DE10119717A1 - Coplanare Wellenleitung mit niedrigem Wellenwiderstand auf Siliziumträger unter Verwendung eines Materials mit hoher Dielektrizitätskonstanten - Google Patents
Coplanare Wellenleitung mit niedrigem Wellenwiderstand auf Siliziumträger unter Verwendung eines Materials mit hoher DielektrizitätskonstantenInfo
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Abstract
Eine coplanare Wellenleitung, die auf einem Träger (2) angeordnete parallele, von einander einen elektrisch isolierenden Zwischenraum (8) aufweisende Leiterstreifen (5, 6, 7) aufweist, ist dadurch gekennzeichnet, dass auf den Leiterstreifen auf ihrer dem Träger abgewandten Seite ein Material mit hoher Dielektrizitätskonstanten angeordnet ist. Dadurch lässt sich ein Leitungsabschnitt mit relativ kleinem Wellenwiderstand verwirklichen.
Description
Die Erfindung betrifft eine coplanare Wellenleitung, die auf einem Träger
angeordnete parallele, von einander einen elektrisch isolierenden Zwischenraum
aufweisende Leiterstreifen aufweist.
Bei coplanaren Wellenleitern, die durch Streifenleitungen gebildet sind, ist der
Wellenwiderstand vom Abstand zwischen den Leiterstreifen abhängig. In einem Fall,
wie z. B. dem folgenden kann jedoch der für einen gewünschten niedrigen
Wellenwiderstand erforderliche kleine Abstand nicht realisiert werden. Auf Silizium-
Submounts für Lasermodule für eine Übertragungsrate von 10 Gbit/Sekunde wird
eine Schaltung benötigt, um die parasitäre Kapazität des Lasers zu kompensieren,
um auf diese Weise die Bandbreite zu erhöhen. Diese Kompensationsschaltung
erfordert bei coplanarer Dünnfilmtechnik eine kurze Übertragungsleitung mit einer
niedrigen Impedanz (Wellenwiderstand) von z. B. 15 Ohm. Eine derartige niedrige
Impedanz kann nicht als coplanare Wellenleitung realisiert werden, und zwar wegen
der kleinen Zwischenräume, die zwischen den Leiterstreifen erforderlich wären, es
müsste der technisch kleinste mögliche Abstand (kritischer Abstand) unterschritten
werden.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einer Vorrichtung der eingangs
beschriebenen Art eine Möglichkeit zu schaffen, mit einfachen Mitteln einen
Leitungsabschnitt mit einer niedrigen Impedanz bereitzustellen.
Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst, dass auf den Leiterstreifen
auf ihrer dem Träger abgewandten Seite ein Material mit hoher
Dielektrizitätskonstanten angeordnet ist.
Vorzugsweise ist das Material mit hoher Dielektrizitätskonstanten in dichtem Kontakt
mit den Leiterstreifen gehalten, wodurch Luftspalte sehr klein gehalten werden
können und die Anordnung gut definiert ist.
Das Material mit hoher Dielektrizitätskonstante, das jedes geeignete Material in jeder
geeigneten Form sein kann und vorzugsweise ein Keramikstück sein und
insbesondere die Form einer Platte aufweisen kann, hat eine ausreichend hohe
Dielektrizitätskonstante zur Erzielung einer für einen niedrigen Wellenwiderstand
ausreichenden hohen Kapazität. Bei einem Beispiel ist die relative
Dielektrizitätskonstanten = 65, um den gewünschten relativ niedrigen
Wellenwiderstand im Bereich der Platte bzw. des Keramikstücks in der coplanaren
Leitung zu erzeugen. Dieser niedrige Wellenwiderstand entsteht dadurch, dass durch
das Keramikstück die zwischen den Leitern der coplanaren Leitung wirksame
Kapazität gegenüber dem Zustand, bei dem das Keramikstück nicht vorhanden ist,
erhöht ist. Das Keramikstück wird oben auf den Leitern der coplanaren Leitung
befestigt, also befinden sich die Leiter der coplanaren Leitung zwischen dem Träger
dieser Leitung, der z. B. aus (hochohmigem) Silizium besteht, und dem
Keramikstück. Es mag in anderen Anwendungsfällen genügen, zur Vergrößerung der
Kapazität ein Material mit einer relativen Dielektrizitätskonstanten von nur etwa 10 zu
verwenden.
Bei einer Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, dass die den Leiterstreifen
abgewandte Seite des Materials mit hoher Dielektrizitätskonstanten elektrisch leitend
ausgebildet ist, vorzugsweise mit einer Metallisierung versehen ist. Der Vorteil
besteht dabei darin, dass durch die Metallisierung die die Kapazität erhöhende
Wirkung des Keramikstücks vergrößert wird, und zwar deshalb, weil die Feldstärke
im Keramikstück durch Verkürzung der Feldlinien vergrößert wird.
Bei einer Ausführungsform der Erfindung ist die Länge, auf der Material mit hoher
Dielektrizitätskonstanten aufgebracht ist, bzw. die Länge des Materials mit hoher
Dielektrizitätskonstanten kürzer als die 4. Wellenleitung nach einem der
vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Länge, auf der
Material mit hoher Dielektrizitätskonstanten aufgebracht ist, bzw. die Länge des
Materials mit hoher Dielektrizitätskonstanten kürzer ist als die Streifenleitung. Hier ist
somit auf einem begrenzten Teil der Länge der Streifenleitung ein niedrigerer
Wellenwiderstand vorhanden.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden
Beschreibung von Ausführungsbeispielen der Erfindung anhand der Zeichnung, die
erfindungswesentliche Einzelheiten zeigt, und aus den Ansprüchen. Die einzelnen
Merkmale können je einzeln für sich oder zu mehreren bei einer Ausführungsform
der Erfindung verwirklicht sein. Es zeigen:
Fig. 1 einen Querschnitt durch ein Ausführungsbeispiel einer coplanaren Leitung
gemäß der Erfindung, wobei ein Keramikstück verwendet ist, das auf seiner den
Leitungen der Streifenleitung abgewandten Seite eine Metallisierung aufweist;
Fig. 2 eine Draufsicht auf die Anordnung nach Fig. 1, abgebrochen;
Fig. 3 einen Querschnitt durch eine bekannte Anordnung.
Die bekannte Anordnung 30 gemäß Fig. 3 weist einen Träger 2 aus hochohmigem
Silizium auf, der stattdessen auch aus Aluminiumoxid (Al2O3) bestehen kann. Auf der
Oberseite 4 des Trägers 2 sind parallel zueinander verlaufende Leiterstreifen 5, 6
und 7 in einer Ebene (coplanar) angeordnet, wobei der Leiterstreifen 5 zwischen den
beiden anderen Leiterstreifen liegt. Die Leiterstreifen 5, 6 und 7 (durch Metallstreifen
gebildet) des Beispiels bilden zusammen mit dem Träger 2 eine Streifenleitung,
wobei üblicherweise die Leiterstreifen 6 und 7 den Außenleiter bilden. Zwischen dem
mittleren Leiterstreifen 5 und den beiden anderen Leiterstreifen besteht jeweils ein
Zwischenraum 8. Dieser kann in Abhängigkeit von dem Fertigungsverfahren bis auf
einen kritischen Abstand verringert werden. Daher kann, bei sonst unveränderten
Abmessungen und Eigenschaften der verwendeten Materialien die Kapazität pro
Längeneinheit zwischen den Leitern nicht über einen bestimmten Betrag hinaus
vergrößert werden.
Das in Fig. 1 gezeigte Ausführungsbeispiel der Erfindung ist eine Wellenleitung 1, die
sich von Anordnung nach Fig. 3 lediglich dadurch unterscheidet, dass auf der dem
Träger 2 abgewandten Seite der Leiterstreifen 5 bis 7, diese seitlich überragend, ein
Keramikstück 20 aufgelegt und befestigt ist. Die Befestigung ist im Beispiel durch
Kleben vorgenommen, wozu Klebstoff 22 im Randbereich des Keramikstücks 20
dieses mit der Oberseite des Trägers 2 verbindet. In den in Fig. 1 gezeigten Beispiel
ist auf der den Leiterstreifen 5, 6 und 7 abgewandten Seite des Keramikstücks 20
noch eine rückseitige Metallisierung 25 aufgebracht. Auch hier besteht der Träger 2
aus hochohmigem Silizium, und besteht bei anderen Ausführungsformen aus Al2O3
Bei einem anderen Ausführungsbeispiel der Erfindung, das in der Zeichnung nicht
gezeigt ist, ist die Metallisierung 25 fortgelassen.
Das Keramikstück 20 besteht zumindest zu einem großen Teil, im Beispiel
ausschließlich, aus einem Keramikmaterial mit einer großen relativen
Dielektrizitätskonstanten, im Beispiel hat diese den Wert 65. Die
Dielektrizitätskonstante des Keramikstücks ist daher 65 multipliziert mit der
Dielektrizitätskonstanten des Vakuums.
Durch das Keramikstück 20 wird die wirksame Kapazität zwischen den Leiterstreifen
5, 6 und 7 erhöht, verglichen mit dem Zustand ohne Keramikstück 20. Wenn die
Metallisierung 25 nicht vorhanden ist, so verlaufen die Feldlinien von dem mittleren
Leiterstreifen zu den beiden äußeren Leiterstreifen 6 und 7 innerhalb des
Keramikstücks 20 in Form der bekannten elektrischen Feldlinien bogenförmig, also
mit einer merklichen Komponente in waagrechter Richtung in Fig. 1. Die Feldlinien
haben somit eine relativ große Länge.
Ist auf der Oberseite des Keramikstücks 20 dagegen die Metallisierung 25
aufgebracht, so verlaufen die Feldlinien innerhalb des Keramikstücks von jedem der
einzelnen Leiterstreifen 5, 6 und 7 großenteils rechtwinklig zur Ebene der Anordnung
der Leitungen 5 bis 7, in Fig. 1 also in senkrechter Richtung zur Ebene der
Metallisierung 25, weil die Metallisierung 25 ein in grober Annäherung gleiches
Potential auf ihrer Breite in der gezeigten Querschnittsebene aufweist. Es versteht
sich für den Fachmann, dass bei sehr großer Dicke des Keramikstücks (oder großem
Abstand der Metallisierung von der Ebene der Leiterstreifen) die Wirkung der
Metallisierung 25 nicht mehr feststellbar ist. Insbesondere bei kleineren Dicken des
Keramikstücks 20, die sich noch problemlos herstellen lassen und sicher handhaben
lassen, kann die Metallisierung 25 eine merkliche Erhöhung der erzielbaren
Kapazität erreichen, weil die Feldlinien, wie oben geschildert, gegenüber dem Fall
des Fehlens der Metallisierung 25 verkürzt sind.
Bei beiden anhand Fig. 1 beschriebenen Ausführungsbeispielen liegt der Klebstoff 22
praktisch nicht im elektrischen Feld, und daher muss nicht auf besondere HF-
Eigenschaften des Klebstoffs, wie z. B. geringe dielektrische Verluste, geachtet
werden. Ein Einbringen von Klebstoff zwischen Träger und Keramikstück ist
allerdings auch möglich, muss aber im elektrischen Verhalten berücksichtigt werden.
Wie Fig. 2 zeigt, ist die Länge der Keramikplatte 2 begrenzt, sie bewirkt somit nur auf
einem begrenzten Längenbereich der Streifenleitung eine Verringerung des
Wellenwiderstands.
In den beschriebenen Beispielen ist das Keramikstück eine planparallele Platte, die
einen plötzlichen Sprung des Wellenwiderstands in der Leitung bewirkt. Wenn eine
allmähliche Änderung des Wellenwiderstands gewünscht wird, kann dies durch
Abschrägung der Endkanten des Keramikstücks (unter Bildung eines Keilwinkels zur
Oberseite des Karamikstücks) und/oder Verjüngung der Breite der Metallisierung (in
waagrechter Richtung in Fig. 1) oder in ähnlicher Weise vorteilhaft in erfinderischer
Weise erreicht werden.
Ein besonderer Vorteil der Erfindung besteht darin, dass die Fertigung einfach ist,
und zwar deswegen, weil das Keramikstück in der selben Weise wie andere
Komponenten, z. B. durch Kleben, befestigt werden kann. Auf diese Weise kann
vermieden werden, dass man die zur Herstellung des Substrats verwendete
Technologie zu einem komplizierteren Verfahren hin verändern muß, z. B. Dünnfilm-
Multilayer-Technik anwenden muss.
Im Beispiel der Fig. 1 sind folgende Abmessungen und sonstige Daten gewählt:
Länge, Breite und Dicke des Trägers 2: 6 mm × 3 mm × 0.5 mm
Länge, Breite und Dicke des Keramikstücks 20: 1,2 mm × 0,8 mm × 0,1 mm
Material des Keramikstücks: Produkt H09CG060EXNX von Dielectric. Laboratories Inc., in Cazenovia, NY 13035, USA.
Dicke und Material der Metallisierung 25: 1 µm Gold
Dicke, Breite, Material der Streifenleitungen 5, 6, 7: 1 µm × 100 µm Gold, wobei die äußeren Streifenleitungen breiter sein können.
Länge, Breite und Dicke des Trägers 2: 6 mm × 3 mm × 0.5 mm
Länge, Breite und Dicke des Keramikstücks 20: 1,2 mm × 0,8 mm × 0,1 mm
Material des Keramikstücks: Produkt H09CG060EXNX von Dielectric. Laboratories Inc., in Cazenovia, NY 13035, USA.
Dicke und Material der Metallisierung 25: 1 µm Gold
Dicke, Breite, Material der Streifenleitungen 5, 6, 7: 1 µm × 100 µm Gold, wobei die äußeren Streifenleitungen breiter sein können.
Anstatt das Keramikstück (Keramikplatte) durch Kleben zu befestigen, kann man es
vorteilhaft auf seiner Unterseite mit streifenförmigen Metallisierungen versehen, die
mit den Leiterstreifen fluchten. Die so ausgestattete Keramikplatte wird genau
passend auf die Streifenleiter aufgelegt und durch Löten oder Schweißen mit diesen
verbunden.
Claims (7)
1. Coplanare Wellenleitung, die auf einem Träger (2) angeordnete parallele, von
einander einen elektrisch isolierenden Zwischenraum (8) aufweisende Leiterstreifen
(5, 6, 7) aufweist,
dadurch gekennzeichnet, dass auf den Leiterstreifen auf ihrer dem Träger
abgewandten Seite ein Material mit hoher Dielektrizitätskonstanten angeordnet ist.
2. Wellenleitung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Material mit
hoher Dielektrizitätskonstanten (20) in dichtem Kontakt mit den Leiterstreifen (5, 6, 7)
gehalten ist.
3. Wellenleitung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die den
Streifenleitern abgewandte Seite des Materials mit hoher Dielektrizitätskonstanten
elektrisch leitend ausgebildet ist, vorzugsweise mit einer Metallisierung (25) versehen
ist.
4. Wellenleitung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, dass die Länge, auf der Material mit hoher Dielektrizitätskonstanten
aufgebracht ist, bzw. die Länge des Materials mit hoher Dielektrizitätskonstanten
kürzer ist als die Streifenleitung.
5. Wellenleitung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, dass das Material mit hoher Dielektrizitätskonstanten eine relative
Dielektrizitätskonstante von mindestens etwa 10 hat.
6. Wellenleitung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die relative
Dielektrizitätskonstante etwa 65 beträgt.
7. Wellenleitung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Material mit
hoher Dielektrizitätskonstanten im wesentlichen eine Keramik der Fa. Dielectric
Laboratories Inc. ist mit der Produktbezeichnung H09CG060EXNX ist.
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