DE10143743A1 - Verfahren zur Herstellung einer gedruckten Leiterplatte - Google Patents
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Abstract
Es wird ein Verfahren zur Herstellung einer gedruckten Leiterplatte offenbart, welches die folgenden Schritte umfaßt: DOLLAR A a) Belichten einer Leiterplatte mit zumindest einer photoleitenden Schicht, deren Aufladbarkeit durch Belichtung verändert wird, auf zumindest einer Oberfläche eines leitfähigen Trägers, der ein isolierendes Substrat und auf zumindest einer seiner Oberflächen eine metallische leitfähige Schicht umfaßt, durch ein Resistmuster; DOLLAR A b) Aufladen der photoleitenden Schicht unter Bildung eines elektrostatischen latenten Bildes; DOLLAR A c) Erzeugen eines Tonerbildes auf der photoleitenden Schicht durch Toner-Entwicklungsbehandlung; DOLLAR A d) Entfernen des Bereichs der photoleitenden Schicht an dem kein Toner anhaftet durch Auflösen unter Bildung eines Resistbildes; und DOLLAR A e) Entfernen des Bereiches der metallischen leitfähigen Schicht durch Ätzen außerhalb des Bereiches, wo das Resistbild erzeugt wurde.
Description
Diese Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur
Herstellung einer gedruckten Leiterplatte unter Verwendung
einer elektrophotographischen Methode, insbesondere auf ein
Verfahren zur Herstellung einer gedruckten Leiterplatte unter
Verwendung einer Leiterplatte mit einer photoleitenden
Schicht darauf, deren Aufladbarkeit durch Belichtung
verändert wird, und umfassend einen Schritt der Bildung eines
elektrostatischen Bildes, enthaltend zumindest eine
Bildmusterbelichtung mittels UV-Licht und einen darauf
folgenden Schritt der Aufladung, einen Schritt der Bildung
eines Resists mittels Toner-Entwicklung, einen Alkali-
Lösungsschritt der photoleitenden Schicht und einen
Ätzschritt der metallischen leitenden Schicht.
Bei der konventionellen Herstellung gedruckter Leiterplatten
wurden die gedruckten Schaltungen im allgemeinen auf einem
isolierenden Substrat durch die folgenden Schritte
hergestellt. Dies sind das Laminieren eines photosensitiven
Films auf eine kupferplattierte laminierte Platte, worin ein
isolierendes Substrat mit einem Kupferfilm beschichtet ist,
das Darauflegen eines Negativs, gefolgt von Belichtung,
Entwicklung, Entfernung des unnötigen Bereiches des
Kupferfilms außerhalb des Schaltungsmusters, und
schlußendlich, Abblättern der photosensitiven Schicht. Da bei
diesem eine photosensitive Schicht verwendenden Verfahren die
Dicke der photosensitiven Schicht im allgemeinen etwa 50 µm
beträgt, ist das durch Belichtung und Entwicklung gebildete
Schaltungsmuster jedoch nicht schart und es ist schwierig,
den photosensitiven Film gleichförmig auf die
Kupferfilmoberfläche zu laminieren.
Zur Verbesserung der Auflösung, etc. des photosensitiven
Films wurde ein Verfahren zur Bildung eines photosensitiven
Resists auf einem Substrat mittels galvanischer
Metallabscheidung offenbart, wie in den japanischen
vorläufigen Patentveröffentlichungen Nr. 262855/1987, Nr.
4672/1989, etc. beschrieben. Photoresists zur galvanischen
Metallabscheidung haben jedoch im allgemeinen den Nachteil
einer niedrigen Sensitivität. Es ist insbesondere schwierig
im Inneren von Durchgangslöchern zu bestrahlen und im Fall
eines positiven Verfahrens, wo der bestrahlte Bereich löslich
wird gegenüber der Auflöse-Lösung, wird eine Energie im
Bereich von mehreren hundert mJ/cm2 benötigt, um ausreichende
Löslichkeit zu erhalten. Folglich ist die Verwendung von
Lasern und dgl. ungeeignet für die Bestrahlung.
Als weiteres Verfahren neben der Verwendung von
photosensitiven Resists zur Herstellung von gedruckten
Leiterplatten wurde in den westdeutschen Patenten Nr. 2526720
und Nr. 3210577, den japanischen vorläufigen
Patentveröffentlichungen Nr. 2437/1977, Nr. 48736/1982 und
Nr. 168462/1984 ein Verfahren unter Verwendung einer
elektrophotographischen Methode offenbart. In der japanischen
vorläufigen Patentveröffentlichung Nr. 129689/1988 wurde ein
Verfahren zur Herstellung einer gedruckten Leiterplatte
offenbart, welches ein elektrophotographisches Material mit
einer spezifischen Sensitivität für die Wellenlängen von
Lasern verwendet. Ein Beispiel der Verwendung des
elektrophotographischen Verfahrens mittels direktem Zeichnen
des zu bildenden Bildes durch einen Laser auf dem Substrat
wurde bereits auf ein elektrophotographisches Material
angewendet für eine elektrophotographische lithographische
Druckplatte, etc. und mittlerweile ist ein Verfahren in
praktischer Anwendung, welches eine Laserscannbelichtung
verwendet, basierend auf direkt von einem Computer gesendeten
Daten, ohne Verwendung einer Photomaske, unter Bildung eines
Bildes hoher Dichte.
Bei einer von einem photosensitiven Trockenfilmresist oder
einem flüssigen Photoresist verschiedenen gedruckten
Leiterplatte, die unter Verwendung der
elektrophotographischen Methode hergestellt wurde (im
folgenden bezeichnet mit "elektrophotographischer gedruckter
Leiterplatte"), ist es möglich, eine geringe Dicke des
Resists zu wählen, wobei es vorteilhaft ist, bei den
Beschichtungs- und Trocknungsbedingungen, den Alkali-
Entwicklungsbedingungen, den Ätzfaktor von Schaltungsmustern
nach dem Ätzen ausreichend groß zu halten, was zu einer
ausgezeichneten Reproduzierbarkeit der feinen Linien und
Produktivität führt. Zudem ist es möglich, für den
Resistfilm, da es sich um einen flüssigen Resist handelt,
Unebenheiten des Substrats auszugleichen, wobei Fehler wie
etwa offene Schaltungen oder Auslaugen, etc. vermindert
werden. Weiterhin gab es eine zunehmende Erwartung der
praktischen Anwendbarkeit, da es in vielen Eigenschaften wie
etwa der Pflege der Alkali-Entwicklungslösung, der Handhabung
des Substrats nach der Beschichtung, der Eignung zum
perfekten Schutz von Durchgangslöchern, etc. im Vergleich zu
anderen Resistmaterialien ausgezeichnet ist.
Die Herstellung der elektrophotographischen gedruckten
Leiterplatte wird wie folgt durchgeführt. Auf der Oberfläche
einer photoleitenden Schicht einer Leiterplatte, bei der eine
photoleitende Schicht auf einen leitenden Träger, umfassend
ein isolierendes Substrat und darauf eine metallische
leitende Schicht, aufgebracht wurde, wird das Aufladen und
die Belichtung gemäß dem Schaltungsmuster unter Bildung eines
elektrostatischen latenten Bildes, entsprechend des
belichteten Bereiches, durchgeführt. An diesem
elektrostatischen latenten Bild wird eine Toner-
Entwicklungsbehandlung durchgeführt unter Erhalt eines
Tonerbilds und es wird unter Verwendung dieses Tonerbildes
als Resist der Bereich der photoleitenden Schicht außerhalb
des Tonerbilds mittels Auflösung entfernt unter Bildung eines
Resistbildes, umfassend das Tonerbild und die photoleitende
Schicht. Die Entfernung des unnötigen Bereiches der
metallischen leitenden Schicht mittels Auflösung und die
nachfolgenden Verfahren zur Herstellung der gedruckten
Leiterplatte können auf dieselbe Art durchgeführt werden wie
bei konventionellen Verfahren.
Bei einem Verfahren zur Herstellung einer
elektrophotographischen gedruckten Leiterplatte, wobei ein
Leiterbild auf beiden Oberflächen des isolierenden Substrats
gebildet wird, wie in der japanischen vorläufigen
Patentveröffentlichung Nr. 209606/1998 beschrieben, wird
zumindest eine metallische leitende Schicht und eine
photoleitende Schicht in dieser Reihenfolge auf beiden
Oberflächen eines isolierenden Substrats aufgebracht, die
erhaltene Platte wird auf dem flachen Tisch einer
Belichtungsvorrichtung montiert, an dem richtigen Ort
justiert (positioniert), dann wird das Aufladen durchgeführt.
Anschließend wird die Belichtung auf einer Oberfläche der
photoleitenden Schicht durchgeführt unter Bildung eines
elektrostatischen latenten Bildes. Nach dem Umdrehen der
Platte wird das Positionieren und Aufladen wiederum
durchgeführt, gefolgt von der Belichtung der anderen
Oberfläche der photoleitenden Schicht unter Bildung eines
elektrostatischen latenten Bildes. Anschließend werden die
Toner-Entwicklungsbehandlung und die nachfolgenden Prozesse
auf dieselbe Art durchgeführt wie oben beschrieben, unter
Bildung einer gedruckten Leiterplatte mit Schaltungsbildern
auf beiden Oberflächen.
Bei diesem Verfahren tritt jedoch das Problem auf, daß die
Oberfläche des ursprünglich durch Belichtung und Aufladen
gebildeten elektrostatischen latenten Bildes beim Umdrehen
der Platte nach der Belichtung auf dem flachen Tisch in einen
intensiven mechanischen Kontakt mit dem flachen Tisch der
Belichtungsvorrichtung gerät und die elektrische
Ladungsverteilung der kontaktierten Oberfläche gestört wird.
Gleichermaßen gibt es das Problem, daß, selbst nachdem auf
beiden Oberflächen elektrostatische latente Bilder gebildet
wurden, das elektrostatische latente Bild durch Kontakte mit
der Fördereinrichtung zum Transportieren zum Toner-
Entwicklungsverfahren gestört wird. Da die Bildqualität des
Tonerbildes zu einem großen Teil abhängig ist von der
elektrischen Ladungsverteilung des elektrostatischen latenten
Bildes, schlägt sich eine Störung des gebildeten
elektrostatischen latenten Bildes in dem Tonerbild direkt
nieder, was zu Problemen wie Kurzschlüssen, Brüchen oder
offenen Schaltungen, etc. führt.
Zudem erfordert dieses Verfahren zur direkten Zeichnung von
Schaltungen mittels Lasern, unter Verwendung einer
elektrophotographischen Methode, niedrige Belichtungsdosen
von 1 bis 50 µJ/cm2, so daß es möglich ist Halbleiter-Laser
als Laser zu verwenden, die günstiger sind und weniger
Ausgangsleistung erfordern. Da die photoleitende Schicht
jedoch eine hohe Photosensitivität für Wellenlängen von 500
bis 900 nm aufweist, ergibt sich daraus das Problem, daß der
für das Positionieren der gedruckten Leiterplatte während des
Bildgebungsverfahrens verwendete rote Laser-Diodensensor ein
Nebelbild auf der photoleitenden Schicht verursacht und daß
es unmöglich ist, die darauffolgenden Verfahren unter
sichtbarem Licht durchzuführen, bei dem die Verfahren des
Aufladens der photoleitenden Schicht, der Bildbelichtung, und
bis zu Toner-Belichtung des elektrostatischen latenten Bildes
effizient durchgeführt werden.
Weiterhin haben die im allgemeinen als organische
elektrophotographische Materialen verwendeten
Ladungstransportmaterialien die Funktion einen in einem
ladungsbildenden Material, welches sichtbares Licht oder
Infrarotstrahlen absorbiert hat, erzeugten Phototräger (ein
Loch oder ein Elektron) gemäß einem an die photoleitende
Schicht angelegten elektrischen Feld zu transportieren. Im
allgemeinen ist das ladungsbildende Material ein farbiger
Farbstoff oder Pigment, während das Ladungstransportmaterial
eine Verbindung ist, die ultraviolette Strahlen jedoch keine
Infrarotstrahlen oder sichtbares Licht absorbiert. Wenn es in
Betracht gezogen wird, einen Phototräger mittels Einstrahlung
von UV-Licht, welches von dem Ladungstransportmaterial
absorbiert wird, zu generieren, so ist Poly(vinylcarbazol)
wohlbekannt als Substanz, welche Phototräger effizient
generiert. Dessen Verwendung als photosensitives Harz ist
jedoch nicht geeignet zur Bildung eines extrafeinen Musters
wie bei einer gedruckten Leiterplatte, da es extrem schlechte
Filmbildungseigenschaften aufweist und es auch extrem
unmischbar mit anderen Harzen mit guten
Filmbildungseigenschaften ist. Andererseits wurden kürzlich
Verbindungen mit niederen Molekulargewichten, umfassend eine
Hydrazon-Verbindung, eine Triphenylamin-Verbindung, eine
Stilben-Verbindung, etc. als Ladungstransportmaterialien zur
Verwendung in organischen elektrophotographischen Materialien
bekannt. Diese Verbindungen weisen jedoch selber eine extrem
niedrige Effizienz in der Erzeugung von Phototrägern auf.
Folglich ist unter elektrophotographischen Materialien,
umfassend eine photoleitende Schicht, die ausschließlich aus
einem Ladungstransportmaterial mit einem niederen
Molekulargewicht und einem Bindeharz gebildet ist, und die
kein ladungsgenerierendes Material enthält, noch kein System
mit einer praktikablen Photosensitivität für UV-Licht
bekannt.
Ein Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist die
Bereitstellung einer gedruckten Leiterplatte unter Verwendung
eines elektrophotographischen Materials mit einer
Photosensitivität in einem Wellenlängenbereich unterhalb von
500 nm, welche frei ist von Bildfehlern, selbst wenn sie in
Kontakt gerät mit einer Fördereinrichtung oder dem flachen
Tisch einer Belichtungsvorrichtung während des
musterbildgebenden Verfahrens, bei dem keine Bildstörung
durch einen Sensor verursacht wird, und welches erlaubt, die
bildgebenden Verfahren unter sichtbarem Licht, bei dem das
Verfahren effizient durchgeführt wird, durchzuführen.
Die vorliegenden Erfinder haben extensive und intensive
Studien zur Lösung der oben genannten Probleme durchgeführt
und als Ergebnis haben sie gefunden, daß es möglich ist,
mechanische Kontakte während der Prozesse nach der Bildung
des elektrostatischen latenten Bildes und vor der Toner-
Entwicklung auszuschließen, indem ursprünglich eine
Leiterplatte mit einer photoleitenden Schicht, welche ihre
Aufladbarkeit durch Belichtung ändert, auf den Oberflächen
eines leitenden Trägers, der ein isolierendes Substrat und
metallische leitende Schichten auf dessen Oberfläche umfaßt,
durch ein Resistbild belichtet wird; und anschließend die
Aufladung der photoleitenden Schicht unter Bildung eines
elektrostatischen latenten Bildes; die Bildung eines
Tonerbildes auf der photoleitenden Schicht mittels Toner-
Entwicklungsbehandlung; die Entfernung des Bereiches der
photoleitenden Schicht an dem kein Toner anhaftet mittels
Auflösung unter Bildung eines Resistbildes; und die
Entfernung des Bereiches der metallischen leitenden Schicht
in dem kein Resistbild gebildet wurde, mittels Ätzen
durchgeführt wird. Sie haben gefunden, daß dieses Verfahren
die Herstellung einer gedruckten Leiterplatte mit weniger
Fehlern wie etwa Kupferresten, Kurzschlüssen, Auslaugen oder
offenen Schaltungen, etc. ermöglicht.
Die vorliegenden Erfinder haben weiterhin gefunden, daß
Kupferschaltungen auf beiden Oberflächen der Leiterplatte
gebildet werden können, mittels eines Verfahrens, bei dem
eine Leiterplatte mit photoleitenden Schichten, deren
Aufladbarkeiten durch Belichtung verändert werden, auf beiden
Oberflächen eines leitenden Trägers, welcher ein isolierendes
Substrat und metallische leitende Schichten auf dessen beiden
Oberflächen umfaßt, durch ein Resistmuster auf einer
Oberfläche, gefolgt von der anderen Oberfläche, belichtet
wird, dann werden beide Oberflächen der photoleitenden
Schichten unter Bildung elektrostatischer latenter Bilder auf
beiden Oberflächen aufgeladen, gefolgt von der Bildung eines
Tonerbildes, der Bildung eines Resistbildes und dem Ätzen der
metallischen leitenden Schichten auf beiden Oberflächen,
entweder getrennt oder gleichzeitig.
Weiterhin fanden die vorliegenden Erfinder daß es möglich
ist, bei Verwendung einer photoleitenden Schicht, umfassend
ein Ladungstransportmaterial mit einer Verbindung von
niederem Molekulargewicht und einer spezifischen chemischen
Struktur und das nicht aus einem allgemein verwendeten
farbigen Ladungsgenerierungsmaterial (einem organischen
Pigment, einem Sensitisierungsfarbstoff) besteht, eine
Leiterplatte bereitzustellen, die geeignet ist durch
Belichtung mit UV-Licht ein Bild zu erzeugen. Es ist möglich
ein elektrophotographisches Bild unter sichtbarem Licht oder
gelben Sicherheitslicht zu erzeugen, wenn diese photoleitende
Schicht so hergestellt wird, daß sie ihre Aufladbarkeit nicht
durch Belichtung mit einer Wellenlänge von 500 nm oder mehr
ändert.
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur
Herstellung einer gedruckten Leiterplatte, welches die
folgenden Schritte umfaßt:
- a) Belichten einer Leiterplatte mit zumindest einer photoleitenden Schicht, deren Aufladbarkeit durch Belichtung verändert wird, auf zumindest einer Oberfläche eines leitenden Trägers, der ein isolierendes Substrat und auf zumindest einer seiner Oberflächen eine metallische leitende Schicht umfaßt, durch ein Resistmuster;
- b) Aufladen der photoleitenden Schicht unter Bildung eines elektrostatischen latenten Bildes;
- c) Erzeugen eines Tonerbildes auf der photoleitenden Schicht durch Toner-Entwicklungsbehandlung;
- d) Entfernen des Bereiches der photoleitenden Schicht an dem kein Toner anhaftet durch Auflösen unter Bildung eines Resistbildes; und
- e) Entfernen des Bereiches der metallischen leitfähigen Schicht durch Ätzen außerhalb des Bereiches wo das Resistbild gebildet wurde.
Im folgenden werden die Ausführungsformen der vorliegenden
Erfindung im Detail erläutert.
Die gemäß der vorliegenden Erfindung zu verwendende
photoleitende Schicht umfaßt einen Farbstoff vom
Anthrachinon-Typ, dargestellt durch die Formel (I), ein
Ladungstransportmaterial, und ein Harz, welches in einer
alkalischen Lösung löslich ist.
In der Formel (I) stellen jedes R1 und R2 eine Alkyl-Gruppe,
Aryl-Gruppe oder eine Aralkyl-Gruppe dar, und diese
Substituenten können einen oder mehrere weitere Substituenten
tragen. R1 und R2 können dieselben sein oder sich voneinander
unterscheiden.
Als das gemäß der vorliegenden Erfindung zu verwendende
Ladungstransportmaterial werden die durch die Formeln (II),
(III), (IV), (V) und (VI) dargestellten Verbindungen
bevorzugt.
In der Formel (II) stellt R3 ein Wasserstoffatom, eine Alkyl-
Gruppe oder eine Aryl-Gruppe dar und Ar1 und Ar2 stellen
beide eine Aryl-Gruppe dar. Z stellt eine Alkylen-Gruppe mit
einer Kohlenstoffanzahl von 3 oder 4 dar, welche einen 5-
gliedrigen Ring oder einen 6-gliedrigen Ring bildet, der an
einen Pyrrolidin-Ring gebunden ist. Abgesehen von dem
Wasserstoffatom können diese Substituenten weiter
substituiert sein und Ar1 und Ar2 können dieselben sein oder
sich voneinander unterscheiden.
In der Formel (III) stellt R4 ein Wasserstoffatom, eine
Alkyl-Gruppe oder eine Aryl-Gruppe dar und Ar3 und Ar4
stellen beide eine Aryl-Gruppe dar. Jedes von R5 und R6
stellt ein Wasserstoffatom oder eine Alkyl-Gruppe dar, worin
zumindest eines von R5 und R6 ein Alkyl-Gruppe ist. Y ist
eine Alkylen-Gruppe mit einer Kohlenstoffanzahl von 1 oder 2,
welche einen 5-gliedrigen Ring oder einen 6-gliedrigen Ring
mit zwei an einen Pyrrolidin-Ring gebundenen
Kohlenstoffatomen bildet. Abgesehen von dem Wasserstoffatom
können diese Substituenten weiter substituiert sein. Ar3 und
Ar4 oder R5 und R6 können dieselben sein oder sich
voneinander unterscheiden.
In der Formel (IV) stellen jedes von R7, R8 und R9 ein
Wasserstoffatom oder eine Alkyl-Gruppe, und jedes von R10 und
R11 stellen eine Alkyl-Gruppe oder eine Aryl-Gruppe dar.
Abgesehen von dem Wasserstoffatom können diese Substituenten
weiter substituiert sein. R7, R8 und R9, oder R10 und R11
können dieselben sein oder sich voneinander unterscheiden.
In der Formel (V) stellen jedes von Ar5 und Ar6 eine Aryl-
Gruppe dar, und jedes von R12, R13, R14 und R15 stellen eine
Alkyl-Gruppe oder Aralkyl-Gruppe dar. Diese Substituenten
können weiter substituiert sein. Ar5 und Ar6 oder R12, R13,
R14 und R15 können dieselben sein oder sich voneinander
unterscheiden.
In der Formel (VI) stellt jedes von Ar7, Ar8, Ar9 und R16
eine Alkyl-Gruppe dar, und diese Substituenten können weiter
substituiert sein. Ar7, Ar8, Ar9 und R16 können dieselben
sein oder sich voneinander unterscheiden. n repräsentiert
eine ganze Zahl von 1 oder 2.
Die photoleitende Schicht der vorliegenden Erfindung kann
zusätzlich zu zumindest einer der durch die Formeln (II),
(III), (IV), (V) und (VI) dargestellten
Ladungstransportmaterialien und einem Bindeharz zumindest
eine der durch die Formeln (VII), (VIII), (IX), (X), (XI),
(XII) und (XIII) dargestellten Verbindungen in einer Menge
von 0,1 bis 30 Massen-% (Massen-% hat dieselbe Bedeutung als
Gew.-% und wird im folgenden als dasselbe verwendet),
basierend auf der gesamten Menge der durch die Formeln (II),
(III), (IV), (V) und (VI) dargestellten
Ladungstransportmaterialien enthalten.
In der Formel (VII) stellt jedes von R17, R18, R19 und R20
eine Alkyl-Gruppe oder eine Alkoxy-Gruppe dar, welche weiter
substituiert sein kann. R17, R18, R19 und R20 können
dieselben sein oder sich voneinander unterscheiden.
In der Formel (VIII) ist R21 ein Substituent des Naphthalin-
Rings, der ein Wasserstoffatom, ein Halogenatom, eine
Hydroxyl-Gruppe, eine Nitro-Gruppe, Eine Alkylamino-Gruppe,
eine Alkoxy-Gruppe, Alkenyloxy-Gruppe, eine Aralkyloxy-Gruppe
oder eine Alkenyl-Gruppe darstellt. Q stellt einen
aromatischen Kohlenwasserstoffrest dar, der unter Bildung
einer Bindung mit dem Imidazolin-Ring kondensiert ist.
In der Formel (IX) ist R22 ein Substituent des Naphthalin-
Rings, der ein Wasserstoffatom, ein Halogenatom, eine
Hydroxyl-Gruppe, eine Nitro-Gruppe, eine Alkylamino-Gruppe,
eine Alkoxy-Gruppe, eine Alkenyloxy-Gruppe, eine Aralkyloxy-
Gruppe oder eine Alkenyl-Gruppe darstellt. R23 stellt eine
Alkyl-Gruppe oder Aryl-Gruppe dar und kann weiter
substituiert sein.
In der Formel (X) ist R24 ein Substituent des Benzol-Rings,
der ein Wasserstoffatom, ein Halogenatom oder eine Nitro-
Gruppe darstellt. P stellt einen aromatischen
Kohlenwasserstoff-Rest dar der kondensiert ist unter Bildung
einer Bindung mit dem Imidazolin-Ring.
In der Formel (XII) stellt jedes vor. AR10 und Ar11 eine Aryl-
Gruppe dar und kann weiter substituiert sein. Ar10 und Ar11
können dieselben sein oder sich voneinander unterscheiden. m
stellt eine ganze Zahl von 0 oder 1 dar.
In der Formel (XIII) stellt Ar12 eine Aryl-Gruppe dar und
jedes von R25 und R26 stellt eine Alkyl-Gruppe dar, die
weiter substituiert sein kann. R25 und R26 können dieselben
sein oder sich voneinander unterscheiden. l stellt eine ganze
Zahl von 0 oder 1 dar.
Im folgenden werden spezifische Beispiele des durch die
Formel (I) dargestellten Farbstoffes vom Anthrachinon-Typ
aufgeführt, die photoleitenden Schichten sind jedoch nicht
auf diese Beispiele begrenzt.
Durch Zugabe eines durch die Formel (I) dargestellten
Farbstoffes zu der photoleitenden Schicht wird die
photoleitende Schicht farbig und die äußere Erscheinung des
Resistbildes auf der leitenden Schicht der gedruckten
Leiterplatte vor dem Ätzen wird dramatisch sichtbar im
Vergleich zu einer ohne Zugabe des Farbstoffes.
Als Farbstoff zur Verbesserung des visuellen Kontrasts der
Harzschicht sind verschiedene Arten von Farbstoffen wie etwa
Farbstoffe vom Triphenylmethan-Typ, Farbstoffe vom Azo-Typ,
Farbstoffe von Phthalocyanin-Typ, Farbstoffe vom Cyanin-Typ,
etc. bekannt. In der Praxis sind aus den im folgenden
genannten Gründen die zum Färben einer die
elektrophotographische Methode verwendenden photoleitenden
Schicht anwendbaren Farbstoffe extrem begrenzt. Da Farbstoffe
von Triphenylmethan-Typ und Farbstoffe vom Cyanin-Typ
kationische Farbstoffe sind, wird die Leitfähigkeit der
photoleitfähigen Schicht groß wenn diese in der
photoleitenden Schicht enthalten sind, was es schwierig macht
ein elektrostatisches latentes Bild zu erzeugen. Andererseits
zeigen Farbstoffe vom Azo-Typ mit einer ausgezeichneten
Löslichkeit für ein Lösungsmittel im allgemeinen die maximale
Absorption für Wellenlängen im sichtbaren Bereich bei weniger
als 550 nm, und es wurde daher keine Verbindung gefunden, die
die Aufgabe löst, den Resist leichter erkennbar zu machen und
die billiger ist. Zudem sind Farbstoffe vom Phthalocyanin-Typ
weniger löslich in einem Lösungsmittel und es ist daher
schwierig, diese Farbstoffe gleichförmig in die photoleitende
Schicht einzubringen. Überdies weisen sie eine
Photoleitfähigkeit auf, so daß es schwierig ist, ein
elektrostatisches latentes Bild unter sichtbarem Licht zu
erzeugen.
Andererseits wurde herausgefunden, daß unter den Farbstoffen
vom Anthrachinon-Typ solche mit der spezifischen durch die
Formel (I) dargestellten chemischen Struktur eine hohe
Löslichkeit für ein Lösungsmittel aufweisen und die
elektrophotographische Eigenschaft der photoleitenden Schicht
nicht beeinträchtigen. Da der durch die Formel (I)
dargestellte Farbstoff keine Photoleitfähigkeit aufweist,
wird keine spektrale Sensitisierung durch Erzeugung von
Phototrägern durch den Farbstoff selber oder durch die Zugabe
des Farbstoffes verursacht. Folglich ist es möglich, ein
elektrostatisches latentes Bild zu erzeugen und die Toner-
Entwicklung unter sichtbarem Licht oder gelben
Sicherheitslicht durchzuführen.
Weiterhin wurde gefunden, daß durch Zugabe des durch die
Formel (I) dargestellten Farbstoffes in einer
Beschichtungslösung zur Bildung einer photoleitenden Schicht
gemäß der vorliegenden Erfindung auf einer metallischen
leitenden Schicht es möglich ist, die Verschlechterung der
Beschichtungslösung während der Aufbewahrung unter Erhitzen
über eine Zeitdauer zu verhindern. Obwohl es nicht klar ist,
welche Art der chemischen Veränderung in der
Beschichtungslösung während der Aufbewahrung unter Erhitzen
über eine Zeitdauer auftritt, so ist es dennoch ein wichtiger
Aspekt im Hinblick auf die Etablierung eines praktischen
Verfahrens zur Herstellung einer Leiterplatte, die Stabilität
der Beschichtungslösung mit Erfolg dramatisch zu verbessern
durch die Gegenwart eines Farbstoffes mit einer spezifischen
chemischen Struktur in Coexistenz mit einem gemischten
Beschichtungslösungssystem, umfassend ein
Ladungstransportmaterial und ein Alkali-lösliches Harz.
Die Menge des zu der photoleitenden Schicht zuzugebenden
durch die Formel (I) dargestellten Farbstoffes kann
gegebenenfalls in einem Bereich liegen der nicht wesentlich
niedriger liegt als die Konzentration des
Ladungstransportmaterials in der photoleitenden Schicht. Sie
beträgt vorzugsweise von 0,1 Massen-% bis 10 Massen-%,
basierend auf der gesamten Menge des festen Anteils der
photoleitenden Schicht.
Im folgenden werden spezifische Beispiele der in der
photoleitenden Schicht gemäß der vorliegenden Erfindung zu
verwendenden durch die Formel (II) dargestellten Verbindungen
aufgeführt, die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf
diese Beispiele beschränkt.
Im folgenden werden spezifische Beispiele der in der
photoleitenden Schicht der vorliegenden Erfindung zu
verwendenden durch die Formel (III) dargestellten
Verbindungen aufgeführt, die vorliegende Erfindung ist jedoch
nicht auf diese Beispiele beschränkt.
Im folgenden werden spezifische Beispiele der in der
photoleitenden Schicht gemäß der vorliegenden Erfindung zu
verwendenden durch die Formel (IV) dargestellten Verbindungen
aufgeführt, die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf
diese Beispiele beschränkt.
Im folgenden werden spezifische Beispiele der in der
photoleitenden Schicht der vorliegenden Erfindung zu
verwendenden durch die Formel (V) dargestellten Verbindungen
aufgeführt, die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf
diese Beispiele beschränkt.
Im folgenden werden spezifische Beispiele der in der
photoleitenden Schicht der vorliegenden Erfindung zu
verwendenden durch die Formel (VI) dargestellten Verbindungen
aufgeführt, die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf
diese Beispiele beschränkt.
Im folgenden werden spezifische Beispiele der in der
photoleitenden Schicht der vorliegenden Erfindung zu
verwendenden durch die Formel (VII) dargestellten
Verbindungen aufgeführt, die vorliegende Erfindung ist jedoch
nicht auf diese Beispiele beschränkt.
Im folgenden werden spezifische Beispiele der in der
photoleitenden Schicht der vorliegenden Erfindung zu
verwendenden durch die Formel (VIII) dargestellten
Verbindungen aufgeführt, die vorliegende Erfindung ist jedoch
nicht auf diese Beispiele beschränkt.
Im folgenden werden spezifische Beispiele der in der
photoleitenden Schicht der vorliegenden Erfindung zu
verwendenden durch die Formel (IX) dargestellten Verbindungen
aufgeführt, die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf
diese Beispiele beschränkt.
Im folgenden werden spezifische Beispiele der in der
photoleitenden Schicht der vorliegenden Erfindung zu
verwendenden durch die Formel (X) dargestellten Verbindungen
aufgeführt, die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf
diese Beispiele beschränkt.
Im folgenden werden spezifische Beispiele der in der
photoleitenden Schicht der vorliegenden Erfindung zu
verwendenden durch die Formel (XII) dargestellten
Verbindungen aufgeführt, die vorliegende Erfindung ist jedoch
nicht auf diese Beispiele beschränkt.
Im folgenden werden spezifische Beispiele der in der
photoleitenden Schicht der vorliegenden Erfindung zu
verwendenden durch die Formel (XIII) dargestellten
Verbindungen aufgeführt, die vorliegende Erfindung ist jedoch
nicht auf diese Beispiele beschränkt.
Durch Zugabe der durch die Formeln (VII) bis (XIII)
dargestellten Verbindungen in einer Menge von 0,1 bis
30 Massen-%, basierend auf der Gesamtmenge der durch die
Formeln (II) bis (VI) dargestellten
Ladungstransportmaterialien, wird es möglich, die
verbleibende Ladung in belichteten Bereichen im Vergleich zu
Proben ohne Zugabe von durch die Formeln (VII) bis (XIII)
dargestellten Verbindungen weiter zu reduzieren. Die durch
die Formeln (VII) bis (XIII) dargestellten Verbindungen haben
keine spektralsensitisierenden Eigenschaften und es ist daher
möglich, die Erzeugung des elektrostatischen latenten Bildes
und die Toner-Entwicklung unter sichtbarem Licht oder gelben
Sicherheitslicht in einem System in dem die Verbindungen der
Formeln (VII) bis (XIII) zugegeben sind durchzuführen.
Die Wirkung und der Mechanismus des durch die Formeln (VII)
bis (XIII) dargestellten Verbindungen hervorgerufenen
Effektes sind im Detail nicht klar, werden jedoch wie folgt
angenommen. Durch Belichten einer photoleitenden Schicht mit
UV-Licht absorbieren die Materialien der Formeln (II) bis
(VI) UV-Licht und generieren eine große Menge von Elektronen.
Im Ergebnis wird eine Veränderung der Aufladbarkeit der
photoleitenden Schicht in dem belichteten Bereich der
photoleitenden Schicht generiert, und durch Aufladen gefolgt
von Belichtung wird ein unbelichteter Bereich normalerweise
aufgeladen, während der belichtete Bereich selektiv ungeladen
ist, wobei ein elektrostatisches latentes Bild erzeugt wird.
Nachdem die Ladungstransportmaterialien der Formeln (II) bis
(VI) ausgezeichnet sind bei dem positiven Ladungstransport,
jedoch minderwertig beim Transport von Elektronen, geht der
Unterschied in der Aufladbarkeit leicht verloren durch
Rückbindung der generierten Elektronen und positiven
Ladungen. Die Verbindungen der Formeln (VII) bis (XIII) haben
die Eigenschaft eines Elektronenakzeptors und können temporär
die durch die Verbindungen der Formeln (II) bis (VI) durch
Einstrahlung von UV-Licht generierten Ladungen aufnehmen.
Weiterhin sind sie ausgezeichnet in der Eigenschaft die
einmal aufgenommenen Elektronen zu transportieren. Folglich
werden bei einer Durchführung der Aufladung nach der
Belichtung mit UV-Licht die einmal durch die Verbindungen der
Formeln (VII) bis (XIII) aufgenommenen Elektron durch das
Anlegen eines elektrischen Feldes wieder freigegeben und die
Ladungen gehen vorteilhafterweise auf der Oberfläche des mit
UV-Licht belichteten Bereiches verloren.
Typische durch das Aufbringen einer metallischen leitenden
Schicht auf einem isolierenden Substrat gemäß der
vorliegenden Erfindung erhaltene laminierte Platten umfassen
ein Papiersubstrat-Phenolharz oder ein Glassubstrat-
Epoxyharz, laminiert mit einem Kupferfilm etc. als
metallische leitende Schicht. Beispiele dieser laminierten
Platten werden beschrieben in "Printed Circuit Technical
Manual" (herausgegeben durch Nippon Printed Circuit Industry
Association, veröffentlicht von Nikkan Kogyo Shinbun-sha im
Jahr 1987) und die gewünschte laminierte Platte kann
verwendet werden.
Die Dicke des isolierenden Substrates liegt generell bei von
etwa 80 µm bis etwa 3,2 mm, und dessen Material und Dicke
werden gemäß der schlußendlich als gedruckte Leiterplatte
verwendeten Ausführungsform gewählt. Im Fall der Verwendung
eines dünnen Substrats kann es durch Laminierung von mehreren
von ihnen verwendet werden.
Die auf dem isolierenden Substrat der laminierten Platte
aufgebrachte metallische leitende Schicht kann ausgewählt
werden aus denen mit verschiedener Dicke und jene mit einer
Dicke von 5 bis 35 µm werden üblicherweise verwendet. Jene
mit einer Dicke, die dünner oder dicker ist als der oben
angegebene Bereich können jedoch ebenso verwendet werden.
Wenn die Schaltungsdichte zunimmt und die Abstände zwischen
den Schaltungen feiner werden, ist es stärker bevorzugt eine
dünnere metallische leitende Schicht zu verwenden. Als für
die metallische leitende Schicht zu verwendende Metalle
können Kupfer, Silber, Aluminium, Edelstahl, Nichrom,
Wolfram, etc. genannt werden.
Als spezifische Beispiele des in der photoleitenden Schicht
der vorliegenden Erfindung zu verwendenden Alkali-löslichen
Harzes kann ein Styrol/Maleinsäuremonoester-Copolymer,
Methacrylsäure/Methacrylsäureester-Copolymer,
Styrol/Methacrylsäure/Methacrylsäureester-Copolymer,
Acrylsäure/Methacrylsäureester-Copolymer,
Styrol/Acrylsäure/Methacrylsäureester-Copolymer,
Methacrylsäure /Methacrylsäureester/Acrylsäureester-Copolymer,
Acrylsäure/Acrylsäureester/Methacrylsäureester-Copolymer,
Vinylacetat/Crotonsäure-Copolymer,
Vinylacetat/Crotonsäure/Methacrylsäureester-Copolymer,
Styrol/Vinylbenzoat-Copolymer oder ein Phenolharz wie etwa
Polyvinylphenolharz, Novolakharz, etc. genannt werden. Als
das gemäß der vorliegenden Erfindung zu verwendende Harz kann
jedes Harz verwendet werden, solange es gute Film-
Bildungseigenschaften aufweist, löslich in einer wäßrigen
Alkali-Lösung ist und Widerstandsfähigkeit gegen die bei der
Entfernung der metallischen leitfähigen Schicht zu
verwendenden Ätzlösung aufweist, und es ist nicht auf die
oben genannten Harze beschränkt.
Das Mischungsverhältnis der in der photoleitenden Schicht der
vorliegenden Erfindung zu verwendenden
Ladungstransportmaterialien der Formeln (II) bis (VI),
basierend auf dem Bindeharz, liegt bevorzugt bei etwa 0,1 bis
100 Massen-% und insbesondere bevorzugt bei 5 bis
40 Massen-%.
Die Herstellung der photoleitenden Schicht der vorliegenden
Erfindung wird durchgeführt mittels Tauchlackieren,
Stabbeschichten, Sprühbeschichten, Rollbeschichten,
Schleuderbeschichten, Elektroabscheidung, etc. Die
Beschichtungslösung wird hergestellt durch Auflösen der die
photoleitende Schicht bildenden Komponenten in einem
geeigneten Lösungsmittel. Weiterhin können
Plastifizierungsmittel, Tenside und andere Additive
zusätzlich zu den Ladungstransportmaterialien und dem Harz zu
der Beschichtungslösung zugegeben werden zum Zweck der
Verbesserung der physikalischen Eigenschaften des Films und
der Viskosität der Beschichtungslösung.
Als das für die Herstellung der Beschichtungslösung zu
verwendende Lösungsmittel kann jedes verwendet werden solange
es die Ladungstransportmaterialien und die Bindeharze
gleichförmig zu lösen vermag. Konkret können Alkohole wie
etwa Methanol, Ethanol, 1-Propanol, 1-Methoxy-2-propanol,
etc.; Ether wie etwa Tetrahydrofuran (THF), 1,4-Dioxan,
1,3-Dioxolan, 1,2-Dimethoxyethan,
Ethylenglycolmonomethylether, etc.; Ketone wie etwa Aceton,
Methylethylketon, Cyclohexanon, Methylisobutylketon, etc.;
aromatische Kohlenwasserstoffe wie etwa Toluol, Xylol, etc.;
Ester wie etwa Ethylacetat, Methylacetat, Isobutylacetat,
etc.; Amide wie etwa N,N-Dimethylformamid,
N,N-Dimethylacetamid, N-Methylpyrrolidon, etc.; und
Dimethylsulfoxid, etc. genannt werden, das Lösungsmittel ist
jedoch nicht auf diese beschränkt und es kann geeigneterweise
gemäß dem Beschichtungsverfahren und den
Trocknungsbedingungen, etc. ausgewählt werden. Die
Konzentration der festen Bestandteile der Beschichtungslösung
kann ebenso passend gewählt werden gemäß dem
Beschichtungsverfahren und den Trocknungsbedingungen, etc.
Hinsichtlich der Dicke der photoleitenden Schicht der
vorliegenden Erfindung entsteht, wenn sie zu dick ist, das
Problem, daß die Potentialdifferenz eines elektrostatischen
latenden Bildes zwischen dem belichteten Bereich und dem
unbelichteten Bereich schwierig zu generieren ist und dies
fördert die Verschlechterung der Auflöse-Lösung in dem
Verfahren, bei dem die photoleitende Schicht in Alkali gelöst
wird. Andererseits ist es unmöglich eine für die Toner-
Entwicklung der Elektrophotographie erforderliche
ausreichende elektrische Ladung in dem Schritt der Aufladung
der photoleitenden Schicht zu erhalten, wenn die Schicht zu
dünn ist. Die bevorzugte Dicke der photoleitenden Schicht
beträgt 0,5 bis 20 µm, und stärker bevorzugt 1 bis 10 µm.
Als Verfahren zur Belichtung des photosensitiven Materials
können die reflektive Bild-Belichtung, Kontaktbelichtung
durch einen transparenten positiven Film, die direkte
Projektionsbelichtung, unter Verwendung eines UV-
fluoreszierenden Lichtes, einer Xenonlampe, einer Hochdruck-
Quecksilberdampflampe, etc. als Lichtquelle, und die
Scanning-Belichtung unter Verwendung von UV-Laserlicht
genannt werden. Im Falle der Verwendung der Scanning-
Belichtung kann sie durchgeführt werden unter Änderung der
Wellenlänge der Laser-Lichtquelle wie etwa eines He-Ne-
Lasers, eines He-Cd-Lasers, eines Argon-Lasers, eines
Kryptonionen-Lasers, eines Rubin-Lasers, eines YAG-Lasers,
eines Stickstoff-Lasers, eines Farbstoff-Lasers, eines
Exzimer-Lasers, etc. mit einer zweiten Oberschwingung
generierenden Vorrichtung in eine angemessene Wellenlänge
gemäß der Wellenlänge des emittierten Lichtes, oder sie kann
durchgeführt werden unter Verwendung eines
Flüssigkristallverschlusses und eines Mikrospiegel-
Feldverschlusses (micro mirror array shutter).
Nach der Vollendung der Bildbelichtung wird die Aufladung
durchgeführt und ein statisches latentes Bild wird erzeugt.
Als Verfahren zum Aufladen sind das konventionelle
kontaktfreie Aufladen wie etwa die Corotron-Methode und die
Scorotron-Methode, etc. und Kontaktaufladeverfahren, wie etwa
das leitende Roll-Aufladeverfahren, etc. bekannt. Jedes
Verfahren kann verwendet werden solange die photoleitende
Schicht der vorliegenden Erfindung, deren Aufladbarkeit durch
Belichtung verändert wird, gleichmäßig aufgeladen werden
kann.
Das durch statischen Aufladeprozeß erzeugte elektrostatische
latente Bild wird mittels Tonerentwicklung entwickelt und ein
Tonerbild wird erzeugt. Als Verfahren zur Erzeugung des
Tonerbildes durch das elektrophotographische Verfahren kann
eine Trocknungsentwicklung (Kaskadenentwicklung, magnetische
Bürstenentwicklung und Pulvermengeentwicklung (cascade
development, magnetic brush development and powder crowd
development)) und eine flüssige Entwicklung unter Verwendung
eines flüssigen Toners, bei dem Tonerpartikel in einer
geeigneten isolierenden Lösung dispergiert sind, verwendet
werden. Unter diesen ist die flüssige Entwicklung für die
vorliegende Erfindung stärker bevorzugt, da Tonerpartikel
stabil sind und geringere Partikeldurchmesser aufweisen, was
die Erzeugung eines feineren Tonerbildes ermöglicht.
Als der in der vorliegenden Erfindung zu verwendende Toner
kann ein bei elektrophotographischen Druckplatten verwendeter
Toner vom Naßtyp verwendet werden und er sollte Beständigkeit
aufweisen gegen die Entfernung der Nicht-Schaltungsbereiche
der photoleitenden Schicht durch Auflösung in dem
darauffolgenden Schritt. Im Hinblick darauf ist als
Komponente der Tonerpartikel vorzugsweise z. B. ein
acrylisches Harz, umfassend ein Acrylat, ein Methacrylat,
etc.; ein Vinylacetatharz; ein Copolymer von Vinylacetat und
Ethylen oder Vinylchlorid etc.; ein Vinylchloridharz; ein
Vinylidenchloridharz; Vinylacetalharz wie etwa
Poly(vinylbutyral); Polystyrol; ein Copolymer von Styrol und
Butadien oder ein Methacrylat, etc.; Polyethylen,
Polypropylen und deren Chloride; ein Polyesterharz, wie etwa
Polyethylenterephthalat, Polyethylenisophthalat, etc.; ein
Polyamidharz wie etwa Polycapramid, Polyhexamethylenadipamid,
etc.; Vinyl-modifizierte Alkydharze; Gelatine; ein
Celluloseester-Derivat wie etwa Carboxymethylcellulose, etc.;
und Wachs enthalten. Ein Farbstoff oder ein Mittel zur
Ladungskontrolle können ebenso dem Toner zugegeben werden in
einem Bereich der keine ungünstige Wirkung auf die
Entwicklung oder das Fixieren etc. verursacht. Überdies
sollte die Ladung des Toners als positiv oder negativ gewählt
werden, abhängig von der statischen Ladungspolarität der
photoleitenden Schicht nach der Korona-Ladung.
Als Methode zur Entwicklung kann entweder ein umgekehrtes
Entwicklungsverfahren eingesetzt werden, bei dem der
belichtete Bereich entwickelt wird, während eine geeignete
Vorspannung angelegt wird, unter Verwendung eines Toners mit
derselben Polarität wie die des elektrostatischen latenten
Bildes, oder eine normale Entwicklung, bei dem unbelichteter
Bereich entwickelt wird, unter Verwendung von Tonerpartikeln
mit einer Polarität, die sich von der des elektrostatischen
latenten Bildes unterscheidet. Das erzeugte Tonerbild kann
fixiert werden durch, z. B., Hitzefixierung, Druckfixierung,
Lösungsmittelfixierung, etc. Unter Verwendung des so
erzeugten Tonerbildes als Resist wird die photoleitende
Schicht durch eine Auflöse-Lösung entfernt unter Erhalt eines
Resistbildes der Schaltung, welches eine laminierte Platte
und darauf eine photoleitende Schicht und das Tonerbild
umfaßt.
Als Mittel zur Entfernung des Bereichs der photoleitenden
Schicht außerhalb des Tonerbildes kann grundsätzlich unter
Verwendung einer Auflöse-Lösung ein Prozessor für
Druckplatten vom Typ der Auflösung des Nicht-Bildbereiches
eingesetzt werden. Die in der vorliegenden Erfindung zu
verwendende Auflöse-Lösung enthält eine basische Verbindung.
Als Beispiele der basischen Verbindung können anorganische
basische Verbindungen wie etwa Alkalisilicate,
Alkalihydroxide, Alkaliphosphate, Alkalicarbonate,
Ammoniumphosphate, Ammoniumcarbonate, etc., und organische
basische Verbindungen wie etwa Ethanolamine, Ethylendiamin,
Propandiamine, Triethylentetramin, Morpholin, etc. genannt
werden. Die oben genannten basischen Verbindungen können
alleine oder in Form einer Mischung verwendet werden. Als
Lösungsmittel der Auflöse-Lösung wird bevorzugt Wasser
verwendet.
Der belichtete Bereich der metallischen leitfähigen Schicht
außerhalb des Resistbildes der Schaltung wird mittels Ätzen
entfernt. In dem Ätzverfahren kann ein in "Printed Circuit
Technical Manual" (herausgegeben von der Nippon Printed
Circuit Industry Association, veröffentlicht von Nikkan Kogyo
Shinbun-sha im Jahr 1987) beschriebenes Verfahren verwendet
werden. Jede Ätzlösung kann verwendet werden, solange sie
geeignet ist, die metallische leitende Schicht durch Auflösen
zu entfernen und zumindest die photoleitende Schicht ihr
gegenüber beständig ist. Wenn eine Kupferschicht als
metallische leitende Schicht verwendet wird, kann im
allgemeinen eine wäßrige Lösung von Eisen(III)-chlorid,
Kupfer(II)-chlorid, etc. verwendet werden.
Wie im Fall der Herstellung einer gedruckten Leiterplatte
unter Verwendung eines generellen Resists wie etwa von
Resist-Tinte, flüssigem Resist, Trockenfilmphoto-Resist,
etc., kann das Resistbild des Schaltungsbereiches nach dem
Ätzverfahren durch Behandlung mit weiterer im Vergleich zu
der zur Entfernung des Nicht-Schaltungsbereiches verwendeten
Lösung noch stärker alkalischen Lösung entfernt werden. Die
Verwendung eines organischen Lösungsmittels, welches das
Bindeharz der photosensitiven Schicht auflöst, wie etwa
Methylethylketon, Dioxan, Methanol, Ethanol, Propanol, etc.
ist möglich.
Im folgenden wird die vorliegende Erfindung unter Bezugnahme
auf Beispiele detailliert beschrieben, die vorliegende
Erfindung ist jedoch nicht auf diese Beispiele beschränkt. In
diesen Beispielen bedeutet Teil und % jeweils Gew.-Teil und
Massen-% und die Harzzusammensetzung wird dargestellt durch
das Massenverhältnis der Monomeren. Weiterhin wurde die
Verfahrenssequenz zumindest ab der Belichtung zur Toner-
Entwicklung und Fixierung in einem Raum durchgeführt mit
einer gelben Sicherheitsbeleuchtung, welche Licht mit einer
Wellenlänge von weniger als 500 nm ausblendete.
Eine Beschichtungslösung zur Bildung der photoleitenden
Schicht wurde gemäß der unten dargestellten Vorschrift 1
hergestellt und eine auf beiden Seiten mit Kupfer laminierte
Platte (erhältlich von Mitsubishi Gas Chemical Co., Inc.,
CCL-E170, Handelsname) wurde auf beiden Seiten mittels
Tauchbeschichtung mit der hergestellten Beschichtungslösung
beschichtet. Diese mit der photoleitenden Schicht bildenden
Lösung beschichtete kupferplattierte laminierte Platte wurde
unter Erhitzen bei 120°C über 30 min getrocknet unter Bildung
einer Beschichtung der photoleitenden Schicht mit einer Dicke
von 4 µm, unter Bildung einer Leiterplatte. Die Konformität
der photoleitenden Schicht mit der Unebenheit der
Kupferschicht war gut.
Eine Filmmaske auf der ein Bildmuster gezeichnet worden war,
wurde auf dieser photoleitenden Schicht angebracht und
anschließend wurde eine Belichtung mit UV-Licht über
30 Sekunden durchgeführt unter Verwendung eines Hochdruck-
Quecksilberlichtquellenapparates für Druckzwecke mit einem
Mittel zur Saugbefestigung (erhältlich von Ushio Inc.,
UNIRECK URM 300, Handelsname). Anschließend wurde die
Leiterplatte umgedreht und die unbelichtete Oberfläche wurde
über 30 s auf dieselbe Art belichtet, um einen Unterschied in
den statischen Ladungseigenschaften zu generieren. Weiterhin
wurde die photoleitende Schicht zwangsweise mit einem roten
Laserdiodensensor bestrahlt.
Anschließend wurden beide Seiten der photoleitenden Schicht
unter Verwendung einer statischen Korona-Ladevorrichtung
(Ladespannung: +5,0 kV) statisch aufgeladen und das
Oberflächenpotential wurde eine Minute nach der Beendigung
des Korona-Ladens im mit UV-Licht belichteten Bereich und im
unbelichteten Bereich gemessen. Es stellte sich heraus, daß
das elektrische Potential des belichteten Bereiches +100 V
betrug, während das des unbelichteten Bereiches +320 V betrug
und es wurde bestätigt, daß ein elektrostatisches latentes
Bild erzeugt worden war. Weiterhin wurde unter Verwendung
eines positiv geladenen Toners (erhältlich von Mitsubishi
Paper Mills, Ltd., "ODP-TW", Handelsname) für das Mitsubishi
OPC-Drucksystem eine umgekehrte Entwicklung durchgeführt
unter Anlegen einer Vorspannung von +200 V an das
elektrostatische latente Bild. Das erhaltene Tonerbild wurde
durch Erhitzen auf 70°C über 10 min fixiert unter Erhalt
eines exzellenten fixierten Bildes.
Unter Verwendung einer wäßrigen Lösung von 1%
Natriumcarbonat wurde der Bereich der photoleitenden Schicht
außerhalb des Tonerbildes durch Auflösen entfernt, unter
Erhalt eines Resists für den Schaltungsbereich. Weiterhin
wurde unter Verwendung des verbleibenden Tonerbildes und der
photoleitenden Schicht als Ätzresist die Kupferschicht durch
Ätzen mittels Aufsprühen einer Eisen(III)-chlorid-Lösung
(erhältlich von Sunhayato Inc., H20L, Handelsname) von 45°C
und bei einem Sprühdruck von 2,5 kg/cm2 über 2 Minuten
entfernt. Anschließend wurde der Ätzresist durch eine wäßrige
Lösung mit 3% Natriumhydroxid entfernt und es wurde eine
Kupferschaltung mit einer Linienbreite von 50 ± 2 µm
gebildet, die frei war von Spuren von Kontakten mit der
Belichtungsvorrichtung oder dem Maskenfilm, etc., und frei
von durch den roten Laserdiodensensor gebildetem Nebel, und
weiterhin frei von Musterfehlern.
Es wurde eine Beschichtungslösung hergestellt unter
Verwendung der exemplifizierten Verbindung B-3 anstelle von
B-4 in der Vorschrift 1 aus Beispiel 1, und eine Leiterplatte
mit einer photoleitenden Schicht darauf wurde auf beiden
Seiten auf dieselbe Art wie in Beispiel 1 belichtet. Das
Oberflächenpotential wurde im mit UV-Licht belichteten
Bereich und im unbelichteten Bereich eine Minute nach der
Vollendung der Korona-Aufladung gemessen. Es zeigte sich, daß
das elektrische Potential des belichteten Bereiches +120 V
betrug, während das des unbelichteten Bereiches +320 V betrug
und es wurde bestätigt, daß ein elektrischer
Potentialunterschied gebildet wurde. Weiterhin wurden
dieselben Behandlungen zur Herstellung eines Leiterbildes
durchgeführt und es wurden Kupferleitungen mit einer
Linienbreite von 50 ± 2 µm gebildet, die frei waren von
Spuren von Kontakten mit der Belichtungsvorrichtung oder dem
Maskenfilm, etc. und frei von durch den roten Laser-
Diosensensor verursachtem Nebel, und weiterhin frei von
Musterfehlern.
Eine Beschichtungslösung wurde basierend auf der unten
dargestellten Vorschrift 2 hergestellt und dieselbe Art der
auf beiden Oberflächen mit Kupfer laminierten und in
Beispiel 1 verwendeten Platte wurde auf dieselbe Art wie in
Beispiel 1 einer Tauchbeschichtung unterworfen. Sie wurde
unter Erhitzen auf 120°C über 30 Minuten getrocknet unter
Bildung einer photoleitenden Schicht mit einer Dicke von
8 µm, unter Herstellung einer Leiterplatte. Die Konformität
der photoleitenden Schicht war gut.
Eine Filmmaske auf die ein Bildmuster gezeichnet worden war,
wurde auf der sich auf der Leiterplatte befindlichen
photoleitenden Schicht angebracht und anschließend wurde die
Belichtung mit UV-Licht über 10 Sekunden durchgeführt unter
Verwendung einer Lichtbox (erhältlich von Sunhayato Inc.,
Box-W 10, Handelsname). Anschließend wurden die Oberflächen
der photoleitenden Schicht unter Verwendung einer statischen
Korona-Ladevorrichtung (Ladungsspannung: +5,0 kV) statisch
geladen und das Oberflächenpotential wurde im mit UV-Licht
belichteten Bereich und im unbelichteten Bereich 1 Minute
nach der Vollendung der Korona-Ladung gemessen. Die
Ergebnisse sind in Tabelle 3 dargestellt. Um den Effekt der
Additive darzustellen, wurden weiterhin in Tabelle 3 auch die
Oberflächenpotentiale im belichteten und unbelichteten
Bereich einer photoleitenden Schicht dargestellt, die mit
einer Beschichtungslösung hergestellt wurde, in der die
exemplifizierte Verbindung H-1 der Vorschrift 2 nicht
zugegeben wurde.
Wie aus Tabelle 3 hervorgeht, hatte der belichtete Bereich
bei Zugabe der exemplifizierten Verbindung H-1 ein
niedrigeres elektrisches Ladungspotential als bei der Probe
zu der kein Additiv zugegeben wurde, wobei der
Potentialunterschied zwischen dem belichteten Bereich und dem
unbelichteten Bereich vergrößert wurde.
Basierend auf der Vorschrift 2 von Beispiel 3 wurde eine
Leiterplatte verwendet mit einer photoleitenden Schicht
darauf, in der verschiedene Additive zugegeben wurden
anstelle der exemplifizierten Verbindung H-1 und die
Auswertung wurde durchgeführt auf dieselbe Art wie in
Beispiel 3. Die Ergebnisse sind in Tabelle 4 dargestellt.
Es ist aus Tabelle 4 ersichtlich, daß in allen Fällen die
photoleitenden Schichten mit den Additiven der vorliegenden
Erfindung niedrigere elektrische Ladungspotentiale zeigten,
welche zu einem größeren Potentialunterschied zwischen den
belichteten und den unbelichteten Bereichen führten.
Ein Schaltungsbild wurde hergestellt wie unten beschrieben
unter Verwendung der Leiterplatten von Beispiel 3 und
Beispielen 5 bis 14. Eine Filmmaske, auf die ein Bildmuster
gezeichnet worden war, wurde auf der photoleitenden Schicht
angebracht und Belichtung mit UV-Licht wurde über 10 s
durchgeführt unter Verwendung des in Beispiel 1 verwendeten
Hochdruckquecksilber-Lichtquellenapparates für Druckzwecke
mit einem Mittel zur Saugbefestigung. Anschließend wurde die
Leiterplatte umgedreht und die unbelichtete Oberfläche wurde
über 10 Sekunden auf dieselbe Art belichtet um auf beiden
Oberflächen einen Unterschied in den elektrischen
Ladungseigenschaften einzuführen.
Anschließend wurden beide Oberflächen der photoleitenden
Schicht unter Verwendung einer statischen Korona-
Ladevorrichtung (Ladespannung: +5,0 kV) statisch aufgeladen
und eine umgekehrte Entwicklung unter Verwendung des in
Beispiel 1 verwendeten positiv geladenen Toners wurde unter
Anlegen einer Vorspannung von +200 V unter Erhalt eines
Tonerbildes durchgeführt. Das Tonerbild wurde durch Erhitzen
auf 70°C über 10 Minuten unter Erhalt eines fixierten Bildes
fixiert.
Unter Verwendung einer wäßrigen Lösung mit 1%
Natriumcarbonat wurde der Bereich der photoleitenden Schicht
außerhalb des Tonerbildes durch Auflösen entfernt, unter
Erhalt eines Resists in dem Schaltungsbereich. Unter
Verwendung des verbleibenden Tonerbildes und der
photoleitenden Schicht als Ätzresist wurde weiterhin die
Kupferschicht durch Besprühen mit der in Beispiel 1
verwendeten auf 45°C erhitzten Eisen(III)-chlorid-Lösung
unter einem Spraydruck von 2,5 kg/cm2 über 2 Minuten durch
Ätzen entfernt. Anschließend wurde der Ätzresist durch eine
wäßrige Lösung mit 3% Natriumhydroxid entfernt. Die
Auswertungen der Bilder nach der Tonerfixierung und der
Status der Kupferschaltung nach dem Ätzen der Kupferschicht
sind in Tabelle 5 dargestellt.
In Tabelle 5 wird klar gezeigt, daß bei Verwendung von
Additiven Kupferschaltungen beinhaltend feine Leitungen mit
einer Linienbreite von 50 ± 3 µm auf beiden Oberflächen
erhalten werden können.
Unter Verwendung einer Leiterplatte mit einer photoleitenden
Schicht darauf, die verschiedene Arten von
Vergleichsverbindungen anstelle der exemplifizierten
Verbindung B-4 aus Vorschrift 2 von 3 Beispiel enthielt,
wurde die Sensitivität gemäß derselben Behandlung wie in
Beispiel 3 ausgewertet. Die Ergebnisse sind in Tabelle 6
dargestellt.
Aus Tabelle 6 wird ersichtlich, daß bei Verwendung der
Vergleichsverbindungen P, Q und R die Abnahme des
elektrischen Potentials auf der belichteten Oberfläche gering
war und daß die Sensitivität der photoleitenden Schicht für
Licht mit einer Wellenlänge von weniger als 500 nm gering
war. Zudem konnte gezeigt werden, daß die Abnahme des
elektrischen Potentials auf der belichteten Oberfläche extrem
gering war wenn kein Additiv verwendet wurde und daß die
photoleitende Schicht praktisch keine Sensitivität für Licht
mit einer Wellenlänge von weniger als 500 nm aufwies.
Die in Beispiel 1 verwendete auf beiden Oberflächen
kupferlaminierte Platte wurde mit einer auf der unten
dargestellten Vorschrift 3 basierenden Beschichtungslösung
mittels Tauchbeschichtung beschichtet. Sie wurde unter
Erhitzen auf 120°C über 30 Minuten getrocknet unter Bildung
einer photoleitenden Schicht mit einer Dicke von 4 µm, wobei
eine Leiterplatte gebildet wurde. Die Konformität der
photoleitenden Schicht war gut.
Eine Filmmaske auf der ein Bildmuster gezeichnet worden war,
wurde auf dieser photoleitenden Schicht angebracht und
anschließend wurde die Belichtung mit UV-Licht über
20 Sekunden unter Verwendung des in Beispiel 1 verwendeten
Hochdruckquecksilber-Lichtquellenapparates für Druckzwecke
mit einem Mittel zur Saugbefestigung durchgeführt.
Anschließend wird die Leiterplatte umgedreht und die
unbelichtete Oberfläche wurde auf dieselbe Art über
20 Sekunden belichtet unter Erzeugung eines Unterschieds in
den statischen Ladungseigenschaften. Weiterhin wurde die
photoleitende Schicht mit einem roten Laserdiodensensor
bestrahlt.
Anschließend wurden beide Oberflächen der photoleitenden
Schicht unter Verwendung einer statischen Korona-
Ladungsvorrichtung (Ladungsspannung: +5,0 kV) statisch
geladen und das Oberflächenpotential wurde im mit UV-Licht
belichteten Bereich und im unbelichteten Bereich 1 Minute
nach der Vollendung der Korona-Ladung gemessen. Es zeigte
sich, daß das elektrische Potential des belichteten Bereiches
+20 V betrug, während das des unbelichteten Bereiches +250 V
betrug und es wurde bestätigt, daß ein elektrostatisches
latentes Bild erzeugt worden war. Weiterhin wurde unter
Verwendung des in Beispiel 1 verwendeten positiv geladenen
Toners eine umgekehrte Entwicklung durchgeführt unter Anlegen
einer Vorspannung von +200 V. Das erhaltene Tonerbild wurde
durch Erhitzen auf 70°C über 10 min unter Erhalt eines
ausgezeichneten fixierten Bildes fixiert.
Eine wäßrige Lösung mit 1% Natriumcarbonat verwendend wurde
der Bereich der photoleitenden Schicht außerhalb des
Tonerbildes durch Auflösen entfernt unter Erhalt eines
Resists für den Schaltungsbereich umfassend ein Tonerbild und
die photoleitende Schicht. Das Schaltungsbild war blau
gefärbt und es war einfach das Schaltungsbild optisch zu
beobachten. Weiterhin wurde die Kupferschicht unter
Verwendung des verbleibenden Tonerbildes unter der
photoleitenden Schicht als Ätzresist durch Aufsprühen der in
Beispiel 1 verwendeten auf 45°C erhitzten Eisen(III)-chlorid-
Lösung bei einem Sprühdruck von 2,5 kg/cm2 über 2 Minuten
durch Ätzen entfernt. Anschließend wurde der Ätzresist durch
eine wäßrige Lösung mit 3% Natriumhydroxid entfernt und es
wurden Kupferleitungen mit einer Linienbreite von 50 ± 2 µm
gebildet, die frei waren von Spuren von Kontakten mit der
Belichtungsvorrichtung oder dem Maskenfilm, etc. und frei
waren von durch den roten Laser-Diodensensor verursachtem
Nebel, und weiterhin frei waren von Musterfehlern.
Eine Leiterplatte verwendend mit einer photoleitenden Schicht
darauf, die verschiedene Arten von Vergleichsverbindungen
anstelle der exemplifizierten Verbindung B-4 in Vorschrift 1
des Beispiels 1 enthielt, wurde die Sensitivität auf dieselbe
Art ausgewertet und die Herstellung eines Schaltungsbildes
wurde durchgeführt. Die Ergebnisse für die Sensitivität sind
in Tabelle 8 dargestellt und die Auswertung hinsichtlich des
Schaltungsbildes ist in Tabelle 9 dargestellt.
Wie aus Tabelle 8 ersichtlich wurde gezeigt, daß ein latentes
Bild erzeugt wurde durch Erzielen einer Potentialdifferenz
zwischen dem belichteten Bereich und dem unbelichteten
Bereich. Wie aus Tabelle 9 ersichtlich, wurde ebenfalls
gezeigt, daß Bilder ohne Störungen gebildet wurden.
Eine Beschichtungslösung, basierend auf der unten
dargestellten Vorschrift 4 wurde hergestellt und dieselbe Art
der in Beispiel 1 verwendeten auf beiden Oberflächen
kupferlaminierten Platte wurde mit der hergestellten
Beschichtungslösung auf beiden Oberflächen mittels
Tauchbeschichtung beschichtet. Diese wurde unter Erhitzen auf
120°C über 30 min getrocknet unter Herstellung einer
Leiterplatte mit einer photoleitenden Schicht einer Dicke von
8 µm. Die Konformität der photoleitenden Schicht war gut.
Eine Filmmaske auf der ein Bildmuster gezeichnet worden war,
wurde auf dieser photoleitenden Schicht der Leiterplatte
angebracht und anschließend wurde die Belichtung mit UV-Licht
über 10 Sekunden unter Verwendung der in Beispiel 3
verwendeten Lichtbox durchgeführt. Anschließend wurde die
Oberfläche der photoleitenden Schicht unter Verwendung einer
statischen Korona-Ladungsvorrichtung (Ladungsspannung:
+5,0 kV) statisch geladen und das Oberflächenpotential wurde
im mit UV-Licht belichteten Bereich und im unbelichteten
Bereich 1 Minute nach der Vollendung der Korona-Ladung
gemessen. Die Ergebnisse sind in Tabelle 11 dargestellt.
Weiterhin wurden, um die Wirkung der Additive zu zeigen, die
Oberflächenpotentiale der belichteten und unbelichteten
Bereiche der photoleitenden Schicht, die mit einer auf der
Vorschrift 4 ohne Zugabe der exemplifizierten Verbindung H-1
basierenden Beschichtungslösung hergestellt wurden, zusammen
dargestellt (Beispiel 33).
Wie aus Tabelle 11 ersichtlich, war das elektrische Potential
im belichteten Bereich geringer wenn die exemplifizierte
Verbindung H-1 zu der Beschichtungslösung zugegeben worden
war im Vergleich zu dem ohne das Additiv. Im Ergebnis konnte
gezeigt werden, daß die Potentialdifferenz groß wurde
zwischen dem belichteten und dem unbelichteten Bereich.
Unter Verwendung der in Beispiel 32 hergestellten
Leiterplatte wurde ein Bildmuster wie folgt hergestellt. Eine
Filmmaske, auf der ein Bildmuster gezeichnet worden war,
wurde auf dieser photoleitenden Schicht angebracht und
anschließend wurde die Belichtung mit UV-Licht über
10 Sekunden durchgeführt unter Verwendung des in Beispiel 1
verwendeten Hochdruckquecksilber-Lichtquellenapparates für
Druckzwecke mit einem Mittel zur Saugbefestigung.
Anschließend wurde die Leiterplatte umgedreht und die
unbelichtete Oberfläche über 10 Sekunden auf dieselbe Art
belichtet unter Bildung eines Unterschieds in den statischen
Ladungseigenschaften.
Anschließend wurden unter Verwendung einer statischen Korona-
Ladungsvorrichtung (Ladungsspannung: +5,0 kV) beide
Oberflächen der photoleitenden Schicht statisch geladen und
anschließend wurde unter Verwendung des in Beispiel 1
verwendeten positiv geladenen Toners eine umgekehrte
Entwicklung durchgeführt unter Anlegen einer Vorspannung von
+200 V unter Erhalt eines Tonerbilds. Das erhaltene Tonerbild
wurde durch Erhitzen auf 70°C über 10 Minuten unter Erhalt
eines fixierten Bildes fixiert.
Unter Verwendung einer wäßrigen Lösung mit 1%
Natriumcarbonat wurde der Bereich der photoleitenden Schicht
außerhalb des Tonerbildes durch Auflösen entfernt unter
Erhalt eines Resists für den Schaltungsbereich. Das
Schaltungsbild war blau gefärbt und es war einfach es optisch
zu beobachten. Weiterhin wurde unter Verwendung des
verbleibenden Tonerbildes und der photoleitenden Schicht als
Ätzresist die Kupferschicht durch Aufsprühen der in Beispiel
1 verwendeten auf 45°C erhitzten Eisen(III)-chlorid-Lösung
bei einem Sprühdruck von 2,5 kg/cm2 über 2 Minuten durch
Ätzen entfernt. Anschließend wurde der Ätzresist mit einer
wäßrigen Lösung mit 3% Natriumhydroxid entfernt. Die
Auswertung des Bildes nach der Tonerfixierung und der Zustand
der Kupferleitungen nach dem Ätzen der Kupferschicht sind in
Tabelle 12 dargestellt.
Eine Beschichtungslösung wurde, basierend auf der Vorschrift
4 aus Beispiel 32, hergestellt und ein Teil davon wurde
aufbewahrt und in einem nicht-transparenten Polyethylen-
Behälter versiegelt und unter Erhitzen auf 50°C über 30 Tage
aufbewahrt. Unter Verwendung dieser Beschichtungslösung nach
der Aufbewahrung wurde dieselbe Art der in Beispiel 1
verwendeten beidseitig kupferplattierten laminierten Platte
mittels Drahtbarrenbeschichtung beschichtet. Sie wurde unter
Erhitzen auf 120°C über 30 min getrocknet unter Herstellung
einer Leiterplatte mit einer photoleitenden Schicht einer
Dicke von 8 µm. Die Konformität der photoleitenden Schicht
zur Unebenheit der Kupferschicht war gut.
Eine Filmmaske, auf die ein Bildmuster gezeichnet worden war,
wurde auf diese photoleitende Schicht der Leiterplatte
angebracht und anschließend wurde die Belichtung mit UV-Licht
über 10 Sekunden unter Verwendung der in Beispiel 3
verwendeten Lichtbox durchgeführt. Anschließend wurde unter
Verwendung der statischen Korona-Ladungsvorrichtung
(Ladungsspannung: +5,0 kV) die Oberfläche der photoleitenden
Schicht statisch geladen und das Oberflächenpotential wurde
im mit UV-Licht belichteten Bereich und im unbelichteten
Bereich 1 Minute nach der Vollendung der Korona-Ladung
gemessen. Die Ergebnisse sind in Tabelle 13 dargestellt.
Weiterhin sind auch die Oberflächenpotentiale der belichteten
und unbelichteten Bereiche einer mit einer
Beschichtungslösung hergestellten photoleitenden Schicht
direkt nach der Herstellung dargestellt.
Wie aus Tabelle 13 ersichtlich, konnte gezeigt werden, daß
die Abnahme in der Photosensitivität der photoleitenden
Schicht selbst nach Aufbewahrung der Beschichtungslösung
unter Erhitzen auf 50°C über 30 Tage gering war.
Es wurde eine Beschichtungslösung hergestellt, basierend auf
der Vorschrift 4 von Beispiel 32 und unter Ersatz der
exemplifizierten Verbindung A-4 durch A-3 und unter
Verwendung dieser Lösung wurde eine Leiterplatte hergestellt
auf dieselbe Art wie in Beispiel 32 und die Auswertung wurde
auf dieselbe Art durchgeführt wie in Beispiel 35. Die
Ergebnisse sind in Tabelle 14 dargestellt. Zudem sind auch
die Oberflächenbereiche der belichteten und unbelichteten
Bereiche der mit einer direkt nach der Herstellung der
Beschichtungslösung hergestellten photoleitenden Schicht
dargestellt.
Wie aus Tabelle 14 ersichtlich, konnte gezeigt werden, daß
die Abnahme der Photosensitivität der photoleitenden Schicht
gering war, selbst nachdem die Beschichtungslösung unter
Erhitzen auf 50°C über 30 Tage aufbewahrt worden war.
Eine Beschichtungslösung wurde hergestellt, basierend auf der
Vorschrift 4 des Beispiels 32, ohne Zugabe der
exemplifizierten Verbindung A-4 und unter Verwendung dieser
Lösung wurde eine Leiterplatte hergestellt auf dieselbe Art
wie in Beispiel 32 und die Auswertung wurde durchgeführt auf
dieselbe Art wie in Beispiel 35. Die Ergebnisse sind in
Tabelle 15 dargestellt. Zudem sind auch die
Oberflächenpotentiale der belichteten und unbelichteten
Bereiche einer photoleitenden Schicht, die direkt nach der
Herstellung der Beschichtungslösung hergestellt wurde,
dargestellt.
Wie aus Tabelle 15 ersichtlich, konnte gezeigt werden, daß
die Photosensitivität der photoleitenden Schicht nach
Aufbewahrung der Beschichtungslösung unter Erhitzen auf 50°C
über 30 Tage zum Großteil verloren ging, wenn die
Beschichtungslösung ohne Zugabe der exemplifizierten
Verbindung A-4 hergestellt worden war.
Eine photoleitende Schicht wurde hergestellt, basierend auf
der Vorschrift 4 von Beispiel 32 unter Ersatz der
exemplifizierten Verbindung A-4 durch verschiedene Arten von
Vergleichsfarbstoffen und ein Schaltungsbild wurde auf
dieselbe Art erhalten wie in Beispiel 34. Nach Tonerfixierung
wurde ein Schaltungsresist durch Alkaliauflösung erzeugt und
das Schaltungsbild (Linienbreite 50 µm) wurde ausgewertet.
Die Oberflächenpotentiale wurden ebenso gemessen für die
belichteten und unbelichteten Bereiche vor der
Tonerfixierung. Die Ergebnisse sind in Tabelle 16
dargestellt.
ORASOL BLUE GL: Vergleichsverbindung N
(hergestellt durch Ciba Specialty Chemicals Co.:
Phthalocyanin-Farbstoff)
Die in Vergleichsbeispielen 7 und 8 verwendeten Farbstoffe
waren kationische Farbstoffe und es ist verständlich, daß die
Ionenleitfähigkeiten der photoleitenden Schichten hoch waren
und die Erzeugung eines elektrostatischen latenten Bildes,
welches ausreichend gut für die praktische Verwendung war,
nicht durchgeführt werden konnte. In. Vergleichsbeispielen 9
und 10 wurde eine elektrostatisches latentes Bild erzeugt, es
war jedoch mit einer Vorspannung von +200 V unmöglich, ein
Bild zu erzeugen, da Toner an der gesamten Oberfläche
anhaftete. Die Potentialdifferenzen zwischen den belichteten
und den unbelichteten Bereichen betrugen 40 bis 50 V und es
war schwierig, ein Tonerbild zu erzeugen, welches ausreichend
funktionell war für einen Resist, selbst wenn die Vorspannung
verändert wurde. In Vergleichsbeispiel 11 wurde ein
Phthalocyanin-Farbstoff verwendet, der selber
Photoleitfähigkeit aufweist. Folglich wurden in der
photoleitenden Schicht bei Bedingungen unter sichtbarem Licht
Phototräger erzeugt und ein elektrostatisches latentes Bild
wurde nicht erzeugt.
Unter Verwendung einer basierend auf der unten angegebenen
Vorschrift 5 hergestellten Beschichtungslösung wurde dieselbe
Art der auf beiden Oberflächen kupferplattierten laminierten
Platte, wie sie in Beispiel 1 verwendet wurde, auf beiden
Oberflächen mittels Tauchbeschichtung beschichtet. Sie wurde
unter Erhitzen auf 120°C über 30 Minuten getrocknet unter
Bildung einer Leiterplatte mit einer photoleitenden Schicht
einer Dicke von 8 µm. Die Konformität der photoleitenden
Schicht mit den Unebenheiten der Kupferschicht war gut.
Eine Filmmaske, auf der ein Bildmuster gezeichnet worden war,
wurde auf die photoleitende Schicht auf der Leiterplatte
aufgebracht und anschließend wurde die Belichtung mit UV-
Licht über 10 Sekunden unter Verwendung der in Beispiel 3
verwendeten Lichtbox durchgeführt. Anschließend wurden die
Oberflächen der photoleitenden Schicht unter Verwendung einer
statischen Korona-Ladevorrichtung (Ladungsspannung: +5,0 kV)
statisch geladen unter Erhalt eines elektrostatischen
latenten Bildes. Anschließend wurde unter Verwendung des in
Beispiel 1 verwendeten positiv geladenen Toners eine
umgekehrte Entwicklung durchgeführt unter Anlegen einer
Vorspannung von +250 V unter Erhalt eines Tonerbildes. Das
erhaltene Tonerbild wurde durch Erhitzen auf 70°C über
10 Minuten fixiert. Auf der photoleitenden Schicht wurde
durch Toner ein Schaltungsbild erzeugt mit einer Linienbreite
von 50 µm, welches frei war von Störungen wie etwa die
Verkürzung einer Linie etc.
Unter Verwendung einer wäßrigen Lösung mit 1%
Natriumcarbonat wurde der Bereich der photoleitenden Schicht
außerhalb des Tonerbildes durch Auflösen entfernt unter
Erhalt eines Resists für den Schaltungsbereich. Das
Schaltungsbild war blau gefärbt und es konnte einfach optisch
wahrgenommen werden. Weiterhin wurde unter Verwendung des
verbleibenden Tonerbildes und der photoleitenden Schicht als
Ätzresist die Kupferschicht durch Aufsprühen der in
Beispiel 1 verwendeten auf 45°C erhitzten Eisen(III)-chlorid-
Lösung bei einem Sprühdruck von 2,5 kg/cm2 über 2 Minuten
durch Ätzen entfernt. Anschließend wurde der Ätzresist mit
einer wäßrigen Lösung mit 10% Natriumhydroxid entfernt,
wobei eine Kupferschaltung erzeugt wurde mit einer
Linienbreite von 50 ± 2 µm, welche frei war von
Musterfehlern.
Andererseits wurden zur Auswertung der Photosensitivität der
photoleitenden Schicht die Oberflächenpotentiale des mit UV-
Licht belichteten Bereiches und des unbelichteten Bereiches
nach einer Minute nach Vollendung der Korona-Ladung gemessen.
Die Ergebnisse sind in Tabelle 18 dargestellt. Weiterhin
wurden, um die Wirkung der Additive zu zeigen, die
Oberflächenpotentiale der belichteten und unbelichteten
Bereiche einer photoleitenden Schicht dargestellt, die
hergestellt wurde mit einer Beschichtungslösung nach
Vorschrift 5 ohne Zugabe der exemplifizierten Verbindung H-1
(als Beispiel 39).
Wie aus Tabelle 18 ersichtlich ist, wurde gezeigt, daß das
Potential des belichteten Bereiches durch die Zugabe der
exemplifizierten Verbindung H-1 stark verringert wurde, im
Vergleich zu dem Fall ohne deren Zugabe.
Photoleitende Schichten wurden unter Erhalt einer
Leiterplatte hergestellt unter Verwendung von
Beschichtungslösungen, die hergestellt wurden nach Vorschrift
5 aus Beispiel 38, wobei die exemplifizierten Verbindungen
C-2 und H-2 ersetzt wurden durch verschiedene Arten von
Additiven. Unter Verwendung derselben wurde die Auswertung
auf dieselbe Art durchgeführt wie in Beispiel 38. Um die
Photosensitivität zu beurteilen, wurden die
Oberflächenpotentiale der belichteten und unbelichteten
Bereiche gemessen. Die Ergebnisse der Potentialmessungen und
die Reproduzierbarkeit des Schaltungsbildes nach dem Ätzen
der Kupferschicht sind in Tabelle 19 dargestellt.
Unter Verwendung der in Beispiel 38 hergestellten
Leiterplatte wurde eine Filmmaske, auf die ein Bildmuster
gezeichnet worden war, auf deren photoleitender Schicht
angebracht und anschließend wurde die Belichtung mit UV-Licht
über 20 Sekunden unter Verwendung des in Beispiel 1
verwendeten Hochdruckquecksilber-Lichtquellenapparates für
Druckzwecke mit einem Mittel zur Saugbefestigung
durchgeführt. Dann wurde die Leiterplatte umgedreht und die
unbelichtete Oberfläche wurde über 20 Sekunden auf dieselbe
Art belichtet, um einen Unterschied in den statischen
Ladungseigenschaften auf beiden Oberflächen zu generieren.
Anschließend wurden die Oberflächen der photoleitenden
Schicht mit einer statischen Korona-Ladungsvorrichtung
(Ladungsspannung: +5,0 kV) statisch geladen, die
Oberflächenpotentiale wurden sowohl im belichteten als auch
im unbelichteten Bereich 1 Minute nach der Vollendung der
Korona-Ladung gemessen und es wurde gezeigt, daß das
Potential des belichteten Bereiches bei +40 V lag und daß des
unbelichteten Bereiches bei +310 V lag, so daß statische
latente Bilder auf beiden Oberflächen gebildet wurden.
Anschließend wurde unter Verwendung des in Beispiel 1
verwendeten positiv geladenen Toners eine umgekehrte
Entwicklung unter Anlegen einer Vorspannung von +200 V
durchgeführt unter Erhalt eines Tonerbildes auf beiden
Oberflächen. Die erhaltenen Tonerbilder wurden durch Erhitzen
auf 70°C über 10 Minuten unter Erhalt von ausgezeichneten
fixierten Bildern fixiert.
Unter Verwendung einer wäßrigen Lösung mit 1%
Natriumcarbonat wurde der Bereich der photoleitenden Schicht
außerhalb des Tonerbildes durch Auflösen entfernt unter
Erhalt von Resists für die Schaltungsbereiche auf beiden
Oberflächen, die blau gefärbt waren und das Tonerbild und die
photoleitende Schicht umfaßten. Weiterhin wurde unter
Verwendung des verbleibenden Tonerbildes und der
photoleitenden Schicht als Ätzresist die Kupferschicht durch
Aufsprühen der in Beispiel 1 verwendeten auf 45°C erhitzten
Eisen(III)-chlorid-Lösung bei einem Sprühdruck von 2,5 kg/cm2
über 2 Minuten durch Ätzen entfernt. Anschließend wurde der
Ätzresist mit einer wäßrigen Lösung mit 3% Natriumhydroxid
entfernt, wobei Kupferschaltungen mit Linienbreiten von
50 ± 2 µm auf beiden Oberflächen erzeugt wurden, die frei
waren von Spuren von Kontakten mit der Belichtungsvorrichtung
oder dem Maskenfilm, etc. und von Musterfehlern.
Unter Verwendung der in Beispiel 38 hergestellten
Leiterplatte wurde eine Filmmaske, auf die ein Bildmuster
gezeichnet worden war, auf deren photoleitende Schicht
angebracht und anschließend wurde die Belichtung mit UV-Licht
über 20 Sekunden unter Verwendung des in Beispiel 1
verwendeten Hochdruckquecksilber-Lichtquellenapparates für
Druckzwecke mit einem Mittel zur Saugbefestigung
durchgeführt. Dann wurde die Leiterplatte umgedreht und die
unbelichtete Oberfläche über 20 s auf dieselbe Art belichtet,
um einen Unterschied auf beiden Oberflächen in den statischen
Ladungseigenschaften zu erzeugen.
Die Leiterplatte wurde für die nächsten 15 Minuten nach der
Vollendung der Belichtung auf beiden Seiten der
photoleitenden Schicht allein gelassen. Dann wurden, nachdem
beide Oberflächen der photoleitenden Schichten mit einer
statischen Korona-Ladungsvorrichtung (Ladungsspannung:
+5,0 kV) statisch geladen wurden, die Oberflächenpotentiale
sowohl des belichteten als auch des unbelichteten Bereiches
1 Minute nach der Vollendung der Korona-Ladung gemessen, und
es wurde gezeigt, daß das Potential des belichteten Bereiches
bei +40 V und das des unbelichteten Bereiches bei +310 V lag,
so daß statische latente Bilder auf beiden Oberflächen
gebildet wurden. Anschließend wurde unter Verwendung des in
Beispiel 1 verwendeten positiv geladenen Toners eine
umgekehrte Entwicklung durchgeführt unter Anlegen einer
Vorspannung von +200 V unter Erhalt von Tonerbildern auf
beiden Oberflächen. Die erhaltenen Tonerbilder wurden durch
Erhitzen auf 70°C über 10 Minuten unter Erhalt von
ausgezeichneten fixierten Bildern fixiert.
Unter Verwendung einer wäßrigen Lösung mit 1%
Natriumcarbonat wurde der Bereich der photoleitenden Schicht
außerhalb des Tonerbildes durch Auflösen entfernt unter
Erhalt von Resists für die Leitungsbereiche auf beiden
Oberflächen, die blau gefärbt waren und das Tonerbild und die
photoleitende Schicht umfaßten. Weiterhin wurde unter
Verwendung des verbleibenden Tonerbildes und der
photoleitenden Schicht als Ätzresist die Kupferschicht durch
Aufsprühen der in Beispiel 1 verwendeten, auf 45°C erhitzten
Eisen(III)-chlorid-Lösung bei einem Sprühdruck von 2,5 kg/cm2
über 2 Minuten durch Ätzen entfernt. Anschließend wurde der
Ätzresist mit einer wäßrigen Lösung mit 3% Natriumhydroxid
entfernt, wobei Kupferschaltungen mit einer Linienbreite von
50 ± 2 µm auf beiden Oberflächen erzeugt wurden, die frei
waren von Spuren von Kontakten mit der Belichtungsvorrichtung
oder dem Maskenfilm, etc. und von Musterfehlern. Es wurde
ebenfalls gezeigt, daß selbst im Fall einer 15-minütigen
Zeitdifferenz zwischen dem Schritt der UV-Belichtung und dem
Schritt der statischen Aufladung ein günstiges Bild erzeugt
werden konnte.
Unter Verwendung der in Beispiel 38 hergestellten
Leiterplatte und nach statischer Aufladung einer Oberfläche
mit einer statischen Korona-Ladungsvorrichtung
(Ladungsspannung: + 5,0 kV) wurde eine Filmmaske, auf der ein
Bildmuster gezeichnet worden war, auf dieser geladenen
Oberfläche angebracht und anschließend wurde die Belichtung
mit UV-Licht über 20 Sekunden unter Verwendung des in
Beispiel 1 verwendeten Hochdruckquecksilber-
Lichtquellenapparates für Druckzwecke mit einem Mittel zur
Saugbefestigung durchgeführt. Die Oberflächenpotentiale
wurden sowohl bei den belichteten als auch den unbelichteten
Bereichen 1 Minute nach der Fertigstellung der Belichtung
gemessen und es wurde gezeigt, daß das Potential im
belichteten Bereich bei +50 V und das des unbelichteten
Bereiches bei +250 V lag, wobei ein statisches latentes Bild
erzeugt wurde.
Dann wurde die Leiterplatte umgedreht und auf dieselbe Art
wurde, nachdem die unbelichtete Oberfläche mit einer Korona-
Ladungsvorrichtung (Ladungsspannung: +5,0 kV) statisch
geladen worden war, eine Filmmaske, auf die ein Bildmuster
gezeichnet worden war, auf dieser geladenen Oberfläche
angebracht, und anschließend wurde die Belichtung mit UV-
Licht über 20 Sekunden unter Verwendung des in Beispiel 1
verwendeten Hochdruckquecksilber-Lichtquellenapparates für
Druckzwecke mit einem Mittel zur Saugbefestigung
durchgeführt. Die Oberflächenpotentiale wurden sowohl im
belichteten als auch im unbelichteten Bereich 1 Minute nach
der Fertigstellung der Belichtung gemessen und es wurde
gleichermaßen gezeigt, daß das Potential im belichteten
Bereich bei +50 V und im unbelichteten Bereich bei +250 V
lag, wobei ein statisches latentes Bild erzeugt wurde.
Dann wurde unter Verwendung des in Beispiel 1 verwendeten
positiv geladenen Toners eine umgekehrte Entwicklung
durchgeführt unter Anlegen einer Vorspannung von +200 V unter
Erhalt eines Tonerbildes auf beiden Oberflächen. Die
erhaltenen Tonerbilder wurden durch Erhitzen auf 70°C über
10 Minuten unter Erhalt von fixierten Bildern fixiert.
Unter Verwendung einer wäßrigen Lösung mit 1%
Natriumcarbonat wurde der Bereich der photoleitenden Schicht
außerhalb des Tonerbildes durch Auflösen entfernt unter
Erhalt von Resists für die Schaltungsbereiche auf beiden
Oberflächen, die blau gefärbt waren und die Tonerbilder und
die photoleitende Schicht umfaßten. Bei der Auswertung dieser
Resistbilder stellte sich heraus, daß auf der Oberfläche auf
der die Aufladung, Belichtung und Tonerentwicklung nach dem
Umdrehen der Leiterplatte durchgeführt wurden, zahlreiche
Resists in Nicht-Schaltungsbereichen als Rauschen verblieben,
da das statische latente Bild durch den Kontakt mit der
Belichtungsvorrichtung gestört worden war.
Weiterhin wurde unter Verwendung des verbleibenden
Tonerbildes und der photoleitenden Schicht als Ätzresist die
Kupferschicht durch Aufsprühen der in Beispiel 1 verwendeten
auf 45°C erhitzten Eisen(III)-chlorid-Lösung unter einem
Sprühdruck von 2,5 kg/cm2 über 2 Minuten durch Ätzen
entfernt. Anschließend wurde der Ätzresist mit einer wäßrigen
Lösung mit 3% Natriumhydroxid entfernt. Im Ergebnis wurde
auf der Oberfläche, auf der ein gutes Resistbild für eine
Schaltung erzeugt wurde, ein Kupferschaltungsbild erzeugt.
Auf den Oberflächen wo Resists in Nicht-Schaltungsbereichen
als Rauschen verblieben, verblieb jedoch Kupfer in Nicht-
Schaltungsbereichen entsprechend dem Resistrauschen, so daß
kein gutes Schaltungsbild erzeugt wurde.
Gemäß dem Verfahren der vorliegenden Erfindung ist es
möglich, mechanische Kontakte nach der Bildung des
elektrostatischen latenten Bildes bis vor der Toner-
Entwicklung von dem Verfahren auszuschließen, und Sensor-
Störungen total zu verhindern durch Bereitstellen einer
photoleitenden Schicht, deren Aufladbarkeit durch Belichtung
verändert wird, auf einem leitenden Träger, der ein
isolierendes Substrat und eine metallische leitende Schicht
umfaßt; anfängliches Belichten mit einem praktikablen Licht
mit einer Wellenlänge von 500 nm oder weniger durch ein
Resistbild unter Bildung eines Unterschieds in der statischen
Ladungseigenschaft entsprechend dem Resistbild; gefolgt von
dem statischen Aufladen der photoleitenden Schicht unter
Bildung eines elektrostatischen latenten Bildes; Erzeugen
eines Tonerbildes auf der photoleitenden Schicht mit einem
elektrophotographischen Verfahren; Entfernen des Bereiches
der photoleitenden Schicht, an der kein Toner anhaftet, durch
Auflösen unter Bildung eines Resistbildes; und Entfernen des
Bereiches der metallischen leitenden Schicht außerhalb des
Bereiches, in dem das Resistbild erzeugt wurde, mittels
Ätzen.
Im Ergebnis ermöglicht dieses Verfahren die Herstellung einer
gedruckten Leiterplatte mit weniger Störungen, wie etwa
verbleibendem Kupfer, Leitungsverkürzung, Leitungsschnitten,
etc. ohne eine Spur von Kontakten, die mit Vorrichtungen
während des Verfahrens gemacht wurden. Weiterhin kann durch
Bereitstellen einer photoleitenden Schicht, enthaltend ein
Ladungstransportmaterial auf der metallischen leitenden
Schicht auf dem isolierenden Substrat, eine
elektrophotographische gedruckte Leiterplatte bereitgestellt
werden, die gegenüber praktikablem UV-Licht sensitiv ist und
ausgezeichnete Reproduzierbarkeit von feinen Linien aufweist.
Claims (9)
1. Verfahren zur Herstellung einer gedruckten
Leiterplatte, welches die folgenden Schritte umfaßt:
- a) Belichten einer Leiterplatte mit zumindest einer photoleitenden Schicht, deren Aufladbarkeit durch Belichtung verändert wird, auf zumindest einer Oberfläche eines leitfähigen Trägers, der ein isolierendes Substrat und auf zumindest einer seiner Oberflächen eine metallische leitfähige Schicht umfaßt, durch ein Resistmuster;
- b) Aufladen der photoleitenden Schicht unter Bildung eines elektrostatischen latenten Bildes;
- c) Erzeugen eines Tonerbildes auf der photoleitenden Schicht durch Toner-Entwicklungsbehandlung;
- d) Entfernen des Bereiches der photoleitenden Schicht an dem kein Toner anhaftet durch Auflösen unter Bildung eines Resistbildes; und
- e) Entfernen des Bereiches der metallischen leitfähigen Schicht durch Ätzen außerhalb des Bereiches wo das Resistbild erzeugt wurde.
2. Verfahren zur Herstellung einer gedruckten Leiterplatte
gemäß Anspruch 1, worin die Leiterplatte mit
photoleitenden Schichten, deren Aufladbarkeit durch
Belichtung verändert wird, auf beiden Oberflächen des
leitfähigen Trägers, welcher ein isolierendes Substrat
und darauf auf beiden Oberflächen metallische
leitfähige Schichten umfaßt, belichtet wird durch ein
Resistmuster auf einer Oberfläche gefolgt von der
anderen, anschließend beide Oberflächen der
photoleitenden Schichten aufgeladen werden unter
Bildung von elektrostatischen latenten Bildern auf
beiden Oberflächen, gefolgt von der Tonerbilderzeugung,
Resistbilderzeugung, und dem Ätzen der metallischen
leitfähigen Schichten auf beiden Oberflächen zur
gleichen Zeit.
3. Verfahren zur Herstellung einer gedruckten Leiterplatte
gemäß Anspruch 1 oder 2, worin die photoleitende
Schicht deren Aufladbarkeit durch Belichtung verändert
wird, ein photoleitendes Material enthält, welches
seine Aufladbarkeit durch Belichten mit einer
Wellenlänge von weniger als 500 nm verändert.
4. Verfahren zur Herstellung einer gedruckten Leiterplatte
gemäß Anspruch 3, worin die photoleitende Schicht,
deren Aufladbarkeit durch Belichtung verändert wird,
ein photoleitendes Material enthält, welches seine
Aufladbarkeit durch Belichtung mit einer Wellenlänge
von 500 nm oder mehr nicht verändert.
5. Verfahren zur Herstellung einer gedruckten Leiterplatte
gemäß Anspruch 1 oder 2, worin die photoleitende
Schicht ein Ladungstransportmaterial, welches Licht mit
einer Wellenlänge von weniger als 500 nm absorbiert,
ein in einer alkalischen Lösung lösliches Harz und
einen Farbstoff vom Anthrachinon-Typ, der durch die
Formel (I) dargestellt wird, enthält:
worin R1 und R2 jeweils unabhängig voneinander eine Alkyl-Gruppe, eine Aryl-Gruppe oder eine Aralkyl-Gruppe darstellen und R1 und R2 dieselben sein können oder sich voneinander unterscheiden.
worin R1 und R2 jeweils unabhängig voneinander eine Alkyl-Gruppe, eine Aryl-Gruppe oder eine Aralkyl-Gruppe darstellen und R1 und R2 dieselben sein können oder sich voneinander unterscheiden.
6. Verfahren zur Herstellung einer gedruckten Leiterplatte
gemäß Anspruch 1 oder 2, worin in einer Leiterplatte
umfassend eine metallische leitfähige Schicht auf einem
isolierenden Substrat, und eine photoleitende Schicht
darauf, die photoleitende Schicht zumindest ein
Ladungstransportmaterial, das aus den durch die Formeln
(II), (III), (IV), (V) und (VI) dargestellten
Ladungstransportmaterialien ausgewählt ist und ein in
einer alkalischen Behandlungslösung lösliches Polymer
umfaßt, und deren Aufladbarkeit: durch Belichtung mit
UV-Licht verändert wird:
worin R3 ein Wasserstoffatom, eine Alkyl-Gruppe oder eine Aryl-Gruppe darstellt und Ar1 und Ar2 jeweils unabhängig voneinander eine Aryl-Gruppe darstellen, die dieselbe sein kann oder die sich voneinander unterscheiden, und Z stellt eine Alkylen-Gruppe dar, mit einer Kohlenstoffanzahl von 3 oder 4, die einen 5- gliedrigen Ring oder einen 6-gliedrigen Ring bildet, der an den Pyrrolidin-Ring gebunden ist,
worin R4 ein Wasserstoffatom, eine Alkyl-Gruppe oder eine Aryl-Gruppe darstellt, und Ar3 und Ar4 jeweils unabhängig voneinander eine Aryl-Gruppe darstellen; jedes von R5 und R6 ein Wasserstoffatom oder eine Alkyl-Gruppe darstellen, vorausgesetzt, daß zumindest eines von R5 und R6 eine Alkyl-Gruppe ist; und Y ist eine Alkylen-Gruppe mit einer Kohlenstoffanzahl von 1 oder 2, die einen 5-gliedrigen Ring oder einen 6-gliedrigen Ring bildet mit 2 Kohlenstoffatomen, die an den Pyrrolidin-Ring gebunden sind,
worin R7, R8 und R9 jeweils unabhängig voneinander ein Wasserstoffatom oder eine Alkyl-Gruppe darstellen und R10 und R11 jeweils unabhängig voneinander eine Alkyl- Gruppe oder eine Aryl-Gruppe darstellen,
worin Ar5 und Ar6 jeweils unabhängig voneinander eine Aryl-Gruppe darstellen und R12, R13, R14 und R15 jeweils unabhängig voneinander eine Alkyl-Gruppe oder eine Aralkyl-Gruppe darstellen und
worin Ar7, Ar8, Ar9 und R16 jeweils unabhängig voneinander eine Aryl-Gruppe darstellen und die dieselben sein können oder sich voneinander unterscheiden, und n stellt die Zahl 1 oder 2 dar.
worin R3 ein Wasserstoffatom, eine Alkyl-Gruppe oder eine Aryl-Gruppe darstellt und Ar1 und Ar2 jeweils unabhängig voneinander eine Aryl-Gruppe darstellen, die dieselbe sein kann oder die sich voneinander unterscheiden, und Z stellt eine Alkylen-Gruppe dar, mit einer Kohlenstoffanzahl von 3 oder 4, die einen 5- gliedrigen Ring oder einen 6-gliedrigen Ring bildet, der an den Pyrrolidin-Ring gebunden ist,
worin R4 ein Wasserstoffatom, eine Alkyl-Gruppe oder eine Aryl-Gruppe darstellt, und Ar3 und Ar4 jeweils unabhängig voneinander eine Aryl-Gruppe darstellen; jedes von R5 und R6 ein Wasserstoffatom oder eine Alkyl-Gruppe darstellen, vorausgesetzt, daß zumindest eines von R5 und R6 eine Alkyl-Gruppe ist; und Y ist eine Alkylen-Gruppe mit einer Kohlenstoffanzahl von 1 oder 2, die einen 5-gliedrigen Ring oder einen 6-gliedrigen Ring bildet mit 2 Kohlenstoffatomen, die an den Pyrrolidin-Ring gebunden sind,
worin R7, R8 und R9 jeweils unabhängig voneinander ein Wasserstoffatom oder eine Alkyl-Gruppe darstellen und R10 und R11 jeweils unabhängig voneinander eine Alkyl- Gruppe oder eine Aryl-Gruppe darstellen,
worin Ar5 und Ar6 jeweils unabhängig voneinander eine Aryl-Gruppe darstellen und R12, R13, R14 und R15 jeweils unabhängig voneinander eine Alkyl-Gruppe oder eine Aralkyl-Gruppe darstellen und
worin Ar7, Ar8, Ar9 und R16 jeweils unabhängig voneinander eine Aryl-Gruppe darstellen und die dieselben sein können oder sich voneinander unterscheiden, und n stellt die Zahl 1 oder 2 dar.
7. Verfahren zur Herstellung einer gedruckten Leiterplatte
gemäß Anspruch 6, worin die photoleitende Schicht
zumindest eine der Verbindungen, die durch die Formeln
(VII), (VIII), (IX), (X), (XI), (XII) und (XIII)
dargestellt werden, in einer Menge von 0,1 bis
30 Massen-%, basierend auf der Gesamtmenge der durch
die Formeln (II), (III), (IV), (V) und (VI)
dargestellten Ladungstransportmaterialien, enthält:
worin R17, R18, R19 und R20 jeweils unabhängig voneinander eine Alkyl-Gruppe oder eine Alkoxy-Gruppe darstellt, die dieselben sein können oder sich voneinander unterscheiden,
worin R21 ein Substituent des Naphthalin-Ringes ist, der ein Wasserstoffatom, ein Halogenatom, eine Hydroxyl-Gruppe, eine Nitro-Gruppe, eine Alkylamino- Gruppe, eine Alkoxy-Gruppe, eine Alkenyloxy-Gruppe, eine Aralkyloxy-Gruppe oder eine Alkenyl-Gruppe darstellt und Q stellt einen aromatischen Kohlenwasserstoff-Rest dar, der kondensiert ist unter Bildung einer Bindung mit dem Imidazolin-Ring,
worin R22 ein Substituent des Naphthalin-Ringes ist, und ein Wasserstoffatom, ein Halogenatom, eine Hydroxyl-Gruppe, eine Nitro-Gruppe, eine Alkylamino- Gruppe, eine Alkoxy-Gruppe, eine Alkenyloxy-Gruppe, eine Aralkyloxy-Gruppe, oder eine Alkenyl-Gruppe darstellt, und R23 eine Alkyl-Gruppe oder eine Aryl- Gruppe darstellt, die weiter substituiert sein kann,
worin R24 ein Substituent des Benzol-Ringes ist und ein Wasserstoffatom, ein Halogenatom oder eine Nitro-Gruppe darstellt, und P einen aromatischen Kohlenwasserstoff- Rest darstellt, der kondensiert ist unter Bildung einer Bindung mit dem Imidazolin-Ring,
worin Ar10 und Ar11 jeweils unabhängig voneinander eine Aryl-Gruppe darstellen und weiter substituiert sein können; und m eine ganze Zahl von 0 oder 1 darstellt,
worin Ar12 eine Aryl-Gruppe darstellt, R25 und R26 jeweils unabhängig voneinander eine Alkyl-Gruppe darstellen, die weiter substituiert sein kann, und 1 eine ganze Zahl von 0 oder 1 darstellt.
worin R17, R18, R19 und R20 jeweils unabhängig voneinander eine Alkyl-Gruppe oder eine Alkoxy-Gruppe darstellt, die dieselben sein können oder sich voneinander unterscheiden,
worin R21 ein Substituent des Naphthalin-Ringes ist, der ein Wasserstoffatom, ein Halogenatom, eine Hydroxyl-Gruppe, eine Nitro-Gruppe, eine Alkylamino- Gruppe, eine Alkoxy-Gruppe, eine Alkenyloxy-Gruppe, eine Aralkyloxy-Gruppe oder eine Alkenyl-Gruppe darstellt und Q stellt einen aromatischen Kohlenwasserstoff-Rest dar, der kondensiert ist unter Bildung einer Bindung mit dem Imidazolin-Ring,
worin R22 ein Substituent des Naphthalin-Ringes ist, und ein Wasserstoffatom, ein Halogenatom, eine Hydroxyl-Gruppe, eine Nitro-Gruppe, eine Alkylamino- Gruppe, eine Alkoxy-Gruppe, eine Alkenyloxy-Gruppe, eine Aralkyloxy-Gruppe, oder eine Alkenyl-Gruppe darstellt, und R23 eine Alkyl-Gruppe oder eine Aryl- Gruppe darstellt, die weiter substituiert sein kann,
worin R24 ein Substituent des Benzol-Ringes ist und ein Wasserstoffatom, ein Halogenatom oder eine Nitro-Gruppe darstellt, und P einen aromatischen Kohlenwasserstoff- Rest darstellt, der kondensiert ist unter Bildung einer Bindung mit dem Imidazolin-Ring,
worin Ar10 und Ar11 jeweils unabhängig voneinander eine Aryl-Gruppe darstellen und weiter substituiert sein können; und m eine ganze Zahl von 0 oder 1 darstellt,
worin Ar12 eine Aryl-Gruppe darstellt, R25 und R26 jeweils unabhängig voneinander eine Alkyl-Gruppe darstellen, die weiter substituiert sein kann, und 1 eine ganze Zahl von 0 oder 1 darstellt.
8. Verfahren zur Herstellung einer gedruckten Leiterplatte
gemäß Anspruch 6 oder 7, worin die photoleitende
Schicht den Farbstoff von Anthrachinon-Typ, der durch
die Formel (I) dargestellt ist, in einer Menge von 0,1
bis 10 Massen-%, basierend auf der gesamten festen
Menge der photoleitenden Schicht, enthält.
9. Verfahren zur Herstellung einer gedruckten Leiterplatte
gemäß einem der Ansprüche 6 bis 8, worin die
photoleitende Schicht ihre Aufladbarkeit durch
Belichtung mit einer Wellenlänge von 500 nm oder mehr
nicht ändert.
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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