DE10120676B4 - Verfahren zur Strukturierung einer Photolackschicht - Google Patents

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Abstract

Verfahren zur Strukturierung einer Photolackschicht, umfassend die Schritte:
a) ein Substrat wird bereitgestellt, auf dem zumindest in Teilbereichen eine Photolackschicht aufgebracht ist, wobei die Photolackschicht
aa) ein filmbildendes Polymer, das Molekülgruppen umfasst, die durch sauer katalysierte Abspaltungsreaktionen in alkalilösliche Gruppen überführt werden können,
ab) einen Photosäuregenerator, der bei Bestrahlung mit Licht aus einem definierten Wellenlängenbereich Δλ1 eine Säure freisetzt, und
ac) einen Photobasengenerator, der bei Bestrahlung mit Licht aus einem definierten Wellenlängenbereich Δλ2 eine Base freisetzt, umfasst,
b) die Photolackschicht wird in Teilbereichen mit Licht aus dem definierten Wellenlängenbereich Δλ2 bestrahlt, wobei die Wellenlänge des Lichts so gewählt ist, dass der Photosäuregenerator im wesentlichen inert gegen die Bestrahlung ist,
c) die Photolackschicht wird ohne Photomaske mit Licht aus dem definierten Wellenlängenbereich Δλ1 bestrahlt, wobei die Wellenlänge des Lichts so gewählt ist, dass der Photobasengenerator im wesentlichen inert gegen die Bestrahlung ist,
d) die...

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Strukturierung einer Photolackschicht.
  • In der Halbleitertechnologie spielen photolithographische Verfahren zur Erzeugung integrierter Schaltungen auf einem Halbleitersubstrat eine zentrale Rolle. Typischerweise werden dabei Photolackschichten auf die Oberfläche des zu strukturierenden Substrats aufgebracht und anschließend durch Belichtung mit Strahlung aus einem geeigneten Wellenlängenbereich strukturbelichtet. Die Strukturbelichtung erfolgt mittels einer Lithographiemaske, durch welche die Struktur, die in das Substrat übertragen werden soll, vorgegeben wird. Die belichteten Bereiche der Photolackschicht werden durch die Belichtung chemisch modifiziert und verändern dadurch ihre Polarität. Die belichteten und die unbelichteten Bereiche des Photolacks weisen aus diesem Grund gegenüber einem entsprechenden Entwickler unterschiedliche Löslichkeiten auf. Dies wird in dem anschließenden Entwicklungsschritt zur selektiven Entfernung der belichteten oder unbelichteten Bereiche ausgenutzt. Die auf dem Substrat verbleibenden Bereiche der Photolackschicht dienen in dem folgenden Strukturierungsschritt als Maske, welche die darunterliegende Substratschicht vor einem Materialabtrag oder einer Materialveränderung schützt. Ein solcher Strukturierungschritt kann z.B. eine Plasmaätzung, eine nasschemische Ätzung oder eine Ionenimplantation sein.
  • Als Photolacke bzw. Photoresists haben sich sowohl bei den nass entwickelbaren Einlagenresists als auch bei den ganz oder teilweise trocken entwickelbaren Zweilagenresistsystemen chemisch verstärkte Resists (chemical amplification resists; CAR) besonders bewährt. Chemisch verstärkte Resists sind dadurch charakterisiert, dass sie einen Photosäuregenerator, d.h. eine photosensitive Verbindung, beinhalten, der bei Bestrahlung mit Licht eine Protonensäure generiert. Diese Protonensäure löst dann, gegebenenfalls unter thermischer Behandlung des Resists, säure-katalysierte Reaktionen in dem Basispolymer des Resists aus. Durch die Präsenz des Photosäuregenerators wird die Sensitivität des Photoresists verglichen mit einem konventionellen Photoresist wesentlich erhöht. Eine Übersicht zu diesem Thema gibt H.Ito in Solid State Technology, Juli 1996 S. 164 ff.
  • Im Falle der Positivresists wird die unterschiedliche Löslichkeit des belichteten und des unbelichteten Photoresists mittels dem Prinzip der säurekatalysierten Spaltung erreicht. Dabei wird aus einer unpolaren chemischen Gruppe des schichtbildenden Polymers, z.B. einer Carbonsäuretert.-butylestergruppe, in Gegenwart einer photolytisch erzeugten Säure, gegebenenfalls in einem Heizschritt, eine polare Carbonsäuregruppe gebildet. Weitere Beispiele für unpolare "blockierte" Gruppen, die durch säurekatalysierte Reaktionen in korrespondierende polare Gruppen umgewandelt werden können, sind die tert.-Butoxycarbonyloxy- (t-BOC) oder Acetalgruppen. Durch die Umwandlung der unpolaren Gruppe in die korrespondierende polare Gruppe erfährt der Resist in den zuvor bestrahlten Bereichen eine Änderung in der Polarität, wodurch dieser in dem polaren, wässrig-alkalischen Entwickler löslich wird. Dadurch können die belichteten Bereiche des Photoresists selektiv durch den Entwickler entfernt werden. Die Lackreste in den unbelichteten, unpolaren Bereichen definieren somit geometrisch ein Resistprofil bzw. eine Resiststruktur auf dem Substrat, das in nachfolgenden Prozessschritten als Maske zur Oberflächenstrukturierung dient.
  • Im Gegensatz dazu wird in Negativresists durch die Belichtung eine Reduzierung der Löslichkeit des Photoresists in den belichteten Bereichen bewirkt. Um dies zu erreichen, weisen negativ arbeitende Photoresists in der Regel quervernetzbare Gruppen auf, die unter dem Einfluss von Bestrahlung Quervernetzungsreaktionen eingehen können. Durch die Quervernetzung wird die Löslichkeit der belichteten Bereiche des Photoresists in einem entsprechenden Entwickler herabgesetzt. Die quervernetzbaren Gruppen können entweder direkt an das Basispolymer gebunden sein oder als separate Quervernetzungskomponente im Photoresist vorliegen. In chemisch verstärkten, negativ arbeitenden Photolacken werden sauer-katalytisch quervernetzbare Gruppen verwendet, die von der photolytisch freigesetzten Säure aktiviert werden.
  • Aufgrund der immer höher werdenden Integrationsdichte in der Halbleitertechnologie ist die Genauigkeit, mit der das Resistprofil nach der Entwicklung auf einer zu strukturierenden Oberfläche erzeugt werden kann, von entscheidender Bedeutung. Das Resistprofil wird zum einen während der Belichtung durch die Lichtverteilung physikalisch eindeutig vordefiniert. Zum anderen wird es durch die Verteilung der durch die Belichtung photochemisch erzeugten Komponenten chemisch in die Resistschicht übertragen.
  • Aufgrund der physikalisch-chemischen Eigenschaften der Resistmaterialien ist eine völlig unverfälschte Übertragung des durch die Lithographiemaske vorgegebenen Musters auf den Resist jedoch nicht eindeutig möglich. Hier spielen insbesondere Interferenzeffekte und Lichtstreuung in dem Photoresist eine große Rolle. Aber auch die auf die Belichtung folgenden Schritte, wie z.B. die Entwicklung, haben zusätzlich einen großen Einfluss auf die Qualität der Resistprofile, die im wesentlichen durch die Profilflanken bestimmt wird. Um in den nachfolgenden Prozessschritten eine möglichst präzise Oberflächenstrukturierung zu erzielen wäre es ideal, wenn nach der Entwicklung des Photoresists nahezu senkrechte, glatte Profilflanken im Resistprofil erhalten werden könnten.
  • Insbesondere das sich bei der Belichtung im Photolack einstellende Lichtintensitätsprofil wirkt sich negativ auf die zu erreichende Steilheit der Profilflanken aus. Dieses charakteristische Intensitätsprofil, das auch "areal image" genannt wird, ist auf die im Lack bei der Belichtung auftretende Lichtstreuung und Lichtabsorption zurückzuführen. Da der Photolack einen gewissen Anteil der einfallenden Strahlung absorbiert, nimmt die beobachtete Strahlungsintensität mit zunehmender Schichtdicke im Photolack ab. Folglich sind die oberflächennahen Bereiche der Photoresistschicht stärker belichtet. Im Falle eines Positivresists sind somit die oberflächennahen Bereiche stärker löslich als die oberflächenfernen Bereiche. Die unterschiedliche Löslichkeit innerhalb eines belichteten Bereichs des Resists führt bei Positivresists oft zu einer Abflachung und zu einer unscharfen Definition der Profilflanken. Das Lichtintensitätsprofil im Photolack beschreibt also die Verteilung einer photochemisch veränderten Spezies, z.B. bei einem Positivresist die Verteilung der photolytisch erzeugten Säure im Photolack.
  • Bei Negativresists führt die Abnahme der Strahlungsintensität mit zunehmender Schichtdicke im Photolack zu einer stärkeren Quervernetzung in den oberflächennahen Bereichen, die somit eine geringere Löslichkeit aufweisen als die oberflächenfernen Bereiche. In der anschließenden Entwicklung des belichteten Photoresists werden somit die oberflächenfernen Bereiche der Photoresistschicht stärker gelöst als die darüberliegenden oberflächennahen Bereiche, wodurch ebenfalls die Qualität der Profilflanken und somit die Auflösung verschlechtert wird.
  • Für den Strukturtransfer von der Photomaske in die darunterliegende, zu strukturierende Schicht ist die Qualität und die Steilheit der Resistprofile von entscheidender Bedeutung. Ein bekannter Lösungsansatz, um die Qualität von Resistprofilen in Positivresists zu verbessern, ist in der europäischen Patentanmeldung EP-A-962825 beschrieben. Dort wird eine verbesserte Steilheit der Resistflanken dadurch erreicht, dass dem Photoresist zwei photochemisch aktive Additive zugesetzt werden, die durch Strahlung in jeweils unterschiedlichen Wellenlängenbereichen aktiviert werden. Zum einen enthält der Photoresist einen Photosäuregenerator, der, wie oben bereits beschrieben, bei Bestrahlung mit Licht eines definierten Wellenlängenbereichs eine Säure freisetzt, die dann die Reaktion der umwandelbaren unpolaren Gruppen des schichtbildenden Polymers des Photoresists zu Carbonsäuregruppen katalysiert und somit die Löslichkeit des Photoresists in dem polaren Entwickler bewirkt. Zum anderen enthält der Photoresist als zweites photochemisches Additiv ein Quervernetzungsreagenz, das eine Erniedrigung der Löslichkeit des Photoresists bewirkt. Dieses Quervernetzungsreagenz wird ebenfalls durch Strahlung aktiviert, wobei die dazu verwendete Strahlung von der zur Aktivierung des Photosäuregenerators verwendeten Strahlung verschieden ist.
  • In einem ersten Strukturbelichtungsschritt wird gemäß der EP-A-962825 der Photosäuregenerator in den durch das Maskenlayout festgelegten Bereichen aktiviert. In einem anschließenden, zweiten Flutbelichtungsschritt wird die gesamte Photoresistschicht ohne Verwendung einer Photomaske belichtet und somit das Quervernetzungsreagenz über die gesamte Fläche der Photoresistschicht photochemisch aktiviert. Durch die damit ausgelöste chemische Quervernetzung des Photoresists wird dessen Löslichkeit reduziert. Da die oberflächennahen Bereiche des Photoresists stärker belichtet werden, sind diese stärker quervernetzt und damit unlöslicher als die oberflächenfernen Bereiche. Diese Veränderung der Löslichkeit wirkt entgegen der im ersten Belichtungsschritt erreichten Veränderung der Löslichkeit. Während durch den ersten Belichtungsschritt die oberflächennahen belichteten Bereiche eine gegenüber den oberflächenfernen Bereichen erhöhte Löslichkeit aufweisen, ergibt sich durch den zweiten Belichtungsschritt gerade der umgekehrte Gradient. Durch diese selektive Löslichkeitsmodifikation in dem Photoresist wird eine erhöhte Entwicklerselektivität im wässrigen Entwickler erreicht, wodurch sich steilere Resistprofilflanken ergeben.
  • Allerdings weist dieser Lösungsansatz einen entscheidenden Nachteil auf: Die Quervernetzungsreaktion führt insbesondere in den oberflächennahen Bereichen des Photoresists zur Bildung eines dreidimensionalen Netzpolymers. Dieses Netzpolymer weist ein gegenüber dem ursprünglichen, linearen schichtbildenden Polymer ein verändertes Entwicklungsverhalten auf, was zu "rauhen", d.h. ungenau definierten, z.B. ausgefransten Profilflanken führt. Diese Rauhigkeit erschwert die nachfolgenden Prozessschritte, wie z.B. die Substratätzung.
    •
  • Die Offenlegungsschrift GB 2 354 596 A beschreibt die Verbesserung der Auflösung eines Photomaske mittels einer Photolackschicht, die mittels eines alkalischen Entwicklers entwickelt wird und die eine Kombination aus Photosäure- und Photobasegenerator enthält, die bei gleicher Wellenlänge in einem einzigen Belichtungsschritt aktiviert werden.
  • Die Patentschrift US 5,206,117 beschreibt im Zusammenhang mit einer positiv arbeitenden, photosensitiven Polyimidschicht die Verwendung einer Kombination aus Photobase- und Photosäuregenerator, wobei diese beiden Generatoren durch Belichtung bei unterschiedlichen Wellenlängen in zwei getrennten Belichtungsschritten aktiviert werden. Ebenfalls beschriebene negativ arbeitende Polyimidschichten enthalten lediglich einen Photobasengenerator zur Quervernetzung des Polyimids.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Strukturierung einer Photolackschicht bereitzustellen, welches die oben beschriebenen Nachteile verringert bzw. ganz vermeidet. Insbesondere ist es die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren bereitzustellen, mit dem eine hohe Übertragungsgenauigkeit der durch die Lithographiemaske vorgegebenen Struktur in eine Photolackschicht erreicht wird.
  • Diese Aufgabe wird durch das Verfahren zur Strukturierung einer Photolackschicht gemäß Patentanspruch 1 gelöst. Weitere vorteilhafte Ausführungsformen, Ausgestaltungen und Aspekte der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Patentansprüchen und der Beschreibung.
  • Erfindungsgemäß wird ein Verfahren zum Strukturieren einer Photolackschicht bereitgestellt, das die folgenden Schritte umfasst: Ein Substrat wird bereitgestellt, auf dem zumindest in Teilbereichen eine Photolackschicht aufgebracht ist. Die Photolackschicht umfasst ein filmbildendes Polymer, das Molekülgruppen aufweist, die durch sauer katalysierte Abspaltungsreaktionen in alkalilösliche Gruppen überführt werden können. Weiterhin umfasst das Polymer einen Photosäuregenerator, der bei Bestrahlung mit Licht aus einem definierten Wellenlängenbereich Δλ1 eine Säure freisetzt. Daneben umfasst das Polymer einen Photobasengenerator, der bei Bestrahlung mit Licht aus einem definierten Wellenlängenbereich Δλ2 eine Base freisetzt. Die Photolackschicht wird zunächst in Teilbereichen mit Licht aus dem definierten Wellenlängenbereich Δλ2 bestrahlt, wobei die Wellenlänge des Lichts so gewählt ist, dass der Photosäuregenerator im wesentlichen inert gegen die Bestrahlung ist. Anschließend wird die Photolackschicht ohne Photomaske mit Licht aus dem definierten Wellenlängenbereich Δλ1 bestrahlt, wobei die Wellenlänge des Lichts so gewählt ist, dass der Photobasengenerator im wesentlichen inert gegen die Bestrahlung ist. Danach wird die Photolackschicht auf eine Temperatur erhitzt, bei der die durch die photolytisch erzeugte Säure katalysierte Abspaltungsreaktion erfolgt und schließlich wird die Photolackschicht entwickelt.
  • Die Wellenlängenbereiche Δλ1 und Δλ2 können in weiten Bereichen überlappen. Für das erfindungsgemäße Verfahren ist es nur notwendig, dass wenigstens jeweils ein Teilbereich im Wellenlängenbereich Δλ1 und im Wellenlängenbereich Δλ2 existiert, der nicht gleichzeitig auch in dem jeweils anderen Wellenlängenbereich liegt. Dadurch wird es möglich, eine erste Bestrahlung mit Licht aus dem Wellenlängenbereich Δλ2 durchzuführen, bei der der Photobasengenerator eine Base freisetzt, der Photosäuregenerator aber im wesentlichen inert gegen die Strahlung ist, also keine Säure freisetzt. Der Grund hierfür liegt in der Tatsache, dass die Bestrahlung mit Licht durchgeführt wird, dessen Wellenlänge zwar im Wellenlängenbereich Δλ2 liegt, aber im wesentlichen nicht im Wellenlängenbereich Δλ1. Umgekehrt kann in einem zweiten Beleuchtungsschritt Licht aus dem Wellenlängenbereich Δλ1 verwendet werden, wodurch der Photosäuregenerator eine Säure freisetzt, der Photobasengenerator aber im wesentlichen inert gegen die Strahlung ist, also keine Base freisetzt. Der Grund hierfür liegt in der Tatsache, dass die Bestrahlung mit Licht durchgeführt wird, dessen Wellenlänge zwar im Wellenlängenbereich Δλ1 liegt, aber im wesentlichen nicht im Wellenlängenbereich Δλ2.
  • Durch den Ausdruck "im wesentlichen" soll verdeutlich werden, dass die beteiligten chemischen Substanzen, also Photosäuregenerator und Photobasengenerator, geringe Absorptionen auch in dem jeweils anderen Wellenlängenbereich aufweisen können, bzw. dass abhängig von der zur Bestrahlung verwendeten Strahlungsquelle auch Strahlung geringer Intensität in dem jeweils unerwünschten Wellenlängenbereich freigesetzt werden kann.
  • Der Begriff "alkalilösliche Gruppen" umfasst im Rahmen der vorliegenden Erfindung alle Gruppen, welche die Löslichkeit des filmbildenden Polymers in alkalischen Lösungen erhöhen. Unter diesen Begriff fallen somit insbesondere polare, funktionelle Gruppen, wie z.B. Carboxyl-, Hydroxyl- und Carboxamidgruppen, oder Gruppen, die diese funktionellen Gruppen aufweisen. Weiterhin sind unter diesem Begriff solche Gruppen zu verstehen, die nicht nur zu einer erhöhten Alkalilöslichkeit des Polymers beitragen, sondern auch solche, die zusätzlich noch die Transparenz des Polymers – und damit der Photolackschicht – für Licht mit sehr kurzen Wellenlängen erhöhen. Dies kann dadurch erreicht werden, dass die Gruppen teilweise oder ganz fluoriert sind. Eine geeignete Gruppe ist z.B. die 1,1,1,3,3,3,-Hexafluoro-2-hydroxyisopropylgruppe, durch die die Transparenz des Polymers bei einer Wellenlänge von 157 nm erhöht wird.
  • Unter Molekülgruppen, die durch sauer katalysierte Abspaltungsreaktionen in alkalilösliche Gruppen überführt werden können, sind säurelabile Gruppen zu verstehen, die eine nur geringe Alkalilöslichkeit besitzen und durch die Einwirkung von Säuren, gegebenenfalls bei gleichzeitiger Temperaturbehandlung, ein Molekülfragment abspalten, wobei die alkalilöslichen Gruppen am oder in dem Polymer freigesetzt werden. Unter diesen Begriff fallen somit säurelabile Schutzgruppen wie sie regelmäßig bei Positivresists zum Einsatz kommen. Dabei können alle gängigen säurelabilen Schutzgruppen zum Einsatz kommen, wie z.B. Estergruppen, Ethergruppen, cyclische oder acyclische Acetalgruppen, cyclische oder acyclische Ketalgruppen, Silylether oder auch Cyanhydrine. Beispiele geeigneter Schutzgruppen sind z.B. in den US-Patentschriften 5,932,391 oder 6,114,086 aufgeführt. In diesem Sinn ist auch der Begriff „durch die photolytisch erzeugte Säure katalysierte Abspaltungsreaktion" zu verstehen, d.h. daß die Abspaltungsreaktion unter Einwirkung der photolytisch freigesetzten Säure erfolgt.
  • In diesem Zusammenhang besonders bevorzugte Molekülgruppen sind Ethergruppen ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus tert.-Alkylethern, insbesondere tert.- Butylether, Tetrahydrofuranylether und/oder Tetrahydropyranylether. Weiterhin bevorzugt ist die Verwendung von Carboxylsäureestern ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus tert.-Alkylcarbonsäureestern, insbesondere tert.-Butylcarbonsäureester, Tetrahydrofuranylcarbonsäureester und/oder Tetrahydropyranylcarbonsäureester.
  • Ebenfalls bevorzugt ist die Verwendung von Polymeren, die Molekülgruppen gemäß Formel II aufweisen,
    Figure 00120001
    wobei R1 ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus tert.-Alkyl-, insbesondere tert.-Butyl-, Tetrahydrofuranyl-, Tetrahydropyranyl-, tert.-Butoxycarbonyloxy- oder Acetalgruppen.
  • In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens sind die Molekülgruppen in dem Polymer, welche die sauer katalysierten Abspaltungsreaktionen eingehen können, Gruppen mit der Struktur gemäß Formel III,
    Figure 00120002
    Figure 00130001
    wobei R2, R3, und R4 unabhängig voneinander ausgewählt sind aus der Gruppe umfassend Methyl, Ethyl, Propyl und Butyl, und vorzugsweise R2, R3 und R4 Methyl sind, und R5, R6 und R7 unabhängig voneinander ausgewählt sind aus der Gruppe umfassend Wasserstoff, Methyl, Ethyl, Propyl und Butyl, mit der Bedingung, dass nur R5 oder R6 Wasserstoff sein kann und R7 nicht Wasserstoff ist .
  • Neben den säurelabilen Gruppen können weitere Gruppen im Polymer vorhanden sein, die die lithographischen Eigenschaften oder die Ätzresistenz des Photolacks verbessern. In einer besonders bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung weist das Polymer zusätzlich noch weitere reaktive Gruppen, wie z.B. Anhydrid- oder Succinanhydridgruppen auf. Diese reaktiven Gruppen ermöglichen eine nachträgliche chemische Behandlung der Resiststrukturen, wie z.B. eine chemische Aufweitung der Maske durch eine Silylierungsreaktion. Durch eine solche chemische Nachbehandlung kann die kritische Dimension (CD), die in dem lithographischen Verfahren erreicht werden kann, weiter verringert werden.
  • Für die vorliegende Erfindung ist die Natur der Hauptkette des filmbildenden Polymers von geringer Bedeutung. In Frage kommen somit alle regelmäßig in Photoresists zum Einsatz kommenden Polymertypen. Geeignet sind z.B. Polymere mit reinen Kohlenstoffhauptketten, die z.B. durch Polymerisation von ungesättigten Monomeren wie Styrolen, Acrylaten oder Methacrylaten erhalten werden können.
  • Ebenfalls geeignet sind Polymere mit Heteroatomen in den Hauptketten, wie z.B. Polysiloxane, Polyetter oder Polyester. Die Hauptkette kann dabei zur Verbesserung der Transparenz des Polymers bei niedrigen Wellenlängen teilweise oder ganz aus fluorierten Bausteinen aufgebaut sein.
  • Zum Aktivieren des Photosäuregenerators wird die Photolackschicht in dem erfindungsgemäßen Verfahren vorzugsweise mit Licht einer Wellenlänge zwischen 150 bis 300 nm bestrahlt. Mit dieser DW- bzw. VUV-Strahlung (deep-ultra-violet bzw. vacuum-ultra-violet) können besonders feine Strukturen in der Photolackschicht erzeugt werden. Alternativ kann aber auch längerwelliges Licht eingesetzt werden, z.B. mit einer Wellenlänge von 300 bis 450 nm, vorzugsweise 350 bis 450 nm (near-ultra-violet).
  • Als Photosäuregeneratoren können prinzipiell alle Verbindungen eingesetzt werden, die bei Bestrahlung eine Säure freisetzten können. Gemäß besonders vorteilhaften Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Verfahrens werden Photosäuregeneratoren ausgewählt aus der Gruppe umfassend Oniumverbindungen, insbesondere Diphenyliodoniumtriflat und Trisulfoniumnonasulfat, Nitrobenzylester, insbesondere 4-Nitrobenzyl-9,10-dimethoxyanthracen-2-sulfonat, Sulfone, insbesondere Phenylacylphenylsulfon, Phosphate, insbesondere Triarylphosphate, N-Hydroxyimidsulfonate, insbesondere N-Hydroxyphthalimidmethansulfonat und/oder Diazonaphthochinone, insbesondere 1-Oxo-2-Diazonaphthochinon-5-Arylsulfonat, verwendet. Weitere geeignete Photosäuregeneratoren sind in der deutschen Patentanmeldung mit der Anmeldenummer 19820477.9 veröffentlicht.
  • Zum Aktivieren des Photobasengenerators wird die Photolackschicht in dem erfindungsgemäßen Verfahren vorzugsweise mit Licht mit einer Wellenlänge zwischen 150 bis 300 nm bestrahlt. Alternativ kann aber auch längerwelliges Licht eingesetzt werden, z.B. mit einer Wellenlänge von 300 bis 450 nm, vorzugsweise 350 bis 450 nm.
  • In einer weiteren bevorzugten Variante des erfindungsgemäßen Verfahrens ist der Photobasengenerator ausgewählt aus der Gruppe umfassend O-Acyloxime, insbesondere O-Phenylacetyl-2-acetonaphthonoxim, Benzoyloxycarbonyl-Derivate, insbesondere O-Nitrobenzyl-N-cyclohexylcarbamat, und Nifedipine, insbesondere N-Methylnifedipine. Andere gängige Photobasengeneratoren können aber ebenfalls eingesetzt werden. Weitere Beispiele geeigneter Photobasengeneratoren sind z.B. in der Patentschrift US-5,650,261 aufgelistet.
  • Wie bereits geschildert werden in dem erfindungsgemäßen Verfahren Photosäuregeneratoren zusammen mit Photobasengeneratoren eingesetzt, wobei der Photosäuregenerator bei Bestrahlung mit Licht aus einem definierten Wellenlängenbereich Δλ1 eine Säure freisetzt und der Photobasengenerator bei Bestrahlung mit Licht aus einem definierten Wellenlängenbereich Δλ2 eine Base freisetzt. Photosäuregenerator und Photobasengenerator müssen nun so aufeinander abgestimmt werden, dass bei Bestrahlung mit Licht aus dem Wellenlängenbereich Δλ1 der Photosäuregenerator die Säure freisetzt, der Photobasengenerator aber im wesentlichen inert gegen die Bestrahlung ist, also keine Base freisetzt, und umgekehrt bei Bestrahlung mit Licht aus dem Wellenlängenbereich Δλ2 der Photobasengenerator die Base freisetzt, der Photosäuregenerator aber im wesentlichen inert gegen die Bestrahlung ist, also keine Säure freisetzt. Das Auffinden solcher aufeinander abgestimmter Kombinationen von Photosäuregenerator und Photobasengenerator stellt für den Fachmann keine Schwierigkeit dar, da die Zerfallscharakteristika der Verbindungen in Abhängigkeit von der Wellenlänge des eingestrahlten Lichts bekannt sind.
  • In einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung wird die Photolackschicht dadurch auf dem Substrat aufgebracht, dass eine Lösung umfassend ein Lösungsmittel, das filmbildende Polymer, den Photosäuregenerator und den Photobasengenerator auf das Substrat aufgetragen und anschließend das Lösungsmittel zumindest teilweise verdampft wird. In einer besonders bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens wird die Photolackschicht auf das Substrat aufgeschleudert. Als Lösungsmittel können alle gängigen Photolacklösungsmittel oder deren Gemische verwendet werden, die in der Lage sind, die Resistkomponenten in einer klaren, partikelfreien und lagerstabilen Lösung aufzunehmen und bei der Beschichtung des Substrats eine gute Schichtqualität zu gewährleisten. Besonders bevorzugt für das erfindungsgemäße Verfahren sind Lösungsmittel ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Methoxypropylacetat, Cyclopentanon, Cyclohexanon, γ-Butyrolacton, Ethyllactat oder Mischungen aus mindestens zwei der vorgenannten Lösungsmittel. Besonders bevorzugt ist 1-Methoxy-2-propylacetat als Lösungsmittel.
  • Das Lösungsmittel wird vorzugsweise bei Temperaturen zwischen 60 bis 160 °C verdampft. In diesem sogenannten "Prebake"-Heizschritt wird das Lösungsmittel vorzugsweise vollständig aus dem Photolack getrieben.
  • Zum Aufbringen der Photolackschicht auf das Substrat werden in vorteilhaften Varianten der vorliegenden Erfindung Lösungen verwendet, die 1 bis 50 Gew.-%, vorzugsweise 3 bis 20 Gew.-%, filmbildendes Polymer, 0,01 bis 10 Gew.-%, vorzugsweise 0,1 bis 1 %, Photosäuregenerator, 0,01 bis 10 Gew.-%, vorzugsweise 0,1 bis 1 %, Photobasengenerator und 50 bis 99 Gew.-%, vorzugsweise 88 bis 96 Gew.-%, Lösungsmittel umfassen. Die Summe aller in der Lösung vorhandenen Komponenten ergibt dabei jeweils 100 Gew.-%.
  • Als weitere Komponenten kann die Lösung Additive enthalten, mit denen regelmäßig in Photolackschichten, bzw. deren Lösungen, eine Verbesserung der Lagerstabilität, des Standzeitverhaltens, der Filmbildung, der Auflösung, der Strahlungsempfindlichkeit oder anderer produkt- oder prozessverbessernder Eigenschaften erreicht werden kann.
  • In dem erfindungsgemäßen Verfahren wird die Photolackschicht zunächst in Teilbereichen mit Licht aus dem definierten Wellenlängenbereich Δλ2 bestrahlt, wobei die Wellenlänge des Lichts so gewählt ist, dass der Photosäuregenerator im wesentlichen inert gegen die Bestrahlung ist. Da die oberflächennahen Bereiche des Photoresists stärker belichtet werden, wird in diesen Bereichen eine höhere Konzentration an freigesetzter Base erzielt.
  • Entscheidend für das erfindungsgemäße Verfahren ist es daher, dass die Photolackschicht vor dem Entwickeln und vor dem zusätzlichen Heizschritt, in dem die photolytisch erzeugte Säure die Abspaltungsreaktion auslöst, mit Licht aus dem Wellenlängenbereich Δλ1 bestrahlt wird. Durch diese Bestrahlung ohne Photomaske wird aus dem Photosäuregenerator die Säure freigesetzt. Da bei dieser Belichtung wiederum die oberflächennahen Bereiche aufgrund des sich einstellenden Lichtintensitätsprofils stärker beleuchtet werden als die oberflächenfernen Bereiche, wird in den oberflächennahen Bereichen eine höhere Konzentration an Säure freigesetzt als in den oberflächenfernen Bereichen.
  • Durch diese selektive Neutralisationsreaktion wird für Positivresists das latente Bild in der noch nicht entwickelten Photolackschicht verbessert, d.h. die Verteilung der photochemisch erzeugten Säure entlang der Belichtungskanten wird aufgesteilt. Dadurch wird nach dem Entwickeln zum einen eine deutliche Aufsteilung der Resistprofile erreicht, zum anderen wird die "Rauhigkeit" der Resistflanken, wie sie bei der zusätzlichen Quervernetzung der oberflächennahen Bereiche von Negativresists nach dem Entwickeln beobachtet wird, vermieden.
  • Selbstverständlich darf die Neutralisationsreaktion nicht vollständig ablaufen, da in einem solchen Fall keine Säure für die darauffolgende Abspaltungsreaktion zur Verfügung stehen würde. Es muss also in jedem Fall ein Überschuss an Säure vorliegen. Für die Einhaltung dieser Bedingung können die Konzentrationen von Photosäuregenerator und Photobasengenerator in der Photolackschicht, die jeweilige Belichtungsintensität bei Bestrahlung mit Licht aus dem Wellenlängenbereich Δλ1 bzw. aus dem Wellenlängenbereich Δλ2 und/oder die Quantenausbeute, mit der der Zerfall von Photosäure- bzw. Photobasengenerator erfolgt, aufeinander abgestimmt werden.
  • In einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens wird die Photolackschicht nach den beiden Belichtungsschritten einem Heizschritt unterzogen, bei dem die Photolackschicht auf eine Temperatur erhitzt wird, bei der die durch die photolytisch erzeugte Säure katalysierte Abspaltungsreaktion erfolgt. Vorzugsweise wird die Photolackschicht auf eine Temperatur von 80 bis 250 °C erhitzt. Bei diesem Heizschritt kann die freigesetzte Säure mit den säurelabilen Molekülgruppen in dem filmbildenden Polymer reagieren und dadurch die alkalilöslichen Gruppen an dem Polymer freisetzen. Dadurch nimmt die Löslichkeit des Polmers gegenüber alkalischen Lösungen zu.
  • Zum Entwickeln der belichteten Photolackschicht werden vorzugsweise alkalische Lösungen verwendet. Als Lösungsmittel kommt hier vorzugsweise Wasser zum Einsatz. In einer besonders vorteilhaften Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens wird als Entwicklerlösung eine Lösung von 2,38 Gew.-% Tetramethylammoniumhydroxid in Wasser verwendet.
  • Gemäß einer besonders bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung umfasst die Photolackschicht zusätzlich einen Thermosäuregenerator, der bei Temperaturerhöhung eine Säure freisetzt. In diesem Fall wird in Schritt d) die Photolackschicht auf eine Temperatur erhitzt, bei der der Thermosäuregenerator eine Säure freisetzt und die sauer katalysierte Abspaltungsreaktion erfolgt.
  • Besonders vorteilhaft ist es in diesem Fall die Photolackschicht dadurch auf das Substrat aufzubringen, dass eine Lösung umfassend ein Lösungsmittel, das filmbildende Polymer, den Photosäuregenerator, den Photobasengenerator und den Thermosäuregenerator auf das Substrat aufgetragen und anschließend das Lösungsmittel zumindest teilweise verdampft wird. In einer besonders bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens wird die Photolackschicht auf das Substrat aufgeschleudert.
  • Als Lösungsmittel können auch in dieser Ausführungsform der vorliegenden Erfindung alle gängigen Photolacklösungsmittel oder deren Gemische verwendet werden, die in der Lage sind, die Resistkomponenten in einer klaren, partikelfreien und lagerstabilen Lösung aufzunehmen und bei der Beschichtung des Substrats eine gute Schichtqualität zu gewährleisten. Besonders bevorzugt sind Lösungsmittel ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Methoxypropylacetat, Cyclopentanon, Cyclohexanon, γ-Butyrolacton, Ethyllactat oder Mischungen aus mindestens zwei der vorgenannten Lösungsmittel. Besonders bevorzugt ist 1-Methoxy-2-propylacetat als Lösungsmittel.
  • Zum Aufbringen der Photolackschicht auf das Substrat werden in vorteilhaften Varianten der Ausführungsform mit Thermosäuregenerator Lösungen verwendet, die 1 bis 50 Gew.-%, vorzugsweise 3 bis 20 Gew.-%, filmbildendes Polymer, 0,01 bis 10 Gew.-%, vorzugsweise 0,1 bis 1 %, Photosäuregenerator, 0,01 bis 10 Gew.-%, vorzugsweise 0,1 bis 1 %, Photobasengenerator, 0,01 bis 10 Gew.-%, vorzugsweise 0,1 bis 1 Gew-%, Thermosäuregenerator und 50 bis 99 Gew.-%, vorzugsweise 88 bis 96 Gew.-%, Lösungsmittel umfassen. Die Summe aller in der Lösung vorhandenen Komponenten ergibt dabei ebenfalls jeweils 100 Gew.-%.
  • Als Thermosäuregenerator können alle im Resistlösungsmittel löslichen festen und flüssigen Verbindungen verwendet werden, die eine Säure freisetzen können und photochemisch inert gegenüber der Strukturbelichtung sind.
  • Besonders bevorzugt sind dabei Thermosäuregeneratoren ausgewählt aus der Gruppe der Thiolaniumsalze, insbesondere Benzylthiolaniumhexafluoropropansulfat, oder der Nitrobenzylester, insbesondere 2-Nitrobenzyltosylat.
  • Zum Aktivieren des Thermosäuregenerators wird die Photolackschicht in dem erfindungsgemäßen Verfahren vorzugsweise auf eine Temperatur von 80 bis 250 °C erhitzt.
  • Im folgenden wird das erfindungsgemäße Verfahren anhand eines Ausführungsbeispiels verdeutlicht.
  • Die Photolackschicht wird auf das zu strukturierende Substrat aufgeschleudert und in einem nachfolgenden Heizschritt (zwischen 60 und 160°C), bei dem das Lösungsmittel verdampfen kann, getrocknet. In der so erhaltenen festen Photolackschicht wird anschließend durch Bestrahlung der Photolackschicht mit Licht einer definierten Wellenlänge ein latentes Bild erzeugt. Die Strukturbelichtung erfolgt bei einer Wellenlänge von 248 nm durch eine Lithographiemaske.
  • Durch diese Belichtung wird die Base aus dem Photobasengenerator freigesetzt. Aufgrund der absorptionsbedingten Abschwächung der Lichtintensität innerhalb der Photolackschicht entsteht die unerwünschte Basenverteilung innerhalb der Lackschicht, d.h. die Konzentration der Base nimmt mit zunehmendem Abstand zur Oberfläche der Photolackschicht kontinuierlich ab.
  • Anschließend erfolgt eine Bestrahlung ohne Photomaske mit Licht der Wellenlänge 365 nm. Durch diese Belichtung wird die Säure aus dem Photosäuregenerator freigesetzt. Aufgrund der absorptionsbedingten Abschwächung der Lichtintensität innerhalb der Photolackschicht entsteht ein Gradient der Säureverteilung innerhalb der Lackschicht, d.h. die Konzentration der Säure nimmt mit zunehmendem Abstand zur Oberfläche der Photolackschicht kontinuierlich ab. Dadurch erfolgt im Resist oberflächlich eine stärkere (aber nicht vollständige) Neutralisation als in oberflächenfernen Bereichen.
  • Im folgenden Heizschritt, dem sogenannten "Post-Exposure-Bake (PEB)", dessen Temperatur über der des ersten Heizschrittes liegt (80 bis 250°C), werden einerseits durch die bei der Flutbelichtung erzeugte Säure die funktionellen Schutzgruppen in dem filmbildenden Polymer gespalten, andererseits wird die Säure durch die Base neutralisiert.
  • Ist in dem Photolack zusätzlich ein Thermosäuregenerator vorhanden, wird in dem Heizschritt zusätzlich thermisch eine Säure generiert. Dadurch wird der Neutralisationsgrad zusätzlich eingestellt.
  • Selbstverständlich darf die Neutralisationsreaktion auch in diesem Fall nicht vollständig ablaufen, da dann keine Säure für die darauffolgende Abspaltungsreaktion zur Verfügung stehen würde. Es muss also ein Überschuss an Säure vorliegen. Für die Einhaltung dieser Bedingung können die Konzentrationen von Photosäuregenerator, Photobasengenerator und Thermosäuregenerator in der Photolackschicht, die jeweilige Belichtungsintensität bei Bestrahlung mit Licht aus dem Wellenlängenbereich Δλ1 bzw. aus dem Wellenlängenbereich Δλ2 und/oder die Quantenausbeute, mit der der Zerfall von Photosäure- bzw. Photobasengenerator erfolgt, aufeinander abgestimmt werden.
  • In den belichteten Bereichen der Strukturbelichtung wird der Resist unabhängig von der Anwesenheit eines Thermosäuregenerators gegenüber dem alkalischen Entwickler unlöslich. Anschließend wird die Photolackschicht z.B. mit einer 2,38 Gew.%-igen wässrigen Tetramethylammoniumhydroxid-Lösung behandelt, wodurch die unbelichteten Bereiche der Photolackschicht gelöst und entfernt werden. Dadurch wird ein negatives Reliefmuster in der Photolackschicht erzeugt, d.h. die unbelichteten Bereiche der Photolackmaske werden entfernt, während die belichteten Bereiche zurückbleiben und in einem folgenden Strukturierungschritt als schützende Maske dienen können.
    •

Claims (21)

  1. Verfahren zur Strukturierung einer Photolackschicht, umfassend die Schritte: a) ein Substrat wird bereitgestellt, auf dem zumindest in Teilbereichen eine Photolackschicht aufgebracht ist, wobei die Photolackschicht aa) ein filmbildendes Polymer, das Molekülgruppen umfasst, die durch sauer katalysierte Abspaltungsreaktionen in alkalilösliche Gruppen überführt werden können, ab) einen Photosäuregenerator, der bei Bestrahlung mit Licht aus einem definierten Wellenlängenbereich Δλ1 eine Säure freisetzt, und ac) einen Photobasengenerator, der bei Bestrahlung mit Licht aus einem definierten Wellenlängenbereich Δλ2 eine Base freisetzt, umfasst, b) die Photolackschicht wird in Teilbereichen mit Licht aus dem definierten Wellenlängenbereich Δλ2 bestrahlt, wobei die Wellenlänge des Lichts so gewählt ist, dass der Photosäuregenerator im wesentlichen inert gegen die Bestrahlung ist, c) die Photolackschicht wird ohne Photomaske mit Licht aus dem definierten Wellenlängenbereich Δλ1 bestrahlt, wobei die Wellenlänge des Lichts so gewählt ist, dass der Photobasengenerator im wesentlichen inert gegen die Bestrahlung ist, d) die Photolackschicht wird auf eine Temperatur erhitzt, bei der die sauer katalysierte Abspaltungsreaktion erfolgt, so dass die Löslichkeit des filmbildenden Polymers in den Bereichen der Photolackschicht, die nur mit Licht der Wellenlänge Δλ1 bestrahlt wurden, gegenüber alkalischen Lösungen zunimmt, wobei die in diesen Bereichen durch den Photobasengenerator freigesetzte Base die Säure teilweise neutralisiert und die Verteilung der photochemisch erzeugten Säure entlang der Belichtungskanten aufgesteilt wird, e) die Photolackschicht wird mittels einer alkalischen Lösung entwickelt.
  2. Verfahren gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Photolackschicht in Schritt d) auf eine Temperatur zwischen 80 und 250°C erhitzt wird.
  3. Verfahren gemäß Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Säure aus dem Photosäuregenerator durch Bestrahlung der Photolackschicht mit UV-Licht einer Wellenlänge zwischen 150 und 450 nm freigesetzt wird.
  4. Verfahren gemäß Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Säure aus dem Photosäuregenerator durch Bestrahlung der Photolackschicht mit UV-Licht einer Wellenlänge zwischen 300 und 450 nm, vorzugsweise zwischen 350 und 450 nm freigesetzt wird.
  5. Verfahren gemäß einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Base aus dem Photobasengenerator durch Bestrahlung mit UV-Licht einer Wellenlänge zwischen 150 und 450 nm freigesetzt wird.
  6. Verfahren gemäß Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Base aus dem Photobasengenerator durch Bestrahlung der Photolackschicht mit UV-Licht einer Wellenlänge zwischen 300 und 450 nm, vorzugsweise zwischen 350 und 450 nm freigesetzt wird.
  7. Verfahren gemäß einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Polymer im Wellenlängenbereich zwischen 150 bis 450 nm ein Absorptionsminimum aufweist.
  8. Verfahren gemäß einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Photosäuregenerator ausgewählt ist aus der Gruppe umfassend Oniumverbindungen, insbesondere Diphenyliodoniumtriflat und Trisulfoniumnonasulfat, Nitrobenzylester, insbesondere 4-Nitrobenzyl-9,10-dimethoxyanthracen-2-sulfonat, Sulfone, insbesondere Phenylacylphenylsulfon, Phosphate, insbesondere Triarylphosphate, N-Hydroxyimidsulfonate, insbesondere N-Hydroxyphthalimidmethansulfonat und/oder Diazonaphthochinone, insbesondere 1-Oxo-2-Diazonaphthochinon-5-Arylsulfonat.
  9. Verfahren gemäß einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Photobasengenerator ausgewählt ist aus der Gruppe umfassend O-Acyloxime, insbesondere O-Phenylacetyl-2-acetonaphthonoxim, Benzoyloxycarbonyl-Derivate, insbesondere O-Nitrobenzyl-N-cyclohexylcarbamat, und Nifedipine, insbesondere N-Methylnifedipine,
  10. Verfahren gemäß einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Molekülgruppen, welche die sauer katalysierten Abspaltungsreaktionen eingehen können, a) Carboxylsäureester ausgewählt aus der Gruppe umfassend tert.-Alkylester, Tetrahydrofuranylester, Tetrahydropyranylester, Alkylcyclohexylester und/oder Adamantylester, oder b) Ethergruppen ausgewählt aus der Gruppe umfassend tert.-Alkylether, insbesondere tert.-Butylether, Tetrahydrofuranylether und/oder Tetrahydropyranylether, oder c) cyclische oder acyclische Ketale oder cyclische oder acyclische Acetale oder d) Butoxycarbonyloxy-Gruppen sind.
  11. Verfahren gemäß einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Molekülgruppen, welche die sauer katalysierten Abspaltungsreaktionen eingehen können, Gruppen mit einer Struktur gemäß Formel II sind
    Figure 00280001
    wobei R1 ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus a) tert.-Alkyl-, insbesondere tert.-Butyl-, b) Tetrahydrofuranyl-, Tetrahydropyranyl-, c) tert.-Butoxycarbonyloxy- oder. d) Acetalgruppen, oder Gruppen mit einer Struktur gemäß Formel III, IV oder V sind
    Figure 00280002
    wobei R2, R3, und R4 unabhängig voneinander ausgewählt sind aus der Gruppe umfassend Methyl, Ethyl, Propyl und Butyl, und vorzugsweise R2, R3 und R4 Methyl sind, und R5, R6 und R7 unabhängig voneinander ausgewählt sind aus der Gruppe umfassend Wasserstoff, Methyl, Ethyl, Propyl und Butyl, mit der Bedingung, dass nur R5 oder R6 Wasserstoff sein kann und R7 nicht Wasserstoff ist.
  12. Verfahren gemäß einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das filmbildende Polymer Anhydrid- oder Succinanhydridstrukturen enthält.
  13. Verfahren gemäß einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Aufbringen der Photolackschicht auf dem Substrat dadurch erfolgt, dass eine Lösung umfassend ein Lösungsmittel, das filmbildende Polymer, den Photosäuregenerator und den Photobasengenerator auf das Substrat aufgebracht wird und anschließend das Lösungsmittel zumindest teilweise verdampft wird.
  14. Verfahren gemäß Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass das Lösungsmittel ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus 1-Methoxy-2-propylacetat, Cyclopentanon, Cyclohexanon, γ-Butyrolacton, Ethyllactat oder aus Mischungen aus mindestens zwei der vorgenannten Lösungsmittel.
  15. Verfahren gemäß Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Lösungsmittel bei Temperaturen zwischen 60 bis 160 °C verdampft wird.
  16. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 13 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Lösung 1 bis 50 Gew.-%, vorzugsweise 3 bis 20 Gew.-%, filmbildendes Polymer, 0,01 bis 10 Gew.-%, vorzugsweise 0,1 bis 1 Gew-%, Photosäuregenerator, 0,01 bis 10 Gew.-%, vorzugsweise 0,1 bis 1 Gew-%, Photobasengenerator und 50 bis 99 Gew.-%, vorzugsweise 88 bis 96 Gew.-%, Lösungsmittel umfasst.
  17. Verfahren gemäß einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zum Entwickeln eine Lösung von 2,38 Gew.-% Tetramethylammoniumhydroxid in Wasser verwendet wird.
  18. Verfahren gemäß einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Photolackschicht zusätzlich einen Thermosäuregenerator, der bei Temperaturerhöhung eine Säure freisetzt, umfasst, und in Schritt d) die Photolackschicht auf eine Temperatur erhitzt wird, bei der der Thermosäuregenerator eine Säure freisetzt und die sauer katalysierte Abspaltungsreaktion erfolgt.
  19. Verfahren gemäß Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass der Thermosäuregenerator ausgewählt ist aus der Gruppe umfassend Thiolaniumsalze, insbesondere Benzylthiolaniumhexafluoropropansulfonat, oder der Nitrobenzylester, insbesondere 2-Nitrobenzyltosylat.
  20. Verfahren gemäß Anspruch 18 oder 19, dadurch gekennzeichnet, dass das Aufbringen der Photolackschicht auf dem Substrat dadurch erfolgt, dass eine Losung umfassend ein Lösungsmittel, das filmbildende Polymer, den Photosäuregenerator, den Photobasengenerator und den Thermosäuregenerator auf das Substrat aufgebracht wird und anschließend das Lösungsmittel zumindest teilweise verdampft wird.
  21. Verfahren gemäß Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass die Lösung 1 bis 50 Gew.-%, vorzugsweise 3 bis 20 Gew.-%, filmbildendes Polymer, 0,01 bis 10 Gew.-%, vorzugsweise 0,1 bis 1 Gew-%, Photosäuregenerator, 0,01 bis 10 Gew.-%, vorzugsweise 0,1 bis 1 Gew-%, Photobasengenerator, 0,01 bis 10 Gew.-%, vorzugsweise 0,1 bis 1 Gew-%, Thermosäuregenerator und 50 bis 99 Gew.-%, vorzugsweise 88 bis 96 Gew.-%, Lösungsmittel umfasst.
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