DE10114947A1 - Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen eines mindestens eine gasförmige Komponente enthaltenden Gasgemisches, insbesondere eines Kalibriergases - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Herstellen eines mindestens eine gasförmige Komponente enthaltenden Gasgemisches, insbesondere eines Kalibriergases, wobei ein Matrixgasstrom mit einer vorbestimmten Durchflußmenge kontinuierlich gefördert und in den Matrixgasstrom wenigstens eine Kalibrierkomponente in vorbestimmter Menge pro Volumeneinheit Matrixgas eingeführt wird, wobei die wenigstens eine Kalibrierkomponente in Form von im wesentlichen gleich großen Mikrotröpfchen eingeführt und in dem Matrixgas zur Bildung des kalibrierenden Gasgemisches verdampft wird, wobei die Mikrotröpfchen von Düsen (4) abgegeben werden, die jeweils über ein durch entsprechend der vorgesehenen Abgabemenge erzeugten Dosierimpulse getriggertes Piezoelement (16) kontraktiv beaufschlagt werden.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Herstellen eines mindestens eine gasförmige Komponente enthaltenden Gasgemisches, insbesondere eines Kalibriergases, nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 bzw. 8.

Der Einsatz von Gasen mit definierten Konzentrationen an Beimischungen ist sowohl in diversen technischen Einrichtungen als auch als Kalibrierstandards für Analyseverfahren erforderlich.

Bei allen analytischen Einrichtungen stellt die Kalibration den entscheidenden Schritt zum Erhalt richtiger Analysenergebnisse dar. Die apparativen Voraussetzungen einer Analyseeinrichtung können zwar Empfindlichkeit und Präzision eines Analysenergebnisses (und damit die Nachweisgrenze) entscheidend beeinflussen, die Richtigkeit kann aber allein durch Vergleich mit einer Kalibrierprobe bekannten Gehaltes gewährleistet werden.

Im Bereich der Umweltanalytik ist aufgrund der Notwendigkeit einer globalen und zeitunabhängigen Vergleichbarkeit von Analysenergebnissen die Richtigkeit eine entscheidende Größe, um ökologische Prozesse zu verstehen und globale Stoffströme nachvollziehen zu können. Die Analytik gasförmiger Schadstoffe stellt bis in den unteren ppt-Bereich heutzutage für viele Analyseeinrichtungen, wie die Gaschromatographie, kein Problem mehr dar. Weitgehend ungelöst ist jedoch das Problem der adäquaten Kalibration einer solchen Analytik.

Zur Ausblendung eventueller Konditionierungsphänomene ist dabei ein kontinuierlicher Gasstrom des Kalibrationsgases notwendig. Die Anforderungen der Spurenanalytik gasförmiger Schadstoffe machen kontinuierlich strömende zertifizierte Prüfgase aus Druckgasbehältern zum optimalen Kalibrationsmedium. Der hohe Preis, bedingt durch aufwendige Stabilisierung und Herstellung, sowie die produktionsbedingten langen Lieferzeiten, wie auch hohen Mindest-Volumina der einzelnen Behälter lassen diese Verfahren für viele Anwender als zu aufwendig erscheinen. Zudem sind nicht alle Gasmischungen in entsprechenden Drucksystemen und den dort angewandten Metalloberflächen zu stabilisieren. Speziell polare Komponenten sind auf diese Weise nur sehr schwer stabilisiert herstellbar.

Eine ideale Kalibrationsprobe beinhaltet in der Regel eine genau definierte Konzentration des Analyten, möglichst homogen in dem gleichen Matrixgas verteilt, das auch die Analysenprobe umgibt. Eine solche Kalibrationsprobe kann jedoch speziell im Umfeld der Umweltanalytik selten realisiert werden, da es nahezu unmöglich ist, die zur Herstellung der Kalibrationsprobe notwendige unkontaminierte Matrix als Blank und Verdünnungsmedium zu erhalten.

Im Falle der Analytik gasförmiger Proben ergibt sich eine andere Problemlage. Hier ist es zwar relativ einfach, die unkontaminierte Matrix zu erhalten, z. B. synthetische Luft, jedoch stellt sich hier die Herstellung entsprechender Standardproben als problematisch dar.

Gravimetrische Methoden der Gasgemischherstellung sind extrem aufwendig und können nur von Herstellern von Prüfgasen mit großem finanziellen Aufwand hergestellt werden. Hier ergeben sich Probleme aufgrund der im Verhältnis zu den Matrixgasen, aber erst recht zu den Spurenkomponenten großen Massen der das Gasgemisch fassenden Behältnisse.

Bei einer volumetrischen Herstellung müssen kleine Volumina einer oftmals flüssigen Spurenkomponente reproduzierbar in ein sehr großes Volumen des Matrixgases eingebracht werden. Aufgrund der kleinen Dichte der gasförmigen Analyten ergeben sich Probleme mit der Stabilität der Gasgemische. Durch Adsorption und Desorption auf den im Verhältnis zur Masse der Spurenkomponenten sehr großen Oberflächen der mit dem Prüfgas in Kontakt stehenden Gerätschaften besteht das Risiko der Konzentrationsänderung etwa aufgrund von Wanddesorptions- und Wandadsorptionseffekten.

Kommerziell erhältliche Kalibrationssysteme, die dies zu realisieren versuchen, zeichnen sich durch verschiedene Schwachpunkte aus:
Einen kleinen Arbeitsbereich von maximal zwei Dekaden,
Probleme bei niedrigen Konzentrationen,
Beschränkungen bei der Anzahl der zu mischenden Komponenten und deren Verhältnis,
der minimal realisierbare Konzentrationsbereich ist zu hoch.

Es ist auch bekannt, die Reinkomponenten in einen kontinuierlich fließen­ denden Gasstrom stetig einzubringen und mit diesem reproduzierbar zu homogenisieren. Zur Eintragung kommen hier kritische Düsen, Permeationseinrichtungen oder geregelte Zuströme von höherkonzentrierten Prüfgasen in Frage. Die obigen Probleme werden hierdurch jedoch nicht behoben.

Da die Nachweisgrenze aller analytischen Einrichtungen definitionsgemäß entscheidend von der Reproduzierbarkeit der Einzelergebnisse abhängt, bedeutet jede Verbesserung der Kalibration zudem auch eine Verbesserung der Nachweisgrenze und steigert so erheblich die Leistungsfähigkeit der gesamten Analyseeinrichtung.

Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Vorrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, die es ermöglichen, "on-line" eine Gasmischung bekannter Konzentration flüchtiger Komponenten selbst für einen sehr niedrigen Konzentrationsbereich als Kalibrierstandard oder für technische Prozesse bereitzustellen.

Diese Aufgabe wird entsprechend den kennzeichnenden Teilen der Ansprüche 1 und 8 gelöst.

Hierbei wird ein Matrixgasstrom mit einer vorbestimmten Durchflußmenge kontinuierlich gefördert und in den Matrixgasstrom wenigstens eine Kalibrierkomponente in vorbestimmter Menge pro Volumeneinheit Matrixgas eingeführt, wobei die wenigstens eine Kalibrierkomponente in Form von im wesentlichen gleich großen Mikrotröpfchen eingeführt und in dem Matrixgas zur Bildung des Kalibriergases oder Muttergemisches verdampft wird, wobei die Mikrotröpfchen von Düsen abgegeben werden, die jeweils über ein durch entsprechend der vorgesehenen Abgabemenge erzeugten Auslöseimpulse getriggertes Piezoelement kontraktiv beaufschlagt werden. Hierdurch ergibt sich ein kontinuierlicher Kalibriergasstrom mit einer bekannten Konzentration flüchtiger, insbesondere leichtflüchtiger Komponenten insbesondere unter Normaldruck. Dabei können verdünnte Gasmischungen verschiedenster Komponenten in den unterschiedlichsten Konzentrationsverhältnissen "on-line" erzeugt und dem Probeneintragssystem einer zu kalibrierenden gasanalytischen Einrichtung zugänglich gemacht werden. Gegebenenfalls kann die Kalibrierkomponente gekühlt werden, um im flüssigen Zustand vorzuliegen und als Mikrotröpfchen eingebracht werden zu können.

Zur Erzeugung von Vielkomponenten-Gasmischungen kann entweder eine Lösung, die die Komponenten enthält, mit einem Dosierkopf oder es können entsprechend der Anzahl an Komponenten mehrere Dosierköpfe verwendet werden. Auf diese Weise ist es möglich, einen hochgenau geregelten Probeneintrag in einen kontinuierlichen Gasstrom zu gewährleisten und somit ideale Voraussetzungen für eine flexibles Kalibrationssystem zu bieten. In einen über einen exakten Massendurchflußregler (Mass-Flow-Controler) geregelten Trägergasstrom (insbesondere N₂ oder synthetische Luft) werden aus einem oder vorzugsweise aus mehreren, jeweils verschiedene Komponenten fördernden Mikrotröpfchen- Abgabeeinrichtungen die zur Kalibration erforderlichen Stoffmengen an Analyt eingebracht. Durch separates Ansteuern jeder Mikrotröpfchen-Abgabeeinrichtung können die verschiedensten Mischungsverhältnisse der Komponenten in der Gasphase realisiert werden. Aufgrund der zu erreichenden geringen Tröpfchengröße (im Bereich von beispielsweise etwa 20 bis 100 µm, insbesondere etwa 30 bis 50 µm) wird zudem ein schnelles vollständiges Verdampfen der Komponenten in dem Trägergasstrom gewährleistet werden. Dies hat ein homogenes Kalibrier- oder Prüfgas zur Folge. Die Möglichkeit 1 bis 2000 Tropfen/sec eines Volumens etwa von 15 bis 65 pl jeder Komponente in einen gegebenen Gasstrom einzubringen, ermöglicht hier allein eine Kalibration über mehr als vier Konzentrations-Dekaden, ohne die Einrichtung mechanisch verändern zu müssen. Somit weist ein solches Verfahren eine deutlich größere Flexibilität bezüglich Konzentrationsbereich und Komponentenverhältnissen auf, als die kommerziell bisher erhältlichen Verfahren bzw. Prüfgase.

So läßt sich die Richtigkeit der Analyseergebnisse definierter Standardproben als auch realer Proben gegenüber üblichen Kalibrationstechniken bei geringen Kosten deutlich zu steigern und somit auch die Reproduzierbarkeit und in Folge dessen zusätzlich die Nachweisgrenze deutlich senken. Ferner steht das Kalibriergas für einen schnellen Einsatz etwa im Laboratorium bereit.

Nach Bestimmung der Tröpfchengröße - gravimetrisch oder mittels Bestimmung der Strömungsgeschwindigkeit in einer Kapillarstrecke - kann die Kalibriererzeugung digital und somit leicht automatisierbar - durch digitale Einstellung der Tropfenfrequenz - auf die gewünschte Prüfgaskonzentration eingestellt werden. Zudem kann diese Konzentration während des Ablaufes stetig digital geändert werden und so eine automatische Kalibrationsreihe an verschiedenen Prüfgaskonzentrationen generiert werden. Ein weiterer Vorteil ist darin zu sehen, das es gelingt, auch Prüfgase polarer Komponenten zu generieren, die in handelsüblichen Druckgasbehältern nicht erhältlich sind.

Die gleichmäßige Größe und Abfolge der Tropfen gewährleistet dabei die Bildung eines homogenen Gasgemisches, wie es zur Kalibration optimal ist. Eine digitale Steuerung der Mikrotröpfchen-Dosiereinrichtung erlaubt es, pro Sekunde 1 bis 2000 Tropfen eines Volumens von 15 pl (bei einem Düsendurchmesser von d = 30 µm) jeder Komponente in einen gegebenen Gasstrom einzubringen. Somit wird eine Kalibration über mehr als vier Dekaden möglich, ohne das System mechanisch zu verändern. Um ein optimal kalibriertes Gasgemisch zu erhalten, ist die Größe und Homogenität der einzelnen gebildeten Tropfen von entscheidender Bedeutung. Bei optimaler Größe der Tröpfchen hängt es allein von der Homogenität der Größenverteilung ab, wie groß im Endeffekt das Flüssigkeitsvolumen ist, mit dem sich die Gesamtmenge der Spurenkomponenten im Matrixgas verteilt. Die Erzeugung der Mikrotröpfchen zeichnet sich durch eine extrem reproduzierbare Arbeitweise aus, die Streuung der einzelnen Tropfengrößen liegt, auf die Masse bezogen, bei etwa 1% und somit deutlich unter den Streuungen vergleichbarer Verfahren. Der Umstand, daß die Kalibrierkomponenten als Mikrotröpfchen und nicht etwa als Flüssigkeitsfilm in das Matrixgas eingetragen wird, führt dazu, daß der Verdampfungssprozess bei gleicher Tropfengröße sehr reproduzierbar abläuft und so ein homogenes Gasgemisch gebildet werden kann.

Der notwendige exakte Volumenstrom des Matrixgases in der Kalibrationseinheit kann durch Mass-Flow-Controler sichergestellt werden. Dieses Regelinstrument wird zweckmäßigerweise auf der Matrixgasseite eingesetzt, um es ideal kalibrieren zu können und eventuelle störende Einflüsse der oftmals reaktiven und damit korrosiven Spurenkomponente auszuschließen.

Die durch das Verdampfen der Spurenkomponenten zu erwartenden Volu­ menvergrößerungen können rechnerisch erfaßt werden und bei der Steuerung der Mikrotröpfchen-Dosiereinrichtungen berücksichtigt werden.

Das Verfahren ist universell für alle Methoden der Analytik leichtflüchtiger Komponenten (beispielsweise VOC's und WOC's) einsetzbar. Diese gasanalytischen Methoden spielen eine immer stärkere Rolle in den stetig wichtiger werdenden Anwendungsgebieten der instrumentellen Analytik, wie z. B. der Umweltanalytik (Klimaschutz) oder der Analytik im Umfeld von Arbeits- und Gesundheitsschutz. Erfingungsgemäß hergestellte Kalbriergase lassen sich in gaschromatographischen Einrichtungen, Gasphasenadsorptions- und -desorptions­ einrichtungen, in der Infrarotspektroskopie, in der UV/VIS-Spektroskopie oder in Gasphasen-Überwachungseinrichtungen verwenden.

Neben Anwendungen in der chemischen Analytik sind weitere Arbeitsfelder auch Bereiche, in denen idealerweise definierte Gasphasen einsetztbar sind, wie Klimakammern, Sensor-Prüfstände oder Gasphasen-Epitaxie-Systeme.

Die quantitative Bestimmung der verschiedenen gasförmigen Schadstoffe in Atmosphäre und Umgebungsluft hat große Bedeutung sowohl für den Klimaschutz, als auch für den Arbeits- und Gesundheitsschutz. Speziell in einer Industriegesellschaft sind die ökologischen Wirkungen von gasförmigen Schadstoffen aufgrund ihrer hohen Diffusionsraten und ihrer weitreichenden Transportmöglichkeiten in dem Umweltkompartiment Luft für den Eintrag in die Ökosphäre von großer Bedeutung. Kontaminationen des Umweltkompartiments Luft durch die verschiedensten gasförmigen Schadstoffe spielen somit gerade in Bezug auf direkte Schädigungen, aber auch Anreicherungen in Ökosystemen eine wichtige Rolle. Von besonderem Interesse sind dabei richtige Analysenergebnisse gerade einzelner Spurenkomponenten, da diese oftmals aufgrund ihrer ökotoxikologischen Wirkung sehr schädliche Einflüsse auf Ökosysteme ausüben. Exemplarisch seien hier nur die schädigende Wirkung leichtflüchtiger Kohlenwasserstoffe (VVOC und VOC) erwähnt. Die Richtigkeit der Analytik dieser Stoffe, die sich oftmals aufgrund einer Persistenz in Ökosystemen anzureichern vermögen, muß ständig verbessert werden. Nur so können alle Eintragspfade, auch die natürlichen, gering konzentrierten global und auch über längere Zeiträume hinweg, richtig erfasst werden.

Weitere Ausgestaltungen der Erfindung sind der nachfolgenden Beschreibung und den Unteransprüchen zu entnehmen.

Die Erfindung wird nachstehend anhand von beigefügten Abbildungen näher erläutert.

Fig. 1 zeigt schematisch eine Ausführungsform einer Einrichtung zur Erzeugung eines Kalibriergases.

Fig. 2 zeigt schematisch eine Mikrotröpfchen-Bildung durch eine Düse einer Mikrotröpfchen-Dosiereinrichtung.

Fig. 3 zeigt schematisch eine Thermodesorptionseinrichtung zum Probeneintrag für einen Gaschromatographen.

Fig. 4 zeigt schematisch eine weitere Mikrotröpfchen-Dosiereinrichtung für eine Thermodesorptionseinrichtung eines Gaschromatographen.

Gemäß Fig. 1 sind eine Matrixgasquelle 1, etwa eine Reinstgas enthaltende Gasflasche, und Quellen 2 für verschiedene Kalibrierkomponenten, die flüssig vorliegen, vorgesehen. Letztere sind an eine Mikrotröpfchen-Dosiereinrichtung 3 angeschlossen, die eine entsprechende Anzahl von Düsen 4 umfaßt, deren Austrittsöffnungen 5 (sh. Fig. 2) in den Innenraum eines Verdampferrohrs 6 gerichtet sind. Das Verdampferrohr 6 ist von einer Heizeinrichtung 7, etwa einer Heizwendel aus einem Widerstandsdraht, um eben und eintrittsseitig, d. h. benach geregelte Leitung 9 angeschlossen. Das Verdampferrohr 6 ist gesteuert auf eine vorbestimmte Temperatur durch die Heizeinrichtung 7 heizbar. An der Austrittsseite ist das Verdampferrohr 6 an eine Abführleitung 10 für Kalibriergas angeschlossen. Von dieser zweigt außerdem eine eine als Rückdiffusionsschutz dienende Kapillare 11 aufweisende Abgasleitung 12 für zuviel erzeugtes Kalibriergas ab.

Jede Düse 4 umfaßt, wie in Fig. 2a schematisiert dargestellt, einen Düsenkörper 13 mit einer mit der zugehörigen Quelle 2 verbundenen Innenbohrung 14, die zu einer verengten Austrittsöffnung 5 führt. Der Düsenkörper 13 ist von einem Piezoelement 15 umgeben, dessen an der Außenseite befindliche Elektroden 16 an einen von einer insbesondere digitalen Steuerung 17 triggerbaren Dosierimpulsgeber 18 angeschlossen sind. Durch Anlegen eines Spannungsimpulses als Dosierimpuls verformt sich das Piezoelement 15 und damit die Wandung des Düsenkörpers 13, die hierdurch kontrahiert, vgl. Fig. 2b. Hierdurch läuft eine Druckwelle in beiden Richtung der Längsachse der Düse 4, Fig. 2c. Hierdurch wird die Flüssigkeit in der Innenbohrung 14 entsprechend beschleunigt und eine bestimmte Menge an Flüssigkeit tritt aus der Austrittsöffnung 5 heraus. Am Ende des Spannungsimpulses findet eine Druckabnahme statt, da die Kontraktion zurückgeführt wird. Eine Unterdruckwelle läuft in beiden Richtungen, Fig. 2d. Die Unterdruckwelle erreicht die Austrittsöffnung 5, die Flüssigkeit wird abgebremst, Fig. 2e. Die Flüssigkeit schwingt zurück und ein Mikrotröpfchen 19 schnürt sich ab, Fig. 2f. Ein Nachschwingen der Flüssigkeitssäule einwärts findet statt, Fig. 2g.

Die gepulste Kontraktion des Düsenkörpers 13 führt zu einer entsprechenden pulsartigen Abgabe von Mikrotröpfchen 19, die ein feinteiliges Aerosol bilden und aufgrund ihrer geringen Größe und großen Oberfläche in dem Verdampferrohr 6 vollständig verdampfen.

Sehr gut mit einem Gaschromatographen 20 koppelbar hat sich eine Thermodesorptionseinrichtung 21 als Probenahme/Probeneintragssystem (TDS) erwiesen. Hierbei wird, wie in Fig. 3 dargestellt, zur Probenahme ein großes Gasvolumen von einigen Litern bis zu einigen m³ durch ein mit einem Adsorptionsmedium gefülltes Röhrchen 22 gesaugt und dabei die Spurenkomponenten auf der Füllung (z. B. Silikagel oder Tenax) adsorbiert und so angereichert. Zur Analyse wird das Röhrchen 22 dann programmiert aufgeheizt, dabei von einem von einer Trägergasquelle 23 über Regelventile 24 gesteuert kommenden Trägergas durchströmt, das die unter diesen Bedingungen desorbierenden Spurenkomponenten in den Gaschromatographen 20 einträgt. Dieser Eintrag kann entweder direkt auf eine in einem Ofen 25 angeordnete Trennsäule 26 erfolgen, oder aber zunächst zur Anreicherung in eine ebenfalls programmierbar aufheizbare Kühlfalle 27 (z. B. Kaltaufgabesystem). Speziell bei dieser Art des Probeneintrags stellt sich das Problem der Kalibration. Es ist nämlich nicht davon auszugehen, daß der Adsorptionsgrad und somit dann die Wiederfindungsrate gerade für Spurenkomponenten 100% beträgt. Aus diesem Grunde ist es hier, abweichend von der zur Zeit geübten Praxis, notwendig, das System mit einem kontinuierlichen Prüfgasstrom zu kalibrieren. Die Trennsäule 26 ist hierbei an ein Analysegerät 28, etwa einen Quadrupol-Massenspektrographen angeschlossen.

Wie in Fig. 4 dargestellt, kann der dort dargestellten Ausführungsform der Mikrotropfen-Dosiereinrichtung 3 Matrixgas, etwa Reinstgas wie Stickstoff, über den Mass-Flow-Controler 8 gesteuert zur Kalibriergaserzeugung in zwei unterschiedlichen Massenströmen hier von 900 ml/min und über ein geöffnetes Ventil 100 ml/min zugeführt werden. Der Matrixgasstrom kann unter Reinstgasbedingungen durch die Mikrotröpfchen-Dosiereinrichtung 3 mit einer oder mehreren gaschromatographisch empfindlich bestimmbaren Komponenten aus Quellen 2 versetzt werden. Hierbei dient der geringere Massenstrom von 100 ml/min zum Umspülen der Düsen 4, um die Mikrotröpfchen 19 in das Verdampferrohr 6 weiterzutragen. Das Verdampferrohr 6 ist hier U-förmig zur Abführleitung 10 geführt und insgesamt von der Heizeinrichtung 7 umgeben. Das Verdampferrohr 6 und die Heizeinrichtung 7 sind in einem Dewargefäß D zur Vergleichmäßigung der Wärmeverteilung in dem Verdampferrohr 6 angeordnet.

Hierbei ist ferner eine optische Kontrolle der Mikrotröpfchenbildung vorgesehen, die eine Stroboskopdiode 29 umfaßt, die mittels einer Kamera 30 beobachtet wird, die ihrerseits an einen Monitor 31, mit dem die Dosierung visuell kontrolliert werden kann angeschlossen ist. Außerdem ist an die Steuerung S ein Oszilloskop 32 angeschlossen, das zur Kontrolle des Dosierimpulses dient. Die Abführleitung 10 ist hier mit einem Ventil versehen.

Wenn zur Erzeugung von Vielkomponenten-Gasmischungen eine Lösung, die die Komponenten enthält, mit nur einem Dosierkopf und damit nur einer Düse erfolgt, kann diese beispielsweise durch Verwendung einer methanolischen Lösung mit z. B. max. 1 Gew.-% Fremdanteil, d. h. Kalibrierkomponenten oder Analyten, angemischt werden. Das bedeutet, daß die für den Betrieb entscheidenden Parameter der Lösung, also Viskosität und Benetzungsverhalten, gleich bleiben, da sie hauptsächlich vom Methanol abhängen. Damit können bei gleichbleibenden Geräteparametern verschiedenste Gasmischungen hergestellt werden. Allerdings ist hierbei auch immer das Lösungemittel, etwa Methanol, im Gas enthalten. Dieser Lösungsmittelanteil ist aber gegenüber bekannten Verfahren, die mit Zudosierungen von Lösungen arbeiten, sehr gering.

Die mechanischen Bauteile der Vorrichtung sind unabhängig von der herzustellenden Mischung, eine Veränderung der Konzentration der Mischung wird nur durch Veränderung einer digital einzustellenden Größe, nämlich der Frequenz der Tropfenabgabe, also ohne Änderung von Volumenströmen von Gasen erzielt. Dies ist mit sehr hoher Genauigkeit reproduzierbar und entsprechend zuverlässig.

Claims (18)

1. Verfahren zum Herstellen eines mindestens eine gasförmige Komponente enthaltenden Gasgemisches, insbesondere eines Kalibriergases, wobei ein Matrixgasstrom mit einer vorbestimmten Durchflußmenge kontinuierlich gefördert und in den Matrixgasstrom wenigstens eine Komponente in vorbestimmter Menge pro Volumeneinheit Matrixgas eingeführt wird, dadurch gekennzeichnet, daß die wenigstens eine Komponente in Form von im wesentlichen gleich großen Mikrotröpfchen eingeführt und in dem Matrixgas zur Bildung des Gasgemisches verdampft wird, wobei die Mikrotröpfchen von Düsen (4) abgegeben werden, die jeweils über ein durch entsprechend der vorgesehenen Abgabemenge erzeugten Dosierimpulse getriggertes Piezoelement (16) kontraktiv beaufschlagt werden.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Matrixgasstrom mit den Mikrotröpfchen beheizt wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die durch die Verdampfung und gegebenenfalls durch Beheizung bewirkte Volumenexpansion bei der Steuerung der Durchflußmenge des Matrixgasstroms berücksichtigt wird.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß als Matrixgas ein Reinstgas, insbesondere synthetische Luft oder Stickstoff, verwendet wird.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß Mikrotröpfchen einheitlicher Größe aus dem Bereich von etwa 30 bis 50 µm eingeführt werden.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Mikrotröpfchen durch einen sanften, die Düsen (4) umspülenden Matrixgasteilstrom von den Düsen (4) weggetragen werden.

7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine oder mehrere Komponenten in Form einer diese in vorbestimmter Konzentration enthaltenden Lösung tropfenweise eingeführt werden.

8. Vorrichtung zum Herstellen eines mindestens eine gasförmigen Komponente enthaltenden Gasgemisches, insbesondere eines Kalibriergases, mit einer Matrixgasquelle (1), der ein Massenstromregler nachgeschaltet ist, und wenigstens einer Quelle (2) für eine Komponente sowie mit einer Dosiereinrichtung (3) für die wenigstens eine Komponente, dadurch gekennzeichnet, daß die Dosiereinrichtung (3) eine Mikrotröpfchen-Dosiereinrichtung mit wenigstens einer Düse (4) ist, die in ein von dem Matrixgas durchströmtes Verdampferrohr (6) mündet und über ein durch entsprechend der vorgesehenen Abgabemenge erzeugten Dosierimpulse getriggertes Piezoelement (16) kontraktiv beaufschlagbar ist.

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Verdampferrohr (6) beheizbar ist.

10. Vorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß für die Mikrotröpfchen-Dosiereinrichtung (3) eine insbesondere digitale Steuerung (S) für die Länge und Folge der Dosierimpulse vorgesehen ist.

11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Düsen (4) von einem in das Verdampferrohr (6) gerichteten, sanften Matrixgasteilstrom umspülbar sind.

12. Verfahren zum Kalibrieren einer gasanalytischen Einrichtung, insbesondere eines Gaschromatographen (20), durch Hindurchführen und Analysieren eines gasförmigen, mindestens eine Kalibrierkomponente enthaltenden Matrixgases, dadurch gekennzeichnet, daß ein Matrixgasstrom mit einer vorbestimmten Durchflußmenge in die Einrichtung eingeleitet, in den Matrixgasstrom vor dessen Hindurchführen durch die Einrichtung wenigstens eine Kalibrierkomponente in vorbestimmter Menge pro Volumeneinheit Matrixgas in Form von im wesentlichen gleich großen Mikrotröpfchen eingeführt und in dem Matrixgas zur Bildung eines Kalibriergases verdampft wird, wobei die Mikrotröpfchen von Düsen (4) abgegeben werden, die jeweils über ein durch entsprechend der vorgesehenen Abgabemenge erzeugten Dosierimpulse getriggertes Piezoelement (16) kontraktiv beaufschlagt werden.

13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Matrixgasstrom mit den Mikrotröpfchen beheizt wird.

14. Verfahren nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß die durch die Verdampfung und gegebenenfalls durch Beheizung bewirkte Volumenexpansion bei der Steuerung der Durchflußmenge des Matrixgasstroms berücksichtigt wird.

15. Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß als Matrixgas ein Reinstgas, insbesondere synthetische Luft oder Stickstoff, verwendet wird.

16. Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß Mikrotröpfchen einheitlicher Größe im Bereich von etwa 30 bis 50 µm eingeführt werden.

17. Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Mikrotröpfchen durch einen sanften, die Düsen (4) umspülenden Matrixgasteilstrom von den Düsen (4) weggetragen werden.

18. Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß eine oder mehrere Kalibrierkomponenten in Form einer diese in vorbestimmter Konzentration enthaltenden Lösung tropfenweise eingeführt werden.