DE10115732A1 - Verfahren und Vorrichtung zur effizienten Messung von reziproken Mehrtorvorrichtungen bei der Vektornetzanalyse - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur effizienten Messung von reziproken Mehrtorvorrichtungen bei der Vektornetzanalyse

Info

Publication number
DE10115732A1
DE10115732A1 DE10115732A DE10115732A DE10115732A1 DE 10115732 A1 DE10115732 A1 DE 10115732A1 DE 10115732 A DE10115732 A DE 10115732A DE 10115732 A DE10115732 A DE 10115732A DE 10115732 A1 DE10115732 A1 DE 10115732A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
gate
port
transmission
coefficient
signal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE10115732A
Other languages
English (en)
Other versions
DE10115732C2 (de
Inventor
David V Blackham
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Agilent Technologies Inc
Original Assignee
Agilent Technologies Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Agilent Technologies Inc filed Critical Agilent Technologies Inc
Publication of DE10115732A1 publication Critical patent/DE10115732A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE10115732C2 publication Critical patent/DE10115732C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R27/00Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
    • G01R27/28Measuring attenuation, gain, phase shift or derived characteristics of electric four pole networks, i.e. two-port networks; Measuring transient response
    • G01R27/32Measuring attenuation, gain, phase shift or derived characteristics of electric four pole networks, i.e. two-port networks; Measuring transient response in circuits having distributed constants, e.g. having very long conductors or involving high frequencies

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
  • Maintenance And Management Of Digital Transmission (AREA)

Abstract

Es sind ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Bestimmen von Streukoeffizienten für eine getestete Vorrichtung (DUT) unter Verwendung eines Vektornetzanalysators (VNA) offenbart. Üblicherweise werden bei einer DUT, die P Tore aufweist, alle Kombinationen von Reflexions- und Übertragungs-Koeffizienten gemessen und berechnet. Dies gilt selbst für reziproke Vorrichtungen, bei den S¶ijA¶ = S¶jiA¶ ist, da während der Messung die Quellen- und Last-Anpassungen variieren. Die vorliegende Erfindung lehrt jedoch, daß bei reziproken Vorrichtungen lediglich einer der zwei Übertragungs-Koeffizienten zwischen einem ersten Tor (Tor 1) und einem zweiten Tor (Tor 2) gemessen werden muß. Bei dem erfinderischen Verfahren werden Fehlerausdrücke aus den gemessenen Streuausdrücken entfernt. Dann können die Quellen und Last-Anpassungen auf einen normierten Anpassungswert normiert werden. Das Normierungsverfahren entfernt die Unterschiede der Quellen- und Last-Anpassungen. Für reziproke Vorrichtungen muß dementsprechend lediglich einer der zwei reziproken Übertragungs-Koeffizienten gemessen werden, um die Übertragungs-Koeffizienten für beide Richtungen zwischen dem ersten und dem zweiten Tor zu bestimmen.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Vektornetzanaly­ satoren. Die vorliegende Erfindung bezieht sich insbesonde­ re auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum effizienten Messen von Streuparametern von Mehrtorvorrichtungen in der Vektornetzanalyse.
Vektornetzanalysatoren (VNAs) werden verwendet, um die Übertragungs- und Reflexions-Charakteristika von verschie­ denen getesteten Vorrichtungen (DUTs; DUT = Device Under Test) zu bestimmen. Auf eine Übertragungs- oder eine Refle­ xions-Charakteristik wird üblicherweise als ein Streupara­ meter S Bezug genommen. Um vollständig eine spezielle DUT zu charakterisieren, werden die Übertragungscharakteristika und die Reflexionscharakteristika für alle Kombinationen von zwei Toren ermittelt. Allgemein erfordert dies für eine P-Tor-Vorrichtung P2 Streuparameter oder Sij für jedes i und j, wobei i von 1 bis P und j von 1 bis P gehen. Ein Streu­ koeffizient wird als Sij dargestellt, wobei Sij den Refle­ xionskoeffizienten für das Tor i, wenn 1 = j ist, und den Übertragungskoeffizienten von dem Tor j zu dem Tor i dar­ stellt, wenn i ≠ j ist. Aus praktischen Gründen werden ein zusätzlicher unterer Index M, um einen gemessenen Wert an­ zuzeigen, ein unterer Index C für einen teilweise fehler­ korrigierten Wert (bei dem die Trennungs- und Spurverfol­ gungs-Fehler korrigiert sind), ein unterer Index N für ei­ nen normierten Wert und ein unterer Index A für einen tat­ sächlichen Wert verwendet. SijM zeigt beispielsweise den ge­ messenen Übertragungskoeffizienten von dem Tor j zu dem Tor i.
Um vollständig eine Vorrichtung, die DUT, die P Tore auf­ weist, zu charakterisieren, muß der VNA, der die Tests durchführt, entweder (1) P oder mehr Empfänger aufweisen und P Abtastungen der DUT (hardwareaufwendiger Lösungsan­ satz) durchführen, oder (2) weniger als P Empfänger aufwei­ sen und mehr als P Abtastungen (zeitaufwendiger Lösungsan­ satz) durchführen. Hier kann eine Abtastung als das Verfah­ ren des Sendens eines Quellensignals (das einfallende Si­ gnal) von einem gegebenen Tor und des Messens von erfaßten Signalen von einem oder mehreren Toren, die das Quellentor umfassen können, definiert sein. Um beispielsweise eine Vorrichtung, die DUT, die drei Tore (P = 3) aufweist, zu charakterisieren, kann ein VNA, der vier oder mehr Empfän­ ger aufweist, die Abtastungen durchführen, die in der Ta­ belle 1A aufgelistet sind. Einen Empfänger, der Empfänger 0, um das einfallende Signal zu messen, und die anderen drei (die Empfänger 1, 2 und 3), um das Signal an jedem der drei Tore zu messen. Dies ist der schnellste Lösungsansatz, derselbe erfordert jedoch einen VNA, der die meiste Hard­ ware aufweist.
TABELLE 1A
Für einen beliebigen VNA ist die minimale benötigte Zahl von Empfängern zwei - der erste, um das einfallende Signal zu messen, und der andere, um das Signal an einem Tor zu messen. Bei einem Zwei-Tor-VNA, der eine DUT mißt, die drei Tore aufweist, sind die Abtastungen, die in der Tabelle 1B aufgelistet sind, erforderlich. Dies erfordert die gering­ ste Menge an Hardware innerhalb des VNA, ist jedoch der langsamste Lösungsansatz.
TABELLE 1B
Wenn alternativ ein VNA verwendet wird, der drei Empfänger aufweist, führt der VNA die Abtastungen durch, die in Ta­ belle 2 aufgelistet sind, um eine Vorrichtung zu charakte­ risieren, die drei Tore aufweist.
TABELLE 2
Bei einer praktischen Implementation von VNAs gibt es einen Kompromiß zwischen der hardwareaufwendigen Lösung (höherer Aufwand) und der zeitaufwendigen Lösung (langsameres Ver­ fahren). Auf der einen Seite ist es bei dem hardwareaufwen­ digen Lösungsansatz aufwendig die zusätzliche Hardware, die für die große Zahl von Empfängern erforderlich ist, zu bau­ en, zu betreiben und zu warten. Auf der anderen Seite ist bei dem zeitaufwendigen Lösungsansatz eine längere Zeitdau­ er erforderlich, um eine Vorrichtung vollständig zu charak­ terisieren, da mehrere Abtastungen durchgeführt werden. Die Zahl der erforderlichen Abtastungen wächst außerdem sehr schnell, sowie P, die Zahl der Tore der Vorrichtung, wächst. Tatsächlich ist bei einem VNA, der zwei Empfänger aufweist, die Zahl der Abtastungen, die erforderlich ist, um eine Vorrichtung vollständig zu charakterisieren, P2.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein Verfahren zum Charakterisieren einer getesteten Vorrichtung unter Verwendung eines Vektornetzanalysators, eine Vorrich­ tung zum Charakterisieren einer getesteten Vorrichtung und einen Herstellungsgegenstand zu schaffen, um die Zahl der Empfänger, die Zahl der Abtastungen oder beides zu reduzie­ ren, um vollständig eine Vorrichtung zu charakterisieren.
Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren zum Charakterisieren einer getesteten Vorrichtung unter Verwendung eines Vektor­ netzanalysators gemäß Anspruch 1, eine Vorrichtung zum Cha­ rakterisieren einer getesteten Vorrichtung gemäß Anspruch 6 und einen Herstellungsgegenstand gemäß Anspruch 8 gelöst.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung kann eine getestete Vorrichtung (DUT) durch Messen des Übertragungskoeffizienten für eine Übertragung des Signals von einem ersten Tor zu einem zweiten Tor, SijM, charakteri­ siert werden. Diese Messung kann verwendet werden, um den tatsächlichen Übertragungskoeffizienten der Übertragung des Signals von dem zweiten Tor zu dem ersten Tor, SjiA, zu be­ stimmen, ohne den Übertragungskoeffizienten der Übertragung eines Signals von dem zweiten Tor zu dem ersten Tor, SjiM, messen zu müssen. Natürlich kann das gemessene Signal SijM ferner verwendet werden, um den tatsächlichen Übertragungs­ koeffizienten der Übertragung eines Signals von dem ersten Tor zu dem zweiten Tor zu bestimmen.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung ist eine Vorrich­ tung zum Charakterisieren einer getesteten Vorrichtung (DUT) offenbart. Die Vorrichtung weist einen Prozessor und einen Speicher auf, der mit dem Prozessor verbunden ist. Der Speicher hält Befehle für den Prozessor, um den Über­ tragungskoeffizienten SjiM für die Übertragung eines Signals von einem ersten Tor zu einem zweiten Tor zu messen, und um unter Verwendung dieser Messung den tatsächlichen Übertra­ gungskoeffizienten SijA für die Übertragung eines Signals von dem zweiten Tor zu dem ersten Tor zu bestimmen.
Bei noch einem weiteren Aspekt der Erfindung ist ein ma­ schinenlesbarer Speicher offenbart. Der Speicher ist mit Befehlen codiert, die, wenn dieselben durch eine Maschine ausgeführt werden, bewirken, dass ein Übertragungskoeffizi­ ent SjiM für die Übertragung eines Signals von einem ersten Tor zu einem zweiten Tor gemessen wird, und daß der tat­ sächliche Übertragungskoeffizient SijA für die Übertragung eines Signals von dem zweiten Tor zu dem ersten Tor be­ stimmt wird.
Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend bezugnehmend auf die beiliegenden Zeich­ nungen näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 ein Flußdiagramm, das das Verfahren der vorlie­ genden Erfindung umreißt; und
Fig. 2 eine Vorrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.
Wie in den Zeichnungen zum Zweck der Darstellung gezeigt, ist die vorliegende Erfindung in einem Verfahren zum Messen eines Übertragungskoeffizienten SjiM für die Übertragung ei­ nes Signals von einem ersten Tor zu einem zweiten Tor aus­ geführt, und ausgeführt, um diese Messung zu verwenden, um den tatsächlichen Koeffizienten SjiA sowie SijA zu bestimmen. Dies ist bei reziproken Vorrichtungen anwendbar, bei denen SijA = SjiA ist. Bei reziproken Vorrichtungen ist es möglich, die Zahl der erforderlichen Übertragungsmessungen um einen Faktor von 2 zu reduzieren. Dies kann unter Verwendung ei­ ner einzigen Übertragungsmessung SijM durchgeführt werden, um zwei Streuparameter SijA und SjiA zu bestimmen, wodurch die Zahl der erforderlichen Messungen reduziert wird, um eine DUT zu charakterisieren. Dementsprechend wird ferner die Zahl der Empfänger (Hardware), die Zahl der erforderli­ chen Abtastungen (Zeit) oder eine bestimmte Kombination von sowohl der Hardware als auch der Zeit reduziert. Bei den reziproken Vorrichtungen sind, obwohl die tatsächlichen Koeffizienten SijA und SjiA gleich sind, die gemessenen Koeffizienten SijM und SjiM nicht gleich, da die Anpassung an jedem Testtor abhängig davon variiert, ob die Tore zu einer Quellenanpassung, Lastanpassung und dem tatsächlich verwen­ deten VNA-Tor geschaltet sind. Unter Verwendung des Verfah­ rens der vorliegenden Erfindung kann jedoch SijM normiert werden, um sowohl SijM als auch SjiM darzustellen, und kann beim Bestimmen von allen S-Parametern der DUT verwendet werden.
Vornehmen der Messungen
Bezugnehmend auf Fig. 1 ist ein Flußdiagramm 100, das das Verfahren der vorliegenden Erfindung umreißt, dargestellt. Zuerst werden rohe Messungen durchgeführt. Operation 102. Um den Übertragungskoeffizienten von einem der zwei Tore i und j zu bestimmen, wobei i ≠ j, muß lediglich einer der zwei Übertragungskoeffizienten gemessen werden. Das heißt, um vollständig alle S-Parameter fehlerzukorrigieren, muß lediglich eine Messung zwischen jedem Paar von Toren i und j - entweder SijM oder SjiM - durchgeführt werden. Unter Ver­ wendung des Beispiels, das für die Tabelle 2 oben (für eine Drei-Tor-DUT, die mit einem VNA, der drei Empfänger auf­ weist, gemessen wird) verwendet wird, sind lediglich drei Abtastungen notwendig, um die DUT vollständig zu charakte­ risieren. Die drei Abtastungen sind in Tabelle 3A aufgeli­ stet. Dies liegt daran, daß sobald eine Messung eines Über­ tragungskoeffizienten von einem ersten Tor zu einem zweiten Tor SijM durchgeführt ist, die Messung eines Übertragungs­ koeffizienten von dem zweiten Tor zu dem ersten Tor SjiM nicht notwendig ist.
TABELLE 3A (FALL 1)
Alternative Messungen, die durchgeführt werden können, sind in Tabelle 3B aufgelistet. Die alternativen Messungen exi­ stieren, da für jede Torkombination i und j entweder Sij oder Sji gemessen werden kann.
TABELLE 3B (FALL 2)
Fehlerkorrektur
Als nächstes werden die gemessenen Werte teilweise fehler­ korrigiert, um Trennungsfehler und Frequenzantwortfehler zu entfernen, die durch einen VNA eingeführt werden. Operation 104. Unvollkommenheiten der Netzanalysatorhardware ver­ schlechtern die Meßgenauigkeit. Der Effekt von bestimmten Hardwareunvollkommenheiten kann charakterisiert und aus den Messungen über eine Vektorfehlerkorrektur entfernt werden. Hardwareunvollkommenheiten, die durch dieses Verfahren kor­ rigiert werden, umfassen Trennungsfehler (Richtwirkung für Reflexionsmessungen oder Nebensprechen für Übertragungsmes­ sungen), Frequenzantwort- oder Spurverfolgungs-Fehler und Fehlanpassungsfehler (aufgrund einer Quellenanpassung oder Lastanpassung). Diese Fehler in Mehrtornetzanalysatoren können unter Verwendung von Verfahren charakterisiert wer­ den, die für eine Zwei-Tor-Fehlerkorrektur eingerichtet sind. Sobald die Fehler charakterisiert sind, können die­ selben aus den Messungen entfernt werden. Hier werden die Trennungsfehler und die Frequenzantwortfehler wie folgt entfernt:
SijC = (SijM - Xi,j)/Ti,j (Gleichung 1)
SijC ist der teilweise fehlerkorrigierte Koeffizient;
SijM ist der rohe gemessene Koeffizient;
Xi,j ist der Trennungsfehler;
Ti,j ist der Frequenzantwortfehler; und
i geht von 1 bis P und j geht von 1 bis P, wobei P die Zahl der Tore der DUT ist.
Verfahren, um tatsächliche Werte für den Trennungsfehler und den Frequenzantwortfehler für eine beliebige Torkombi­ nation i und j zu erhalten, sind in der Technik bekannt. Die Tabelle 4 listet beispielsweise eine Tabellierung bzw. Abbildung zwischen den Ausdrücken des charakterisierten Fehlers von drei Zwei-Tor-Kalibrierungen zu einer Drei-Tor- Fehlerkorrektur auf. Diese kann für den Drei-Tor-VNA, der in Fig. 2 dargestellt ist, verwendet werden. Für andere VNA-Konfigurationen könne die Korrelationen und die Feh­ lerkorrekturwerte, wie in der Technik bekannt, variieren.
Tabelle 4
Normierung
Dann werden die teilweise fehlerkorrigierten Koeffizienten anpassungsnormiert. Operation 106. Die Normierung modifi­ ziert die effektive Fehlanpassung an jedem Tor, um eine Be­ dingung einer konstanten Fehlanpassung an jedem Tor und nicht den tatsächlichen Fall, bei dem die Fehlanpassung an jedem Tor abhängig von dem gemessenen S-Parameter variiert, zu simulieren. Die effektive Toranpassung an jedem Tor kann durch mathematisches Addieren eines Normierungsanpassungs­ ausdrucks modifiziert werden
(GNk - GUk)
GNk ist eine gewünschte normierte Anpassung an dem Tor k;
und
GUk ist die aktuelle Anpassung an das Tor k.
Die Beschreibung der gemessenen S-Parameter als eine Funk­ tion der tatsächlichen S-Parameter und der Restfehler wird unter Verwendung der Regel von Mason durchgeführt. Siehe Samuel J. Mason, "Feedback Theory - Further Properties of Signal Flow Graphs", Proceedings of the IRE, Bd. 44, Nr. 7, S. 920-926, Juli 1956 (im folgenden der "Artikel von Mason"). Der Artikel von Mason ist hierin durch Bezugnahme aufgenommen. Die Regel von Mason richtet ferner die Bezie­ hung zwischen den normierten S-Parametern als eine Funktion der teilweise korrigierten S-Parameter und der Normierungs­ anpassungsausdrücke ein.
Das Normierungsverfahren des Addierens des Normierungsan­ passungsausdrucks (GNk - GUk) ist bei DUTs anwendbar, die eine beliebige Zahl von Toren aufweisen. Für den Zweck der Erörterung der vorliegenden Erfindung ist das Normierungs­ verfahren der vorliegenden Erfindung hierin für eine DUT erklärt, die drei Tore aufweist, die durch einen Abtast-VNA 110 von Fig. 2 charakterisiert werden. Der Abtast-VNA und die Verfahren, die durch die Gleichungen hierin im folgen­ den dargestellt sind, werden hierin verwendet, um die vor­ liegende Erfindung darzustellen.
Bezugnehmend auf Fig. 2 weist der VNA 110 eine Signalquelle 112, einen Koppler 111 und drei Tore - Tor 1, Tor 2 und Tor3 - auf. Die Signalquelle 112 führt das Quellensignal zu einem der drei Tore über den Schalter S0 oder eine Kombina­ tion von S0 und S1 zu. Das Quellensignal geht durch den Koppler 111, um durch einen ersten Empfänger 114 abgetastet zu werden. Signale, die durch eines der drei Tore empfangen werden, können durch einen zweiten Empfänger 115 oder einen dritten Empfänger 116 über Schalter S2, S3, S4 oder eine Kombination dieser Schalter erfaßt werden.
Es sei bemerkt, daß jeder Schalter Widerstände als Ab­ schlußlastwege für die Wege aufweist, die nicht verwendet werden, um Signale zu senden oder zu empfangen. Wenn ein Weg nicht ausgewählt ist, wird derselbe in inneren Wider­ ständen abgeschlossen bzw. beendet, die nominell gleich der charakteristischen Impedanz des Systems sind. Allgemein werden, da jedes Tor in unterschiedlichen Widerständen en­ det, die Anpassungsausdrücke abhängig davon variieren, in welchen Widerstand die Leitung endet.
Dann erfordert das Normierungsverfahren die Bestimmung der folgenden Gleichungen. Die normierten Koeffizienten SijN werden wie folgt bestimmt:
SijN = Sijc/[1 - Sijc(GjL - Gas)] (Gleichung 2)
SijN ist der normierte Koeffizient;
SijC ist der teilweise fehlerkorrigierte Koeffizient;
GjL ist die Lastanpassung an dem Tor j;
GjS ist die Quellenanpassung an dem Tor j; und
i geht von 1 bis P und j geht von 1 bis P, wobei P die Zahl der Tore für die DUT ist.
Für die Abtast-DUT, die drei Tore aufweist, die unter Ver­ wendung des Abtast-VNA 110 gemessen werden, ist die Glei­ chung 2 ("Glg. 2") zum Bestimmen der normierten Streu­ koeffizienten, die die Tore 2 oder 3 als die Quellentore aufweisen, nämlich S12N, S22N, S32N, S13N, S23N und S33N, anwend­ bar. Für die normierten Streukoeffizienten, die das Tor 1 als das Quellentor aufweisen, werden die normierten Koeffi­ zienten Si1N wie folgt bestimmt:
Si1N = [Si1C + (Si3N S31C [G3L(S1) - G3L(S0)])]/ [1 - S11C (G1L - G1S)] (Glg. 3)
Si1N ist der normierte Koeffizient, der die Quelle an dem Tor 1 aufweist;
Si1C ist der teilweise fehlerkorrigierte Koeffizient, der die Quelle an dem Tor 1 aufweist;
G3L(S1) ist die Lastanpassung an dem Tor 3, wenn dasselbe in dem Schalter S1 endet;
G3L(S0) ist die Lastanpassung an dem Tor 3, wenn dasselbe in dem Schalter S0 endet; und
i geht von 1 bis P, wobei P die Zahl der Tore für die DUT ist.
Bei den normierten Streukoeffizienten, die das Tor 1 als ein Quellentor aufweisen, ist die Glg. 3 erforderlich, da Normierungen für beide Tore 1 und 3 erforderlich sind. Dies liegt daran, daß das Tor 3 in dem Schalter S0 oder dem Schalter S1 endet. Für den dargestellten Abtast-VNA von Fig. 2 ist die Tabelle 5A die Schaltmatrix, die alle Schal­ toptionen auflistet. Für die Reflexionsmessungen ist das Tor, das mit dem anderen Empfänger verbunden ist, in Klam­ mern in der Tabelle 5A angemerkt.
TABELLE 5A
Die Gleichung 3 oben ist für alle Vorrichtungen anwendbar. Bei reziproken Vorrichtungen ist es nicht erforderlich, daß alle Übertragungskoeffizienten gemessen werden. Daher sind nicht alle der gemessenen Koeffizienten für die Anwendung durch die Gleichungen Glg. 2 und Glg. 3 verfügbar. Dies liegt daran, daß lediglich eines der reziproken Paare Sij und Sji gemessen wird. Folglich werden abhängig davon, wel­ ches der reziproken Paare gemessen wird, und bei dem vor­ liegenden Beispiel ferner abhängig davon, welcher Schalter für die Messung verwendet wird, die Anpassungsausdrücke be­ rücksichtigt. Wiederholt man zwei Beispielfälle können die Tabellen 3A und 3B wie folgt kombiniert werden:
TABELLE 5B
Für den Fall 1 ist die Normierungsgleichung Glg. 3 mit der Ausnahme von S11 und S21 anwendbar. Diese sehen wie folgt aus:
S11N = [S11C (1 - S11C[G1L - G1S)] + [([S13N]2[G3l(S1) - G3L(S0)]/ (1 + S33N[G(S1) - G3L(S0)])] (Glg. 4)
und
S21N = [S21C/(1 - S11C[G1L - G1S])] + [(S32N S13N [G3L(S1) - G3L(S0)])] (1 + S33N[G3L(S1) - G3L(S0)])] (Glg. 5)
S11N ist der normierte Reflexionskoeffizient für das Tor 1;
S11C ist der teilweise fehlerkorrigierte Reflexionskoeffi­ zient für das Tor 1;
G1L ist die Lastanpassung an dem Tor 1;
G1S ist die Quellenanpassung an dem Tor 1;
S13N ist der normierte Übertragungskoeffizient von dem Tor 3 zu dem Tor 1;
S33N ist der normierte Reflexionskoeffizient für das Tor 3;
G3L(S1) ist die Lastanpassung an dem Tor 3, wenn dasselbe in dem Schalter S1 endet;
G3L(S0) ist die Lastanpassung an dem Tor 3, wenn dasselbe in dem Schalter S0 endet;
S21N ist der normierte Übertragungskoeffizient von dem Tor 1 zu dem Tor 2;
S21C ist der teilweise fehlerkorrigierte Übertragungs­ koeffizient von dem Tor 1 zu dem Tor 2; und
S32N ist der normierte Übertragungskoeffizient von dem Tor 2 zu dem Tor 3.
Unter Verwendung der Werte, die aus den Gleichungen Glg. 2, 3, 4 und 5 gewonnen werden, kann die folgende Matrix SN-1 von normierten Streukoeffizienten in dem Fall 1 gebildet werden:
Für den Fall 2 ist die Normierungsgleichung Glg. 3 mit Aus­ nahme von S11 und S21 anwendbar. Diese sehen wie folgt aus:
S11N = [S11C/(1 - S11C/S11C[G1L - G1S])] + [([S31C]2[G3L(S1) - G3L(S0)][1 + S33N(G3L(S1) - G3L(S0)])) / (1 - S11C[G1L - G1S])2] (Glg. 6)
und
S31N = [S31C (1 + S33N[G3L(S1) - G3L(S0)])]/ [1 - S11C(G1L - G1S)] (Glg. 7)
S11N ist der normierte Reflexionskoeffizient für das Tor 1;
S11C ist der teilweise fehlerkorrigierte Reflexionskoeffi­ zient für das Tor 1;
G1L ist die Lastanpassung an dem Tor 1;
G1S ist die Quellenanpassung an dem Tor 1;
S31C ist der teilweise fehlerkorrigierte Übertragungs­ koeffizient von dem Tor 1 zu dem Tor 3;
S31N ist der normierte Übertragungskoeffizient von dem Tor 1 zu dem Tor 3;
S33N ist der normierte Reflexionskoeffizient für das Tor 3;
G3L(S1) ist die Lastanpassung an dem Tor 3, wenn dasselbe in dem Schalter S1 endet;
G3L(S0) ist die Lastanpassung an dem Tor 3, wenn dasselbe in dem Schalter S0 endet;
S21N ist der normierte Übertragungskoeffizient von dem Tor 1 zu dem Tor 2;
S21C ist der teilweise fehlerkorrigierte Übertragungs­ koeffizient von dem Tor 1 zu dem Tor 2; und
S23N ist der normierte Übertragungskoeffizient von dem Tor 3 zu dem Tor 2.
Unter Verwendung der Werte, die aus den Gleichungen Glg. 2, 3, 6 und 7 gewonnen werden, kann die folgende Matrix SN-2 von normierten Streukoeffizienten bei dem Fall 2 gebildet werden:
Unter Verwendung der normierten Streukoeffizientenmatrix können die tatsächlichen Streukoeffizienten wie folgt be­ stimmt werden:
SA = SN(I + G SN)-1 (Glg. 8)
SA ist die Matrix der tatsächlichen Streukoeffizienten
SN ist entweder SN Fall 1 oder SN Fall 2, wie es oben für den Abtast-VNA von Fig. 2 beschrieben ist, oder allgemein eine Normierungsmatrix, die unter Verwendung der Glei­ chungen 2 und 3 gebildet wird;
I ist die Identitätsmatrix
G ist eine normierte Anpassungsmatrix
Gleichung Glg. 8 zeigt, daß selbst bei reziproken Vorrich­ tungen SijM nicht lediglich als SijM eingesetzt werden kann, um SijA und SjiA zu finden. Vielmehr wird jeder S-Parameter durch alle anderen S-Parameter beeinflußt. Der Normierungs­ schritt ermöglicht die Verwendung von SijM, um sowohl SijA als auch SjiA zu finden, um daher einen Vorteil aus der Re­ ziprozität der getesteten Vorrichtung zu ziehen.
Weiter bezugnehmend auf Fig. 2 kann der VNA 110 ferner ei­ nen Prozessor 118 umfassen, der mit den Empfängern 114, 115 und 116 zum Lesen der gemessenen gestreuten Werte verbunden ist. Der Prozessor ist vorzugsweise mit einem Speicher 120 verbunden. Der Speicher 120 ist vorzugsweise ein program­ mierbarer Nur-Lese-Speicher (PROM; PROM = Programmable Read Only Memory); der Speicher 120 kann jedoch eine beliebige geeignete maschinenlesbare Vorrichtung sein, die, ohne Be­ grenzung, einen Direktzugriffsspeicher (RAM; RAM = Random Access Memory), ein Magnetlaufwerk (eine Festlaufwerkvor­ richtung), ein optisches Laufwerk (CD-ROM) oder eine Kombi­ nation derselben umfassen kann. Dieser Speicher 120 kann mit Befehlen codiert sein, die, wenn dieselben durch den Prozessor 118 ausgeführt werden, bewirken, daß der Prozes­ sor 118 den S-Parameter SijM für ein Signal von einem ersten Tor zu einem zweiten Tor mißt und den tatsächlichen Koeffi­ zienten SijA von dem zweiten Tor zu dem ersten Tor bestimmt. Das erste Tor kann gleich dem zweiten Tor sein oder sich von demselben unterscheiden. Die Befehle implementieren vorzugsweise die Technik und die Verfahren, die hierin im vorhergehenden erörtert sind. Der Prozessor 120 kann ferner mit einer Ausgangsvorrichtung 122 verbunden sein, um die Streukoeffizienten anzuzeigen.
Aus dem vorhergehenden ist es offensichtlich, daß das DUT- Charakterisierungsverfahren und die DUT-Charakterisierungs­ vorrichtung der vorliegenden Erfindung die Hardwareerfor­ dernisse für einen VNA und die Charakterisierungszeit oder beides reduzieren. Obwohl spezifische Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung beschrieben und dargestellt sind, ist die Erfindung nicht auf diese spezifischen Formen oder Anordnungen von Teilen, die so beschrieben und darge­ stellt sind, begrenzt. Die DUT kann beispielsweise viele Tore aufweisen, oder der VNA kann eine beliebige Zahl von Empfängerschaltungen umfassen. Das Verfahren, das ohne Be­ grenzung die Gleichungen, wie hierin im vorhergehenden dar­ gestellt, umfaßt, kann außerdem für eine Anwendung für VNAs modifiziert sein, die eine variierende Zahl von Empfänger­ schaltungen aufweisen.

Claims (12)

1. Verfahren zum Charakterisieren einer zu testenden Vor­ richtung (DUT) unter Verwendung eines Vektornetzwerk­ analysators (110), mit folgenden Schritten:
Messen (102) eines Übertragungskoeffizienten SijM für eine Übertragung eines Signals von einem ersten Tor (Tor 1) zu einem zweiten Tor (Tor 2); und
Bestimmen (104, 106, 108) eines tatsächlichen Übertra­ gungskoeffizienten SjiA für eine Übertragung eines Si­ gnals von dem zweiten Tor (Tor 2) zu dem ersten Tor (Tor 1) unter Verwendung des gemessenen Übertragungs­ koeffizienten SijM, ohne den Übertragungskoeffizienten SjiM für eine Übertragung eines Signals von dem zweiten Tor (Tor 2) zu dem ersten Tor (Tor 1) messen zu müs­ sen.
2. Verfahren gemäß Anspruch 1, bei dem der tatsächliche Übertragungskoeffizient SjiA bestimmt wird durch
teilweise Fehlerkorrigieren (104) des gemessenen Über­ tragungskoeffizienten SijM, was zu einem teilweise feh­ lerkorrigierten Koeffizienten SijC führt;
Anwenden einer Toranpassungsnormierung (106) auf den teilweise fehlerkorrigierten Koeffizienten SijC; und
Bestimmen (108) des tatsächlichen Übertragungskoeffi­ zienten SjiA für eine Übertragung eines Signals von dem ersten Tor (Tor 1) zu dem zweiten Tor (Tor 2).
3. Verfahren gemäß Anspruch 2, bei dem der gemessene Übertragungskoeffizient SijM durch Subtrahieren eines charakterisierten Trennungsausdrucks und dann Teilen durch einen charakterisierten Frequenzantwortausdruck teilweise fehlerkorrigiert (104) wird.
4. Verfahren gemäß Anspruch 2 oder 3, bei dem der teil­ weise korrigierte Koeffizient durch Anwenden eines An­ passungsausdrucks (GN - GU) an jedem Tor, wobei GN eine gewünschte normierte (106) Anpassung ist und GU eine aktuelle Anpassung ist, normiert wird.
5. Verfahren gemäß Anspruch 2, 3 oder 4, bei dem die tat­ sächlichen Streukoeffizienten durch Anwenden der Glei­ chung
SA = SN(I + G SN)-1
bestimmt (108) werden, wobei
SA eine Matrix von tatsächlichen Streukoeffizienten ist;
SN eine Matrix von normierten Streukoeffizienten ist;
I die Identitätsmatrix ist; und
G eine normierte Anpassungsmatrix ist.
6. Vorrichtung (110) zum Charakterisieren einer zu te­ stenden Vorrichtung (DUT), mit folgenden Merkmalen:
einem Prozessor (118);
einem Speicher (120), der mit dem Prozessor (118) ver­ bunden ist, wobei der Speicher (120) Befehle für den Prozessor (118) aufweist, um
einen Übertragungskoeffizienten SjiM für eine Übertragung eines Signals von einem ersten Tor (Tor 1) zu einem zweiten Tor (Tor 2) zu messen;
und um
einen tatsächlichen Übertragungskoeffizienten SijA für eine Übertragung eines Signals von dem zwei­ ten Tor (Tor 2) zu dem ersten Tor (Tor 1) zu be­ stimmen (104, 106, 108).
7. Vorrichtung (110) gemäß Anspruch 6 mit ferner folgen­ den Merkmalen:
einer Signalquelle (112) zum Erzeugen eines Testsi­ gnals;
Toren (Tor 1, Tor 2, Tor 3), die mit der Signalquelle zum Übertragen und Empfangen des erzeugten Signals verbunden sind; und
Empfängern (114, 115, 116) zum Abtasten des empfange­ nen Signals.
8. Herstellungsgegenstand (110) mit folgenden Merkmalen:
einem maschinenlesbaren Speicher (120); und
Befehlen, die in dem Speicher codiert sind, wobei die Befehle bewirken, daß eine Maschine
einen Übertragungskoeffizienten SjiM für eine Übertra­ gung eines Signals von einem ersten Tor (Tor 1) zu ei­ nem zweiten Tor (Tor 2) mißt (102); und
einen tatsächlichen Übertragungskoeffizienten SijA für eine Übertragung eines Signals von dem zweiten Tor (Tor 2) zu dem ersten Tor (Tor 1) bestimmt (104, 106, 108).
9. Gegenstand (110) gemäß Anspruch 8, der ferner Befehle für die Maschine (110) aufweist, um den Übertragungs­ koeffizienten SjiA zu bestimmen, wobei die Befehle be­ wirken, daß die Maschine (110) den gemessenen Übertragungskoeffizienten SijM teilweise fehlerkorrigiert, was zu einem teilweise fehlerkorri­ gierten Koeffizienten SijC führt;
eine Toranpassungsnormierung (106) auf den teilweise fehlerkorrigierten Koeffizienten SijC anwendet; und
einen tatsächlichen Übertragungskoeffizienten SjiA für eine Übertragung eines Signals von dem ersten Tor (Tor 1) zu dem zweiten Tor (Tor 2) bestimmt (108).
10. Gegenstand (110) gemäß Anspruch 9, bei dem der gemes­ sene Übertragungskoeffizient SijM durch Subtrahieren eines charakterisierten Trennungsausdrucks und dann Teilen durch einen charakterisierten Frequenzant­ wortausdruck teilweise fehlerkorrigiert (104) wird.
11. Gegenstand (110) gemäß Anspruch 9 oder 10, bei dem der teilweise korrigierte Koeffizient durch Anwenden eines Anpassungsausdrucks (GN - GU) an jedem Tor, wobei GN eine gewünschte normierte Anpassung ist und GU eine aktuelle Anpassung ist, normiert (106) wird.
12. Gegenstand (110) gemäß Anspruch 9, 10 oder 11, bei dem die tatsächlichen Streukoeffizienten durch Anwenden der Gleichung
SA = SN (I + G SN)-1
bestimmt (108) werden, wobei
SA eine Matrix von tatsächlichen Streukoeffizienten ist;
SN eine Matrix von normierten Streukoeffizienten ist;
I die Identitätsmatrix ist; und
G eine normierte Anpassungsmatrix ist.
DE10115732A 2000-08-14 2001-03-30 Verfahren und Vorrichtung zur effizienten Messung von reziproken Mehrtorvorrichtungen bei der Vektornetzanalyse Expired - Fee Related DE10115732C2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US09/638,278 US6396285B1 (en) 2000-08-14 2000-08-14 Method and apparatus for efficient measurement of reciprocal multiport devices in vector network analysis

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE10115732A1 true DE10115732A1 (de) 2002-03-07
DE10115732C2 DE10115732C2 (de) 2003-04-30

Family

ID=24559366

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10115732A Expired - Fee Related DE10115732C2 (de) 2000-08-14 2001-03-30 Verfahren und Vorrichtung zur effizienten Messung von reziproken Mehrtorvorrichtungen bei der Vektornetzanalyse

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6396285B1 (de)
JP (1) JP2002122621A (de)
DE (1) DE10115732C2 (de)
GB (1) GB2369895B (de)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6647357B1 (en) * 2000-02-07 2003-11-11 Avaya Technology Corp. Method for correcting reciprocity error in two port network measurements
US6920407B2 (en) * 2000-09-18 2005-07-19 Agilent Technologies, Inc. Method and apparatus for calibrating a multiport test system for measurement of a DUT
US6838885B2 (en) * 2003-03-05 2005-01-04 Murata Manufacturing Co., Ltd. Method of correcting measurement error and electronic component characteristic measurement apparatus
US7061222B2 (en) * 2003-10-22 2006-06-13 Agilent Technologies, Inc. Automated testing of frequency converter device
KR100618826B1 (ko) * 2004-05-13 2006-09-08 삼성전자주식회사 S11 파라미터 측정을 위한 반도체 메모리 장치, 반도체메모리 장치의 s11 파라미터 측정을 위한 테스트 보드,및 반도체 메모리 장치의 s11 파라미터 측정 방법
US7002335B2 (en) * 2004-05-24 2006-02-21 Agilent Technologies, Inc. Method for measuring a three-port device using a two-port vector network analyzer
US7148702B2 (en) * 2005-03-30 2006-12-12 Agilent Technologies, Inc. VNA and method for addressing transmission line effects in VNA measurement data
US7777497B2 (en) * 2008-01-17 2010-08-17 Com Dev International Ltd. Method and system for tracking scattering parameter test system calibration
US20130080105A1 (en) * 2011-09-23 2013-03-28 Tektronix, Inc Enhanced awg wavef0rm calibration using s-parameters
US9606212B1 (en) * 2013-03-15 2017-03-28 Anritsu Company Systems and methods for time/frequency indexed pulse calibrations for vector network analyzers
WO2017002077A1 (en) * 2015-07-01 2017-01-05 King Abdullah University Of Science And Technology Control of distributed heat transfer mechanisms in membrane distillation plants
EP3349884A1 (de) * 2015-09-15 2018-07-25 King Abdullah University Of Science And Technology Erfassung von systemparametern in einer membrandestillation mit einem softsensor
CN105891761A (zh) * 2016-06-21 2016-08-24 国网福建省电力有限公司 基于散射参量的局放特高频检测系统现场校核方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3814852A1 (de) * 1988-04-29 1989-11-09 Rohde & Schwarz Verfahren und anordnung zur netzwerkanalyse
US5467021A (en) * 1993-05-24 1995-11-14 Atn Microwave, Inc. Calibration method and apparatus
JP2866011B2 (ja) * 1994-08-24 1999-03-08 日本ヒューレット・パッカード株式会社 回路網測定装置の校正方法
US5748000A (en) 1996-08-01 1998-05-05 Hewlett-Packard Company Error correction method for transmission measurements in vector network analyzers
US6060888A (en) * 1998-04-24 2000-05-09 Hewlett-Packard Company Error correction method for reflection measurements of reciprocal devices in vector network analyzers

Also Published As

Publication number Publication date
GB0117765D0 (en) 2001-09-12
JP2002122621A (ja) 2002-04-26
US6396285B1 (en) 2002-05-28
DE10115732C2 (de) 2003-04-30
GB2369895B (en) 2004-03-31
GB2369895A (en) 2002-06-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19903573C2 (de) Verfahren zum Korrigieren von Reflexionsmessungen eines zu testenden reziproken Elements bei einem Vektornetzwerkanalysator
DE10004628B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Analyse von Mehrkanalbauteilen sowie zugehöriges Kalibrierungsverfahren
DE102013014175B4 (de) Verfahren zur Kalibrierung eines Messaufbaus
DE10115732C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur effizienten Messung von reziproken Mehrtorvorrichtungen bei der Vektornetzanalyse
DE102004020037B4 (de) Kalibrierverfahren zur Durchführung von Mehrtormessungen auf Halbleiterscheiben
EP0706055B1 (de) Verfahren zum Kalibrieren eines Netzwerk-Analysators nach dem 7-Term-Prinzip
DE4332273C2 (de) Verfahren zum Kalibrieren eines Netzwerkanalysators
EP1960797B1 (de) Verfahren zur messung der rauschzahl eines messobjekts mit einem netzwerkanalysator
DE102014101705A1 (de) Einstellbare Richtkopplerschaltung
DE19902344A1 (de) Beseitigung von Effekten von Adaptern, die während einer Vektornetzwerkanalysator-Kalibrierung vorliegen
DE102006013458A1 (de) Leistungskalibrierung für Mehrtor-Vektornetzanalysatoren (VNA)
EP0793110A2 (de) Verfahren zum Messen von elektronischen Messobjekten mittels eines Netzwerkanalysators
DE102007028725A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Kalibrierung von Netzwerkanalysatoren mit einem Kammgenerator
DE10311046A1 (de) Verfahren, Apparatur und Herstellungsartikel zum Charakterisieren einer Vorrichtung und zum Vorhersagen eines elektrischen Verhaltens der Vorrichtung in einer Schaltung
DE69723547T2 (de) Verfahren und system zur bewertung eines messverfahrens und messungsinduzierter unsicherheiten in einem serienfertigungsprozess für einzelartikel
DE19857834A1 (de) Netzwerkanalysatormeßverfahren unter Verwendung einer adaptiven Signalverarbeitung
DE102008009338A1 (de) Verfahren zur Messfehlerermittlung bei Streuparametermessungen
DE102007027142A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Kalibrierung eines Netzwerkanalysators für Messungen an differentiellen Anschlüssen
DE19957327B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Analyse von Mehrkanal-Bauteilen
DE102008012469A1 (de) Rauschzahlmessung bei einem Vektornetzanalysator
DE3912795C2 (de)
DE10106254B4 (de) Verfahren zur Fehlerkorrektur durch De-embedding von Streuparametern, Netzwerkanalysator und Schaltmodul
DE102014001585A1 (de) Zeitbereichsmessverfahren mit Kalibrierung im Frequenzbereich
DE102005058482B4 (de) Mehrtorkalibrierungsvereinfachung unter Verwendung des "Unbekannter-Durchgang"-Verfahrens
DE112005001211B4 (de) Messfehlerkorrekturverfahren und zwei Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtungen

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8304 Grant after examination procedure
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: AGILENT TECHNOLOGIES, INC. (N.D.GES.D. STAATES, US

8339 Ceased/non-payment of the annual fee