bewegung umgesetzt, indem der elektrostriktive Effekt eines oder mehrerer piezoelektrischen Elemente ausgenutzt wird. Bei einem piezoelektrischem Antrieb, der den longitidunalen Elektrostriktionseffekt ausnutzt, ist der Betrag der Verschiebung pro Einheitslänge des Aktors im Wesentlichen proportional der Intensität des angelegten Feldes. Für eine hohe Auslenkung ist es notwendig, eine große Spannung zwischen den im Regelfall gegenüberliegenden Elektroden anzulegen oder aber es muß der Abstand zwischen den Elektroden verringert werden.
Zur Verstärkung des piezoelektrischen Effektes sind monolithische Vielschichtaktoren zum Stand der Technik gehörend, die aus einem gesinterten Stapel dünner Folien aus Piezokeramik, z. B. Bleizirkonattitanat mit eingelagerten metallischen Innenelektroden bestehen. Die Innenelektroden sind wechselseitig aus dem Stapel herausgeführt und über Außenelektroden elektrisch verschalten. Legt man eine elektrische Spannung an die Außenelektroden an, so dehnen sich die Piezofolien in Feldrichtung aus. Durch die mechanische Serienschaltung der einzelnen Piezofolien wird die Nenndehnung der gesamten Piezokeramik schon bei geringeren elektrischen Spannungen erreicht. Derartige Vielschichtaktoren sind beispielsweise aus der DE 40 36 287 C2 bekannt.
Darüber hinaus gehören sogenannte Mikromotoren zur Bewegung eines Körpers, wie z. B. in der EP 633616 A2 offenbart zum Bekannten. Derartige Motoren umfassen mindestens eine piezoelektrische Platte, wobei auf den Plattenflächen Elektroden angebracht sind. Auftretende Biegekräfte werden mit Hilfe eines Abstandteiles, das im Schwingungsknoten auf der piezoelektrischen Platte befindlich ist, auf einen Läufer übertragen.
Insbesondere bei Justage- und Positioniereinrichtungen, z. B. für optische Komponenten, sind vielfach Bewegungen in beliebigen Freiheitsgraden erforderlich, wobei eine außerordentlich hohe Positioniergenauigkeit und hohe Haltekräfte erreicht werden müssen.
Setzt man hierfür Piezoaktoren, die im d₃₃-Modus (elektrisches Feld und Auslenkung parallel zur Polarisationsrichtung) arbeiten, dann können zwar relativ große Längenänderungen erreicht werden, jedoch ist es problematisch größere Stellwege von mehreren hundert Mikrometern zu realisieren.
Aus der US-PS 6,150,750 ist ein piezoelektrischer Linear- Schrittmotor bekannt, wobei dort auf eine Anordnung zurückgegriffen wird, welche Aktoren aufweist, die eine auf einem gemeinsamen Substrat befindliche Hybridanordnung darstellen. Innerhalb einer zylindrischen Stapelanordnung ist ein erstes Stapelteil als longitudinal- und ein zweites Stapelteil als Scheraktor ausgebildet. Die verwendeten monolithischen Keramiken mit Isolationsschicht erfordern relativ hohe Betriebsspannungen mit der Folge eines reduzierten Gesamtwirkungsgrades. Auch ist bei der gezeigten Ausführungsform gemäß Stand der Technik das relativ schnelle Heranfahren an eine Grundposition mit anschließender zeitaufgelöster Feinpositionierung nicht möglich.
Aus dem Vorgenannten ist es daher Aufgabe der Erfindung einen Piezolinearantrieb mit einer Gruppe von Piezostapelaktoren, welche einen in einer Führung befindlichen Läufer antreiben, zu schaffen, wobei der Antrieb in der Lage sein soll einerseits in kurzer Zeit große Stellwege zurückzulegen andererseits aber auch am oder in der Nähe des Zielpunktes Feinpositionierungen hoher Genauigkeit ermöglicht. Weiterhin soll der Antrieb über die notwendige Steifigkeit verfügen und große Haltekräfte unabhängig von der jeweiligen Lage im Raum gewährleisten.
Auch ist es Aufgabe der Erfindung ein Verfahren zum Betreiben eines derartigen Piezolinearantriebes anzugeben.
Die Lösung der Aufgabe der Erfindung erfolgt mit einem Piezolinearantrieb in seiner Definition nach den Merkmalen des Patentanspruches 1 oder 9 sowie mit einem Verfahren gemäß Patentanspruch 7 oder 10, wobei die Unteransprüche mindestens zweckmäßige Ausgestaltungen und Weiterbildungen umfassen.
Ein erster Grundgedanke der Erfindung besteht darin, daß mehrere spezielle Hybridaktoren aus Mehrschichtkeramik auf einem gemeinsamen Substrat befindlich sind, wobei innerhalb eines Stapels eines solchen Aktors vom Substrat ausgehend ein erstes Stapelteil als Longitudinal - und ein zweites Stapelteil als Scheraktor ausgebildet ist. Letzteres Stapelteil ist mit einer verschleißfesten Endscheibe, vorzugsweise aus Keramik versehen, welche in Klemm- und/oder Scherkontakt mit dem Läufer steht.
Mindestens zwei derartige, identische Aktoren sind nebeneinander befindlich, um im Schrittbetrieb wechselseitige Klemm- und Vorschubbewegungen bezogen auf den Läufer auszuführen.
In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung sind mindestens je zwei Aktoren bezogen auf den Läufer jeweils gegenüberliegend angeordnet, um gegenphasige, wechselseitige Klemm- und Vorschubbewegungen auszuführen.
Ein bevorzugtes Antriebsmodul besitzt 4, 6, 8 bis n (n = eine ganze Zahl) Aktoren, wobei zur Lastaufteilung jeweils die ungeradzahligen und die geradzahligen Aktoren untereinander parallel geschalten sind.
Zwischen den auf dem gemeinsamen Substrat befindlichen Aktoren ist ein auf die Scherbewegungen abgestimmter Spalt bzw. Abstand vorhanden. Durch Einsatz von Mehrschichtkeramiken wird die maximale Betriebsspannung bzw. die elektrische Feldstärke so reduziert, daß keine zusätzlichen Isolationsschichten notwendig sind.
Hinsichtlich des Verfahrens zum Betreiben des vorstehend kurz beschriebenen Piezolinearantriebes wird für eine Grobpositionierung der Antrieb im Schrittmodus aktiviert, wobei hierfür die benachbarten und/oder gegenüberliegenden Aktoren wechselseitig oder wechselseitig gegenphasig die gewünschten Klemmungen und Vorschubbewegungen ausführen. Die Steuerspannungen werden über einen entsprechenden Generator in der gewünschten Puls- bzw. Schrittweite bereitgestellt.
Für die Feinpositionierung sind alle zweiten Stapelteile der Aktoren parallelgeschalten und werden analog angesteuert, so daß im Bereich um die momentane Mittellage bei wesentlich geringerer Spannung im Vergleich zum Schrittbetrieb die exakte Zielposition des Läufers einstellbar ist.
Im energielosen oder Analogmodus befinden sich sämtliche ersten Stapelteile in Klemmung, um die gewünschten Haltekräfte und Steifigkeiten zu schaffen.
Gemäß einem zweiten Grundgedanken der Erfindung sind die Aktoren in einer Array- oder Quadrantenanordnung von mindestens vier Stapeln ausgebildet, wobei jeweils die diagonal gegenüberliegenden Stapel eines Aktors parallel angesteuert werden.
Bei dieser Ausführungsform besteht die Möglichkeit neben dem ersten und dem zweiten Stapelteil ein drittes Stapelteil als weiteren Scheraktor auszubilden, wobei die Bewegungsrichtung in dem zweiten und dem dritten Stapelteil, d. h. den beiden Scheraktoren um 90° versetzt ist. Auf diese Weise können unterschiedliche Bewegungsrichtungen des zugeordneten Läufers realisiert werden.
Bei einem dritten Grundgedanken der Erfindung wird von je mindestens einem Aktor ausgegangen, die bezogen auf den Läufer jeweils gegenüberliegend, diesen antreibend angeordnet sind. Jeder der Aktoren besitzt einen symmetrischen Aufbau und umfaßt elektrisch parallel geschaltete Außenabschnitte sowie mindestens einen Innenabschnitt. Die Trennspalte zwischen den Abschnitten verlaufen parallel und sind in Längsrichtung des Läufers orientiert.
Bei dieser vorteilhaften Variante der Erfindung entstehen keine unerwünschten Schwingungskräfte, die sich auf den Läufer und die angetriebene Vorrichtung übertragen und die vom Umgreifen beim Übergang zwischen Scher- und Klemmung ausgelöst werden. Die Parallelorientierung der Aktoren bezogen auf die Längsrichtung des Läufers, wobei der Läufer wiederum bevorzugt symmetrisch zur Symmetrieachse der Aktoren angeordnet ist, bewirkt eine über eine größere, quasi ungestörte Fläche mögliche Krafteinwirkung mit entsprechendem kontinuierlichen Übergang zwischen den Bewegungsschritten.
Die Arbeitsweise eines solchen Antriebes kann wie folgt beschrieben werden. Die bezogen auf den Läufer gegenüberliegenden Aktoren besitzen die erwähnten parallel geschalteten Außenabschnitte. Beim Ansteuern der Außenabschnitte werden die Scheraktoren in gleiche Richtung aktiv und der Läufer bewegt sich durch außen angreifende Kräfte um den vorgegebenen Scherbetrag in seine Längsrichtung. Im Anschluß werden die gegenüberliegenden Innenabschnitte aktiviert. Die Scherkräfte der Innenabschnitte sind bezogen auf diejenigen der Außenabschnitte in entgegengesetzte Richtung verlaufend. Ein Überschwingen kann hierbei wirksam vermieden werden.
Die Erfindung soll nachstehend anhand eines Ausführungsbeispieles sowie unter Zuhilfenahme von Zeichnungen näher erläutert werden.
Hierbei zeigen:
Fig. 1 eine Prinzipdarstellung eines Antriebsmoduls für den Piezolinearantrieb;
Fig. 2 beispielhafte Betriebsspannungsverläufe am Piezolinearmotor;
Fig. 3 einen realisierten Piezolinearantrieb mit zwei gegenüberliegenden Antriebsmodulen und Linearführung;
Fig. 4 einen Piezolinearantrieb in Array-Anordnung der Aktoren;
Fig. 5 einen Antrieb ähnlich Fig. 4 jedoch mit einem dritten Stapelteil als weiteren Scheraktor und
Fig. 6 einen Antrieb mit parallel geschalteten Außenabschnitt sowie Innenabschnitt.
Der Piezolinearantrieb gemäß Ausführungsbeispiel stellt ein Hybridsystem dar. Konkret wird der Linearantrieb in zwei Modi realisiert.
Über einen Schrittmodus erfolgt eine grobe Annäherung an die Zielposition. Die eingesetzten Piezoaktoren lassen sich in Klemm- und Vortriebspiezos unterscheiden, die alternierend angesteuert werden.
Die Schrittweite dieser Piezos ist einstellbar und liegt beispielsweise im Bereich von 0,1 bis 2 µm. Nach Annäherung an die Zielposition werden die Klemmpiezos in einen elektrisch spannungslosen Zustand überführt, wobei hier der Läufer geklemmt bleibt.
Eine Feinpositionierung im Analogmodus erfolgt dann ausschließlich durch die Vortriebspiezos, die einen Verstellbereich von im wesentlichen von 2 µm realisieren können und welche symmetrisch um die Mittellage arbeiten. Im Analogmodus liegt die nominal zulässige Feldstärke der Vorschubpiezos nur bei maximal 25 Prozent der Feldstärke (500 V/mm), die bei d₃₃-Aktoren an Luft verwendet wird (2000 V/mm). Bei einer Annäherung an die Zielposition über den Schrittmodus auf 0,1 µm, werden die Vorschubpiezos beim Umschalten in den Analogmodus mit lediglich 1 bis 2 Prozent der nominalen Feldstärke an Luft betrieben, was für die Langzeitstabilität der Anordnung von wesentlichem Vorteil ist.
Ergeben sich größere Abweichungen als solche, die der Analogstellbereich abdeckt, oder sind die benötigten Betriebsfeldstärken zu hoch, kann durch Umschalten auf Einzelschrittbetrieb wieder auf die Mittellage eingestellt werden.
Das Hybridsystem gemäß Ausführungsbeispiel gewährleistet Positionierbereiche von mehreren hundert Mikrometern bei einer Auflösung von wenigen Nanometern. Die Belastbarkeit liegt im Bereich von mehreren Kilogramm bei Resonanzfrequenzen von einigen hundert Hertz.
Die Positioniervorgänge lassen sich sehr schnell auslösen und steuern und es wird eine kompakte Bauform erreicht. Die Verlustleistungen sind durch die Betriebsartwahl im Vergleich zu direkten Piezoantrieben oder Piezoaktoren mit integrierter Wegübersetzung geringer. Aufgrund der niedrigen effektiven DC-Feldstärken werden Lebensdauerspezifikationen, wie sie für technologische Spezialausrüstungen gegeben sind, erreicht.
Der in der Fig. 1 dargestellte Piezolinearmotor weist auf einem gemeinsamen Substrat 1 befindliche Hybridaktoren 2 auf. Die Hybridaktoren 2 besitzen ein erstes Stapelteil 3 für die Klemmung sowie ein zweites Stapelteil 4 für die notwendigen Vortriebs- bzw. Scherbewegungen.
Eine verschleißfeste Endscheibe 5 steht mit einem Läufer 6 (Fig. 3) in Verbindung.
Über herausgeführte Elektroden 7 erfolgt das gewünschte elektrische Verschalten der einzelnen Hybridaktoren 2.
Wie dargestellt können beispielsweise vier identische Piezokeramikstapel auf dem gemeinsamen Substrat 1 ausgebildet sein, wobei die Stapel wie beschrieben im Aufbau zweigeteilt sind. Die ersten Stapelteile arbeiten als d₃₃-Aktoren und sind für die vertikale Klemmbewegung senkrecht zur Laufrichtung erforderlich. Der obere, zweite Stapelteil arbeitet im Schermodus in horizontaler Laufrichtung.
Wie in der Fig. 2 dargestellt, erfolgt eine elektrische Ansteuerung aller Aktoren in dem Sinne, daß im Schrittbetrieb alle Endscheiben 5 wechselseitige gegenphasige Andruck- und Vorschubbewegungen ausführen, die eine schrittförmige Verschiebung des angekoppelten Läufers 6 (Fig. 3) ergeben. Zur Umkehr der Bewegungsrichtung sind jeweils die Vortriebs- oder Klemmspannungen zu invertieren.
Die dritten und vierten Aktoren sind zur besseren Lastaufteilung mit den ersten und zweiten Aktoren parallel geschalten.
Wie aus der Darstellung des Betriebsspannungsverlaufes am Piezolinearmotor nach Fig. 2 zu erkennen, sind zu jeder Zeit im Schrittmodus minimal zwei Klemmungen geschlossen, so daß auch bei Vertikalbetrieb kein Durchrutschen des Läufers 6 eintreten kann. Dies gilt ebenso für den energielosen Zustand und den Analogmodus, in welchem alle vier Klemmungen geschlossen sind und wobei die größte Haltkraft und Steifigkeit der Gesamtanordnung erreicht wird.
Im Analogmodus arbeiten alle Vortriebspiezos, d. h. die zweiten Stapelteile parallel und verhalten sich wie ein bekannter PZT-Stapel mit geringem Stellweg von einigen Mikrometern.
Fig. 3 zeigt eine Ausführungsform eines Piezolinearantriebes mit zwei parallel geschalteten Antriebsmodulen 8 zur Erhöhung der Stellkräfte.
Die Antriebsmodule 8 werden durch eine symmetrische Vorlast von unten und oben an den in der Mitte befindlichen Läufer 6 angepreßt und sind in Stellrichtung über die durchgehenden Substrate 1 möglichst steif mit einem nicht gezeigten Gehäuse verbunden. Eine Linearführung 9 ermöglicht dann bei Aktivieren der Antriebsmodule 8 die gewünschte Bewegung des Läufers 6.
Beispielhafte Antriebsmodule 8 besitzen eine Größe von 5 × 5 x 20 mm², wobei sich Stellwege im Bereich von 10 mm bei einer Schrittweite von maximal 2 µm und minimal von 50 bis 100 nm erreichen lassen. Der Stellweg im analogen Modus liegt im Bereich von 2,5 µm mit einer Auflösung von < 0,1 nm in Abhängigkeit vom Signal-Rausch-Verhältnis der jeweiligen Ansteuerelektronik.
Es liegt im Sinne der Erfindung, daß nicht nur wie im Ausführungsbeispiel gezeigt Läufer mit quadratischem oder rechteckigem Querschnitt Anwendung finden können, sondern auch solche in einer Kreis- oder Ellipsenform, wobei dann im entsprechenden Sinne die Endscheiben, die als Reibungs- und Kraftübertragungselemente wirken, anzupassen sind.
Auch können die Antriebsmodule nicht nur vier sondern größere Gruppen von 6, 8 oder n Aktoren umfassen. Bei einem kreisbogenförmigen Läufer für rotierende Antriebe ist dann das gemeinsame Substrat des jeweiligen Antriebsmoduls und dieser der Läuferkreisbogenform angepaßt.
Bei der gewählten Konstruktion erfolgt die Ansteuerung im Schrittmodus derart, daß die Reibflächen am Aktor und Läufer keine Relativbewegungen zueinander ausführen, wenn diese unter hohem Anpressdruck stehen. Ein Bewegen der Vortriebsaktoren erfolgt ausschließlich im abgehobenen Zustand, so daß der Verschleiß zwischen den sich gegenüberliegenden Flächen minimiert werden kann.
Fig. 4 zeigt eine Ausführungsform des Piezolinearantriebes in einer Array- oder Quadrantenanordnung der Aktoren. Hier sind mindestens vier Stapel ausgebildet, wobei jeweils die diagonal gegenüberliegenden Stapel eines Aktors, d. h. 2.1 mit 2.3 und 2.2 mit 2.4 parallel angesteuert werden.
Nach Fig. 5 besteht die Möglichkeit innerhalb jedes Stapels neben dem ersten Stapelteil 3 für die Klemmung und dem zweiten Stapelteil 4.1 ein drittes Stapelteil 4.2 vorzusehen, welches als weiterer Scheraktor wirkt. Dieser weitere Scheraktor 4.2 besitzt eine Bewegungsrichtung, die zu derjenigen des zweiten Stapelteiles 4.1 um 90° versetzt ist, so daß mehrere Bewegungsfreiheitsgrade eines angetriebenen Läufers erreicht werden können.
Einen grundsätzlich andersartigen Aufbau der Aktoren, die allerdings auch aus Mehrschichtkeramiken bestehen, weist der Piezolinearantrieb nach Fig. 6 auf. Die dortigen Aktoren besitzen einen symmetrischen Aufbau mit elektrisch parallel geschalteten Außenabschnitten 10 sowie mindestens einem Innenabschnitt 11. Die Trennspalte 12 verlaufen hier parallel zur Längsachse, d. h. in Bewegungsrichtung des (nicht gezeigten) Läufers. Wird ein Läufer mit zwei derartigen gegenüberliegenden Aktoren analog wie in Fig. 3 dargestellt angetrieben, dann wirken die abwechselnden Klemm- und Scherkräfte sehr gleichmäßig, was zu einer quasi kontinuierlichen schwingungsfreien Bewegung führt, so daß die Eigenschaften des Antriebes insgesamt verbessert sind. Bezugszeichenliste 1 Substrat
2 Hybridaktoren
3 erstes Stapelteil
4 zweites Stapelteil
5 Endscheibe
6 Läufer
7 Elektroden
8 Antriebsmodul
9 Linearführung
10 Außenabschnitt
11 Innenabschnitt
12 Trennspalt

Claims

1. Piezolinearantrieb mit einer Gruppe von Piezostapelaktoren, welche einen in einer Führung befindlichen Läufer antreiben, dadurch gekennzeichnet, daß die Aktoren eine auf einem gemeinsamen Substrat befindliche Mehrschichtkeramik-Hybridanordnung darstellen, wobei innerhalb eines Stapels ausgehend vom Substrat ein erstes Stapelteil als Longitudinal - und ein zweites Stapelteil als Scheraktor ausgebildet sowie letzteres mit einer verschleißfesten Endscheibe versehen ist, welche in Klemm- und/oder Scherkontakt mit dem Läufer steht, wobei mindestens zwei identische Motoren nebeneinander befindlich sind, um im Schrittbetrieb wechselseitige Klemm- und Vorschubbewegungen auszuführen.

2. Piezolinearantrieb nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens je zwei Aktoren bezogen auf den Läufer jeweils gegenüberliegend angeordnet sind, um gegenphasige wechselseitige Klemm- und Vorschubbewegungen auszuführen.

3. Piezolinearantrieb nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß ein Antriebsmodul 4, 6, 8 bis n (n = ganze Zahl) Aktoren aufweist, wobei zur Lastaufteilung jeweils die ungeradzahligen und die geradzahligen Aktoren untereinander parallel geschalten sind.

4. Piezolinearantrieb nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den auf dem gemeinsamen Substrat befindlichen Aktoren ein auf die Scherbewegung abgestimmter Abstand vorgesehen ist.

5. Piezolinearantrieb nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Aktoren in einer Array- oder Quadrantenanordnung von mindestens vier Stapeln ausgebildet sind, wobei jeweils die diagonal gegenüberliegenden Stapel eines Aktors parallel angesteuert werden.

6. Piezolinearantrieb nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß innerhalb jedes Stapels neben dem ersten und zweiten Stapelteil ein drittes Teil als weiterer Scheraktor vorhanden ist, wobei die Bewegungsrichtung zwischen zweiten und dritten Stapelteil vorzugsweise 90° versetzt ist.

7. Verfahren zum Betreiben eines Piezolinearantriebes nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß für eine Grobpositionierung der Antrieb im Schrittmodus erfolgt, wobei hierfür die benachbarten und/gegenüberliegenden Aktoren wechselseitig oder wechselseitig gegenphasig Klemm- und Vorschubbewegungen ausführend, elektrisch angesteuert werden, sowie für die Feinpositionierung alle zweiten oder dritten Stapelteile der Aktoren parallel geschalten und analog angesteuert werden, so daß im Bereich um die jeweilige momentane Mittellage bei wesentlicher verringerter Spannung und Feldstärke die Zielposition des Läufers einstellbar ist.

8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß im energielosen Zustand oder Analogmodus sämtliche erste Stapelteile sich auf Klemmung befinden, um die gewünschten Haltekräfte und Steifigkeiten zu erreichen.

9. Piezolinearantrieb mit einer Gruppe von Piezostapelaktoren, welche einen in einer Führung befindlichen Läufer antreiben, wobei die Aktoren eine auf einem gemeinsamen Substrat befindliche Hybridanordnung darstellen, innerhalb eines Stapels ausgehend vom Substrat ein erstes Stapelteil als Longitudinal- und ein zweites Stapelteil als Scheraktor ausgebildet sowie letzteres mit einer verschleißfesten Endscheibe versehen ist, welche in Klemm- und/oder Scherkontakt mit dem Läufer steht, um im Schrittbetrieb wechselseitige Klemm- und Vorschubbewegungen auszuführen, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein aus Mehrschichtkeramik bestehender Aktor bezogen auf den Läufer jeweils gegenüberliegend angeordnet ist, wobei die gegenüberliegenden Aktoren jeweils einen symmetrischen Aufbau, umfassend elektrisch parallel Außenabschnitte sowie einen Innenabschnitt besitzen und die Trennspalte zwischen den Abschnitten parallel und in Längsrichtung des Läufers orientiert sind.

10. Verfahren zum Betreiben eines Piezolinearantriebes nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß für eine Grobpositionierung der Antrieb im Schrittmodus erfolgt, wobei hierfür die gegenüberliegenden Aktoren wechselseitig oder wechselseitig gegenphasig Klemm- und Vorschubbewegungen ausführend, elektrisch angesteuert werden, sowie für die Feinpositionierung alle zweiten Stapelteile der Aktoren parallel geschalten und analog angesteuert werden, so daß im Bereich um die jeweilige momentane Mittellage bei wesentlich verringerter Spannung und Feldstärke die Zielposition des Läufers einstellbar ist.