DE10115578A1

DE10115578A1 - Verfahren und Anordnung zum Ausgleichen von Abbildungsfehlern

Info

Publication number: DE10115578A1
Application number: DE10115578A
Authority: DE
Inventors: Johann Engelhardt
Original assignee: Leica Microsystems Heidelberg GmbH; Leica Microsystems CMS GmbH
Current assignee: Leica Microsystems CMS GmbH
Priority date: 2001-03-29
Filing date: 2001-03-29
Publication date: 2002-10-10
Also published as: US20020162955A1; US6608295B2

Abstract

Ein Scanmikroskop besitzt mindestens eine Beleuchtungsquelle (1) zum Aussenden eines Lichtstrahls (3), die über eine Mikroskopoptik (13) einem Objekt (15) zugeführt wird und dieses abtastet. Zur Korrektur des Abbildungsfehlers der Mikroskopoptik (13) wird dieser Fehler ermittelt und daraus ein Korrekturwert bestimmt. Dieser Korrekturwert wird zur Beeinflussung von Steuersignalen verwendet, die das Auftreffen des Lichtstrahls (3) auf dem Objekt (15) steuern.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Ausgleich von Abbildungsfehlern gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 sowie ein Scanmikroskop mit einer Einrichtung zum Ausgleichen von Abbildungsfehlern gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 10.

In der Scanmikroskopie wird ein Objekt mit einem Lichtstrahl beleuchtet, um das von dem Objekt daraufhin emittierte Reflexions- oder Fluoreszenzlicht zu beobachten, wobei zur Beleuchtung üblicherweise Laserstrahlen eingesetzt werden. Dabei wird ein Objekt mittels eines fein fokussierten Lichtstrahls abgetastet. Der Fokus des Beleuchtungslichtstrahles wird mit Hilfe einer steuerbaren Strahlablenkeinrichtung, die im Allgemeinen zwei verkippbare Spiegel aufweist, in einer Objektebene bewegt. Dabei stehen die Ablenkachsen meist senkrecht aufeinander, so dass ein Spiegel den einfallenden Strahl in x-, und der andere den Strahl y-Richtung ablenkt. Die Verkippung der Spiegel wird beispielsweise mit Hilfe von Galvanometer- Stellelementen erreicht.

Speziell in der konfokalen Scanmikroskopie wird ein Objekt mit dem Fokus eines Lichtstrahles in drei Dimensionen abgetastet. Ein konfokales Scanmikroskop umfasst im Allgemeinen eine Lichtquelle, eine Fokussieroptik, mit der das Licht der Quelle auf eine Lochblende - die sogenannte Anregungsblende - fokussiert wird, einen Strahlteiler, eine Strahlablenkeinrichtung zur Strahlsteuerung, eine Mikroskopoptik, eine Detektionsblende und die Detektoren zum Nachweis des Detektions- bzw. Fluoreszenzlichtes. Das Beleuchtungslicht wird über einen Strahlteiler eingekoppelt. Das von dem Objekt kommende Fluoreszenz- oder Reflexionslicht gelangt über die Strahlablenkeinrichtung zurück zum Strahlteiler, passiert diesen, um anschließend auf die Detektionsblende fokussiert zu werden, hinter der sich die Detektoren, meist Photomultiplier, befinden. Detektionslicht, das nicht direkt aus der Fokusregion stammt, nimmt einen anderen Lichtweg und passiert die Detektionsblende nicht, sodass man eine Punktinformation erhält, die durch sequentielles Abtasten des Objekts zu einem dreidimensionalen Bild führt.

Meist wird ein dreidimensionales Bild durch schichtweise Bilddatennahme erzielt. Dabei erfolgt die Abtastung des Objekts in axialer Richtung (z- Richtung) meist durch das sogenannte Objektscanning, bei dem das Objekt mit Hilfe des Objekttisches in z-Richtung bewegt wird. Allerdings kann dies auch dadurch erreicht werden, dass das Objektiv in axialer Richtung verschoben wird, was mit einer Verschiebung des Fokus des Beleuchtungsstrahls einher geht.

Das bei Beleuchtung von dem Objekt ausgesendete Reflexions- oder Fluoreszenzlicht gelangt über einen Strahlteiler auf einen Detektor, der ein Eintrittspinhole aufweist. Die Leistung des vom Objekt kommenden Lichtes wird in Abhängigkeit von der Position des Abtaststrahles bevorzugt in festen Zeitabständen gemessen. Damit lässt sich das Objekt Rasterpunkt für Rasterpunkt in drei Dimensionen abtasten und zu jedem Abtastpunkt ein Messwert ermitteln, der repräsentativ für diesen Objektpunkt ist.

Mit den bei Scanmikroskopen üblicherweise als Beleuchtungsquellen eingesetzten Lasern kann das Objekt zur Erzielung des gewünschten Ergebnisses optimal beleuchtet werden. Allerdings haften der Abbildung des Objekts durch die beteiligten optischen Komponenten des Mikroskops immer Bildfehler an, die beispielsweise durch Aberration verursacht sein können. Diese Abbildungsfehler lassen sich in geometrische und in chromatische Abbildungsfehler klassifizieren. In der monochromatischen Mikroskopie, in der das Objekt mit dem Licht einer einzigen Wellenlänge beleuchtet wird, um das vom Objekt reflektierte Licht zu beobachten, sind nur die geometrischen Abbildungsfehler zu berücksichtigen. In der Fluoreszenzmikroskopie oder bei Verwendung einer polychromatischen Beleuchtungsquelle muss zusätzlich den chromatischen Abbildungsfehlern Rechnung getragen werden. Die Bildfehler lassen sich teilweise durch die Verwendung hochwertiger, korrigierter optischer Elemente vermeiden. Derartige hochwertige Elemente, insbesondere aufwendig korrigierte Mikroskopobjektive sind allerdings sehr teuer. Außerdem beinhalten solche korrigierte optische Elemente meist mehr optische Teilelemente als nur in geringem Maße oder gar unkorrigierte optische Elemente; so beinhalten apochromatische Mikroskopobjektive üblicherweise 10 bis 15 unterschiedliche Linsen. Durch die Vielzahl der optischen Teilelemente leidet zwangsläufig die Transmissivität des optischen Systems, d. h. also der Optik gegenüber nicht oder nur in geringem Maße korrigierten Elementen.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein einfaches und kostengünstiges Verfahren sowie eine entsprechende Vorrichtung zum Ausgleich von Abbildungsfehlern vorzuschlagen.

Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren zum Ausgleichen von Bildfehlern mit den Merkmalen gemäß Anspruch 1 gelöst. Im Hinblick auf die Vorrichtung wird die Aufgabe durch eine Einrichtung zum Ausgleichen von Bildfehlern mit den Merkmalen gemäß Anspruch 10 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den nachgeordneten Ansprüchen.

Erfindungsgemäß ist erkannt worden, dass Abbildungsfehler durch geeignete Beeinflussung der Steuerung des Auftreffens der Abtaststrahlung auf dem Objekt ausgeglichen werden. Insbesondere kann dabei eine Strahlablenkungseinrichtung, die zur Beeinflussung des Auftreffpunktes der Abtaststrahlung vorgesehen ist entsprechend den ermittelten Korrekturwerten beeinflusst werden. Im Falle des Objektscannings kann allerdings auch die Steuerung der Position des Objekttisches, auf dem das zu untersuchende Objekt aufgebracht ist, so beeinflusst werden. Alternativ oder zusätzlich hierzu kann auch die Abtastgeschwindigkeit entsprechend den Korrekturwerten beeinflusst werden. Damit können die an sich in optischen Systemen bzw. Optiken immer vorhandenen Abbildungsfehler schon bei der Bildaufnahme ausgeglichen werden. Der ermittelte Korrekturwert kann dabei so eingesetzt werden, dass die Abtastgeschwindigkeit und/oder die Abtastbahn so beeinflusst werden, dass die Abbildungsfehler der Optiken ausgeglichen werden.

Zur Bestimmung des Abbildungsfehlers wird vorzugsweise die eingesetzte Optik zunächst vermessen. Hierzu bietet es sich an, in einer Referenzmessung ein hinreichend genau bekanntes Objekt abzutasten. In einem weiteren Verfahrensschritt wird das Abbild des Objektes vermessen und auf Bildfehler untersucht. Ein spezieller Algorithmus der z. B. in Form eines Bildverarbeitungsprogramms realisierbar ist, kann dann für jeden Rasterpunkt einen Korrekturwert ermitteln. Beispielsweise kann hierzu ein Vergleich von Referenzbilddaten mit den tatsächlich ermittelten Bilddaten erfolgen und so für jeden Rasterpunkt ein Korrekturwert bestimmt werden. Dieser so ermittelte Korrekturwert wird in einem weiteren Schritt in ein Steuerkorrektursignal umgesetzt und dann beim Abrastern eines Objekts berücksichtigt.

Der Korrekturwert kann, wie beschrieben, sowohl in einem Schritt, als auch iterativ ermittelt werden. Eine iterative Vorgehensweise kann auch darauf beruhen, mit zufällig ermittelten Korrekturwerten zu beginnen, um in weiteren Iterationsschritten nach und nach eine Optimierung herbei zu führen. Hierfür wird vorzugsweise ein genetischer Algorithmus verwendet.

Ein erfindungsgemäßes Scanmikroskop, das einen Abtaststrahl aufweist, der über eine Optik auf ein Objekt gerichtet wird, um dieses abzutasten, weist Mittel zur Ermittlung der Abbildungsfehler der eingesetzten Optik, Mittel zur Bestimmung von Korrekturwerten für mindestens einen Rasterpunkt und Mittel zur Beeinflussung des Auftreffens des Abtaststrahles auf dem Objekt auf.

Zur Ermittlung des Abbildungsfehlers der Optik wird dabei vorzugsweise ein Computer mit einer Bildverarbeitungssoftware eingesetzt. Vorteilhafter Weise werden die Korrekturwerte, die entsprechend dem angegebenen Verfahren ermittelt wurden, für alle zum Einsatz kommenden Objektive, insbesondere für die in einem Objektivrevolver vorgehaltenen Objektive, in einem Speicher abgelegt. Die Korrekturwerte werden der Steuereinheit übergeben, in der sie in Steuersignale, die die Strahlablenkeinrichtung antreiben, umgesetzt werden. In einer konkreten Ausführungsform kann z. B. der die Galvanometer antreibende Strom von den Korrekturwerten entsprechend gesteuert werden.

Allerdings können die Korrekturwerte auch an eine Steuereinheit übergeben werden, in der sie in Steuersignale für die Objekttischsteuerung umgesetzt und zur Steuerung der Bewegung des Objekttisches und damit indirekt zur Steuerung der Position des Fokus in dem Objekt eingesetzt werden. Dabei wird beispielsweise zum Ausgleich der Bildfeldwölbung der Fokus des beleuchtenden Lichtstrahles während der Bildaufnahme in axialer Richtung relativ zum Objekt verschoben. Hierzu kann sowohl ein angetriebener Objekttisch, als auch ein motorisch verschiebbares Objektiv dienen, wobei der antreibende Motor, der z. B. ein Elektromotor, ein Schrittmotor oder ein Ultraschallmotor sein kann, mit den entsprechenden Steuerkorrektursignalen angesprochen wird.

Bei sequentieller Beleuchtung mit Licht unterschiedlicher Wellenlänge kann durch geeignete Ansteuerung der Axialverschiebevorrichtung des Fokus ein Farblängsfehler der Scanmikroskopoptik ausgeglichen werden. Analog wird durch geeignete erfindungsgemäße Steuerung der Strahlablenkeinrichtung ein Ausgleich eines Farbvergrößerungsfehlers ermöglicht.

Da mit Hilfe des erfindungsgemäßen Verfahrens in der Hauptsache geometrische Abbildungsfehler korrigiert werden können, umfasst das erfindungsgemäße Scanmikroskop vorzugsweise optische Elemente, die weitgehend auf die bekannte Weise chromatisch korrigiert wurden, wobei der Ausgleich erfindungsgemäß im Wesentlichen ohne Nachteil auf die Kosten der optischen Abbildungseinrichtung vorgenommen werden kann.

Weitere Vorteile und vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung ergeben sich aus den nachfolgenden Figuren sowie deren Beschreibung, wobei bei der Darstellung der Figuren zu Gunsten der Übersichtlichkeit auf eine maßstabsgetreue Wiedergabe verzichtet wurde.

Es zeigen im Einzelnen:

Fig. 1. den prinzipiellen Aufbau eines erfindungsgemäßen Scanmikroskops,

Fig. 2 eine schematische Darstellung einer idealen Abtastbahn,

Fig. 3 eine schematische Darstellung einer korrigierten Abtastbahn.

Fig. 1 zeigt schematisch ein erfindungsgemäßes konfokales Scanmikroskop. Ein von einem Beleuchtungssystem 1 kommender Lichtstrahl 3 wird von einem Strahlteiler 5 zur Strahlablenkeinrichtung 7 reflektiert, die von der Steuer- und Verarbeitungseinheit 23 über eine Leitung 29 gesteuert wird und die einen kardanisch aufgehängten Scanspiegel 9 beinhaltet, der den Strahl durch eine Mikroskopoptik 13 hindurch über bzw. in das Innere des Objektes 15 führt. Der Lichtstrahl 3 wird bei nicht transparenten Objekten 15 über die Objektoberfläche geführt. Bei biologischen Objekten 15 (Präparaten) oder transparenten Objekten kann der Lichtstrahl 3 auch durch die Oberfläche des Objektes 15 hindurch geführt werden. Damit ist es möglich, dass verschiedene Fokusebenen des Objekts nacheinander durch den Lichtstrahl 3 abgetastet werden. Die nachträgliche Zusammensetzung des vom Objekt für jeden Rasterpunkt abgesandten Reflexions- oder Fluoreszenzlichts ergibt dann ein dreidimensionales Bild des Objekts. Der vom Beleuchtungssystem 1 kommende Lichtstrahl 3 ist als durchgezogene Linie dargestellt. Das vom Objekt 15 ausgehende Reflexions- oder Fluoreszenzlicht 17 gelangt durch die Mikroskopoptik 13 und über die Strahlablenkeinrichtung 7 zum Strahlteiler 5, passiert diesen und trifft auf den Detektor 19, der als Photomultiplier ausgeführt ist. Das vom Objekt 15 ausgehende Licht 17 ist in der Abbildung als gestrichelte Linie dargestellt.

Im Detektor 19 werden elektrische, zur Leistung des vom Objekt ausgehenden Lichtes 17 proportionale Detektionssignale 21 erzeugt und an die Steuer- und Verarbeitungseinheit 23 weitergegeben. Die in der Strahlablenkeinrichtung 7 mit Hilfe eines induktiv oder kapazitiv arbeitenden Positionssensors 11 erfassten Positionssignale 25 werden ebenfalls an die Steuer- und Verarbeitungseinheit 23 übergeben. Die eingehenden Analogsignale werden in der Steuer- und Verarbeitungseinheit 23 zunächst digitalisiert. Die Positions- und Detektionssignale werden in der Steuer- und Verarbeitungseinheit 23 einander zugeordnet an den PC 33 (Computer) weitergegeben und zu einem Abbild 35 zusammengesetzt, das auf dem Display 27 angezeigt wird. Der PC 33 liest die nötigen Korrekturwerte aus einem Speicher (nicht gezeigt) und gibt die entsprechenden Daten über die Leitung 37 an die Steuer- und Verarbeitungseinheit 23 weiter. In der Steuer- und Verarbeitungseinheit 23 werden die Korrekturdaten in Steuerkorrektursignale umgesetzt, die bei der Erzeugung der Steuersignale für die Strahlablenkeinrichtung 7 und den Objekttisch 31 berücksichtigt werden. Alternativ kann die Umsetzung der Korrekturwerte auch bereits vor deren Weitergabe an die Steuer- und Verarbeitungseinheit 23, z. B. bereits im PC 33 erfolgen. In diesem Falle werden dann vom PC 33 an die Steuer- und Verarbeitungseinheit 23 bereits die Steuerkorrektursignale übermittelt. Die korrigierten Steuersignale werden dann von der Steuer- und Verarbeitungseinheit 23 über die Leitungen 29 und 29a an die zu steuernden Komponenten übermittelt.

Das bei einem konfokalen Scanmikroskop üblicherweise vorgesehene Beleuchtungspinhole 39 und das Detektionspinhole 41 sind der Vollständigkeit halber schematisch eingezeichnet. Weggelassen sind wegen der besseren Anschaulichkeit hingegen einige optische Elemente zur Führung und Formung der Lichtstrahlen. Diese sind einem auf diesem Gebiet tätigen Fachmann hinlänglich bekannt.

Zur Bestimmung der Korrekturwerte, die in einem Speicher, beispielsweise in einem Speicherbereich des PC 33 (Computers) hinterlegt werden, wird mit dem Scanmikroskop eine Probe 15 vermessen, deren Reflexions- bzw. Fluoreszenzverhalten für jeden Rasterpunkt bekannt ist. Dieses bekannte Reflexions- bzw. Fluoreszenzverhalten kann für jeden Rasterpunkt in einem weiteren Speicherbereich des PC 33 hinterlegt werden. Wie oben beschrieben wird eine Referenzprobe vermessen, wobei der Lichtstrahl 3 über die Strahlablenkeinrichtung 7 mit Hilfe der Steuer- und Verarbeitungseinheit 23 über die Probe geführt wird. Aus dem Reflexions- bzw. Fluoreszenzlicht wird ein Bild der Probe gewonnen, welches mit dem in dem PC 33 gespeicherten Referenzbild verglichen wird. Sofern sich aus diesem Vergleich, der z. B. mit Hilfe eines Bildverarbeitungssystems durchgeführt wird, eine Abweichung ergibt, kann daraus ein Korrekturwert für jeden Rasterpunkt errechnet werden, der ebenfalls in einem weiteren Speicherbereich des PC 33 für die eingesetzte Mikroskopoptik 13 abgelegt werden kann. Sofern in dem Mikroskop weitere Optiken eingesetzt werden, können auch diese in analoger Weise vermessen werden. Dies ist insbesondere dann der Fall, wenn das Mikroskop den Einsatz eines sogenannten Objektivrevolvers erlaubt, bei dem unterschiedliche Objektive auf einem um eine zentrale Achse drehbaren Halter eingesetzt werden können. Diese können durch Drehen des Objektivhalters jeweils in den Strahlengang eingebracht werden. Für jedes der eingesetzten Objektive lässt sich so ein Korrekturwert für jeden Rasterpunkt bestimmen, der in einem Speicher des PC 33 abgelegt werden kann. Da es bei Scanmikroskopen möglich ist, automatisch zu erkennen, welches Objektiv in dem Revolver eingesetzt ist, kann über diese Erkennung auch die richtige Auswahl der zum ausgewählten Objektiv korrespondierenden Korrekturdaten gesteuert werden.

Bei der Ermittlung der Korrekturdaten wird der Lichtstrahl 3, wie Fig. 2 zeigt, über ein Scanfeld 43 geführt. Das Scanfeld 43 bestimmt dabei den Flächenbereich, der von dem Lichtstrahl 3 entlang der mäanderförmigen idealen Abtastlinie 45 überstrichen wird. Die Abtastlinie entspricht dabei einer sogenannten idealen Abtastbahn, die zur Bestimmung der Korrekturwerte eingesetzt werden kann und im Wesentlichen der Abtastlinie für optische Systeme ohne Abbildungsfehler entspricht. Wegen der Trägheit der Galvospiegel ist es möglich, dass diese ideale Abtastlinie 45 keinem Mäander sondern, insbesondere bei hohen Abtastgeschwindigkeiten, eher einer Sinuskurve entspricht. Für die erfindungsgemäß vorzunehmende Korrektur ist dies allerdings von untergeordneter Bedeutung, da auch bei einem sinusförmigen idealen Abtastvorgang die Korrektur entsprechend den ermittelten Korrekturwerten vorgenommen werden kann.

Nach dem Vermessen der eingesetzten Mikroskopoptik 13 bzw. der eingesetzten Optiken sind die für jede Mikroskopoptik 13 zu verwendenden Korrekturwerte in Speicherbereichen hinterlegt und können je nach ausgewählter Mikroskopoptik 13 zur Korrektur der idealen Abtastbahn 45 verwendet werden, um die optischen Fehler der Mikroskopoptik 13 auszugleichen. Wird als ideale Abtastbahn eine mäanderförmige Abtastbahn gewählt, so ist für den Fall eines optischen Fehlers der Mikroskopoptik 13, der in einer Kissenverzeichnung resultiert, eine korrigierte Abtastbahn 47 in Fig. 3 wiedergegeben. Diese korrigierte Abtastbahn 47 wird dadurch erreicht, dass die für die Mikroskopoptik 13 gespeicherten Korrekturwerte der Steuer- und Verarbeitungseinheit 23 beispielsweise über die Leitung 37 zugeführt werden und dort in ein Steuerkorrektursignal umgesetzt werden. Das eigentliche Steuersignal wird in der Steuer- und Verarbeitungseinheit 23 mit dem Steuerkorrektursignal beaufschlagt, so dass ein korrigiertes Steuersignal erzeugt wird. Dieses korrigierte Steuersignal kann nun dazu verwendet werden, die Strahlablenkeinrichtung 7 bzw. die kardanisch aufgehängten Scanspiegel 9 so zu steuern, dass der Lichtstrahl 3 in der korrigierten Abtastbahn 47 das Scanfeld 43 überstreicht und so den optischen Fehler der Mikroskopoptik 13 bereits beim Scannen der Probe 15 korrigiert.

Selbstverständlich kann das korrigierte Signal auch dazu verwendet werden, den motorisch verstellbaren Objekttisch 31 über die Leitung 29a so zu verstellen, dass die ermittelten Korrekturwerte bereits beim Abtasten des Objektes 15 Berücksichtigung finden können. Daneben ist es auch möglich, die ermittelten Korrekturwerte dazu zu verwenden, die Abtastgeschwindigkeit, die ebenfalls durch die Steuer- und Verarbeitungseinheit 23 vorgegeben wird, zu beeinflussen, um vorhandene Fehler der Mikroskopoptik 13 auszugleichen.

Die Erfindung wurde in bezug auf eine besondere Ausführungsform beschreiben. Es ist jedoch selbstverständlich, dass Änderungen und Abwandlungen durchgeführt werden können, ohne dabei den Schutzbereich der nachstehenden Ansprüche zu verlassen.

Bezugszeichenliste

1

Beleuchtungssystem

3

Lichtstrahl

5

Strahlteiler

7

Strahlablenkeinrichtung

9

Scanspiegel

11

Positionssensor

13

Mikroskopoptik

15

Objekt

17

vom Objekt

15

ausgehendes Licht

19

Detektor, Photomultiplier

21

Detektionssignale

23

Steuer- und Verarbeitungseinheit

25

Positionssignale

27

Display

29

Leitung

29

a Leitung

31

Motorisierter Objekttisch

33

PC

35

Abbild des Objekts

15

37

Leitung

39

Beleuchtungspinhole

41

Detektionspinhole

43

Scanfeld

45

Ideale Abtastlinie

47

korrigierte Abtastlinie

Claims

1. Verfahren zum Ausgleichen von Abbildungsfehlern in der Scanmikroskopie, insbesondere der konfokalen Scanmikroskopie bei der ein Objekt (15) in Rasterpunkten mit einem Lichtstrahl (3) abgetastet wird, wobei der Lichtstrahl (3) durch eine Mikroskopoptik (13) geführt wird, dadurch gekennzeichnet, dass
ein Abbildungsfehler der Mikroskopoptik (13) bestimmt wird
aus dem Abbildungsfehler ein Korrekturwert für mindestens einen Rasterpunkt ermittelt wird
der Korrekturwert zur Beeinflussung von Steuersignalen zum Steuern des Auftreffens des Lichtstrahls (3) auf dem Objekt (15) verwendet wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, dass der Korrekturwert in ein Steuerkorrektursignal zum Korrigieren der Steuersignale umgesetzt wird.

3. Verfahren nach Anspruch 2 dadurch gekennzeichnet, dass das Steuersignal mit dem Steuerkorrektursignal beaufschlagt wird.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3 dadurch gekennzeichnet, dass eine Strahlablenkeinrichtung (9) zur Steuerung der Ablenkung des Lichtstrahles (3) und/oder eine Tischsteuerung zur Steuerung der Position des Objekttisches (31) mit den Korrekturwerten beeinflusst wird.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4 dadurch gekennzeichnet, dass der Korrekturwert zur Beeinflussung der Abtastgeschwindigkeit und/oder der Abtastbahn (45) verwendet wird.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5 dadurch gekennzeichnet, dass der Abbildungsfehler der Mikroskopoptik (13) mit einer Referenzmessung bestimmt wird.

7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6 dadurch gekennzeichnet, dass der Korrekturwert für alle Rasterpunkte jeweils in einem Schritt ermittelt wird.

8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6 dadurch gekennzeichnet, dass der Korrekturwert für alle Rasterpunkte jeweils iterativ ermittelt wird.

9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8 dadurch gekennzeichnet, dass die Korrektursignale zur Steuerung der Stromstärke eines ein Galvanometer antreibenden Stromes verwendet werden und/oder zur Steuerung eines den Fokus des Abtaststrahles beeinflussenden Motors verwendet werden.

10. Scanmikroskop, insbesondere Raster-Scanmikroskop mit einem Lichtstrahl (3) zum Abtasten eines Objektes (15) und mit einer Mikroskopoptik (13) und einer Einrichtung (23) zum Ausgleichen eines Abbildungsfehlers der Mikroskopoptik (13) dadurch gekennzeichnet, dass Mittel zum Bestimmen des Abbildungsfehlers der Mikroskopoptik (13) und Mittel zum Bestimmen von Korrekturwerten für mindestens einen Rasterpunkt des Objektes (15) und Mittel zum Beeinflussen des Auftreffens des Lichtstrahles (3) auf dem Objekt (15) entsprechend den ermittelten Korrekturwerten vorgesehen sind.

11. Scanmikroskop nach Anspruch 10 dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel zum Bestimmen des Abbildungsfehlers der Mikroskopoptik (13) einen Computer mit einem Bildverarbeitungssystem, insbesondere einer Bildverarbeitungssoftware, umfassen.

12. Scanmikroskop nach Anspruch 10 oder 11 dadurch gekennzeichnet, dass ein Speicher zum Abspeichern der Korrekturwerte aller im Mikroskop eingesetzten Mikroskopoptiken (13) vorgesehen ist.