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Technisches
Gebiet
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Die Erfindung bezieht sich auf ein
Polmeßverfahren
zum Analysieren von polykristallinen Proben unter Benutzung eines
Röntgenstrahldiffraktometers.
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Hintergrundstechnik
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Als eines von Polmeßverfahren
zum Analysieren einer polykristallinen Probe unter Benutzung eines Röntgenstrahldiffraktometers
gibt es ein Polmeßverfahren
zum Analysieren einer bevorzugten Orientierung (Struktur) und ähnliches
der Probe unter Benutzung einer Polfigur. Die Polfigur bezieht sich
auf eine Figur, die Pole in bezug auf eine spezielle Gitterebene
von Kristalliten bezieht, die eine Probe eines Polarnetzes darstellen
(einer stereographischen Projektion), wie in 6 gezeigt ist. Hier bedeutet der Ausdruck "Pol" einen Schnitt deren
Normalen auf eine Gitterebene mit einer Projektionssphäre um die
Kristallite, die die Probe darstellen.
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5 ist
eine schematische Ansicht, die ein herkömmliches Polmeßverfahren
unter Benutzung eines vierachsigen Röntgenstrahldiffraktometers
erläutert.
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Wie in 5 gezeigt
ist, wird die Probe S in Richtungen von ω um eine Achse Ω gedreht
und ist um eine Achse Ψ der
Oberflä che
Sa der Probe S drehbar. Die Probe S wird auch in der Ebene um eine
Achse Φ senkrecht
zu der Probenoberfläche
Sa gedreht. Diese Achsen Ω, Ψ und Φ schneiden
aneinander an dem Ursprung auf der Probenoberfläche Sa (allgemein an dem Zentrum
der Probe). Ein einfallender Röntgenstrahl X0 wird an die Probenoberfläche Sa in
einem Einfallswinkel Θ entlang
einer Äquatorebene
angelegt. Das Einstellen des Einfallswinkels Θ wird durch die ω-Drehung
der Probe S durchgeführt.
Hier bezieht sich die in 5 gezeigte Äquatorebene
auf eine horizontale Ebene, die durch den Ursprung O geht und senkrecht
zu der Ω-Achse
ist.
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Ein Röntgenstrahlendetektor 1 ist
auf einem Gegenarm angebracht, der sich um die Ω-Achse entlang der Äquatorebene
dreht. Bei der Polmessung ist der Röntgenstrahldetektor 1 all-gemein an der symmetrischen Position
auf der Äquatorebene
vorgesehen, die eine Bragg-Beugungsbedingung erfüllt, das heißt eine
Position in der Richtung eines Beugungswinkels eines Röntgenstrahles
gleich dem Einfallswinkel Θ des
Röntgenstrahles
in bezug auf die Probenoberfläche
Sa. Genauer, der Röntgenstrahlendetektor
1 wird durch Drehen des Gegenarmes um die Ω-Achse mit einem Winkel von
2Θ in bezug
auf den einfallenden Röntgenstrahl
X0 gedreht, der auf die Probe in dem Einfallswinkel Θ angelegt
wird.
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Die Probe wird um die Y-Achse in
kleinen Winkeleinheiten (Neigungswinkel α) gedreht, und wird in der Ebene
um die Φ-Achse
bei jedem vorbestimmten Winkel gedreht, Auf diese Weise wird für jeden
der Neigungswinkel α und
jeden der Drehwinkel β in
der Ebene als Parameter ein gebeugter Röntgenstrahl X1,
der durch die Probenoberfläche
Sa einer Bragg'schen
Beugung unterliegt, durch den Röntgenstrahldetektor
1 gemessen, der auf der Äquatorebene
vorgesehen ist und an einer Position an einem Winkel von 2Θ in bezug
auf die Richtung des einfallenden Röntgenstrahles X0 fixiert
ist.
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Indem diese Meßresultate in einem Diagramm,
das als Polarnetz bezeichnet wird, dargestellt werden, wird eine
Polfigur erzeugt. In dem Polarnetz sind die Neigungswinkel α in radialen
Richtungen davon gezeigt, und der Neigungswinkel α ist so definiert,
daß α = 90° in dem Zentrum
davon gilt, und daß α = 0° an dem äußeren Umfang
davon gilt. Wenn die Probenoberfläche Sa senkrecht zu der Äquatorebene
ist, ist der Neigungswinkel α =
90°. In
dem Polarnetz ist der Drehwinkel in der Ebene β in der Umfangsrichtung davon
gezeigt.
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7 zeigt
ein Beispiel einer Polfigur mit einem Pol von (111) von kaltgewalztem
CuZn, indem das Verhältnis
von Cu zu Zn gleich 70 bis 30 ist.
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Bei dem herkömmlichen Polmessen wird ein
Röntgenstrahl
von einem linienförmigen
Querschnitt als einfallender Röntgenstrahl
benutzt, und daher vergrößert sich,
wenn der Einfallswinkel klein wird, das heißt, wenn die Probenoberfläche zu einer
Position nahe der horizontalen Ebene in 5 geneigt wird, die Bestrahlungsbreite
des einfallenden Röntgenstrahles
in bezug auf die Probenoberfläche,
und nur ein Teil des einfallenden Röntgenstrahles trägt zur Beugung
bei, daher wird die Intensität
des einfallenden Röntgenstrahles deutlich
verringert. Als Resultat ermöglicht
in einem niedrigen Bereich des Neigungswinkels α ein Reflexionsverfahren, bei
dem ein gebeugter Röntgenstrahl
von der Probenoberfläche
nach außen
reflektiert wird, nicht, daß die
Pole gemessen werden.
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Folglich ist in einem niedrigen Winkelbereich
ein Transmissionsverfahren, bei dem ein gebeugter Röntgenstrahl,
der durch die Probe durchgelassen wird, gemessen, bis jetzt zur
Polmessung benutzt worden. Allgemein ist das Reflexionsverfahren
benutzt worden, wenn der Neigungswinkel α in dem Bereich von 90° bis 25° liegt, während das
Transmissionsverfahren benutzt worden ist, wenn der Neigungswinkel α in einem
Bereich von 25° bis
0° liegt.
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Bei der Messung durch Transmission
wird jedoch die Intensität
des durchgelassenen Röntgenstrahles durch
Selbstabsorption geschwächt.
Dieses hat das Problem aufgebracht, daß, da eine ausreichende Intensität von Röntgenstrahlen
nicht in bezug auf dicke Proben oder Proben, die auf einem Substrat
gebildet sind, erhalten werden kann, nur extrem dünne Proben
meßbar
gewesen sind. Bis jetzt ist die Polmessung in bezug auf diese dicken
Proben und Dünnfilmproben,
die auf einem Substrat gebildet sind, nicht in einem niedrigen Bereich
des Neigungswinkels α möglich gewesen.
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Offenbarung
der Erfindung
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Folglich ist es eine Aufgabe der
vorliegenden Erfindung, eine Polmessung unter Benutzung des Reflexionsverfahrens
im wesentlichen über
alle Meßbereiche
von dem Bereich hoher Neigungswinkel α bei dem herkömmlichen
Polmessen zu dem Beugungsbereich in der Ebene entsprechend einem
niedrigen Neigungswinkel α zu
realisieren.
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Hier bezieht sich die Beugung in
der Ebene auf ein Beugungsphänomen,
bei dem, wie in 8 gezeigt ist,
wenn ein Röntgenstrahl
X0 auf die Probenoberfläche Sa mit einem kleinen Einfallswinkel δ angelegt
wird, eine Komponente des Röntgenstrahles,
die sich parallel zu der Probenoberfläche Sa erstreckt, innerhalb
der Probe S auftritt, die Röntgenstrahlkom ponente
durch eine Kristallebene P senkrecht zu der Probenoberfläche Sa gebeugt
wird, und ein gebeugter Röntgenstrahl
X2 aus der Probenoberfläche Sa in einem sehr kleinen
Winkel in bezug auf die Probenoberfläche Sa austritt.
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Das Polmeßverfahren gemäß der vorliegenden
Erfindung wird realisiert unter Benutzung eines Röntgenstrahldiffraktometers,
das als ein In-Ebenen-Diffraktometer genannt wird und die folgenden
Funktionen aufweist. Das heißt,
wie in 1 gezeigt ist,
ist das In-Ebenen-Diffraktometer zum Drehen der Probe S in eine Richtung
von ω um
die Ω-Achse
betätigbar,
die durch den Ursprung der Probenoberfläche Sa geht (allgemein das
Zentrum der Probe), zum Drehen des Röntgenstrahldetektors 1 um einen
Winkel von 2Θ um
die Ω-Achse entlang
einer ersten Ebene P1 (die Äquatorebene)
senkrecht zu der Ω-Achse,
und auch zum Drehen des Röntgenstrahldetektors
1 um einen Winkel von 2Θχ um den
Ursprung O entlang einer zweiten Ebene P1, die die Ω-Achse enthält und senkrecht
zu der ersten Ebene P1 ist.
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Die Probe S ist so angeordnet, daß die Oberfläche Sa davon
auf der Ω-Achse
vorgesehen ist und daß ein
einfallender Röntgenstrahl
X0 auf den Ursprung der Oberfläche Sa davon
auftrifft. Der Einfallswinkel ω des einfallenden
Röntgenstrahles
X0 in bezug auf die Probenoberfläche Sa wird
durch die ω-Drehung
der Probe S eingestellt. Das In-Ebenen-Diffraktometer weist auch
eine Funktion einer In-Ebenen-Drehung (β-Drehung) der Probe S um die Φ-Achse auf,
die durch den Ursprung O geht und senkrecht zu der Probenoberfläche Sa ist.
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Während
das herkömmliche
Röntgenstrahldiffraktometer
mit vier Achsen, wie in 5 gezeigt
ist, so aufgebaut ist, daß ein
gebeugter Röntgenstrahl
erfaßt
wird, der auf der Äquatorebene
(der Ebene, die durch den Ursprung O geht und senkrecht zu der Ω-Achse ist)
auftritt, ermöglicht
das oben beschriebene In-Ebenen-Diffraktometer
(siehe 1), das ein gebeugter
Röntgenstrahl
auf eine Beugungsebene unterschiedlich zu der Äquatorebene emittiert wird
(die Ebene, die durch den Ursprung O geht und senkrecht zu der Ω-Achse ist),
so daß er
erfaßbar
ist durch Einstellen von 2Θ-
und 2Θχ-Umdrehungen
um den Röntgenstrahldetektor
1. Hier bezieht sich die Beugungsebene auf eine Ebene, auf der ein
einfallender Röntgenstrahl
und gebeugter Röntgenstrahl
von der Probe vorhanden sind.
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Die vorliegende Erfindung ist dadurch
gekennzeichnet, daß unter
Benutzung solcher Eigenschaften des In-Ebenen-Diffraktometers ein
gebeugter Röntgenstrahl,
der auf der Äquatorebene
auftreten soll, wenn die Probe S um den Neigungswinkel α bei dem
herkömmlichen
Polmeßverfahren
geneigt wird, indem das Vierachsen-Röntgenstrahldiffraktometer benutzt
wird, auf einer Beugungsebene unterschiedlich zu der Äquatorebene durch
die 2Θ-
und 2Θχ-Umdrehungen
des Röntgenstrahldetektor
1 erfaßt
wird, ohne daß die
Probe geneigt werden muß.
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Das heißt, bei der vorliegenden Erfindung
wird das Polmessen durch ein Verfahren durchgeführt, daß die folgenden Tätigkeiten
(a) bis (d) enthält.
- (a) Auf der Grundlage eines voreingestellten
Neigungswinkels (α)
einer Probe wird ein Einfallswinkel (ω) eines Röntgenstrahles in bezug auf
die Oberfläche
der Probe auf eine vorbestimmte Position entsprechend der Polmeßposition
gesetzt, wenn die Probe um den Neigungswinkel (α) geneigt wird, durch Drehen
der Probe um eine vorbestimmte Achse (Ω-Achse), die durch einen vorbestimmten
Ursprung (O) geht.
- (b) Auf der Grundlage des Neigungswinkels (α) wird der Röntgenstrahldetektor um einen
Winkel (2Θ)
um die vorbestimmte Achse (Ω-Achse)
entlang einer ersten Ebene senkrecht zu der vorbestimmten Achse (Ω-Achse)
gedreht und auch um einen Winkel (2Θχ) um den Ursprung (O) entlang
einer zweiten Ebene, die die vorbestimmte Achse (Ω-Achse)
enthält
und senkrecht zu der ersten Ebene ist, wodurch der Röntgenstrahldetektor
an einer vorbestimmten Position entsprechend der Polmeßposition
vorgesehen wird, wenn die Probe um den Neigungswinkel (α) geneigt
wird.
- (c) Auf der Grundlage des Neigungswinkels (α) wird ein Korrekturwinkel (Δβ) in bezug
auf den Meßwinkel der
Probe in einer In-Ebenen-Drehrichtung berechnet, und ein Meßwinkel
wird in der In-Ebenendrehrichtung (φ) eingestellt, wobei der Meßwinkel
(φ) durch
Addieren des Korrekturwinkels (Δβ) zu einem
voreingestellten Meßwinkel
(β) der
Probe in der In-Ebenen-Drehrichtung erhalten wird.
- (d) Als nächstes
wird durch Erfassen der gebeugten Röntgenstrahlen, die von der
Probenoberfläche
Sa gebeugt sind, unter Benutzung des Röntgenstrahldetektors ein Pol
der Probe erhalten.
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Durch dieses Verfahren ist es möglich, eine
Polmessung zu erzielen durch das Reflexionsverfahren über alle
Meßbereiche,
die von dem Bereich des Hochneigungswinkels α bis zu dem In-Ebenen-Beugungsbereich
reicht, und hochgenaue Polmeßdaten
zu erhalten selbst in bezug auf Dünnfilmproben und Dickeproben.
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Kurze Beschreibung der
Zeichnungen
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1 ist
eine schematische Ansicht, die einen Umriß eines In-Ebenen-Diffraktometers
zeigt, das für das
Polmeß verfahren
gemäß der vorliegenden
Erfindung benutzt wird.
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2 ist
eine Draufsicht, die das Prinzip des Polmeßverfahrens gemäß der vorliegenden
Erfindung erläutert.
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3A ist
eine Draufsicht, die das Prinzip des Polmeßverfahrens gemäß der vorliegenden
Erfindung erläutert,
als eine Folgeansicht von 2.
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3B ist
eine Vorderansicht, die das Prinzip des Polmeßverfahrens gemäß der vorliegenden
Erfindung erläutert,
als eine Folgeansicht von 2.
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3C ist
eine linke Seitenansicht, die das Prinzip des Polmeßverfahrens
gemäß der vorliegenden Erfindung
erläutert,
als eine Folgeansicht von 2
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4A ist
eine Draufsicht, die das Prinzip des Polmeßverfahrens gemäß der vorliegenden
Erfindung erläutert,
als eine Folgeansicht von 3A.
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4B ist
eine Vorderansicht, die das Prinzip des Polmeßverfahrens gemäß der vorliegenden
Erfindung erläutert,
als eine Folgeansicht von 3B.
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4C ist
eine linke Seitenansicht, die das Prinzip des Polmeßverfahrens
gemäß der vorliegenden Erfindung
erläutert,
als eine Folgeansicht von 3C.
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5 ist
eine schematische Ansicht, die das Prinzip eines herkömmlichen
Polmeßverfahrens
erläutert.
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6 ist
eine Ansicht, die ein typisches Polarnetz erläutert.
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7 ist
eine Darstellung einer Polfigur von Polen in bezug auf (111) von
kaltgewalztem CuZn, bei dem das Verhältnis von Cu zu Zn gleich 70
zu 30 ist.
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8 ist
eine perspektivische Ansicht, die eine In-Ebenen-Beugung erläutert.
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Beste Art des
Ausführens
der Erfindung
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Hier im folgenden wird die bevorzugte
Ausführungsform
gemäß der vorliegenden
Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben.
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Bei dem Polmeßverfahren gemäß dieser
Ausführungsform
wird unter Benutzung des in 1 gezeigten
In-Ebenen-Diffraktometers der Röntgenstrahldetektor
um einen Winkel von 2Θχ anstelle
der Neigungstätigkeit
in bezug auf die Probenoberfläche
Sa gedreht. Durch diese Drehtätigkeit
wird ein gebeugter Röntgenstrahl,
der auf der Äquatorebene
bei einem Neigungswinkel α zu
erscheinen hat, wenn das herkömmliche
Polmeßverfahren
unter Benutzung des Vierachsen-Röntgendiffraktometers
(siehe 5) auszuführen ist,
an einer Position des Röntgendiffraktometers
erfaßt,
die um die 2Θχ-Drehung
verschoben ist.
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2, 3A bis 3C und 4A bis 4C sind Ansichten, die das
Prinzip des Polmeßverfahrens
gemäß der vorliegenden
Erfindung erläutern,
worin 2, 3A und 4A Draufsichten
sind, während 3B und 4B Vorderansichten sind und während 3C und 4C linke Seitenansichten sind.
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Es wird bezug genommen auf diese
Figuren, das Prinzip des Polmeßverfahrens
gemäß der vorliegenden
Erfindung wird nun beschrieben.
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Es seien x, y und z als orthogonale
Koordinatenachsen betrachtet, die einander in einem Ursprung schneiden,
worin die Φ-Achse in dem in 1 gezeigten In-Ebenen-Diffraktometer
als eine x-Achse definiert ist, worin die Ω-Achse davon als eine z-Achse
definiert ist, und worin die Achse, die der Neigungsachse auf der
Probenoberfläche
Sa entspricht, als z-Achse definiert ist.
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Wie in 2 gezeigt
ist, sind die Wellenzahlvektoren eines einfallenden Röntgenstrahles,
eines gebeugten Röntgenstrahles
und eines gestreuten Röntgenstrahles,
wenn der Neigungswinkel α =
90° ist,
durch K0, K1 bzw.
K bezeichnet, und dadurch wird eine Beugungsebene 1, auf der diese
Vektoren vorhanden sind, auf der Äquatorebene definiert.
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Als nächstes wird, wie in 3A bis 3C gezeigt ist, eine Beugungsebene 2,
in der die Beugungsebene 1 um die y-Achse um einen Neigungswinkel α geneigt
ist, definiert, und die Wellenzahlvektoren eines einfallenden Röntgenstrahles,
eines gebeugten Röntgenstrahles
und eines gestreuten Röntgenstrahles
auf der Beugungsebene 2 werden als K0', K1' bzw. K' bezeichnet.
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Weiterhin wird die Beugungsebene
2 um die x-Achse um einen Winkel von Δβ entgegengesetzt dem Uhrzeigersinn
in 4B gedreht, und die
Wellenzahlvektoren K0' eines einfallenden Röntgenstrahles
auf dieser Beugungsebene 2 werden auf die Beugungsebene 1 gesetzt.
Auf diese Weise wird die Beugungsebene 2, die durch den Winkel von Δβ gedreht
worden ist, als eine Beugungsebene 3 definiert, und die Wellenzahlvektoren
eines einfallenden Röntgenstrahles,
eines gebeugten Röntgenstrahles
und eines gestreuten Röntgenstrahles
auf der Beugungsebene 3 werden als "K0", "K1" bzw. "K" bezeichnet.
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Bei dem Polmeßverfahren gemäß der vorliegenden
Erfindung werden der Einfallswinkel eines einfallenden Röntgenstrahles
X0 in Bezug auf die Probenoberfläche und
die Winkel von 2Θ-
und 2Θχ-Drehungen des
Röntgenstrahldetektors
1 so gesetzt, daß sie
die Beugungsbedingung der oben beschriebenen Beugungsebene 3 in
Bezug auf den voreingestellten Neigungswinkel α der Probe S erfüllen. Auf
der Grundlage des oben erwähnten
voreingestellten Neigungswinkels α der
Probe S wird auch ein Korrekturwinkel Δβ in Bezug auf den Meßwinkel
der Probe berechnet. Dann wird ein Meßwinkel φ der Probe in der In-Ebenen-Drehrichtung,
der durch Addieren des oben erwähnten Δβ zu einem
voreingestellten Meßwinkel β der Probe
in der In-Ebenen-Drehrichtung erhalten wird, eingestellt, und das
Polmessen der Probe wird durchgeführt.
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Wenn Drehmatrizen um die Koordinatenachsen
x, y und z durch Rx, Ry bzw. Rz bezeichnet werden, werden Drehmatrizen
Rx (δ),
Ry (δ) und
Rz (δ) bei
einem Drehwinkel δ durch
die folgenden Ausdrücke
ausgedrückt:
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Als nächstes werden, wenn die Einheitsvektoren
auf der x-, yund z-Koordinatenachse als ex,
ey bzw. ez bezeichnet
sind und ein spezieller Bragg-Winkel einer Reflexion als Θb bezeichnet
ist, der Wellenzahlvektor K0 des einfallenden
Röntgenstrahles,
der Wellenzahlvektor K1 des gebeugten Röntgenstrahles
und der Wellenzahlvektor K des gestreuten Röntgenstrahles, die jeweils
auf der oben beschriebenen ersten Beugungsebene 1 vorhanden sind,
durch die folgenden Ausdrücke
ausgedrückt,
indem die oben beschriebene Gleichung (3) benutzt wird.
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Daher werden der Wellenzahlvektor
K0' des
einfallenden Röntgenstrahles,
der Wellenzahlvektor K1' des gebeugten Röntgenstrahles und der Wellenzahlvektor
K' des gestreuten
Röntgenstrahles,
die jeweils auf der oben beschriebenen zweiten Beugungsebene 2 vorhanden
sind, durch die folgenden Gleichungen ausgedrückt.
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Daher kann der Korrekturwinkel Δβ in Bezug
auf den Meßwinkel
der Probenoberfläche
Sa in der In-Ebenen-Drehrichtung durch die folgenden Gleichungen
erhalten werden.
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Als nächstes werden in dem In-Ebenen-Diffraktometer
der Röntgenstrahleneinfallswinkel ω, die Drehwinkel
2Θ und
2Θχ des Röntgenstrahlendetektors
und der Meßwinkel φ der Probenoberfläche Sa in
der In-Ebenen-Drehrichtung durch die folgenden Gleichungen erhalten.
Hier ist β in
der Gleichung (15) ein voreingestellter Meßwinkel der Probe in der In-Ebenen-Drehrichtung.
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Hier ist in der Gleichung (15) φ auf einen
Winkel gesetzt, der durch Subtrahieren von 180° von Δβ erhalten wird. Dieses ist so,
da die tatsächliche
Drehrichtung des Neigungswinkels α entgegengesetzt
zu der Drehrichtung der Beugungsebene 2 ist, die in 3A bis 3C gezeigt
ist. Eine Korrektur der Richtung wird somit durch die Gleichung
(15) durchgeführt.
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Bei dem Polmeßverfahren gemäß der vorliegenden
Erfindung werden unter Benutzung der oben beschriebenen Gleichungen
(13) und (14) eingestellte Werte von ω, 2Θ und 2Θχ auf der Grundlage des voreingestellten
Neigungswinkels α der
Probe berechnet, und das In-Ebenen-Diffraktometer wird auf diese
eingestellten Werte gesetzt. Dann wird der Meßwinkel φ der Probe S in der In-Ebenen-Drehrichtung,
der aus der Gleichung (15) erhalten worden ist, eingestellt, und
ein Pol wird gemessen. Da das Polmeßverfahren gemäß der vorliegenden
Erfindung keine Neigungstätigkeit
in bezug auf die Probe beinhaltet, kann die Polmessung durch das
Reflexionsverfahren über
alle Meßbereiche
in dem Bereich von dem Bereich eines hohen Neigungwinkels α bis zu dem
In-Ebenen-Beugungsbereich durchgeführt werden.
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Industrielle
Anwendbarkeit
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Wie oben beschrieben wurde, ist es
gemäß der vorliegenden
Erfindung möglich,
eine Polmessung durch das Reflexionsverfahren zu erzielen über alle
Meßbereiche,
die von dem Bereich eines hohen Neigungswinkels α bis zu dem In-Ebenen-Beugungsbereich
reichen, so daß hochgenaue
Polmeßdaten
erhalten werden, selbst in Hinblick auf dünne Proben oder dicke Proben,
die zu erhalten sind.
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Polmeßverfahren
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Zusammenfassung
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Auf der Grundlage eines voreingestellten
Neigungswinkels (α)
der Probe (S) wird ein Einfallswinkel (ω) eines Röntgenstrahles in bezug auf
die Oberfläche
(Sa) der Probe auf eine vorbestimmte Position entsprechend der Polmeßposition
eingestellt, wenn die Probe (Sa) um den Neigungswinkel (α) geneigt
wird, durch Drehen der Probe (Sa) um eine vorbestimmte Achse (Ω-Achse), die durch
einen vorbestimmten Ursprung (O) geht. Ebenfalls wird auf der Grundlage
des Neigungswinkels (α)
ein Röntgenstrahldetektor
(1) um einen Winkel (2Θ)
um die vorbestimmte Achse (Ω-Achse)
entlang einer ersten Ebene (P1) senkrecht zu der vorbestimmten Achse
(Ω-Achse)
gedreht und um einen Winkel (2Θχ) um den
Ursprung (O) entlang einer zweiten Ebene (P2) gedreht, die die vorbestimmte
Achse (Ω-Achse)
enthält
und senkrecht zu der ersten Ebene (P1) ist, wodurch der Röntgenstrahldetektor
(1) an einer vorbestimmten Position entsprechend der Polmeßposition
vorgesehen wird, wenn die Probe (S) um den Neigungswinkel (α) geneigt
wird. Dann wird auf der Grundlage des Neigungswinkels (α) ein Korrekturwinkel
(Δβ) in bezug
auf den Meßwinkel
der Probe (S) in einer In-Ebenen-Drehrichtung berechnet, und ein
Meßwinkel
(φ) der
Probe (S) in der In-Ebenen-Drehrichtung,
der durch Addieren des Korrekturwinkels (Δβ) zu einem voreingestellten
Meßwinkel
(β) der
Probe (S) in der In-Ebenen-Drehrichtung erhalten
wird, wird eingestellt. Durch Erfassen der gebeugten Röntgenstrahlen,
die von der Probenoberfläche (Sa)
gebeugt sind, indem der Röntgenstrahlendetektor
(1) benutzt wird, wird ein Pol der Probe erhalten.
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