DE10135448A1 - Vorrichtung zur Erfassung von Fluidverunreinigungen - Google Patents

Abstract

Eine Vorrichtung zum Prüfen des Schmutzstoffanteils in einem Fluid während einer Prüfperiode umfaßt eine Quelle für mit Druck beaufschlagtes zu prüfendes Fluid, einen Fluidsammelbehälter sowie einen Prüfkanal, der bei Beginn der Prüfperiode im wesentlichen frei von verstopfenden Schmutzstoffen und so beschaffen ist, daß er mit einer Fluidströmung von der Quelle versorgt wird. Der Kanal ist so beschaffen, daß er durch die Schmutzstoffe in der Fluidströmung allmählich verstopft wird. Die Vorrichtung umfaßt eine Einrichtung, die eine Kammer mit einem zwischen einem Minimalwert und einem Maximalwert veränderlichem Volumen definiert. Die Vorrichtung umfaßt ferner ein Ventil, das Fluid, das sich durch den Prüfkanal bewegt hat, entweder zur Kammer lenkt, wenn gewünscht ist, das Volumen der Kammer zu vergrößern, oder zum Sammelbehälter lenkt und dem Fluid in der Kammer ermöglicht, zum Sammelbehälter zu strömen, wenn gewünscht ist, das Volumen der Kammer zu verkleinern; einen Rückleitungsmechanismus, der die Kammer wahlweise verkleinert; einen kalibrierten Sensor, der das Volumen der Kammer mißt; eine Steuereinheit, die das Ventil und den Rückleitungsmechanismus betätigt, um die Kammer zu veranlassen, sich während der Prüfperiode zyklisch wiederholt zu vergrößern und zu verkleinern; und einen Zeitgeber, der die Zeit mißt, die die Fluidströmung durch den Prüfkanal benötigt, um die Kammer von einem ersten Volumen zu einem zweiten Volumen zu vergrößern. Die Strömung durch den ...

Description

Die Erfindung betrifft allgemein das Gebiet der fluidan­ getriebenen Systeme und insbesondere einen Sensor zur Bestimmung des Anteils der Partikelschmutzstoffe in einem Systemfluid.

Verunreinigte Fluide können einen fehlerhaften Betrieb oder einen Totalausfall von Pumpen, Ventilen und Aktuato­ ren, die in hydraulischen Steuersystemen verwendet wer­ den, hervorrufen. Viele Flugzeugkraftstoffsysteme verwen­ den eine Technik auf Servobasis, in der eine Verunreini­ gung zu gefährlichen Ausfällen führen kann. Dies wird oftmals durch die Tatsache verschlimmert, daß es sich hierbei typischerweise um "Totalverlust"-Systeme handelt.

Die Fluidreinheit ist schwer zu überwachen. Schmierölsy­ steme für hochwertige Betriebsanlagen und Maschinen wie etwa Gas- und Dampfturbinen müssen mit einem außerordent­ lich hohen Standard gewartet werden, wenn eine große Beschädigung und ein Produktionsverlust vermieden werden sollen. Die herkömmliche Überwachung der Ölreinheit ist unbequem und teuer, außerdem sind die Ergebnisse erst mit einer erheblichen Verzögerung verfügbar.

Die Verunreinigungsempfindlichkeit verschiedener Elemente eines Fluidantriebssystems ist sehr gut spezifiziert. Für Pumpen und Motoren gibt es einen kritischen Bereich für die Partikelgröße, die die meisten Beschädigungen hervor­ ruft. Ein Servoventil kann jedoch einen fehlerhaften Betrieb und einen beschleunigten Verschleiß bei auf das Ventil einwirkenden Partikeln zeigen, die nur wenige Mikrometer groß sind und sich um die Stege eines Ventil­ schiebers ansammeln. Eine Antwort auf und ein Schutz vor diesen möglichen Fehlerarten werden durch besondere Entwurfsmerkmale geschaffen, die in das Servoventil eingebaut werden. Gleiches gilt für andere Komponenten in dem System. Die Erfahrung hat jedoch gezeigt, daß noch immer eine starke Korrelation zwischen der Reinheit des Fluids und der Zuverlässigkeit des Systems, in dem es verwendet wird, besteht.

Fortschritte bei den Fluiden, der Filterung und dem Komponentenentwurf haben Verbesserungen ergeben. Daher sind stabile Hydrauliksysteme im allgemeinen zuverlässig, Probleme entstehen jedoch dann, wenn Parameter geändert werden. Beispielsweise könnte eine Pumpe ausfallen und eine Abriebmehlwolke durch das System schicken. Das Fluid kann überhitzen und viele winzige harte Partikel erzeu­ gen. Dem Tank zugeführtes neues Schmieröl könnte nicht so rein wie beabsichtigt sein. Kraftstofföl (z. B. Flugzeug­ kraftstoff) wird nicht in das System zurückgeführt, so daß nicht die Möglichkeit besteht, daß es sich nacheinan­ der durch verschiedene Filter bewegt. Solche Ursachen können selbst das System mit dem besten Entwurf zerstören und können, da sie prinzipiell unerwartet und zufällig sind, sowohl die Betriebsanlage als auch die Sicherheit in unvorhersagbarer Weise gefährden.

Bisher ist die Reinheit durch Nehmen einer Probe des Fluids und dann durch Schätzen der Anzahl und der Größe der Schmutzstoffpartikel in einer solchen Probe überwacht worden. Dies kann entweder manuell (z. B. unter Verwen­ dung eines Mikroskops) oder automatisch (z. B. wie üblich durch Verwenden der Lichtblockiertechnik) geschehen. Beide Techniken sind sehr arbeitsaufwendige Prozeduren. Die meisten dieser Instrumente sind zwar tragbar und können in einigen Fällen sogar direkt mit dem zu prüfen­ den Fluidsystem verbunden werden, keines ist jedoch klein und robust genug, um dauerhaft installiert zu bleiben.

Daher wird davon ausgegangen, daß ein Bedarf an einem Schmutzstoffsensor besteht, der klein, robust und für eine dauerhafte Installation in einer hochwertigen und/oder sicherheitskritischen Anlage geeignet ist. Ein System, das diese Merkmale möglicherweise bietet, ist zwar von anderen entwickelt worden, wegen der notwendigen Größe des erforderlichen Strömungsmeßkolbens hat es jedoch noch immer unhandliche Abmessungen.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Erfassung von Fluidverunreinigungen zu schaffen, bei der die Kolbengröße drastisch verringert ist.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Vorrichtung zur Erfassung von Fluidverunreinigungen nach Anspruch 1. Weiterbildungen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben.

Erfindungsgemäß kann der Anteil der Verunreinigungen in dem Fluid als Funktion der Strömung durch einen Prüfkanal während des ersten Zyklus und von der Anzahl der Zyklen, die diese Strömung benötigt, um auf einen vorgegebenen Minimalwert abzunehmen, bestimmt werden. Der Prüfkanal kann einen ringförmigen Querschnitt besitzen, der zwi­ schen den einander gegenüberliegenden Oberflächen eines Ventilschieberstegs und einer an dem Körper angebrachten zylindrischen Hülse definiert ist. Die Vorrichtung kann einen Kolben besitzen, der in einem Zylinder eine dichte Gleitbewegung ausführt. Das Ventil kann ein Entlastungs­ ventil sein. Der Rückstellmechanismus kann fluidangetrie­ ben sein und die Steuereinheit kann die Kammer dazu veranlassen, sich in Abhängigkeit von der Strömung durch den Kanal zyklisch zu vergrößern oder zu verkleinern.

Daher schafft die Erfindung eine verbesserte Vorrichtung zur Erfassung von Fluidverunreinigungen, die an dem System, in dem das Fluid enthalten ist, angebracht werden kann oder diesem System in anderer Weise dauerhaft zuge­ ordnet werden kann, die sehr genau die Kanäle simuliert, die in dem zugeordneten Fluidsystem angetroffen werden, und die die Wirkung dieser Verunreinigungen auf die Strömung durch das System simulieren und vorhersagen kann.

Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung werden deut­ lich beim Lesen der folgenden Beschreibung einer bevor­ zugten Ausführungsform, die auf die Zeichnung Bezug nimmt, in der

Fig. 1 einen schematischen Blockschaltplan einer bevor­ zugten Ausführungsform einer Vorrichtung zur Erfassung von Fluidverunreinigungen gemäß der Erfindung zeigt.

Zunächst wird angemerkt, daß selbstverständlich in der gesamten Beschreibung die gleichen Bezugszeichen die gleichen Strukturelemente, Abschnitte oder Flächen be­ zeichnen, soweit diese Elemente, Abschnitte oder Flächen in dem gesamten Dokument, wovon diese genaue Beschreibung der Ausführungsformen ein Bestandteil ist, beschrieben oder erläutert werden. Soweit nicht anders angegeben, soll die Zeichnung in Verbindung mit der Beschreibung gelesen werden (Schraffur, Anordnung der Teile, Verhält­ nisse, Grade und dergleichen) und soll als Teil des gesamten Dokuments angesehen werden. In der folgenden Beschreibung beziehen sich die Ausdrücke "horizontal", "vertikal", "links", "rechts", "oben" und "unten" sowie ihre adjektivischen und adverbialen Ableitungen einfach auf die Orientierung der gezeigten Struktur, wie sie dem Leser in der besonderen Zeichnung vorliegt. Ebenso bezie­ hen sich die Ausdrücke "einwärts" und "auswärts" im allgemeinen auf die Orientierung einer Fläche relativ zu ihrer Erstreckungsachse oder ihrer Drehachse.

Wie in Fig. 1 gezeigt ist, ist ein verbesserter Fluidver­ unreinigungs-Erfassungssensor allgemein mit dem Bezugs­ zeichen 20 bezeichnet. Der Sensor 20 umfaßt im allgemei­ nen ein solenoidbetätigtes Spülventil 21, ein Schieber­ ventil 22 zur Erfassung von Verunreinigungen, einen Strömungsmeßkolben 23 und ein Rückführungsventil 24. Mit Druck beaufschlagtes Fluid, das eine unbekannte Menge von Schmutzstoffen enthält, wird dem System von einer geeig­ neten Quelle für diesen Versorgungsdruck P_S zugeführt. Der Versorgungsdruck P_S wird über eine Leitung 25 an das Spülventil 21 angelegt und über eine Leitung 26 an das Rückführungsventil angelegt. Die Leitung 26 weist eine Einschnürungsblende 28 auf. Das Spülventil 21 und das Rückführungsventil 24 sind jeweils elektrisch betätigte Zweistellungsventile des Solenoidtyps, die in Fig. 1 im aberregten Zustand gezeigt sind.

Das Schmutzstoff-Erfassungsventil 22 umfaßt einen Ventil­ schieber, der in einem Körper eine dichte Gleitbewegung ausführt. Dieses Ventil besitzt einen rechten abdichten­ den Steg 29, einen linken abdichtenden Steg 30 und einen dazwischenliegenden nicht abdichtenden Ablagerungssteg 31, der in geringem Abstand zu einer einwärts gerichteten Körper- oder Hülsenoberfläche angeordnet ist. In der linken Schieber-Stirnkammer ist eine Feder 32 funktional angeordnet und wirkt zwischen dem Körper und dem Ventil­ schieber. Diese Feder bewirkt eine ununterbrochene Vorbe­ lastung auf den Ventilschieber nach rechts relativ zum Körper, bis eine Noppe 33, die sich von der rechten Schieber-Stirnfläche nach rechts erstreckt, an der linken Stirnwand der rechten Stirnkammer anschlägt.

Der Versorgungsdruck P_S in der Leitung 26 wird über eine Leitung 34 auch dem ringförmigen Raum zwischen dem dazwi­ schenliegenden Ablagerungssteg 31 und dem rechten Steg 29 bereitgestellt. Das verunreinigte Fluid von der Quelle kann dann durch die ringförmige Blende 48, die zwischen dem Ablagerungssteg 31 und der gegenüberliegenden Körper­ fläche definiert ist, in die ringförmige Kammer zwischen dem Ablagerungssteg 31 und dem linken Steg 30 strömen. Diese Kammer steht über eine Leitung 35, die ein Entla­ stungsventil 36 enthält, mit einem Fluidsammelbehälter, in dem ein Rückleitungsdruck R herrscht, in Verbindung. Das Fluid in der Leitung 35 wird über die Leitung 38 der rechten Stirnkammer 47 der Strömungsmeßkolben/Zylinder- Baueinheit 23 zugeführt. Diese Baueinheit enthält einen Kolben 39, der in einem Zylinder 40 eine dichte Gleitbe­ wegung ausführt. Diese linke Stirnkammer der Strömungs­ meßzylinder-Baueinheit steht über eine Leitung 41 mit dem Rückführungsventil in Verbindung, das seinerseits über eine Leitung 42 mit dem Spülventil 21 in Verbindung steht. Die Leitung 43 stellt zwischen dem Spülventil 21 und der rechten Schieber-Stirnkammer des Erfassungsven­ tils 22 eine Verbindung her. Die Leitung 42 steht mit dem Fluidrückleitungsdruck R über eine Leitung 45 in Verbin­ dung. Die Leitung 46 stellt eine Verbindung zwischen der linken Schieber-Stirnkammer und der Leitung 45 her.

Die Position des Kolbens 39 relativ zum Zylinder 40 wird durch eine Positionserfassungsvorrichtung wie etwa einen linearen variablen differentiellen Umformer (LVDT, von "linear variable differential transformer" im Englischen) 44 ununterbrochen überwacht.

Nun wird die Funktionsweise der erfindungsgemäßen Vor­ richtung beschrieben.

Es wird angenommen, daß das Rückführungsventil 24 und das Spülventil 21 wie gezeigt zunächst aberregt sind, so daß eine Strömung von der Quelle mit Druck P_S blockiert ist. In diesem Zustand strömt ein mit dem Druck P_S beauf­ schlagtes verunreinigtes Fluid von der Quelle über die Leitungen 26 und 34 zu der ringförmigen Kammer auf der rechten Seite des Ablagerungsstegs 31 und dann durch den ringförmigen Prüfkanal 48 und das Entlastungsventil 36 zur Fluidrückleitung R. Das Entlastungsventil 36 besitzt jedoch eine Feder, die eine Kugel in die geschlossene Stellung vorbelastet, so daß die Strömung durch das Ventil einen geringfügig erhöhten Gegendruck erzeugt. Wenn daher das Rückführungsventil 24 aberregt ist, so daß die linke Stirnkammer des Strömungsmeßventils 23 mit der Fluidrückleitung R über die Verbindungsleitungen 41 und 45 in Verbindung steht, bewirkt eine Druckdifferenz, daß das Fluid in der Leitung 35 in die rechte Stirnkammer 47 der Strömungsmeß-Zylinderbaueinheit anstatt zur Fluid­ rückleitung R strömt. Die Druckdifferenz über dem Kolben 39 treibt den Strömungsmeßkolben 39 nach links an. Die Stellung dieses Kolbens wird durch den LVDT 44, der über die Leitung 49 an eine Steuereinheit 50 ein elektrisches Signal ausgibt, ununterbrochen überwacht. Die Steuerein­ heit erzeugt auf den Leitungen 51 bzw. 52 wahlweise Ausgangssignale für das Rückführungsventil und das Spül­ ventil.

Wenn der Strömungsmeßkolben nach links zu seinem Hubende verschoben worden ist, regt die Steuereinheit 50 das Solenoid des Rückführungsventils in seine alternative Stellung an. In diesem Zustand kann der Versorgungsdruck P_S von der Quelle über die Leitung 26 und die nun mitein­ ander verbundenen Leitungen 26 und 41 auf die linke Stirnkammer des Strömungsmeßkolbens einwirken. Dieser Druck zwingt den Strömungsmeßkolben zu einer Bewegung nach rechts, wodurch Fluid in der rechten Stirnkammer 27 durch die Leitung 38 und das Entlastungsventil 36 hinaus und zur Rückführungsleitung R gezwungen wird. Dadurch steigt der Druck in der Leitung 35 auf den obenerwähnten etwas erhöhten Gegendruck an. Da dieser Gegendruck im Vergleich zu dem Druckabfall über dem Prüfkanal 48 sehr gering ist, erfolgt über dem Ablagerungssteg 31 keine deutliche Abnahme des Druckabfalls. Daher tritt keine deutliche Änderung der Strömung von verunreinigtem Fluid oder der Verstopfungsrate auf. Sobald sich der Strömungs­ meßkolben ausreichend weit nach rechts bewegt hat, aber­ regt die Steuereinheit 50 das Solenoid des Rückführungs­ ventils 24, wodurch das Rückführungsventil in seine gezeigte Stellung zurückkehren kann. In diesem Aufbau strömt das durch die Blende 48 sich bewegende Fluid erneut über die Leitungen 35, 38 zur Eintrittskammer 47 und treibt den Strömungsmeßkolben nach links an, wodurch Fluid in der linken Stirnkammer dazu gezwungen wird, über die nun verbundenen Leitungen 41 und 45 zur Fluidrücklei­ tung R zu strömen. Somit kann die Steuereinheit 50 in der Weise arbeiten, daß der Strömungsmeßkolben hin und zurück oszilliert, wodurch das Volumen der Kammer 47 zyklisch vergrößert und verkleinert wird. Ein Zeitgeber 53 ist so angeordnet, daß er ununterbrochen die Zeiten dieser Oszilationen erfaßt. Wenn daher die Blende 48 durch das Vorhandensein der Schmutzstoffe im Fluid allmählich verstopft wird, nimmt die Zeit, die für die Erhöhung des Volumens der Kammer 47 von einem ersten Volumen zu einem zweiten Volumen erforderlich ist, allmählich zu. Dies zeigt die verringerte Strömung durch die allmählich verstopfte Blende 48 an.

Die Vorrichtung arbeitet auf diese Weise zyklisch, bis die Zykluszeit angibt, daß die Strömung durch die Blende 48 einen vorgegebenen Minimalwert erreicht hat, wobei an diesem Punkt die Prüfung angehalten wird und der Verun­ reinigungsanteil aus den Werten der Anfangsströmung und der Endströmung sowie aus der Anzahl der Zyklen in der Prüfung berechnet wird.

Die Prüfung kann durch Reinigen des verstopften Kanals und durch Wiederholen der Prüfzyklen erneut ausgeführt werden. Hierzu schickt die Steuereinheit ein geeignetes Signal an das Solenoid des Spülventils 21. Dadurch wird das Spülventil zu einer Bewegung in die alternative Position veranlaßt, in der der Versorgungsdruck über die nun verbundenen Leitungen 25, 43 für die rechte Erfas­ sungs-Schieberstirnkammer angelegt wird. Dadurch wird der Erfassungsschieber in seinem Körper nach links bewegt, indem er die Vorbelastungskraft der Feder 32 überwindet. Durch Bewegen des Ablagerungsstegs 31 in einen Bereich 53 mit größerem Durchmesser des Körpers werden die Verstop­ fungen, die durch die angesammelten Schmutzstoffe aus dem vorhergehenden Zyklus verursacht werden, beseitigt, indem ihnen ermöglicht wird, zur Fluidrückleitung gespült zu werden. Somit arbeitet das Spülventil in der Weise, daß im wesentlichen alle Schmutzstoffe aus der Blende 48 entfernt werden und daß die Vorrichtung für die nächste Reihe von zyklischen Strömungsmessungen bereit ist.

Die Strömung durch den ringförmigen Zwischenraum der Prüfblende ist zwar von der Fluidtemperatur abhängig, diese Wirkung wird jedoch aus den Berechnungen des Verun­ reinigungsanteils im wesentlichen beseitigt, indem die Berechnung auf dem Verhältnis des Anfangswertes zum Endwert der gemessenen Strömung anstatt auf den Absolut­ werten der Strömung basiert und indem die Meßzeit ver­ hältnismäßig kurz gehalten wird, so daß die Temperatur während dieser Zeit im wesentlichen konstant bleibt. Um diese Zeit auf ein Minimum zu verringern, kann eine alternative Prüffolge aufgebaut werden, um die endgültige Strömungszeit zu bestimmen, woraufhin die Prüfblende gespült wird und die Prüfung erneut begonnen wird, um die anfängliche Strömungszeit zu bestimmen.

Abwandlungen

Die Erfindung umfaßt viele Abwandlungen. Obwohl die Vorrichtung beispielsweise schematisch so dargestellt worden ist, daß sie solenoidbetätigte Zweistellungsven­ tile umfaßt, könnte die Ventilanordnung ohne weiteres wie gewünscht geändert oder abgewandelt werden. Der Aufbau und die Funktionsweise der verschiedenen Komponenten des verbesserten Sensors können wie gewünscht geändert oder abgewandelt werden. Selbstverständlich wird die beige­ fügte Zeichnung zur Veranschaulichung des Funktionsprin­ zips des verbesserten Sensors verwendet, ohne daß beab­ sichtigt ist, den Aufbau zu beschränken, der die notwen­ digen Funktionen ausführen könnte und der durch die verschiedenen Ansprüche definiert ist.

Obwohl daher die derzeit bevorzugte Ausführungsform des verbesserten Schmutzstoffsensors sowie mehrere Abwandlun­ gen hiervon gezeigt und beschrieben worden sind, kann der Fachmann ohne weiteres verschiedene zusätzliche Änderun­ gen und Abwandlungen vornehmen, ohne vom Erfindungsgedan­ ken abzuweichen, der in den folgenden Ansprüchen defi­ niert und im einzelnen dargelegt ist.

Claims (9)

1. Vorrichtung zum Prüfen des Schmutzstoffanteils in einem Fluid während einer Prüfperiode, wobei die Vorrich­ tung versehen ist mit einer Quelle für mit Druck beauf­ schlagtes Fluid, das geprüft werden soll; einem Fluidsam­ melbehälter; einem Prüfkanal, der bei Beginn der Prüfpe­ riode im wesentlichen frei von verstopfenden Schmutzstof­ fen ist und der so beschaffen ist, daß er mit einer Fluidströmung von der Quelle versorgt wird, wobei der Kanal so konfiguriert und beschaffen ist, daß er durch die Schmutzstoffe in der Fluidströmung allmählich ver­ stopft wird; und einer Einrichtung, die eine Kammer mit veränderlichem Volumen definiert, wobei das Volumen der Kammer zwischen einem Minimalwert und einem Maximalwert veränderlich ist; wobei die Vorrichtung ferner umfaßt:
ein Ventil, das funktional so beschaffen ist, daß es Fluid, das sich durch den Kanal bewegt hat, zu der Kammer lenkt, wenn gewünscht ist, das Volumen der Kammer zu vergrößern, und so beschaffen ist, daß es Fluid, das sich durch den Kanal bewegt hat, zum Sammelbehälter lenkt und dem Fluid in der Kammer ermöglicht, zum Sammelbehäl­ ter zu strömen, wenn gewünscht ist, das Volumen der Kammer zu verkleinern;
einen Rückleitmechanismus, der die Kammer wahl­ weise zu einer Verkleinerung zwingt;
einen kalibrierten Sensor, der das Volumen der Kammer ermittelt;
eine Steuereinheit, die das Ventil und den Rück­ leitungsmechanismus betätigt, um die Kammer während der Prüfperiode wiederholt zu einem zyklischen Vergrößern und Verkleinern zu veranlassen; und
einen Zeitgeber, der die Zeit mißt, die die Fluidströmung durch den Prüfkanal benötigt, um die Kammer dazu zu veranlassen, sich von einem ersten Volumen zu einem zweiten Volumen zu vergrößern;
wobei die Strömung durch den Prüfkanal während jedes der aufeinanderfolgenden Zyklen der Kammer berech­ net werden kann.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der der Schmutz­ stoffanteil in dem Fluid bestimmt werden kann als Funk­ tion des berechneten Wertes der Strömung durch den Prüf­ kanal während des ersten Zyklus und der Anzahl der Zy­ klen, die diese Strömung benötigt, damit sie auf einen vorgegebenen Minimalwert abnimmt.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der der Schmutz­ stoffanteil in dem Fluid bestimmt werden kann als Funk­ tion des Verhältnisses des berechneten Anfangswertes der Strömung durch den Prüfkanal während des ersten Zyklus zu dem berechneten Endwert der Strömung durch den Prüfkanal während des letzten einer vorgegebenen Anzahl von Zyklen.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, bei der der Anfangs­ wert der Strömung bestimmt wird durch erneutes Beginnen der Prüffolge sofort nach der Bestimmung des Endwertes.

5. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der der Prüfka­ nal einen ringförmigen Querschnitt besitzt.

6. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Vorrich­ tung, die eine Kammer mit veränderlichem Volumen defi­ niert, einen Kolben besitzt, der so angebracht ist, daß er in einem Zylinder eine dichte Gleitbewegung ausführt.

7. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der das Ventil ein Entlastungsventil ist.

8. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der der Rücklei­ tungsmechanismus fluidangetrieben ist.

9. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Steuer­ einheit die Kammer zu einer zyklischen Vergrößerung und Verkleinerung als Funktion der Strömung durch den Kanal veranlaßt.